JPH0810216B2 - ガス分析計 - Google Patents
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- JPH0810216B2 JPH0810216B2 JP2188254A JP18825490A JPH0810216B2 JP H0810216 B2 JPH0810216 B2 JP H0810216B2 JP 2188254 A JP2188254 A JP 2188254A JP 18825490 A JP18825490 A JP 18825490A JP H0810216 B2 JPH0810216 B2 JP H0810216B2
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- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01N—INVESTIGATING OR ANALYSING MATERIALS BY DETERMINING THEIR CHEMICAL OR PHYSICAL PROPERTIES
- G01N33/00—Investigating or analysing materials by specific methods not covered by groups G01N1/00 - G01N31/00
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- G01N33/0009—General constructional details of gas analysers, e.g. portable test equipment
- G01N33/0027—General constructional details of gas analysers, e.g. portable test equipment concerning the detector
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Description
【発明の詳細な説明】 〔産業上の利用分野〕 本発明は、サンプルガスに含まれる複数成分の濃度を
同時に測定したり、また、複数のサンプルガスラインを
それぞれ流れるサンプルガスに含まれる同一成分の濃度
を同時に測定できるガス分析計に関する。
同時に測定したり、また、複数のサンプルガスラインを
それぞれ流れるサンプルガスに含まれる同一成分の濃度
を同時に測定できるガス分析計に関する。
例えば大気中のNOXを測定する場合、一酸化窒素（以
下,NOと表す），二酸化窒素（以下、NO2と表す）および
NOXについてそれぞれの濃度を同時に出力することが要
求される。
下,NOと表す），二酸化窒素（以下、NO2と表す）および
NOXについてそれぞれの濃度を同時に出力することが要
求される。
そこで、従来は第８図に示すような構成によって前記
同時出力を行うようにしていた。すなわち、この図にお
いて、１は図外のサンプルガス源からのサンプルガスＧ
（このサンプルガスＧ中には、NO,NO2およびNOXを始め
として複数の成分が含まれているものとする）がそのま
まの状態で流れる第１サンプルガスラインである。２は
第１サンプルガスライン１から分岐すると共に、サンプ
ルガスＧ中のNO2をNOに変換するコンバータ３を備え、
サンプルガスＧに何らかの処理を施してなるサンプルガ
スＧ′が流れる第２サンプルガスラインである。そし
て、両ガスライン1,2の下流側には、化学発光式ガス分
析計（Chemiluminescence Detector,以下、CLDと云う）
の分析部4,5がそれぞれ設けられている。6,7は両分析部
4,5にオゾンをそれぞれ供給するオゾンラインで、図外
のオゾン発生器に接続されている。8,9は分析部4,5から
の出力をそれぞれ増幅するアンプ、10は両アンプ8,9を
それぞれ経由した分析部4,5の出力信号S4,S5の差をとる
減算器、11,12,13は出力端子である。
同時出力を行うようにしていた。すなわち、この図にお
いて、１は図外のサンプルガス源からのサンプルガスＧ
（このサンプルガスＧ中には、NO,NO2およびNOXを始め
として複数の成分が含まれているものとする）がそのま
まの状態で流れる第１サンプルガスラインである。２は
第１サンプルガスライン１から分岐すると共に、サンプ
ルガスＧ中のNO2をNOに変換するコンバータ３を備え、
サンプルガスＧに何らかの処理を施してなるサンプルガ
スＧ′が流れる第２サンプルガスラインである。そし
て、両ガスライン1,2の下流側には、化学発光式ガス分
析計（Chemiluminescence Detector,以下、CLDと云う）
の分析部4,5がそれぞれ設けられている。6,7は両分析部
4,5にオゾンをそれぞれ供給するオゾンラインで、図外
のオゾン発生器に接続されている。8,9は分析部4,5から
の出力をそれぞれ増幅するアンプ、10は両アンプ8,9を
それぞれ経由した分析部4,5の出力信号S4,S5の差をとる
減算器、11,12,13は出力端子である。
而して、上記構成のCLDにおいては、分析部4,5にサン
プルガスG,G′およびオゾンを供給したとき、オゾンと
反応するのはサンプルガスG,G′中のNOだけであるか
ら、一方の分析部４によってNOの濃度が測定され、その
濃度に対応した信号S4が出力端子11に出力される。ま
た、他方の分析部５によってNOXの濃度が測定され、そ
の濃度に対応した信号S5が出力端子12に出力される。そ
して、減算器10によって減算を行うことにより、NOX−N
