JPH08105848A - 蛍光ｘ線分析方法 - Google Patents
蛍光ｘ線分析方法Info
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- JPH08105848A JPH08105848A JP6268285A JP26828594A JPH08105848A JP H08105848 A JPH08105848 A JP H08105848A JP 6268285 A JP6268285 A JP 6268285A JP 26828594 A JP26828594 A JP 26828594A JP H08105848 A JPH08105848 A JP H08105848A
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Abstract
(57)【要約】
【目的】 使用する蛍光Ｘ線分析装置において標準強度
を求めていない元素を含む分析対象試料についても、容
易かつ正確に元素の含有率が算出できる分析方法を提供
する。 【構成】 基準となる蛍光Ｘ線分析装置において、分析
対象試料１３に含まれる可能性のある数多くの元素につ
いて標準強度を求めておき、他の同型の蛍光Ｘ線分析装
置において、分析対象試料１３から、その装置で標準強
度を測定していない元素の蛍光Ｘ線６が発生した場合
に、前記基準装置で測定し記憶された標準強度により補
間した標準強度を用いて、分析対象試料１３における元
素の含有率を算出する。
を求めていない元素を含む分析対象試料についても、容
易かつ正確に元素の含有率が算出できる分析方法を提供
する。 【構成】 基準となる蛍光Ｘ線分析装置において、分析
対象試料１３に含まれる可能性のある数多くの元素につ
いて標準強度を求めておき、他の同型の蛍光Ｘ線分析装
置において、分析対象試料１３から、その装置で標準強
度を測定していない元素の蛍光Ｘ線６が発生した場合
に、前記基準装置で測定し記憶された標準強度により補
間した標準強度を用いて、分析対象試料１３における元
素の含有率を算出する。
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明は、組成が既知の標準試料
についての検量線を用いないで、分析対象試料の元素の
含有率を算出する蛍光Ｘ線分析方法に関するものであ
る。
についての検量線を用いないで、分析対象試料の元素の
含有率を算出する蛍光Ｘ線分析方法に関するものであ
る。
【０００２】
【従来の技術】従来より、この種の分析方法として、試
料における元素の含有率を仮定して、計算した試料の各
元素の蛍光Ｘ線の理論強度と、Ｘ線を照射して試料から
発生する各元素の蛍光Ｘ線の実測強度とを用い、両強度
が一致するように、前記仮定した元素の含有率を逐次近
似的に修正計算して、試料における元素の含有率を算出
する蛍光Ｘ線分析方法、いわゆるファンダメンタルパラ
メータ法がある。ここで、Ｘ線を照射して試料から発生
する各元素の蛍光Ｘ線の実測強度とは、実際には、例え
ば、以下のようにして求める。
料における元素の含有率を仮定して、計算した試料の各
元素の蛍光Ｘ線の理論強度と、Ｘ線を照射して試料から
発生する各元素の蛍光Ｘ線の実測強度とを用い、両強度
が一致するように、前記仮定した元素の含有率を逐次近
似的に修正計算して、試料における元素の含有率を算出
する蛍光Ｘ線分析方法、いわゆるファンダメンタルパラ
メータ法がある。ここで、Ｘ線を照射して試料から発生
する各元素の蛍光Ｘ線の実測強度とは、実際には、例え
ば、以下のようにして求める。
【０００３】第１の方法では、まず、あらかじめ使用す
る蛍光Ｘ線分析装置において、主たる構成元素が相異な
りその含有率が既知である複数の標準試料（一般に純物
質または酸化物である）について、１次Ｘ線を照射して
発生した蛍光Ｘ線の強度Ｉmを測定する。一方、前記既
知の含有率における理論強度Ｉt と含有率１００％にお
ける理論強度Ｉtpとを算出し、その比Ｉtp／Ｉt を求め
る。そして、前記測定強度Ｉm にその比Ｉtp／Ｉt を乗
ずることにより、前記主たる構成元素ごとに、標準試料
におけるその元素の含有率が１００％であるとした場合
の標準となる蛍光Ｘ線の強度Ｉm ×Ｉtp／Ｉt （以下、
この強度を標準強度と呼ぶことにする）を算出してお
