JPH08101406A - アクティブマトリクスパネル - Google Patents

アクティブマトリクスパネル

Info

Publication number
JPH08101406A
JPH08101406A JP7232707A JP23270795A JPH08101406A JP H08101406 A JPH08101406 A JP H08101406A JP 7232707 A JP7232707 A JP 7232707A JP 23270795 A JP23270795 A JP 23270795A JP H08101406 A JPH08101406 A JP H08101406A
Authority
JP
Japan
Prior art keywords
active matrix
pixel electrode
gate
lines
tft
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Granted
Application number
JP7232707A
Other languages
English (en)
Other versions
JP2626638B2 (ja
Inventor
Yojiro Matsueda
洋二郎 松枝
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Seiko Epson Corp
Original Assignee
Seiko Epson Corp
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Seiko Epson Corp filed Critical Seiko Epson Corp
Priority to JP23270795A priority Critical patent/JP2626638B2/ja
Publication of JPH08101406A publication Critical patent/JPH08101406A/ja
Application granted granted Critical
Publication of JP2626638B2 publication Critical patent/JP2626638B2/ja
Anticipated expiration legal-status Critical
Expired - Lifetime legal-status Critical Current

Links

Classifications

    • HELECTRICITY
    • H10SEMICONDUCTOR DEVICES; ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • H10KORGANIC ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES
    • H10K59/00Integrated devices, or assemblies of multiple devices, comprising at least one organic light-emitting element covered by group H10K50/00
    • H10K59/10OLED displays
    • H10K59/12Active-matrix OLED [AMOLED] displays

Abstract

(57)【要約】 【課題】画素電極とデータ線の隙間から漏れる光によ
り、コントラスト比の低下を招く。 【解決手段】隣りのゲート線を画素電極とデータ線の隙
間を覆うように延在して形成して、画素電極とデータ線
の隙間から漏れる光を遮断する。