Oの濃度、つまり、NO2の濃度に対応する信号S5−S4が出
力端子13に出力され、サンプルガスＧ中のNO,NO2および
NOXの濃度を同時に得ることができる。
プルガスG,G′およびオゾンを供給したとき、オゾンと
反応するのはサンプルガスG,G′中のNOだけであるか
ら、一方の分析部４によってNOの濃度が測定され、その
濃度に対応した信号S4が出力端子11に出力される。ま
た、他方の分析部５によってNOXの濃度が測定され、そ
の濃度に対応した信号S5が出力端子12に出力される。そ
して、減算器10によって減算を行うことにより、NOX−N
Oの濃度、つまり、NO2の濃度に対応する信号S5−S4が出
力端子13に出力され、サンプルガスＧ中のNO,NO2および
NOXの濃度を同時に得ることができる。
しかしながら、上記構成によれば、分析部が２つ必要
でありコストアップとなると共に、厳密な測定を要求さ
れる場合には使用する２つの分析部4,5の感度変化や応
答性などの測定特性を揃える必要があるが、このような
ことは極めて困難であり、従て、NO2の測定精度が低下
するといった大きな問題点がある。
でありコストアップとなると共に、厳密な測定を要求さ
れる場合には使用する２つの分析部4,5の感度変化や応
答性などの測定特性を揃える必要があるが、このような
ことは極めて困難であり、従て、NO2の測定精度が低下
するといった大きな問題点がある。
このような問題は、上記CLDのみならず、FID（水素炎
イオン化検出器;Flame Ionization Detector）を用いて
全炭化水素濃度，メタン濃度および非メタン濃度を同時
に測定する場合や、赤外線ガス分析計などにおいても生
じているところである。
イオン化検出器;Flame Ionization Detector）を用いて
全炭化水素濃度，メタン濃度および非メタン濃度を同時
に測定する場合や、赤外線ガス分析計などにおいても生
じているところである。
また、互いに独立した２つのサンプルガスラインをそ
れぞれ流れるサンプルガスに含まれる同一の成分につい
て同時に測定するような場合にも、上記従来例と同様に
分析部が２つ必要であり、従って、この場合も上述の問
題点があることは同様である。
れぞれ流れるサンプルガスに含まれる同一の成分につい
て同時に測定するような場合にも、上記従来例と同様に
分析部が２つ必要であり、従って、この場合も上述の問
題点があることは同様である。
本発明は、上述の事柄に留意してなされたもので、そ
の一つの目的は、サンプルガスに含まれる複数成分の濃
度を同時に測定することができる安価で測定精度が高い
ガス分析計を提供することにあり、また、他の目的は、
複数のサンプルガスラインをそれぞれ流れるサンプルガ
スに含まれる同一成分の濃度を同時に測定することがで
きる安価で測定精度が高いガス分析計を提供することに
ある。
の一つの目的は、サンプルガスに含まれる複数成分の濃
度を同時に測定することができる安価で測定精度が高い
ガス分析計を提供することにあり、また、他の目的は、
複数のサンプルガスラインをそれぞれ流れるサンプルガ
スに含まれる同一成分の濃度を同時に測定することがで
きる安価で測定精度が高いガス分析計を提供することに
ある。
上述の目的を達成するため、第１発明に係るガス分析
計は、単一の分析部に対して、サンプルガスがそのまま
の状態で流れる第１サンプルガスラインと、この第１サ
ンプルガスラインから分岐すると共に、前記サンプルガ
ス中の特定成分を処理する処理部を備えた第２サンプル
ガスラインと、ゼロガスが流れるゼロガスラインとを互
いに並列に接続すると共に、ガス制御機構によって前記
第１サンプルガスラインを流れるサンプルガスと前記第
２サンプルガスラインを流れる処理後のサンプルガスと
を前記ゼロガスを介して交互に前記分析部に一定周期で
切換え導入し、そのときの分析部からの出力を前記切換
え周期と同一周期及びその1/2の周期の変調周波数に基
づく信号にそれぞれ分離し、これらの信号を加算および
減算することにより前記サンプルガス中に含まれる成分
の濃度を検出するようにした点に特徴がある。
計は、単一の分析部に対して、サンプルガスがそのまま
の状態で流れる第１サンプルガスラインと、この第１サ
ンプルガスラインから分岐すると共に、前記サンプルガ
ス中の特定成分を処理する処理部を備えた第２サンプル
ガスラインと、ゼロガスが流れるゼロガスラインとを互
いに並列に接続すると共に、ガス制御機構によって前記
第１サンプルガスラインを流れるサンプルガスと前記第
２サンプルガスラインを流れる処理後のサンプルガスと
を前記ゼロガスを介して交互に前記分析部に一定周期で
切換え導入し、そのときの分析部からの出力を前記切換
え周期と同一周期及びその1/2の周期の変調周波数に基
づく信号にそれぞれ分離し、これらの信号を加算および
減算することにより前記サンプルガス中に含まれる成分
の濃度を検出するようにした点に特徴がある。
また、第２発明に係るガス分析計は、単一の分析部に
対して、互いに独立し、互いに異なったサンプルガスが
流れる第１サンプルガスラインおよび第２サンプルガス
ラインと、ゼロガスが流れるゼロガスラインとを互いに
並列に接続すると共に、ガス制御機構によって前記第１
サンプルガスラインを流れるサンプルガスと前記第２サ
ンプルガスラインを流れるサンプルガスとを前記ゼロガ
スを介して交互に前記分析部に一定周期で切換え導入
し、そのときの分析部からの出力を前記切換え周期と同
一周期及びその1/2の周期の変調周波数に基づく信号に
それぞれ分離し、これらの信号を加算および減算するこ
とにより前記各サンプルガス中にそれぞれ含まれる同一
成分の濃度を検出するようにした点に特徴がある。
対して、互いに独立し、互いに異なったサンプルガスが