く。そして、構成元素の含有率が未知である分析対象の
試料に、１次Ｘ線を照射して発生した蛍光Ｘ線の強度Ｉ
を測定し、発生した蛍光Ｘ線のスペクトルごとに、その
測定強度Ｉと前記標準強度との強度比ｉ1 を次式のよう
に算出する。 ｉ1 ＝Ｉ／（Ｉm ×Ｉtp／Ｉt ）＝Ｉ×Ｉt ／Ｉm ×Ｉtp この強度比ｉ1 は、試料から発生した蛍光Ｘ線のいわゆ
る相対強度ｉ1 であり、すなわち前記実測強度ｉ1 とし
て用いられる。
る蛍光Ｘ線分析装置において、主たる構成元素が相異な
りその含有率が既知である複数の標準試料（一般に純物
質または酸化物である）について、１次Ｘ線を照射して
発生した蛍光Ｘ線の強度Ｉmを測定する。一方、前記既
知の含有率における理論強度Ｉt と含有率１００％にお
ける理論強度Ｉtpとを算出し、その比Ｉtp／Ｉt を求め
る。そして、前記測定強度Ｉm にその比Ｉtp／Ｉt を乗
ずることにより、前記主たる構成元素ごとに、標準試料
におけるその元素の含有率が１００％であるとした場合
の標準となる蛍光Ｘ線の強度Ｉm ×Ｉtp／Ｉt （以下、
この強度を標準強度と呼ぶことにする）を算出してお
く。そして、構成元素の含有率が未知である分析対象の
試料に、１次Ｘ線を照射して発生した蛍光Ｘ線の強度Ｉ
を測定し、発生した蛍光Ｘ線のスペクトルごとに、その
測定強度Ｉと前記標準強度との強度比ｉ1 を次式のよう
に算出する。 ｉ1 ＝Ｉ／（Ｉm ×Ｉtp／Ｉt ）＝Ｉ×Ｉt ／Ｉm ×Ｉtp この強度比ｉ1 は、試料から発生した蛍光Ｘ線のいわゆ
る相対強度ｉ1 であり、すなわち前記実測強度ｉ1 とし
て用いられる。
【０００４】第２の方法では、まず、あらかじめ使用す
る蛍光Ｘ線分析装置において、主たる構成元素が相異な
りその含有率が既知である複数の標準試料（一般に純物
質または酸化物である）について、１次Ｘ線を照射して
発生した蛍光Ｘ線の強度Ｉmを測定する。一方、前記既
知の含有率における理論強度Ｉt を算出する。そして、
前記測定強度Ｉm をその理論強度Ｉt で除することによ
り、前記主たる構成元素ごとに、理論強度に対する測定
強度の感度Ｉm ／Ｉt を算出しておく。そして、構成元
素の含有率が未知である分析対象の試料に、１次Ｘ線を
照射して発生した蛍光Ｘ線の強度Ｉを測定し、発生した
蛍光Ｘ線のスペクトルごとに、その測定強度Ｉと前記感
度との比ｉ2 を次式のように算出する。 ｉ2 ＝Ｉ／（Ｉm ／Ｉt ）＝Ｉ×Ｉt ／Ｉm この比ｉ2 は、試料から発生した蛍光Ｘ線の強度Ｉをい
わば理論強度スケールに換算した強度ｉ2 であり、すな
わち前記実測強度ｉ2 として用いられる。
る蛍光Ｘ線分析装置において、主たる構成元素が相異な
りその含有率が既知である複数の標準試料（一般に純物
質または酸化物である）について、１次Ｘ線を照射して
発生した蛍光Ｘ線の強度Ｉmを測定する。一方、前記既
知の含有率における理論強度Ｉt を算出する。そして、
前記測定強度Ｉm をその理論強度Ｉt で除することによ
り、前記主たる構成元素ごとに、理論強度に対する測定
強度の感度Ｉm ／Ｉt を算出しておく。そして、構成元
素の含有率が未知である分析対象の試料に、１次Ｘ線を
照射して発生した蛍光Ｘ線の強度Ｉを測定し、発生した
蛍光Ｘ線のスペクトルごとに、その測定強度Ｉと前記感
度との比ｉ2 を次式のように算出する。 ｉ2 ＝Ｉ／（Ｉm ／Ｉt ）＝Ｉ×Ｉt ／Ｉm この比ｉ2 は、試料から発生した蛍光Ｘ線の強度Ｉをい
わば理論強度スケールに換算した強度ｉ2 であり、すな
わち前記実測強度ｉ2 として用いられる。
【０００５】ここで、標準強度または感度の算出のため
の測定は、使用する蛍光Ｘ線分析装置において３０元素
程度について、最初に１回行って得られた標準強度また
は感度を記憶しておけばよく、分析対象の試料の測定ご
とに行う必要はない。分析対象試料に、標準強度または
感度を求めていない元素が含まれている場合には、その
元素に対し原子番号において前後の元素についての標準
強度または感度から直線補間等して、その元素の標準強
度または感度の代用としている。この方法は、一般に半
定量分析と呼ばれている。
の測定は、使用する蛍光Ｘ線分析装置において３０元素
程度について、最初に１回行って得られた標準強度また
は感度を記憶しておけばよく、分析対象の試料の測定ご
