JPH0799595B2 - 光学情報記録再生デイスクの製造方法 - Google Patents
光学情報記録再生デイスクの製造方法Info
- Publication number
- JPH0799595B2 JPH0799595B2 JP27633185A JP27633185A JPH0799595B2 JP H0799595 B2 JPH0799595 B2 JP H0799595B2 JP 27633185 A JP27633185 A JP 27633185A JP 27633185 A JP27633185 A JP 27633185A JP H0799595 B2 JPH0799595 B2 JP H0799595B2
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- information recording
- optical information
- gas
- thin film
- target
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Expired - Fee Related
Links
Landscapes
- Manufacturing Optical Record Carriers (AREA)
Description
【発明の詳細な説明】 産業上の利用分野 本発明は大容量のデータの記録，ファイルに適用する光
学情報記録再生ディスクの製造方法に関するものであ
る。
学情報記録再生ディスクの製造方法に関するものであ
る。
従来の技術 光学的に情報を記録再生するディスクの薄膜材料として
は、特公昭54−7457号公報に示されるようにTeOx（０＜
ｘ＜2.0）薄膜材料が知られている。
は、特公昭54−7457号公報に示されるようにTeOx（０＜
ｘ＜2.0）薄膜材料が知られている。
この膜に、添加材料として、PbO,Se,V2O5等を含ませ
て、その記録再生あるいは、消去特性を向上する方法も
知られている。
て、その記録再生あるいは、消去特性を向上する方法も
知られている。
薄膜形成の方法としては、真空蒸着法、特にTeO2材料を
還元させながら薄膜を形成し、TeOx薄膜を得る方法があ
る。
還元させながら薄膜を形成し、TeOx薄膜を得る方法があ
る。
発明が解決しようとする問題点 光学情報記録薄膜であるTeOx（０＜x2.0）材料におい
て、その記録速度の向上に際し、パラジウムPd添加材料
が有効であり、TeOxおよび、これにパラジウムを含ませ
る方法として、真空蒸着の方法がある。しかし、この方
法では蒸着時の突沸等の影響で、膜中にTe又はパラジウ
ムの欠陥が生じやすいという問題点があった。
て、その記録速度の向上に際し、パラジウムPd添加材料
が有効であり、TeOxおよび、これにパラジウムを含ませ
る方法として、真空蒸着の方法がある。しかし、この方
法では蒸着時の突沸等の影響で、膜中にTe又はパラジウ
ムの欠陥が生じやすいという問題点があった。
問題点を解決するための手段 TeOx（０＜ｘ＜2.0）を主成分とする薄膜形成におい
て、蒸着法を、スパッタ法にし、スパッタターゲットと
して、TeとPdの合金および、これらの混合体を用い、O2
ガス雰囲気中で、反応性スパッタを行わせることであ
る。
て、蒸着法を、スパッタ法にし、スパッタターゲットと
して、TeとPdの合金および、これらの混合体を用い、O2
ガス雰囲気中で、反応性スパッタを行わせることであ
る。
作用 TeとPdの合金を含むターゲットを用いて、酸素を含む雰
囲気において、リアクティブスパッタにより、Pdを含む
TeOx（０＜ｘ＜2.0）薄膜を形成することにより、ター
ゲットの溶融，異常放電の発生が押さえられ、突沸等に
伴う欠陥発生のないディスクを得ることができる。
囲気において、リアクティブスパッタにより、Pdを含む
TeOx（０＜ｘ＜2.0）薄膜を形成することにより、ター
ゲットの溶融，異常放電の発生が押さえられ、突沸等に
伴う欠陥発生のないディスクを得ることができる。
実 施 例 ターゲットとして、TeとTe−Pd合金からなる材料を用い
る。第１図の１はTe粒子であり、２はTeとPdの合金粒子
である。合金としては、Te50Pd50を用いる。融点は720
℃であり、Teの融点449℃よりも高い。
る。第１図の１はTe粒子であり、２はTeとPdの合金粒子
である。合金としては、Te50Pd50を用いる。融点は720
℃であり、Teの融点449℃よりも高い。
TeとTe50Pd50材料を所望の比になるように混合すること
により、Te77Pd23のターゲット混合体を得る。上記混合
体をプレス成型し、熱処理を施すことにより、ターゲッ
トを得る。
により、Te77Pd23のターゲット混合体を得る。上記混合