流れる第１サンプルガスラインおよび第２サンプルガス
ラインと、ゼロガスが流れるゼロガスラインとを互いに
並列に接続すると共に、ガス制御機構によって前記第１
サンプルガスラインを流れるサンプルガスと前記第２サ
ンプルガスラインを流れるサンプルガスとを前記ゼロガ
スを介して交互に前記分析部に一定周期で切換え導入
し、そのときの分析部からの出力を前記切換え周期と同
一周期及びその1/2の周期の変調周波数に基づく信号に
それぞれ分離し、これらの信号を加算および減算するこ
とにより前記各サンプルガス中にそれぞれ含まれる同一
成分の濃度を検出するようにした点に特徴がある。
上記構成よりなる第１発明によれば、サンプルガスの
分析を行うために使用される分析部は唯一つであり、こ
の分析部からの出力を、分析部に供給されるサンプルガ
スおよびゼロガスの切換え周期と同一周期及びその1/2
の周期の変調周波数に基づく信号にそれぞれ分離した
後、加算および減算を行うだけで複数成分の濃度に関す
る信号を得ることができるから、コストダウンが図れる
と共に、精度の高い測定を行うことができる。
分析を行うために使用される分析部は唯一つであり、こ
の分析部からの出力を、分析部に供給されるサンプルガ
スおよびゼロガスの切換え周期と同一周期及びその1/2
の周期の変調周波数に基づく信号にそれぞれ分離した
後、加算および減算を行うだけで複数成分の濃度に関す
る信号を得ることができるから、コストダウンが図れる
と共に、精度の高い測定を行うことができる。
また、上記構成よりなる第２発明においても、第１発
明と同じように分析部は唯一つでよく、この場合は、各
サンプルガスにそれぞれ含まれる同一成分の濃度を同時
に検出することができる。
明と同じように分析部は唯一つでよく、この場合は、各
サンプルガスにそれぞれ含まれる同一成分の濃度を同時
に検出することができる。
以下、本発明の実施例を図面を参照しながら説明す
る。
る。
以下の説明において、第８図に示した符号と同一符号
は同一物または相当物を示す。
は同一物または相当物を示す。
第１図〜第４図は第１発明に係る一実施例を示し、先
ず、第１図は本発明に係るガス分析計としてのCLDの概
略的な構成を示す。この図において、14は分析部で、こ
の分析部14には、図外のサンプルガス源のサンプルガス
Ｇがそのままの状態で流れる第１サンプルガスライン１
と、この第１サンプルガスライン１から分岐すると共
に、前記サンプルガスＧ中の特定成分を処理する処理部
３（この処理部３としては、例えばサンプルガスＧ中の
NO2をNOに変換するコンバータ）を備えてなる処理後の
サンブルガルＧ′が流れる第２サンプルガスライン２
と、図外のゼロガス源からのゼロガスＺが流れるゼロガ
スライン15とが互いに並列に接続されていると共に、図
外のオゾン発生源から供給されるオゾンを導入するため
のオゾンライン16が接続されている。
ず、第１図は本発明に係るガス分析計としてのCLDの概
略的な構成を示す。この図において、14は分析部で、こ
の分析部14には、図外のサンプルガス源のサンプルガス
Ｇがそのままの状態で流れる第１サンプルガスライン１
と、この第１サンプルガスライン１から分岐すると共
に、前記サンプルガスＧ中の特定成分を処理する処理部
３（この処理部３としては、例えばサンプルガスＧ中の
NO2をNOに変換するコンバータ）を備えてなる処理後の
サンブルガルＧ′が流れる第２サンプルガスライン２
と、図外のゼロガス源からのゼロガスＺが流れるゼロガ
スライン15とが互いに並列に接続されていると共に、図
外のオゾン発生源から供給されるオゾンを導入するため
のオゾンライン16が接続されている。
そして、17は前記ガスG,G′Ｚを一定周期で前記分析
部14に順次導入するガス制御機構で、例えばガスライン
1,2,15にそれぞれ介装され、図外の制御装置によって開
閉制御される電磁弁18,19,20とからなり、電磁弁19はコ
ンバータ３の下流側に、また、電磁弁20はゼロガスＺを
精製するスクラバー21の下流側にそれぞれ設けられてい
る。22は分析部14からのガス中に残存するオゾンを分解
するオゾン分解器、23は吸引ポンプである。
部14に順次導入するガス制御機構で、例えばガスライン
1,2,15にそれぞれ介装され、図外の制御装置によって開
閉制御される電磁弁18,19,20とからなり、電磁弁19はコ
ンバータ３の下流側に、また、電磁弁20はゼロガスＺを
精製するスクラバー21の下流側にそれぞれ設けられてい
る。22は分析部14からのガス中に残存するオゾンを分解
するオゾン分解器、23は吸引ポンプである。
そして、上記構成のCLDにおいては、オゾンを分析部1
4に供給している状態において、電磁弁18,19,20を一定
周期で切換え制御して開閉することにより、第１サンプ
ルガスライン１を流れるサンプルガスＧと第２サンプル
ガスライン２を流れるサンプルガスＧ′とがゼロガスＺ
を介して交互に分析部14に一定周期で導入されるように
してある。すなわち、第２図に示すように、電磁弁18−
電磁弁20−電磁弁19−電磁弁20…というように、電磁弁
18,19,20を一定時間（例えば0.5秒）ずつ開いて、サン
プルガスG,G′が必ずゼロガスＺを介して分析部14に供
給されるようにしてある。このようにしてガスG,G′Ｚ
を分析部14に供給した場合、分析部14からは第２図に示
すように、NO,ゼロガス、NOXにそれぞれ対応した出力が
得られる。
4に供給している状態において、電磁弁18,19,20を一定
周期で切換え制御して開閉することにより、第１サンプ
ルガスライン１を流れるサンプルガスＧと第２サンプル
ガスライン２を流れるサンプルガスＧ′とがゼロガスＺ