とに行う必要はない。分析対象試料に、標準強度または
感度を求めていない元素が含まれている場合には、その
元素に対し原子番号において前後の元素についての標準
強度または感度から直線補間等して、その元素の標準強
度または感度の代用としている。この方法は、一般に半
定量分析と呼ばれている。
【０００６】
【発明が解決しようとする課題】ところが、分析対象の
試料には、標準強度または感度を求めた元素に対し、原
子番号において接近していない元素が含まれていること
等もあり、前記従来の方法では、必ずしも正確な前記実
測強度が得られず、従って正確な分析ができない。ま
た、正確な実測強度を求めようとすると、個々の蛍光Ｘ
線分析装置において、分析対象試料に含まれる可能性の
ある数多くの元素について標準強度または感度の算出の
ための測定をしなければならず、多大な時間と労力を要
する。
試料には、標準強度または感度を求めた元素に対し、原
子番号において接近していない元素が含まれていること
等もあり、前記従来の方法では、必ずしも正確な前記実
測強度が得られず、従って正確な分析ができない。ま
た、正確な実測強度を求めようとすると、個々の蛍光Ｘ
線分析装置において、分析対象試料に含まれる可能性の
ある数多くの元素について標準強度または感度の算出の
ための測定をしなければならず、多大な時間と労力を要
する。
【０００７】本発明は前記従来の問題に鑑みてなされた
もので、試料からの蛍光Ｘ線の強度に基づいて元素の含
有率を算出する蛍光Ｘ線分析方法において、使用する蛍
光Ｘ線分析装置において標準強度または感度を求めてい
ない元素を含む分析対象試料についても、容易かつ正確
に元素の含有率が算出できる分析方法を提供することを
目的とする。
もので、試料からの蛍光Ｘ線の強度に基づいて元素の含
有率を算出する蛍光Ｘ線分析方法において、使用する蛍
光Ｘ線分析装置において標準強度または感度を求めてい
ない元素を含む分析対象試料についても、容易かつ正確
に元素の含有率が算出できる分析方法を提供することを
目的とする。
【０００８】
【課題を解決するための手段】前記目的を達成するため
に、請求項１の方法では、Ｘ線が照射された試料から発
生する蛍光Ｘ線の強度に基づいて試料における元素の含
有率を算出する蛍光Ｘ線分析方法において、まず、基準
となる蛍光Ｘ線分析装置において、主たる構成元素が相
異なりその含有率が既知である複数の標準試料につい
て、１次Ｘ線を照射して発生した蛍光Ｘ線の強度を測定
しその測定強度に基づいて、前記主たる構成元素ごと
に、標準試料におけるその元素の含有率が１００％であ
るとした場合の標準となる蛍光Ｘ線の強度を算出して、
それら基準装置で測定した標準強度を記憶しておく。
に、請求項１の方法では、Ｘ線が照射された試料から発
生する蛍光Ｘ線の強度に基づいて試料における元素の含
有率を算出する蛍光Ｘ線分析方法において、まず、基準
となる蛍光Ｘ線分析装置において、主たる構成元素が相
異なりその含有率が既知である複数の標準試料につい
て、１次Ｘ線を照射して発生した蛍光Ｘ線の強度を測定
しその測定強度に基づいて、前記主たる構成元素ごと
に、標準試料におけるその元素の含有率が１００％であ
るとした場合の標準となる蛍光Ｘ線の強度を算出して、
それら基準装置で測定した標準強度を記憶しておく。
【０００９】また、前記基準となる蛍光Ｘ線分析装置と
同型の他の蛍光Ｘ線分析装置において、主たる構成元素
が相異なりその含有率が既知である複数の標準試料につ
いて、基準となる蛍光Ｘ線分析装置において用いた標準
試料よりも少ない数の標準試料を用い、１次Ｘ線を照射
して発生した蛍光Ｘ線の強度を測定しその測定強度に基
づいて、前記主たる構成元素ごとに、標準試料における
その元素の含有率が１００％であるとした場合の標準と
なる蛍光Ｘ線の強度を算出して、それら前記他の装置で
測定した標準強度を記憶しておく。そして、前記他の蛍
光Ｘ線分析装置において、構成元素の含有率が未知であ
る分析対象試料に、１次Ｘ線を照射して発生した蛍光Ｘ
線の強度を測定し、前記他の装置で標準強度を測定して
いない元素から蛍光Ｘ線が発生した場合に、前記基準装
置で測定し記憶された標準強度により補間した標準強度
を用いて、分析対象試料における元素の含有率を算出す
る。
同型の他の蛍光Ｘ線分析装置において、主たる構成元素