体をプレス成型し、熱処理を施すことにより、ターゲッ
トを得る。
合金としては、Te67Pd33融点740℃を用いることもでき
る。これとTeを混合することにより、Te77Pd23ターゲッ
トを得ることができる。
る。これとTeを混合することにより、Te77Pd23ターゲッ
トを得ることができる。
この場合、Te粒子の混合比を少くすることが可能にな
り、スパッタリングの安定化により有効である。
り、スパッタリングの安定化により有効である。
本ターゲットを用い、Arガス，酸素ガスの混合ガス中
で、スパッタを行う。
で、スパッタを行う。
基板としては、第２図の４で示す、凹凸溝５を有するポ
リカーボネート板を用いる。
リカーボネート板を用いる。
５×10-3Torrの全圧中で、高周波パワー200Wで、Pdを含
むTeOx（０＜ｘ＜2.0）薄膜６を形成する。この膜の上
に保護層７を密着し、ディスク８を得る。
むTeOx（０＜ｘ＜2.0）薄膜６を形成する。この膜の上
に保護層７を密着し、ディスク８を得る。
ターゲットの混合組成Te100-xPbxにおいて、ｘが小なる
領域では、（ｘ＜10）薄膜の成分は感度が高いが、耐熱
性がやや低い。
領域では、（ｘ＜10）薄膜の成分は感度が高いが、耐熱
性がやや低い。
ｘ20の領域では、耐熱性が高く、高速記録可能な薄膜
を得る。
を得る。
一方Te単体粒子からなるターゲットでは、150W以上のス
パッタパワー条件では、ターゲット上での異常放電が観
測される。
パッタパワー条件では、ターゲット上での異常放電が観
測される。
膜の欠陥数の比較を行うと、電子ビーム法で形成した膜
における単位面積当りの欠陥数を１として、上記スパッ
タ法で形成した膜の欠陥は、約1/10に低減できる。
における単位面積当りの欠陥数を１として、上記スパッ
タ法で形成した膜の欠陥は、約1/10に低減できる。
ｘ＞30のPdの多い領域では、レーザ光による記録感度が
低下する。
低下する。
発明の効果 本発明によれば、Teを含む融点の高いスパッタターゲッ
トを用いることにより、酸素ガス雰囲気中で、リアクテ
ィブスパッタ法を適用し、異常放電を伴わない、欠陥の
少い光ディスク膜を形成することが可能になる。
トを用いることにより、酸素ガス雰囲気中で、リアクテ
ィブスパッタ法を適用し、異常放電を伴わない、欠陥の
少い光ディスク膜を形成することが可能になる。
第１図は本発明の光学情報記録再生ディスクの製造に用
いるターゲット材料の断面図、第２図は同ディスク説明
のための記録媒体の断面図である。 １……Te粒子、２……Te−Pd合金粒子、３……ターゲッ
ト。
いるターゲット材料の断面図、第２図は同ディスク説明
のための記録媒体の断面図である。 １……Te粒子、２……Te−Pd合金粒子、３……ターゲッ
ト。
Claims (4)
- 【請求項１】TeとPbの合金またはそれらの混合体をター
ゲットに用い、酸素（O2）ガスを含む雰囲気において、
スパッタ形成して薄膜を得ることを特徴とする光学情報
記録再生ディスクの製造方法。 - 【請求項２】TeとPbの合金または、それらの混合体をタ
ーゲットとして、Te100-xPbxの組成を、10＜ｘ＜30に選
ぶことを特徴とする特許請求の範囲第１項記載の光学情
報記録再生ディスクの製造方法。 - 【請求項３】酸素（O2）ガスを含む雰囲気において、反
応性スパッタにより、基板上に、TeとPbとＯとを主成分
とする薄膜を形成し、ＯをTeOx（０＜ｘ＜2.0）,PbをTe
100-xPbx（10＜ｘ＜30）の範囲の組成を得ることを特徴
とする特許請求の範囲第１項記載の光学情報記録再生デ
ィスクの製造方法。 - 【請求項４】スパッタの雰囲気がアルゴン（Ar）ガスま
たは酸素（O2）ガスの混合ガスを主成分とし、前記雰囲
気の全圧が概ね５×10-3Torrであることを特徴とする特
許請求の範囲第１項または第２項何れかに記載の光学情
報記録再生ディスク製造方法。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP27633185A JPH0799595B2 (ja) | 1985-12-09 | 1985-12-09 | 光学情報記録再生デイスクの製造方法 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP27633185A JPH0799595B2 (ja) | 1985-12-09 | 1985-12-09 | 光学情報記録再生デイスクの製造方法 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS62137748A JPS62137748A (ja) | 1987-06-20 |