を介して交互に分析部14に一定周期で導入されるように
してある。すなわち、第２図に示すように、電磁弁18−
電磁弁20−電磁弁19−電磁弁20…というように、電磁弁
18,19,20を一定時間（例えば0.5秒）ずつ開いて、サン
プルガスG,G′が必ずゼロガスＺを介して分析部14に供
給されるようにしてある。このようにしてガスG,G′Ｚ
を分析部14に供給した場合、分析部14からは第２図に示
すように、NO,ゼロガス、NOXにそれぞれ対応した出力が
得られる。
第３図は前記分析部14からの出力を処理する回路の構
成例を示し、この図において、24は分析部14からの出力
S14を適宜増幅するプリアンプである。そして、このプ
リアンプ24の出力側には、前記出力S14を電磁弁18,19,2
0の切換え周期と同一周期及びその1/2の周期の変調周波
数に基づく信号にそれぞれ分離するための、２つの処理
ライン25,26が設けられている。すなわち、一方の処理
ライン25には例えば1Hzの信号のみを通過させるバンド
パスフィルタ27と、このバンドパスフィルタ27の出力ａ
を1Hzで同期整流する同期検波回路28と、ゲイン調整回
路29とが直列に接続してある。また、他方の処理ライン
26には例えば0.5Hzの信号のみを通過させるバンドパス
フィルタ30と、このバンドパスフィルタ30の出力ｂを0.
5Hzで同期整流する同期検波回路31と、ゲイン調整回路3
2とが直列に接続してある。
成例を示し、この図において、24は分析部14からの出力
S14を適宜増幅するプリアンプである。そして、このプ
リアンプ24の出力側には、前記出力S14を電磁弁18,19,2
0の切換え周期と同一周期及びその1/2の周期の変調周波
数に基づく信号にそれぞれ分離するための、２つの処理
ライン25,26が設けられている。すなわち、一方の処理
ライン25には例えば1Hzの信号のみを通過させるバンド
パスフィルタ27と、このバンドパスフィルタ27の出力ａ
を1Hzで同期整流する同期検波回路28と、ゲイン調整回
路29とが直列に接続してある。また、他方の処理ライン
26には例えば0.5Hzの信号のみを通過させるバンドパス
フィルタ30と、このバンドパスフィルタ30の出力ｂを0.
5Hzで同期整流する同期検波回路31と、ゲイン調整回路3
2とが直列に接続してある。
そして、これらの処理ライン25,26の出力側には、一
方の処理ライン25の出力から他方の処理ライン26の出力
を減算する減算器33と、前記両処理ライン25,26の出力
同士を加算する加算器34と、加算器34の出力から減算器
33の出力を減算する減算器35と、減算器33,35の出力同
士を加算する加算器36とからなる演算回路37が設けてあ
り、さらに、この演算回路37の出力側に、減算器33の出
力をそのまま出力する出力端子38と、加算器36の出力側
に接続された出力端子39と、減算器35の出力をそのまま
出力する出力端子40とが設けられている。
方の処理ライン25の出力から他方の処理ライン26の出力
を減算する減算器33と、前記両処理ライン25,26の出力
同士を加算する加算器34と、加算器34の出力から減算器
33の出力を減算する減算器35と、減算器33,35の出力同
士を加算する加算器36とからなる演算回路37が設けてあ
り、さらに、この演算回路37の出力側に、減算器33の出
力をそのまま出力する出力端子38と、加算器36の出力側
に接続された出力端子39と、減算器35の出力をそのまま
出力する出力端子40とが設けられている。
次に、このように構成されたCLDの動作について、第
４図をも参照しながら説明すると、分析部14にオゾンを
供給している状態において、電磁弁18,19,20の開時間が
0.5秒になるように切換え制御して分析部14に対して第
１サンプルガスライン１を流れるサンプルガスＧと、第
２サンプルガスライン２を流れるサンプルガスＧ′と
を、ゼロガスライン15を流れるゼロガスＺを介して分析
部14に供給すると、第３図および第４図（Ａ）に示すよ
うな出力S14が分析部14から出力される。この出力S14は
プリアンプ24において適宜増幅された後、２つの処理ラ
イン25,26にそれぞれ入力される。
４図をも参照しながら説明すると、分析部14にオゾンを
供給している状態において、電磁弁18,19,20の開時間が
0.5秒になるように切換え制御して分析部14に対して第
１サンプルガスライン１を流れるサンプルガスＧと、第
２サンプルガスライン２を流れるサンプルガスＧ′と
を、ゼロガスライン15を流れるゼロガスＺを介して分析
部14に供給すると、第３図および第４図（Ａ）に示すよ
うな出力S14が分析部14から出力される。この出力S14は
プリアンプ24において適宜増幅された後、２つの処理ラ
イン25,26にそれぞれ入力される。
一方の処理ライン25において、前記出力S14が1Hzのバ
ンドパスフィルタ27に入力すると、同図（Ｃ）において
実線で示すような信号となるが、このとき、同期信号は
同図（Ｂ）において正負の符号（−，＋）で示すように
なっているから、結局はハッチングで示したような信号
ａが出力される。そして、この信号ａを同期検波回路28
において1Hzで同期整流すると、同図（Ｄ）において実
線ｃで示すような出力が得られ、この出力ｃは、同図
（Ｄ）においてd,eでそれぞれ示すNOXの濃度信号とNOの
濃度信号との加算平均｛（NOX＋NO）/2｝に等しい。前
記出力ｃはゲイン調整回路29を経て演算回路37に入力さ
れる。
ンドパスフィルタ27に入力すると、同図（Ｃ）において
実線で示すような信号となるが、このとき、同期信号は
同図（Ｂ）において正負の符号（−，＋）で示すように
なっているから、結局はハッチングで示したような信号