が相異なりその含有率が既知である複数の標準試料につ
いて、基準となる蛍光Ｘ線分析装置において用いた標準
試料よりも少ない数の標準試料を用い、１次Ｘ線を照射
して発生した蛍光Ｘ線の強度を測定しその測定強度に基
づいて、前記主たる構成元素ごとに、標準試料における
その元素の含有率が１００％であるとした場合の標準と
なる蛍光Ｘ線の強度を算出して、それら前記他の装置で
測定した標準強度を記憶しておく。そして、前記他の蛍
光Ｘ線分析装置において、構成元素の含有率が未知であ
る分析対象試料に、１次Ｘ線を照射して発生した蛍光Ｘ
線の強度を測定し、前記他の装置で標準強度を測定して
いない元素から蛍光Ｘ線が発生した場合に、前記基準装
置で測定し記憶された標準強度により補間した標準強度
を用いて、分析対象試料における元素の含有率を算出す
る。
【００１０】前記目的を達成するために、請求項２の方
法では、Ｘ線が照射された試料から発生する蛍光Ｘ線の
強度に基づいて試料における元素の含有率を算出する蛍
光Ｘ線分析方法において、まず、基準となる蛍光Ｘ線分
析装置において、主たる構成元素が相異なりその含有率
が既知である複数の標準試料について、１次Ｘ線を照射
して発生した蛍光Ｘ線の強度を測定しその測定強度に基
づいて、前記主たる構成元素ごとに、理論強度に対する
測定強度の感度を算出して、それら基準装置で測定した
感度を記憶しておく。
法では、Ｘ線が照射された試料から発生する蛍光Ｘ線の
強度に基づいて試料における元素の含有率を算出する蛍
光Ｘ線分析方法において、まず、基準となる蛍光Ｘ線分
析装置において、主たる構成元素が相異なりその含有率
が既知である複数の標準試料について、１次Ｘ線を照射
して発生した蛍光Ｘ線の強度を測定しその測定強度に基
づいて、前記主たる構成元素ごとに、理論強度に対する
測定強度の感度を算出して、それら基準装置で測定した
感度を記憶しておく。
【００１１】また、前記基準となる蛍光Ｘ線分析装置と
同型の他の蛍光Ｘ線分析装置において、主たる構成元素
が相異なりその含有率が既知である複数の標準試料につ
いて、基準となる蛍光Ｘ線分析装置において用いた標準
試料よりも少ない数の標準試料を用い、１次Ｘ線を照射
して発生した蛍光Ｘ線の強度を測定しその測定強度に基
づいて、前記主たる構成元素ごとに、理論強度に対する
測定強度の感度を算出して、それら前記他の装置で測定
した感度を記憶しておく。そして、前記他の蛍光Ｘ線分
析装置において、構成元素の含有率が未知である分析対
象試料に、１次Ｘ線を照射して発生した蛍光Ｘ線の強度
を測定し、前記他の装置で感度を測定していない元素か
ら蛍光Ｘ線が発生した場合に、前記基準装置で測定し記
憶された感度により補間した感度を用いて、分析対象試
料における元素の含有率を算出する。
同型の他の蛍光Ｘ線分析装置において、主たる構成元素
が相異なりその含有率が既知である複数の標準試料につ
いて、基準となる蛍光Ｘ線分析装置において用いた標準
試料よりも少ない数の標準試料を用い、１次Ｘ線を照射
して発生した蛍光Ｘ線の強度を測定しその測定強度に基
づいて、前記主たる構成元素ごとに、理論強度に対する
測定強度の感度を算出して、それら前記他の装置で測定
した感度を記憶しておく。そして、前記他の蛍光Ｘ線分
析装置において、構成元素の含有率が未知である分析対
象試料に、１次Ｘ線を照射して発生した蛍光Ｘ線の強度
を測定し、前記他の装置で感度を測定していない元素か
ら蛍光Ｘ線が発生した場合に、前記基準装置で測定し記
憶された感度により補間した感度を用いて、分析対象試
料における元素の含有率を算出する。
【００１２】
【作用および効果】本発明によれば、基準となる蛍光Ｘ
線分析装置において、分析対象試料に含まれる可能性の
ある数多くの元素について標準強度または感度を求めて
おき、他の同型の蛍光Ｘ線分析装置において、分析対象
試料から、その装置で標準強度または感度を測定してい
ない元素の蛍光Ｘ線が発生した場合に、前記基準装置で
測定し記憶された標準強度または感度により補間した標
準強度または感度を用いて、分析対象試料における元素
の含有率を算出するので、容易かつ正確に元素の含有率
が算出できる。
線分析装置において、分析対象試料に含まれる可能性の
ある数多くの元素について標準強度または感度を求めて
おき、他の同型の蛍光Ｘ線分析装置において、分析対象