Description

【発明の詳細な説明】
【0001】
【発明の属する技術分野】本発明はアクティブマトリク
スパネルの構造に関する。
【0002】
【従来の技術】従来アクティブマトリクスパネルの構造
は「日経エレクトロニクス 1984年9月10日号N
o351P221〜240」に示されるようなものであ
った。図2はアクティブマトリクスパネルの画素部分の
平面図の例てある。22はポリシリコンまたはアモルフ
ァスシリコンの薄膜でTFTのチャネル部及びソース・
ドレイソ電極を形成している。
【0003】24はポリシリコンや金属からなる薄膜で
TFTのゲート電極及び走査線を形成している。26は
画素電極、27はデータ線である。
【0004】
【発明が解決しようとする課題】しかし前述の従来技術
では以下に述べるような問題点を生じる。まず第1に、
液晶に印加される電圧は液晶自身の時定数に依存するた
め、温度が変化すると液晶の時定数が変化して表示状態
も変化するという問題点である。特に高温においては液
晶の抵抗が小さくなり時定数も短くなるためコントラス
ト比が減少する。第2の問題点は、液晶は交流流駆動す
る必要があるため通常はビデオ信号を交流反転して用い
るが、この信号の極性の違いによりTFTの書き込み及
び保持の状態も異なるため、液晶に印加される電圧が非
対称な成分を持ち、フリッカーを生じるというものであ
る。
【0005】本発明はこれらの問題を解決するものであ
り、その目的とするところは、高温でもコントラスト比
が減少することなく、かつフリッカーの少ないアクティ
ブマトリクスパネルの構造を与えるところにある。
【0006】
【課題を解決するための手段】本発明のアクティブマト
リクスパネルは、前段の走査線の上部または下部にTF
Tのチャネル部と同じ導電膜をゲート絶縁膜を介して配
置し、前記導電膜が画素電極に接続されていることを特
徴とする。
【0007】
【作用】本発明の上記の構造によれば、液晶の容量と並
列にゲート絶縁膜の容量が付加されることとなり液晶の
時定数が長くなるためコントラスト比が大きくなる。ま
た、温度が上昇して液晶の時定数が小さくなってもゲー
ト絶縁膜の容量は変化しないため、コントラスト比の減
少を抑えることができる。さらにビデオ信号の極性の違
いにより生ずるTFTの書き込み及び保持における非対
称な動作の影響を受けにくくなりフリッカーが減少す
る。
【0008】
【発明の実施の形態】
〔実施例1〕図1(a)は本発明の一実施例を示すアク
ティブマトリクスパネルの平面図であり、同図(b)及
び(c)はそれぞれ同図(a)のAーB及びC一Dにお
ける断面図である。この図を用いて製造工程に従い説明
する。まず絶縁基板1上にポリシリコンまたはアモルフ
ァスシリコンの薄膜2をデポジットし図のようにパター
ニングする。この薄膜はTFTのチャネル部及びソース
・ドレイン電極、そして容量を作り込むための電極とな
る。次にゲート絶縁膜3を形成し、その上にゲート電極
も兼ねる走査線4を形成する。その材料としてはポリシ
リコンTFTの場合にはポリシリコンや高融点金属が、
アモルファスシリコンTFTの場合には通常の金属や透
明導電膜等が用いられている。この上に層間絶縁膜5を
デポジットし、コンタクトホールを開ロし、画素電極6
及びデータ線7を形成したものがアクティブマトリクス
基板である。この基板と数μmの空間を介して、共通電
極を有するもう一つの基板を対向させ、この空間に液晶
を封入したものがアクティブマトリクスパネルである。
【0009】図3は、N型のMOSキャパシタのゲート
電圧依存性を示したものである。ゲート電圧VG がしき
い値電圧Vthを越えると容量は増大しCO となりしき
い値電圧以下では重なり容量Cgso なる。従ってVG
Vthの領域でMOS容量を使うことが望ましいが、本
実施例においては図1(C)の前段の走査線4の下に作
り込んだMOS容量はTFTと同じ導電型であり、例え
ばN型の場合にはTFTがOFFしている通常の状態で
はVG <VthであるためにCgso のみの容量となる。
しかし、ゲート膜の厚さは液晶の封入される空間に対し
て十分薄いため、単位面績あたりの容量が大きくなり図
1(a)に示すようなパターンの重なり容量Cgso のみ
でも、画素電極6によって駆動される液晶の容量の30
〜50%程度の容量となる。このMOS容量は液晶の容
量と並列に付加されるため、見かけ上液晶の時定数が増
大し、表示性能が大巾に向上する。これを図4を用いて
説明する。この図はアクティブマトリクスパネルの各部
の電位を示す図であり、横軸に時刻、縦軸に電位をとっ
てある。周知のように、NTSCのビデオ信号はインタ
ーレースされた2つのフィールド、すなわち奇数フィー
ルドと偶数フィールドによって1フレームが構成され1
つの画面が完成される。液晶は交流駆動しなくてはなら
ないため、データ線の信号は42のように交流反転させ