ａが出力される。そして、この信号ａを同期検波回路28
において1Hzで同期整流すると、同図（Ｄ）において実
線ｃで示すような出力が得られ、この出力ｃは、同図
（Ｄ）においてd,eでそれぞれ示すNOXの濃度信号とNOの
濃度信号との加算平均｛（NOX＋NO）/2｝に等しい。前
記出力ｃはゲイン調整回路29を経て演算回路37に入力さ
れる。
また、他方の処理ライン26において、前記出力S14が
0.5Hzのバンドパスフィルタ30に入力すると、同図
（Ｆ）において実線で示すような信号となるが、このと
き、同期信号は同図（Ｅ）において正負の符号（−，
＋）で示すようになっているから、結局はハッチングで
示したような信号ｂが出力される。そして、この信号ｂ
を同期検波回路31において0.5Hzで同期整流すると、同
図（Ｇ）において実線ｆで示すような出力が得られ、こ
の出力ｆは、NOXの濃度信号とNOの濃度信号との差の半
分｛（NOX−NO）/2｝に等しい。前記出力ｆはゲイン調
整回路32を経て演算回路37に入力される。
0.5Hzのバンドパスフィルタ30に入力すると、同図
（Ｆ）において実線で示すような信号となるが、このと
き、同期信号は同図（Ｅ）において正負の符号（−，
＋）で示すようになっているから、結局はハッチングで
示したような信号ｂが出力される。そして、この信号ｂ
を同期検波回路31において0.5Hzで同期整流すると、同
図（Ｇ）において実線ｆで示すような出力が得られ、こ
の出力ｆは、NOXの濃度信号とNOの濃度信号との差の半
分｛（NOX−NO）/2｝に等しい。前記出力ｆはゲイン調
整回路32を経て演算回路37に入力される。
従って、演算回路37において前記出力c,fを減算器33
に入力して所定の減算を行う｛（NOX＋NO）/2−（NOX−
NO）/2｝とNOの濃度信号が得られ、これが出力端子38に
出力される。一方、前記出力c,fを加算器34に入力して
加算する｛（NOX＋NO）/2−（NOX−NO）/2｝と、NOXの
濃度信号が得られる。そして、この実施例では、減算器
35において加算器34の出力から減算器33の出力を減算す
ることによりNO2の濃度信号を求めてこれを出力端子40
に出力させると共に、加算器36において減算器33の出力
と減算器35の出力とを加算してNOXの濃度信号を出力端
子39に出力させているので、サンプルガスＧ中のNO,NO2
およびNOXの濃度を同時に得ることができる。
に入力して所定の減算を行う｛（NOX＋NO）/2−（NOX−
NO）/2｝とNOの濃度信号が得られ、これが出力端子38に
出力される。一方、前記出力c,fを加算器34に入力して
加算する｛（NOX＋NO）/2−（NOX−NO）/2｝と、NOXの
濃度信号が得られる。そして、この実施例では、減算器
35において加算器34の出力から減算器33の出力を減算す
ることによりNO2の濃度信号を求めてこれを出力端子40
に出力させると共に、加算器36において減算器33の出力
と減算器35の出力とを加算してNOXの濃度信号を出力端
子39に出力させているので、サンプルガスＧ中のNO,NO2
およびNOXの濃度を同時に得ることができる。
なお、演算回路37の構成は種々に変形が可能であり、
この実施例に限られるものではない。
この実施例に限られるものではない。
上記実施例においては、分析部14の下流側にオゾン分
解器22を設けてあるので、分析部14からのガス中にオゾ
ンが残留していても分解される。従って、このオゾン分
解器22を経たガスはゼロガスとして用いることができ
る。そこで、第５図に示すように、オゾン分解器22と吸
引ポンプ23との間の点41と電磁弁20の上流側を配管42で
直結して、これをゼロガスラインとしてもよく、このよ
うにすれば、ゼロガス源が不要になる。
解器22を設けてあるので、分析部14からのガス中にオゾ
ンが残留していても分解される。従って、このオゾン分
解器22を経たガスはゼロガスとして用いることができ
る。そこで、第５図に示すように、オゾン分解器22と吸
引ポンプ23との間の点41と電磁弁20の上流側を配管42で
直結して、これをゼロガスラインとしてもよく、このよ
うにすれば、ゼロガス源が不要になる。
また、第６図は煙道内のアンモニア（以下、NH3と表
す）を測定する場合におけるCLDの構成を概略的に示
し、この図において、43は脱硝触媒44を備えた反応管45
（上記処理部３に相当する）と脱硝触媒を備えてない比
較管46とからなるプローブで、図外の煙道内に設けられ
ている。反応管45および比較管46には、NOXおよびNH3を
それぞれNOに変換するコンバータ47と吸引ポンプ48とを
直列に介装してなるガスライン49,50がそれぞれ接続さ
れ、これらのガスライン49,50は電子冷却器51を通過す
るように構成されている。つまり、ガスライン49,50が
それぞれ前記第１図における第１サンプルガスライン1,
第２サンプルガスライン２に相当するように構成してあ
る。52は図外のゼロガス源に接続されたゼロガスライン
である。
す）を測定する場合におけるCLDの構成を概略的に示
し、この図において、43は脱硝触媒44を備えた反応管45
（上記処理部３に相当する）と脱硝触媒を備えてない比
較管46とからなるプローブで、図外の煙道内に設けられ
ている。反応管45および比較管46には、NOXおよびNH3を
それぞれNOに変換するコンバータ47と吸引ポンプ48とを
直列に介装してなるガスライン49,50がそれぞれ接続さ
れ、これらのガスライン49,50は電子冷却器51を通過す
るように構成されている。つまり、ガスライン49,50が
それぞれ前記第１図における第１サンプルガスライン1,