試料から、その装置で標準強度または感度を測定してい
ない元素の蛍光Ｘ線が発生した場合に、前記基準装置で
測定し記憶された標準強度または感度により補間した標
準強度または感度を用いて、分析対象試料における元素
の含有率を算出するので、容易かつ正確に元素の含有率
が算出できる。
【００１３】
【実施例】以下、本発明の第１実施例を図面にしたがっ
て説明する。図１に示すように、まず、第１の基準とな
る蛍光Ｘ線分析装置において、主たる構成元素が既知で
相異なる複数の標準試料３を試料台８に取り付けて、図
１のＸ線源１から発生させた１次Ｘ線２を照射して、発
生した２次Ｘ線４を分光器５に入射させ、分光された前
記主たる構成元素から発生した蛍光Ｘ線６の強度を、検
出器７で測定する。一方、前記既知の含有率における理
論強度と含有率１００％における理論強度とを算出し、
その比を求める。そして、前記測定強度にその比を乗ず
ることにより、前記主たる構成元素ごとに、標準試料に
おけるその元素の含有率が１００％であるとした場合の
標準となる蛍光Ｘ線の強度を算出して、これらを基準装
置で測定した標準強度として記憶しておく。基準装置で
は、分析対象試料１３に含まれる可能性のある数多くの
元素、原子番号５の硼素から７０元素程度について標準
強度を求めておく。
て説明する。図１に示すように、まず、第１の基準とな
る蛍光Ｘ線分析装置において、主たる構成元素が既知で
相異なる複数の標準試料３を試料台８に取り付けて、図
１のＸ線源１から発生させた１次Ｘ線２を照射して、発
生した２次Ｘ線４を分光器５に入射させ、分光された前
記主たる構成元素から発生した蛍光Ｘ線６の強度を、検
出器７で測定する。一方、前記既知の含有率における理
論強度と含有率１００％における理論強度とを算出し、
その比を求める。そして、前記測定強度にその比を乗ず
ることにより、前記主たる構成元素ごとに、標準試料に
おけるその元素の含有率が１００％であるとした場合の
標準となる蛍光Ｘ線の強度を算出して、これらを基準装
置で測定した標準強度として記憶しておく。基準装置で
は、分析対象試料１３に含まれる可能性のある数多くの
元素、原子番号５の硼素から７０元素程度について標準
強度を求めておく。
【００１４】例えば、基準装置において、マンガンにつ
いて、ある既知の含有率の標準試料３から強度Ｓ0Mの蛍
光Ｘ線６が発生したとすると、マンガンについての標準
強度Ｓ1Mは、マンガンにおける前記既知の含有率におけ
る理論強度ＩtMと含有率１００％における理論強度Ｉ
tpM とを算出することにより、次式で算出される。 Ｓ1M＝Ｓ0M×ＩtpM ／ＩtM これらの各元素の標準強度は、図２に示すように、原子
番号に対しなだらかな曲線をなす関係にあり、この相対
的な大小関係は、同一の図１におけるＸ線源１、分光器
５および検出器７を用いる同一機種の蛍光Ｘ線分析装置
であれば同等の関係である。
いて、ある既知の含有率の標準試料３から強度Ｓ0Mの蛍
光Ｘ線６が発生したとすると、マンガンについての標準
強度Ｓ1Mは、マンガンにおける前記既知の含有率におけ
る理論強度ＩtMと含有率１００％における理論強度Ｉ
tpM とを算出することにより、次式で算出される。 Ｓ1M＝Ｓ0M×ＩtpM ／ＩtM これらの各元素の標準強度は、図２に示すように、原子
番号に対しなだらかな曲線をなす関係にあり、この相対
的な大小関係は、同一の図１におけるＸ線源１、分光器
５および検出器７を用いる同一機種の蛍光Ｘ線分析装置
であれば同等の関係である。
【００１５】次に、前記基準装置と同型である第２の蛍
光Ｘ線分析装置において、基準装置と同様に標準強度を
求めて記憶しておく。但し、第２の装置においては、分
析対象試料１３に含まれる可能性のある数多くの元素の
うち、主なもの２０元素程度について標準強度を求めて
おけばよい。そして、第２の装置において、構成元素の
含有率が未知である分析対象試料１３に、１次Ｘ線２を
照射して発生した蛍光Ｘ線６の強度を測定し、第２の装
置で標準強度を測定していない元素から蛍光Ｘ線６が発
生した場合に、前記基準装置で測定し記憶された標準強
度により補間した標準強度を用いる。
光Ｘ線分析装置において、基準装置と同様に標準強度を
求めて記憶しておく。但し、第２の装置においては、分
析対象試料１３に含まれる可能性のある数多くの元素の
