JPH0792224A - Ｉｃテスト装置 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 【目的】 先に投入した実のマガジン３ａのパレット２
ａとテストプログラムの異なる次の実のマガジン３ｂの
パレット２ｂの搬送に空きを無くし、マガジン３とパレ
ット２の搬送にかかる時間を短縮することを目的とす
る。 【構成】 ハンドラ制御部１２に、実のマガジン３ａ、
３ｂの投入時、マガジン連番とマガジン連番に対応した
テストプログラム名を入力・記憶するコンピュータ１４
を接続する。デバイスをテストする前にテスタ４にテス
トプログラム名を送り、テスタ４はテストプログラム名
を受信してテストスタート信号待ちとなる。そして、次
の実のマガジン３ｂのデバイスをテストする前にテスタ
４のテストプログラム名を自動的に変えることで、先に
投入した実のマガジン３ａの全てのデバイスがテスト完
了しなくとも、次の実のマガジン３ｂを投入してパレッ
ト搬送し、先に投入した実のマガジン３ａのパレット２
ａに連続してパレット搬送する。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【産業上の利用分野】この発明は、ＩＣの電気試験を行
うＩＣテスト装置に関するものである。

【０００２】

【従来の技術】従来のＩＣテスト装置の構成について図
１０、図１１及び図１２を参照しながら説明する。図１
０は、従来のＩＣテスト装置のパレットを示す図であ
る。また、図１１は、従来のＩＣテスト装置のマガジン
を示す斜視図である。さらに、図１２は、従来のＩＣテ
スト装置の全体構成を示す図である。

【０００３】図１０において、１はデバイス、２は８個
のデバイス１を収納するパレットである。

【０００４】図１１において、３は６枚のパレット２を
収納するマガジンである。

【０００５】図１２において、４はテスタ、５はテスタ
４に接続されたテストハンドラ、１２はテスタ４及びテ
ストハンドラ５に接続されたハンドラ制御部である。

【０００６】また、６はマガジンローダ、７はマガジン
ローダ６の上部に取り付けられたパレットストッカ、８
はマガジンアンローダ、９はパレットストッカ７の側面
に設置されたパレット投入機である。さらに、１０ａ、
１０ｂ、１０ｃ及び１０ｄはパレット投入機９の側面に
設置された恒温槽、１１ａ、１１ｂ、１１ｃ及び１１ｄ
は恒温槽１０ａ〜１０ｄのそれぞれに載せられテスタ４
に接続されたテストヘッド、１３はテストヘッド１１ａ
〜１１ｄとマガジンアンローダ８の側面に設置されたパ
レット排出機である。なお、テストハンドラ５は、マガ
ジンローダ６〜テストヘッド１１ａ〜１１ｄ及びパレッ
ト排出機１３から構成されている。

【０００７】つぎに、前述した従来のＩＣテスト装置の
動作について図１２、図１３、図１４及び図１５を参照
しながら説明する。図１３は、従来のＩＣテスト装置の
パレットとマガジンの流れを示す図である。また、図１
４は、従来のＩＣテスト装置の動作を示すフローチャー
トである。さらに、図１５は、従来のＩＣテスト装置の
動作を示すタイミングチャートである。

【０００８】デバイス１を載せたパレット２を１枚収納
したマガジン３を２個準備する。すなわち、パレット２
ａを１枚収納したマガジン３ａと、パレット２ｂを１枚
収納したマガジン３ｂである（ステップ２０）。デバイ
ス１が載ったパレット２を収納したマガジン３を「実の
マガジン」３と呼ぶことにする。

【０００９】１個目の実のマガジン３ａに収納されたデ
バイス１に対応したテストプログラム名をテスタ４に入
力し、起動する。これによって、テスタ４はテストハン
ドラ５からのテストスタート信号待ち状態になる。次
に、図１２に示すように、先に準備した実のマガジン３
ａをマガジンローダ６に投入する（ステップ２１〜２
２）。

【００１０】テストハンドラ５は、マガジンローダ６に
より実のマガジン３ａをパレットストッカ７の位置まで
搬送し、収納されているパレット２ａをパレットストッ
カ７に移し替え、残ったマガジン３ａは、図１３に示す
ように、マガジンアンローダ８まで搬送する（ステップ
２３）。

【００１１】パレットストッカ７にパレット２ａが有る
ことを確認して、パレット２ａを切りだしてパレット投
入機９に載せる。このパレット投入機９は、図１３に示
すように、パレット２ａを恒温槽１０ａに入れ、テスト
ヘッド１１ａの位置まで搬送する。なお、パレットスト
ッカ７に他のパレット２が有れば順にテストヘッド１１
ｂ〜１１ｄの位置まで搬送する（ステップ２４〜２
６）。