第２サンプルガスライン２に相当するように構成してあ
る。52は図外のゼロガス源に接続されたゼロガスライン
である。
そして、前記ガスライン49,50およびゼロガスライン5
2はそれぞれ電磁弁53,54,55（これらの電磁弁53,54,55
は上述の電磁弁18,19,20と同じくガス制御機構56を構成
している）を介して分析部57に対して互いに並列に接続
されている。また、58はオゾンライン、59はオゾン分解
器である。
2はそれぞれ電磁弁53,54,55（これらの電磁弁53,54,55
は上述の電磁弁18,19,20と同じくガス制御機構56を構成
している）を介して分析部57に対して互いに並列に接続
されている。また、58はオゾンライン、59はオゾン分解
器である。
而して、このように構成されたCLDにおいては、電磁
弁53,54,55を上述の実施例と同様に開閉制御することに
より、分析部57からNOXの濃度からNH3の濃度を減じた濃
度に相当する信号（以下、信号Ａと云う）と、NOXの濃
度に相当する信号（以下、信号Ｂと云う）が得られる。
弁53,54,55を上述の実施例と同様に開閉制御することに
より、分析部57からNOXの濃度からNH3の濃度を減じた濃
度に相当する信号（以下、信号Ａと云う）と、NOXの濃
度に相当する信号（以下、信号Ｂと云う）が得られる。
そして、演算回路は図示してないが、これら両信号A,
Bを減算することによりNH3の濃度が得られ、また、両信
号A,Bを加算したものから信号Ａを減算した結果に1/2を
乗ずるとNOXの濃度が得られる。
Bを減算することによりNH3の濃度が得られ、また、両信
号A,Bを加算したものから信号Ａを減算した結果に1/2を
乗ずるとNOXの濃度が得られる。
第７図は第２発明に係るCLDを示し、この図におい
て、61,62は互いに独立し、互いに異なったサンプルガ
スG1,G2がそれぞれ流れる第１サンプルガスラインおよ
び第２サンプルガスラインで、例えば並列的に配置され
た２つの炉（図外）にそれぞれ接続され、分析部14に対
して互いに並列に接続されている。また、63は図外のゼ
ロガス源からのゼロガスＺが流れるゼロガスライン15
で、前記分析部14対して前記サンプルガスライン61,62
と互いに並列になるように接続されている。そして、64
は前記ガスG1,G2,Zを一定周期で前記分析部14に順次導
入するガス制御機構で、例えばガスライン61,62,63にそ
れぞれ介装され、図外の制御装置によって開閉制御され
る電磁弁65,66,67とからなる。なお、この図において、
第１図における符号と同一符号は同一物を示す。
て、61,62は互いに独立し、互いに異なったサンプルガ
スG1,G2がそれぞれ流れる第１サンプルガスラインおよ
び第２サンプルガスラインで、例えば並列的に配置され
た２つの炉（図外）にそれぞれ接続され、分析部14に対
して互いに並列に接続されている。また、63は図外のゼ
ロガス源からのゼロガスＺが流れるゼロガスライン15
で、前記分析部14対して前記サンプルガスライン61,62
と互いに並列になるように接続されている。そして、64
は前記ガスG1,G2,Zを一定周期で前記分析部14に順次導
入するガス制御機構で、例えばガスライン61,62,63にそ
れぞれ介装され、図外の制御装置によって開閉制御され
る電磁弁65,66,67とからなる。なお、この図において、
第１図における符号と同一符号は同一物を示す。
このように構成したCLDにおいては、上記第１図に示
したCLDと同様の原理により、第１サンプルガスライン6
1および第２サンプルガスライン62をそれぞれ流れるサ
ンプルガスG1,G2にそれぞれ含まれる同一成分、例えばN
Oの濃度を同時に検出することができる。
したCLDと同様の原理により、第１サンプルガスライン6
1および第２サンプルガスライン62をそれぞれ流れるサ
ンプルガスG1,G2にそれぞれ含まれる同一成分、例えばN
Oの濃度を同時に検出することができる。
上述の実施例はいずれもCLDであったが、本発明はこ
れに限られるものではなく、FIDや赤外線ガス分析計に
も適用することができ、例えば全炭化水素濃度，メタン
濃度および非メタン濃度を同時に測定する場合、処理部
３としてはメタンを燃焼させる酸化器を用いるようにす
ればよい。
れに限られるものではなく、FIDや赤外線ガス分析計に
も適用することができ、例えば全炭化水素濃度，メタン
濃度および非メタン濃度を同時に測定する場合、処理部
３としてはメタンを燃焼させる酸化器を用いるようにす
ればよい。
また、ガス制御機構は上記電磁弁以外の機器を用いて
もよいことは云うまでもない。
もよいことは云うまでもない。
以上説明したように、請求項（１）によれば、サンプ
ルガスに含まれる複数成分の濃度を同時に測定すること
ができる。また、請求項（２）によれば、複数のサンプ
ルガスラインをそれぞれ流れるサンプルガスに含まれる
同一成分の濃度を同時に測定することができる。
ルガスに含まれる複数成分の濃度を同時に測定すること
ができる。また、請求項（２）によれば、複数のサンプ
ルガスラインをそれぞれ流れるサンプルガスに含まれる
同一成分の濃度を同時に測定することができる。
そして、上記請求項（１）および（２）のいずれによ
っても、ガス分析計の構成が簡単になり、それだけ安価
になると共に、精度の高い測定を行うことができる。
っても、ガス分析計の構成が簡単になり、それだけ安価
になると共に、精度の高い測定を行うことができる。
第１図〜第６図は第１発明に係る実施例を示し、第１図
は本発明を適用したCLDの概略構成図、第２図は制御弁
の開閉順序と分析部の出力の関係を示す図、第３図は信
号処理部の構成例を示す図、第４図は信号処理部におけ