うち、主なもの２０元素程度について標準強度を求めて
おけばよい。そして、第２の装置において、構成元素の
含有率が未知である分析対象試料１３に、１次Ｘ線２を
照射して発生した蛍光Ｘ線６の強度を測定し、第２の装
置で標準強度を測定していない元素から蛍光Ｘ線６が発
生した場合に、前記基準装置で測定し記憶された標準強
度により補間した標準強度を用いる。
【００１６】例えば、基準装置においてチタン，マンガ
ン，銅のそれぞれの標準強度Ｓ1T，Ｓ1M，Ｓ1Cが求めら
れており、第２の装置においてはチタン，銅のそれぞれ
の標準強度Ｓ2T，Ｓ2Cが求められているが、マンガンの
標準強度Ｓ2Mは求められていないとする。そして、第２
の装置において、構成元素の含有率が未知である分析対
象試料１３に１次Ｘ線２を照射して、マンガンから蛍光
Ｘ線６が発生した場合に、第２の装置におけるマンガン
の標準強度Ｓ2Mが必要となる。ここで、前述したよう
に、標準強度の相対的な大小関係は、同型の蛍光Ｘ線分
析装置であれば同等の関係で、基準装置で綿密にその関
係を求めておけば、第２の装置にも適用可能である。そ
こで、チタン，マンガン，銅の原子番号がそれぞれ２
２，２５，２９であることから、第２の装置でのマンガ
ンの標準強度Ｓ2Mは、次の（１）式のように、基準装置
で測定し記憶された標準強度Ｓ1T，Ｓ1M，Ｓ1Cにより原
子番号で直線的に補間して求められる。
ン，銅のそれぞれの標準強度Ｓ1T，Ｓ1M，Ｓ1Cが求めら
れており、第２の装置においてはチタン，銅のそれぞれ
の標準強度Ｓ2T，Ｓ2Cが求められているが、マンガンの
標準強度Ｓ2Mは求められていないとする。そして、第２
の装置において、構成元素の含有率が未知である分析対
象試料１３に１次Ｘ線２を照射して、マンガンから蛍光
Ｘ線６が発生した場合に、第２の装置におけるマンガン
の標準強度Ｓ2Mが必要となる。ここで、前述したよう
に、標準強度の相対的な大小関係は、同型の蛍光Ｘ線分
析装置であれば同等の関係で、基準装置で綿密にその関
係を求めておけば、第２の装置にも適用可能である。そ
こで、チタン，マンガン，銅の原子番号がそれぞれ２
２，２５，２９であることから、第２の装置でのマンガ
ンの標準強度Ｓ2Mは、次の（１）式のように、基準装置
で測定し記憶された標準強度Ｓ1T，Ｓ1M，Ｓ1Cにより原
子番号で直線的に補間して求められる。
【００１７】
【数１】
【００１８】ここで前記直線的な補間の代わりに、２次
式等の他の関数で補間してもよい。また、元素を代表す
る数値として、原子番号の代わりに蛍光Ｘ線のエネルギ
ーや波長を用いて補間することもできる。以上のように
第１実施例によれば、基準装置において、分析対象試料
１３に含まれる可能性のある数多くの元素について標準
強度を求めておき、他の同型の蛍光Ｘ線分析装置におい
て、分析対象試料１３から、その装置で標準強度を測定
していない元素の蛍光Ｘ線６が発生した場合に、前記基
準装置で測定し記憶された標準強度により補間した標準
強度を用いるので、分析対象試料１３における元素の含
有率を、容易かつ正確に算出できる。
式等の他の関数で補間してもよい。また、元素を代表す
る数値として、原子番号の代わりに蛍光Ｘ線のエネルギ
ーや波長を用いて補間することもできる。以上のように
第１実施例によれば、基準装置において、分析対象試料
１３に含まれる可能性のある数多くの元素について標準
強度を求めておき、他の同型の蛍光Ｘ線分析装置におい
て、分析対象試料１３から、その装置で標準強度を測定
していない元素の蛍光Ｘ線６が発生した場合に、前記基
準装置で測定し記憶された標準強度により補間した標準
強度を用いるので、分析対象試料１３における元素の含
有率を、容易かつ正確に算出できる。
【００１９】次に、第２実施例について説明する。第２
実施例では、第１実施例で標準強度を補間したのと同様
に、感度を補間する。例えば、基準装置において、マン
ガンについて、ある既知の含有率の標準試料３から強度
Ｓ0Mの蛍光Ｘ線６が発生したとすると、マンガンについ
ての感度Ｑ1Mは、マンガンにおける前記既知の含有率に
おける理論強度ＩtMを算出することにより、次式で算出
される。 Ｑ1M＝Ｓ0M／ＩtM これらの各元素の感度は、図３に示すように、原子番号
に対しなだらかな曲線をなす関係にあり、この相対的な
大小関係は、同一の図１におけるＸ線源１、分光器５お