たものを用いる。41は走査線の信号であり、Nチャネ
ルのTFTで駆動する場合にはこのようなパルスが必要
となる。44及び45はそれそれ従来例と本発明の実施
例における画素電極の電位であり、43は共通電極の電
位である。この共通電極と画素電極の間の電位差が液晶
に印加される電圧である。時刻t0から時刻t3までを奇
数フィールド、時刻t3からt6 までを偶数フィールド
とすると、まず奇数フィールドにおいて時刻t1 におい
てTFTがONし、画素電極にデータ線の信号が書き込
まれ、時刻t2 においてTFTがOFFするとある時定
数で画素電極電位は共通電極電位に向かって放電する。
同様に偶数フィールドにおいても、時刻t4 においてT
FTがONし、画素電極にデータ線の信号が書き込ま
れ、時刻t5においてTFTがOFFすると画素電極電
位は共通電極電位に向かって放電していく。斜線で示し
た部分は本実施において液晶に印加される電圧であり、
従来例に比べて時定数が長くなったこととより、より大
きな電圧を印加することがてきることがわかる。このた
めコン卜ラスト比が増大する。また、MOS容量とTF
Tのドレイン電極との間の配線部は図1(a)のように
データ線と画素電極の間に配置することにより、このす
き間からもれる光を遮断する働きもあるため、コントラ
スト比を増大させるとともに、画像のきれがよくなる。
さらに、温度の変化に対して液晶の時定数が多少変動し
ても、付加したMOS容量は変化しないため図3の斜線
部の面積はあまり変動しない。すなわち、広い温度範囲
で再現性のよい表示画面を得ることがてきる。その上、
フリッカーも従来例に対して3〜5dB下がることが出
願人の実験で確かめられた。これは奇数フィールドと偶
数フィールドでのTFTの書き込み及び保持における非
対称な動作の影響をうけにくくなるためである。
【0010】〔実施例2〕図5(a)は本発明の第2の
実施例におけるアクティグマトリクスパネルの平面図で
あり、同図(b)及び(c)はそれぞれ同図(a)のA
ーB及びC一Dにおける断面図でもる。このアクティグ
マトリクスパネルは第1の実施例と全く同じ工程を用い
て製造することができる。61〜67はそれぞれ図1の
1〜7に対応しており、61は絶縁基板、62はポリシ
リコンまたはアモルファスシリコンの薄膜、63はゲー
ト絶縁膜、64は走査線、65は層間絶縁膜、66は画
素電極、67はデータ線である。透過型の場合は、66
の画素電極には透明導電膜を用い、67のデータ線には
画素電極と同じ透明導電膜または金属の薄膜を用いる。
【0011】本実施例においては第1の実施例と同じ
く、前段の走査線64の下にTFTと同じ導電型のMO
S容量を作り込んであるため、TFTがOFFしている
通常の状態では重なり容量のみが有効である。しかし、
本実施例においては、走査線64が図4一(a)のよう
にデータ線と平行につき出た形状となっており、この部
分にもM0S容量を作り込むことがてきるため、第1の
実施例の約2倍の容量を付加することがてきる。したが
ってより広い温度範囲で、よりコントラスト比が大きく
フリッカーの少ない高品質な表示画面を得ることがてき
る。しかも、図4一(a)のように画素電極とデータ線
のすき間を覆うようにM0S容量を作り込むことによ
り、このすき間からもれる光を遮断することができ、コ
ントラスト比の増大に寄与する。
【0012】〔実施例3〕図6(a)は本発明の第3の
実施例におけるアクティブマトリクスパネルの平面図で
あり、同図(b)及び(c)はそれぞれ同図(a)のA
ーB及びC一Dにおける断面図である。本実施例は第1
および第2の実施例と異なり、TFTと異なる導電型の
MOS容量を作り込む。例えば、CMOS型のドラィバ
一を内蔵したアクティブマトリクスパネルなどには有効
である。
【0013】図5を用いて本実施例のアクティブマトリ
クスパネルの構造を説明する。まず絶縁基板81上にポ
リシリコンまたはアモルファスシリコン薄膜82及び8
8をデポジットし図のようにパターニングする。82は
TFTのチャネル部及びソースドレィン電極となり、8
8はM0S容量を作り込むための電極となる。次にゲー
ト絶縁膜83を形成し、その上にゲート電極を兼ねる走
査線84を形成する。その後選択的にイオン注入を行な
い、82をNチャネルTFTとし、88をPチャネルの
MOSキャパシタとする。以後の工程は実施例1と同じ
で、85は層間絶縁膜、86は画素電極、87はデータ
線である。
【0014】本実施例においてはTFTとMOS容量の
導電型が異なっている。PチャネルのMOSキャパシタ
のゲート電圧依存性は図3のNチャネルの場合と対称
で、VG <VthでCO ,VG >VthでCgso とな
る。従ってTFTのOFFする通常の状態では、VG
Vthであるから、電極88と走査線84の重なっな面
積がすべて容量の電極として働き、本来のMOB容量C