る処理内容を説明するための波形図である。第５図は第
１発明の他の実施例に係るCLDの概略構成図であり、第
６図は第１発明のさらに他の実施例に係るCLDの概略構
成図である。 第７図は第２発明に係る実施例を示す概略構成図であ
る。 第８図は従来例を示す構成図である。 1,49,61……第１サンプルガスライン、2,50,62……第２
サンプルガスライン、3,45……処理部、14,57……分析
部、15,42,52,63……ゼロガスライン、17,56,64……ガ
ス制御機構、33,35……減算器、34,36……加算器、G,
G1,G2……サンプルガス、Ｇ′……処理後のサンプルガ
ス、Ｚ……ゼロガス。
は本発明を適用したCLDの概略構成図、第２図は制御弁
の開閉順序と分析部の出力の関係を示す図、第３図は信
号処理部の構成例を示す図、第４図は信号処理部におけ
る処理内容を説明するための波形図である。第５図は第
１発明の他の実施例に係るCLDの概略構成図であり、第
６図は第１発明のさらに他の実施例に係るCLDの概略構
成図である。 第７図は第２発明に係る実施例を示す概略構成図であ
る。 第８図は従来例を示す構成図である。 1,49,61……第１サンプルガスライン、2,50,62……第２
サンプルガスライン、3,45……処理部、14,57……分析
部、15,42,52,63……ゼロガスライン、17,56,64……ガ
ス制御機構、33,35……減算器、34,36……加算器、G,
G1,G2……サンプルガス、Ｇ′……処理後のサンプルガ
ス、Ｚ……ゼロガス。
Claims (2)
- 【請求項１】単一の分析部に対して、サンプルガスがそ
のままの状態で流れる第１サンプルガスラインと、この
第１サンプルガスラインから分岐すると共に、前記サン
プルガス中の特定成分を処理する処理部を備えた第２サ
ンプルガスラインと、ゼロガスが流れるゼロガスライン
とを互いに並列に接続すると共に、ガス制御機構によっ
て前記第１サンプルガスラインを流れるサンプルガスと
前記第２サンプルガスラインを流れる処理後のサンプル
ガスとを前記ゼロガスを介して交互に前記分析部に一定
周期で切換え導入し、そのときの分析部からの出力を前
記切換え周期と同一周期及びその1/2の周期の変調周波
数に基づく信号にそれぞれ分離し、これらの信号を加算
および減算することにより前記サンプルガス中に含まれ
る複数成分の濃度を検出するようにしたことを特徴とす
るガス分析計。 - 【請求項２】単一の分析部に対して、互いに独立し、互
いに異なったサンプルガスが流れる第１サンプルガスラ
インおよび第２サンプルガスラインと、ゼロガスが流れ
るゼロガスラインとを互いに並列に接続すると共に、ガ
ス制御機構によって前記第１サンプルガスラインを流れ
るサンプルガスと前記第２サンプルガスラインを流れる
サンプルガスとを前記ゼロガスを介して交互に前記分析
部に一定周期で切換え導入し、そのときの分析部からの
出力を前記切換え周期と同一周期及びその1/2の周期の
変調周波数に基づく信号にそれぞれ分離し、これらの信
号を加算および減算することにより前記各サンプルガス
中にそれぞれ含まれる同一成分の濃度を検出するように
したことを特徴とするガス分析計。
Priority Applications (4)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2188254A JPH0810216B2 (ja) | 1990-07-17 | 1990-07-17 | ガス分析計 |
| EP91111870A EP0467307B1 (en) | 1990-07-17 | 1991-07-16 | Gas analyzer |
| AT91111870T ATE144047T1 (de) | 1990-07-17 | 1991-07-16 | Gasanalysator |
| DE69122564T DE69122564T2 (de) | 1990-07-17 | 1991-07-16 | Gasanalysator |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2188254A JPH0810216B2 (ja) | 1990-07-17 | 1990-07-17 | ガス分析計 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH0474963A JPH0474963A (ja) | 1992-03-10 |
| JPH0810216B2 true JPH0810216B2 (ja) | 1996-01-31 |
Family
ID=16220473
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP2188254A Expired - Fee Related JPH0810216B2 (ja) | 1990-07-17 | 1990-07-17 | ガス分析計 |
Country Status (4)
| Country | Link |
|---|---|
| EP (1) | EP0467307B1 (ja) |
| JP (1) | JPH0810216B2 (ja) |
| AT (1) | ATE144047T1 (ja) |
| DE (1) | DE69122564T2 (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2015127679A (ja) * | 2013-12-27 | 2015-07-09 | 株式会社堀場製作所 | ガス分析装置 |