よび検出器７を用いる同一機種の蛍光Ｘ線分析装置であ
れば同等の関係である。
実施例では、第１実施例で標準強度を補間したのと同様
に、感度を補間する。例えば、基準装置において、マン
ガンについて、ある既知の含有率の標準試料３から強度
Ｓ0Mの蛍光Ｘ線６が発生したとすると、マンガンについ
ての感度Ｑ1Mは、マンガンにおける前記既知の含有率に
おける理論強度ＩtMを算出することにより、次式で算出
される。 Ｑ1M＝Ｓ0M／ＩtM これらの各元素の感度は、図３に示すように、原子番号
に対しなだらかな曲線をなす関係にあり、この相対的な
大小関係は、同一の図１におけるＸ線源１、分光器５お
よび検出器７を用いる同一機種の蛍光Ｘ線分析装置であ
れば同等の関係である。
【００２０】そして、例えば、基準装置において、チタ
ン，マンガン，銅のそれぞれの感度Ｑ1T，Ｑ1M，Ｑ1Cが
求められており、第２の装置においては、チタン，銅の
それぞれの感度Ｑ2T，Ｑ2Cが求められているが、マンガ
ンの感度Ｑ2Mは求められていないとする。そして、第２
の装置において、構成元素の含有率が未知である分析対
象試料１３に１次Ｘ線２を照射して、マンガンから蛍光
Ｘ線６が発生した場合に、第２の装置におけるマンガン
の感度Ｑ2Mが必要となる。ここで、第１実施例と同様
に、チタン，マンガン，銅の原子番号がそれぞれ２２，
２５，２９であることから、第２の装置でのマンガンの
感度Ｑ2Mは、次の（２）式のように、基準装置で測定し
記憶された感度Ｑ1T，Ｑ1M，Ｑ1Cにより原子番号で直線
的に補間して求められる。
ン，マンガン，銅のそれぞれの感度Ｑ1T，Ｑ1M，Ｑ1Cが
求められており、第２の装置においては、チタン，銅の
それぞれの感度Ｑ2T，Ｑ2Cが求められているが、マンガ
ンの感度Ｑ2Mは求められていないとする。そして、第２
の装置において、構成元素の含有率が未知である分析対
象試料１３に１次Ｘ線２を照射して、マンガンから蛍光
Ｘ線６が発生した場合に、第２の装置におけるマンガン
の感度Ｑ2Mが必要となる。ここで、第１実施例と同様
に、チタン，マンガン，銅の原子番号がそれぞれ２２，
２５，２９であることから、第２の装置でのマンガンの
感度Ｑ2Mは、次の（２）式のように、基準装置で測定し
記憶された感度Ｑ1T，Ｑ1M，Ｑ1Cにより原子番号で直線
的に補間して求められる。
【００２１】
【数２】
【００２２】以上のように第２実施例によっても、第２
の装置において、分析対象試料１３から、その装置で感
度を測定していない元素の蛍光Ｘ線６が発生した場合
に、前記基準装置で測定し記憶された感度により補間し
た感度を用いるので、分析対象試料１３における元素の
含有率を、容易かつ正確に算出できる。
の装置において、分析対象試料１３から、その装置で感
度を測定していない元素の蛍光Ｘ線６が発生した場合
に、前記基準装置で測定し記憶された感度により補間し
た感度を用いるので、分析対象試料１３における元素の
含有率を、容易かつ正確に算出できる。
【図１】本発明の実施例を示す側面図である。
【図２】本発明における各元素の標準強度と原子番号の
関係を示す図である。
関係を示す図である。
【図３】本発明における各元素の感度と原子番号の関係
を示す図である。
を示す図である。
２…１次Ｘ線、３…標準試料、６…蛍光Ｘ線、１３…分
析対象試料。
析対象試料。
Claims (2)
- 【請求項１】 Ｘ線が照射された試料から発生する蛍光
Ｘ線の強度に基づいて試料における元素の含有率を算出
する蛍光Ｘ線分析方法において、 基準となる蛍光Ｘ線分析装置において、主たる構成元素
が相異なりその含有率が既知である複数の標準試料につ
いて、１次Ｘ線を照射して発生した蛍光Ｘ線の強度を測
定しその測定強度に基づいて、前記主たる構成元素ごと
に、標準試料におけるその元素の含有率が１００％であ
るとした場合の標準となる蛍光Ｘ線の強度を算出して、
それら基準装置で測定した標準強度を記憶しておき、 前記基準となる蛍光Ｘ線分析装置と同型の他の蛍光Ｘ線
分析装置において、主たる構成元素が相異なりその含有
率が既知である複数の標準試料について、基準となる蛍
光Ｘ線分析装置において用いた標準試料よりも少ない数
の標準試料を用い、１次Ｘ線を照射して発生した蛍光Ｘ
線の強度を測定しその測定強度に基づいて、前記主たる