| JPH0799595B2 true JPH0799595B2 (ja) | 1995-10-25 |
Family
ID=17567955
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP27633185A Expired - Fee Related JPH0799595B2 (ja) | 1985-12-09 | 1985-12-09 | 光学情報記録再生デイスクの製造方法 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH0799595B2 (ja) |
Families Citing this family (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2543056B2 (ja) * | 1986-12-02 | 1996-10-16 | 松下電器産業株式会社 | 光学情報記録部材の製造方法 |
| EP0592174B1 (en) * | 1992-10-05 | 2001-09-05 | Canon Kabushiki Kaisha | Process for producing optical recording medium, sputtering method |
-
1985
- 1985-12-09 JP JP27633185A patent/JPH0799595B2/ja not_active Expired - Fee Related
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPS62137748A (ja) | 1987-06-20 |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| US5914214A (en) | Method for manufacturing an optical information recording medium | |
| JPS6168296A (ja) | 光学情報記緑部材 | |
| EP0163378B1 (en) | Optical information recording member | |
| JPH0799595B2 (ja) | 光学情報記録再生デイスクの製造方法 | |
| US4788561A (en) | Optical recording carrier | |
| JPS6288152A (ja) | 光学情報記録部材 | |
| EP1394284A1 (en) | Sputtering target for forming phase change optical disc protective film and optical recording medium having phase change optical disc protective film formed using that target | |
| JP2527762B2 (ja) | 光磁気記録媒体 | |
| JPS60203490A (ja) | 光学情報記録部材 | |
| JP4469434B2 (ja) | スパッタリングターゲットとそれを用いた保護膜および光記録媒体 | |
| JP2543056B2 (ja) | 光学情報記録部材の製造方法 | |
| JP2576959B2 (ja) | 光情報記録媒体 | |
| JPS62148291A (ja) | 光学式情報記録担体およびその製造方法 | |
| JPS6216193A (ja) | 光学情報記録部材 | |
| JP2696754B2 (ja) | 光情報記録媒体 | |
| JP2571557B2 (ja) | 光情報記録媒体 | |
| JPH06333275A (ja) | 光学的情報記録媒体及びその製造方法 | |
| JPH02151482A (ja) | 情報記録用薄膜 | |
| JPH0693300B2 (ja) | 光学式情報記録担体の製造方法 | |
| JPS6323235A (ja) | 光学式情報記録担体 | |
| JPS61104438A (ja) | 情報記録媒体及びその製造方法 | |
| JPS6376860A (ja) | 薄膜形成方法 | |
| JPH11232694A (ja) | 記録媒体 | |
| JPS6134743A (ja) | 光学記録媒体の製造方法 | |
| JPS60226037A (ja) | 情報記録媒体 |
Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| LAPS | Cancellation because of no payment of annual fees |