O が付加されることになる。この容量の大きさは、画素
電極86によって駆動される液晶の容量の100〜20
%程度となり、第1や第2の実施例に比べてはるかに大
きい。従ってその効果も大きくなる。また、前段の走査
線が選択される期間は、MOS容量はOFFして重なり
容量Cgsoのみとなるにめ、走査線の波形をなまらせ
ることもなく、容量を付加したことによって駆動状態は
変化しない。
【0015】
【発明の効果】以上述べたように、本発明によるアクテ
ィブマトリクスパネルは工程を増やすことなく、画素に
容量を作り込むことができる。容量を付加することによ
り、コントラスト比が増大し、フリッカ一は減少し、広
い温度範囲で再現性のよい画面を得ることがてきる。ま
た、データ線と画素電極の容量結合によるクロストーク
や、画面内での絵素のバラツキをおさえる効果もあり、
総合的に画質は向上する。
【図面の簡単な説明】
【図1】(a)アクティブマトリクスパネルの構造を示
す平面図、(b),(c)はその断面図。
【図2】従来のアクティブマトリクスパネルの構造を示
す平面図。
【図3】NチャネルのMOS容量のゲート電圧依存性を
示す図。
【図4】アクティブマトリクスパネルの各部の電位を示
す図。
【図5】(a)はアクティブマトリクスパネルの構造を
示す平面図、(b)、(c)はその断面図。
【図6】(a)はアクティブマトリクスパネルの構造を
示す平面図、(b)、(c)はその断面図。
【符号の説明】
2,62,82・・・ポリシリコンまたはアモルファス
シリコン薄膜 3,63,83・・・ゲート絶縁膜 4,64,84・・・走査線
─────────────────────────────────────────────────────
【手続補正書】
【提出日】平成7年10月11日
【手続補正1】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】特許請求の範囲
【補正方法】変更
【補正内容】
【特許請求の範囲】
【手続補正2】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】0004
【補正方法】変更
【補正内容】
【0004】
【発明が解決しようとする課題】しかし前述の従来技術
では画素電極とデータ線との隙間から光が漏れることに
より、コントラストの低下を招くこととなる。
【手続補正3】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】0005
【補正方法】変更
【補正内容】
【0005】本発明はこれらの問題を解決するものであ
り、その目的とするところは、画素電極とデータ線の隙
間から漏れる光を遮断して、コントラスト比の高い液晶
表示装置を提供するところにある。
【手続補正4】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】0006
【補正方法】変更
【補正内容】
【0006】
【課題を解決するための手段】本発明は、一対の基板間
に液晶が封入され、該基板の一方の基板上には、複数の
ゲート線と、該複数のゲート線と交差してなる複数のデ
ータ線と、該複数のゲート線と該複数のデータ線に接続
された薄膜トランジスタと、該薄膜トランジスタに接続
された画素電極を有してなる液晶表示装置において、当
該薄膜トランジスタに接続されるゲート線に対して隣り
のゲート線は当該薄膜トランジスタに接続される該画素
電極と該画素電極に沿って形成される該データ線との間
隙に沿って延在し、延在された該隣りのゲート線は該画
素電極及び/または該データ線と第1絶縁膜を介して重
なるように形成されてなることを特徴とする。 本発明
は、該薄膜トランジスタのソース及びドレイン領域はシ
リコン層からなり、該ドレイン領域となるシリコン層は
該画素電極と該画素電極に沿って形成される該データ線
との間隙に沿って延在し、延在された該シリコン層は延
在された該隣りのゲート線との間に第2絶縁膜を介して
重なるように形成されてなることを特徴とする。
【手続補正5】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】0007
【補正方法】変更
【補正内容】
【0007】
【作用】本発明の上記の構造によれば、データ線と画素
電極の隙間を隣りのゲート線で覆うため、データ線と画
素電極との隙間からもれる光を遮断することができ、コ
ントラスト比の増大に寄与する。
【手続補正6】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】0015
【補正方法】変更
【補正内容】
【0015】
【発明の効果】以上述べたように、ゲート線が画素電極
とデータ線との隙間を覆うように形成されているため、
隙間から漏れる光を遮断することができ、コントラスト
比の高い高画質を提供することができる。