構成元素ごとに、標準試料におけるその元素の含有率が
１００％であるとした場合の標準となる蛍光Ｘ線の強度
を算出して、それら前記他の装置で測定した標準強度を
記憶しておき、 前記他の蛍光Ｘ線分析装置において、構成元素の含有率
が未知である分析対象試料に、１次Ｘ線を照射して発生
した蛍光Ｘ線の強度を測定し、前記他の装置で標準強度
を測定していない元素から蛍光Ｘ線が発生した場合に、
前記基準装置で測定し記憶された標準強度により補間し
た標準強度を用いて、分析対象試料における元素の含有
率を算出することを特徴とする蛍光Ｘ線分析方法。 - 【請求項２】 Ｘ線が照射された試料から発生する蛍光
Ｘ線の強度に基づいて試料における元素の含有率を算出
する蛍光Ｘ線分析方法において、 基準となる蛍光Ｘ線分析装置において、主たる構成元素
が相異なりその含有率が既知である複数の標準試料につ
いて、１次Ｘ線を照射して発生した蛍光Ｘ線の強度を測
定しその測定強度に基づいて、前記主たる構成元素ごと
に、理論強度に対する測定強度の感度を算出して、それ
ら基準装置で測定した感度を記憶しておき、 前記基準となる蛍光Ｘ線分析装置と同型の他の蛍光Ｘ線
分析装置において、主たる構成元素が相異なりその含有
率が既知である複数の標準試料について、基準となる蛍
光Ｘ線分析装置において用いた標準試料よりも少ない数
の標準試料を用い、１次Ｘ線を照射して発生した蛍光Ｘ
線の強度を測定しその測定強度に基づいて、前記主たる
構成元素ごとに、理論強度に対する測定強度の感度を算
出して、それら前記他の装置で測定した感度を記憶して
おき、 前記他の蛍光Ｘ線分析装置において、構成元素の含有率
が未知である分析対象試料に、１次Ｘ線を照射して発生
した蛍光Ｘ線の強度を測定し、前記他の装置で感度を測
定していない元素から蛍光Ｘ線が発生した場合に、前記
基準装置で測定し記憶された感度により補間した感度を
用いて、分析対象試料における元素の含有率を算出する
ことを特徴とする蛍光Ｘ線分析方法。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP6268285A JP2645226B2 (ja) | 1994-10-05 | 1994-10-05 | 蛍光ｘ線分析方法 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP6268285A JP2645226B2 (ja) | 1994-10-05 | 1994-10-05 | 蛍光ｘ線分析方法 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH08105848A true JPH08105848A (ja) | 1996-04-23 |
| JP2645226B2 JP2645226B2 (ja) | 1997-08-25 |
Family
ID=17456417
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP6268285A Expired - Fee Related JP2645226B2 (ja) | 1994-10-05 | 1994-10-05 | 蛍光ｘ線分析方法 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP2645226B2 (ja) |
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| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| CN104515298A (zh) * | 2013-09-30 | 2015-04-15 | 北京春雨福龙技术开发有限公司 | 一种节能高效型温开水器及其制作温开水的方法 |
-
1994
- 1994-10-05 JP JP6268285A patent/JP2645226B2/ja not_active Expired - Fee Related
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JP2645226B2 (ja) | 1997-08-25 |
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