Families Citing this family (7)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US5115666A (en) * | 1990-02-08 | 1992-05-26 | Sentech Corporation | Method of detecting halogen gas in a liquid |
| JP3325673B2 (ja) * | 1993-10-25 | 2002-09-17 | アークレイ株式会社 | 呼気中の成分濃度補正方法及び呼気分析装置 |
| EP0762103B1 (en) * | 1995-08-31 | 2002-09-11 | New Oji Paper Co., Ltd. | Concentration measuring apparatus |
| JPH10274630A (ja) * | 1997-03-31 | 1998-10-13 | Ngk Insulators Ltd | 低濃度ＮＯｘ計測器 |
| US6105416A (en) | 1998-10-16 | 2000-08-22 | Geo-Centers, Inc. | Ethylene monitoring and control system |
| DE102008028682A1 (de) * | 2008-06-17 | 2010-02-25 | Airbus Deutschland Gmbh | Verfahren zum Vermessen von Gaskonzentrationen mittels eines Metalloxid-Gassensors, Sensorvorrichtung zum Durchführen des Verfahrens sowie Verwendung desselben |
| DE102009004278A1 (de) * | 2009-01-05 | 2010-07-15 | Synthesechemie Dr. Penth Gmbh | Messgerät für geringe Kohlenwasserstoffkonzentrationen |
Family Cites Families (6)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| NL7314801A (nl) * | 1973-10-27 | 1975-04-29 | Philips Nv | Werkwijze voor kwantitatieve analyse. |
| US4316382A (en) * | 1980-07-21 | 1982-02-23 | Hewlett-Packard Company | Detector with intermittent flow |
| US4432226A (en) * | 1982-02-05 | 1984-02-21 | Dempster Philip T | Method and apparatus for measuring gaseous oxygen |
| JPS5987361A (ja) * | 1982-11-11 | 1984-05-19 | Yamatake Honeywell Co Ltd | ガスクロマトグラフ |
| JPH0548124Y2 (ja) * | 1988-06-30 | 1993-12-20 | ||
| US4947339A (en) * | 1988-12-01 | 1990-08-07 | Jan Czekajewski | Method and apparatus for measuring respiration, oxidation and similar interacting between a sample and a selected component of a fluid medium |
-
1990
- 1990-07-17 JP JP2188254A patent/JPH0810216B2/ja not_active Expired - Fee Related
-
1991
- 1991-07-16 DE DE69122564T patent/DE69122564T2/de not_active Expired - Fee Related
- 1991-07-16 AT AT91111870T patent/ATE144047T1/de not_active IP Right Cessation
- 1991-07-16 EP EP91111870A patent/EP0467307B1/en not_active Expired - Lifetime
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2015127679A (ja) * | 2013-12-27 | 2015-07-09 | 株式会社堀場製作所 | ガス分析装置 |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| EP0467307B1 (en) | 1996-10-09 |
| JPH0474963A (ja) | 1992-03-10 |
| DE69122564T2 (de) | 1997-04-17 |
| DE69122564D1 (de) | 1996-11-14 |
| ATE144047T1 (de) | 1996-10-15 |
| EP0467307A3 (en) | 1992-06-03 |
| EP0467307A2 (en) | 1992-01-22 |
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