Claims (4)

    【特許請求の範囲】
  1. 【請求項1】 絶縁基板上に設けられた、走査線群、デ
    ータ線群、及び前記走査線とデータ線の交点に設けられ
    た薄膜トランジスタ(以下、TFTと略記)アレイによ
    って画素電極を駆動し、前記画素電極と対向電極との間
    の電界で液晶を駆動して成るアクティブマトリクスパネ
    ルにおいて、前記画素電極の前段の走査線の上部または
    下部にTFTのチャネル部と同じ導電膜をゲート絶縁膜
    を介して配置し、前記導電膜が前記画素電極に接続され
    ていることを特徴とするアクティブマトリクスパネル。
  2. 【請求項2】前記導電膜の導電型が前記TFTと同じで
    あることを特徴とする特許請求の範囲第1項記載のアク
    ティブマトリクスパネル。
  3. 【請求項3】前記データ線と前記画素電極の間のすき間
    の一部を前記導電膜または走査線の一部を用いて覆うよ
    うな配置としたことを特微とする特許請求の範囲第2項
    記載のアクティブマトリクスパネル。
  4. 【請求項4】前記導電膜の導電型が前記TFTと異なる
    ことを特徴とする特許請求の範囲第1項記載のアクティ
    ブマトリクスパネル。
JP23270795A 1995-09-11 1995-09-11 アクティブマトリクスパネル Expired - Lifetime JP2626638B2 (ja)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP23270795A JP2626638B2 (ja) 1995-09-11 1995-09-11 アクティブマトリクスパネル

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP23270795A JP2626638B2 (ja) 1995-09-11 1995-09-11 アクティブマトリクスパネル

Related Parent Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
JP61215418A Division JPH0823640B2 (ja) 1986-09-12 1986-09-12 液晶表示装置

Related Child Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
JP16258096A Division JP2626650B2 (ja) 1996-06-24 1996-06-24 アクティブマトリクスパネルの製造方法

Publications (2)

Publication Number Publication Date
JPH08101406A true JPH08101406A (ja) 1996-04-16
JP2626638B2 JP2626638B2 (ja) 1997-07-02

Family

ID=16943526

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
JP23270795A Expired - Lifetime JP2626638B2 (ja) 1995-09-11 1995-09-11 アクティブマトリクスパネル

Country Status (1)

Country Link
JP (1) JP2626638B2 (ja)

Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
KR100740927B1 (ko) * 1999-12-07 2007-07-19 삼성전자주식회사 액정 표시 장치용 박막 트랜지스터 기판 및 그의 제조 방법

Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
KR100740927B1 (ko) * 1999-12-07 2007-07-19 삼성전자주식회사 액정 표시 장치용 박막 트랜지스터 기판 및 그의 제조 방법

Also Published As

Publication number Publication date
JP2626638B2 (ja) 1997-07-02

Similar Documents

Publication Publication Date Title
US5459595A (en) Active matrix liquid crystal display
US5463483A (en) Electro-optical device having an anodic oxide film
JP2797972B2 (ja) アクティブマトリクス型液晶表示装置
JPH0823640B2 (ja) 液晶表示装置
US6577295B2 (en) Active matrix liquid crystal display device
JP2002040480A (ja) 液晶表示装置
US6927807B2 (en) Liquid crystal display device
JP3205155B2 (ja) 液晶表示装置
JP2006330609A (ja) 液晶表示装置
JP3251490B2 (ja) 液晶表示装置
JPH10206893A (ja) アクティブマトリクス型液晶表示装置
JP3518851B2 (ja) アクティブマトリクス基板の駆動方法
JP3157186B2 (ja) アクティブマトリクス型液晶表示装置
JPH04318512A (ja) 薄膜トランジスタ型液晶表示装置
JP2755683B2 (ja) アクテブマトリクス型液晶表示装置
JP2737757B2 (ja) 液晶装置
JPH08101406A (ja) アクティブマトリクスパネル
JP2626650B2 (ja) アクティブマトリクスパネルの製造方法
JPH0922029A (ja) アクティブマトリクスパネル
JPS61235820A (ja) アクテイブマトリクスパネル
JP2002296619A (ja) アクティブマトリクス型表示装置
JP2000206565A (ja) 表示装置用半導体素子及びこれを用いた液晶表示装置
JPH09325360A (ja) 液晶表示装置
JPH0915646A (ja) アクティブマトリクス液晶表示素子
JPH02285327A (ja) アクティブマトリクス型液晶表示素子

Legal Events

Date Code Title Description
EXPY Cancellation because of completion of term