【００１２】続けてパレットストッカ７にパレット２が
無いことを確認し、ハンドラ制御部１２からテスタ４に
対してテストスタート信号を送り、テスト完了信号を待
つ（ステップ２７〜２８）。

【００１３】テスタ４は、テストスタート信号を受信
し、テストヘッド１１ａの位置にあるパレット２ａのデ
バイス１をテストする。テストが完了するとハンドラ制
御部１２にテスト完了信号を送る（ステップ２９〜３
０）。

【００１４】ハンドラ制御部１２は、テスト完了信号を
受信し、テストハンドラ５は、パレット排出機１３によ
りパレット２ａをマガジンアンローダ８にあるマガジン
３ａに収納して、払い出す（ステップ３１〜３３）。

【００１５】次の実のマガジン３ｂについては、パレッ
ト２ａのデバイス１のテストが完了したときにテストプ
ログラム名をテスタ４に入力し、マガジンローダ６に投
入し、実のマガジン３ｂに収納されたパレット２ｂのデ
バイス１を処理する（ステップ３６）。

【００１６】この処理方法による２個の実のマガジン３
ａ及び３ｂの処理時間を計算すると、以下のようにな
る。次の時間条件で試算する。 （１） テストプログラム名の入力〜マガジンの投入 ＝１分 （２） マガジンの投入〜パレットストッカへ移し替え＝２分 （３） パレットの切り出し〜テストヘッド位置までの搬送 ＝０．５分／パレット （４） テストスタート〜テスト完了（テスト処理） ＝４．５分 （５） テスト完了〜マガジンへの収納 ＝０．５分／パレット （６） マガジンの払い出し ＝０．５分

【００１７】従って、１枚のパレット入りの２個の実の
マガジン３ａ及び３ｂを処理する時間は、図１５に示す
ように、１７分である。すなわち、（１＋２＋０．５＋
４．５）×２＋０．５＋０．５＝１７分である。

【００１８】また、図１１に示す６枚のパレット入りの
２個の実のマガジン３を処理する時間は、図１６に示す
ように、３２．５分である。すなわち、テストハンドラ
５にはテストヘッド１１ａ〜１１ｄが４個だけ設けられ
ているので、６枚のパレット２を「４枚」と残りの「２
枚」に分けてテスト処理を行う。

【００１９】

【発明が解決しようとする課題】上述したような従来の
ＩＣテスト装置では、先に投入した実のマガジン３ａの
パレット２ａとテストプログラム（テスト条件）の異な
る次の実のマガジン３ｂのパレット２ｂの搬送に空きが
できていた。これは、実のマガジン３ａ及び３ｂの投入
から払い出しまでの時間のうち、テスタ４のテスト処理
（テストスタート〜テスト完了）以外の、マガジン３ａ
及び３ｂとパレット２ａ及び２ｂの搬送にかかる時間が
長く、それにより処理能力が下がるという問題点があっ
た。

【００２０】この発明は、前述した問題点を解決するた
めになされたもので、パレット搬送の空きを無くすこと
ができ、ひいてはテスタのテスト処理以外の時間を短縮
することができるＩＣテスト装置を得ることを目的とす
る。

【００２１】

【課題を解決するための手段】この発明の請求項１に係
るＩＣテスト装置は、次に掲げる手段を備えたものであ
る。 〔１〕 複数のパレットを収納するマガジンをストック
し前記マガジン内のパレットを１枚ずつ取りだし複数の
テストヘッドに分配するテストハンドラ。 〔２〕 前記マガジン毎にマガジン連番とこのマガジン
連番に対応するテスト条件を入力して記憶するコンピュ
ータ。 〔３〕 前記マガジン連番に基づいて前記テストハンド
ラのテストヘッドに搬送されたパレットに対応した前記
テスト条件をテストヘッド毎に送出するハンドラ制御
部。 〔４〕 前記テスト条件に基づいてテスト処理を行うテ
スタ。

【００２２】この発明の請求項２に係るＩＣテスト装置
は、次に掲げる手段を備えたものである。 〔１〕 複数のパレットを収納するマガジンをストック
し前記マガジン内のパレットを１枚ずつ取りだし複数の
テストヘッドに分配するテストハンドラ。 〔２〕 前記パレット毎にマガジン連番とこのマガジン
連番に対応するテスト条件を入力して記憶するコンピュ
ータ。 〔３〕 前記マガジン連番に基づいて前記テストハンド
ラのテストヘッドに搬送されたパレットに対応した前記
テスト条件をテストヘッド毎に送出するハンドラ制御
部。 〔４〕 前記テスト条件に基づいてテスト処理を行うテ
スタ。

【００２３】この発明の請求項３に係るＩＣテスト装置
は、次に掲げる手段を備えたものである。 〔１〕 テストヘッドの数より多いパレットを収納する
マガジンをストックし前記マガジン内のパレットを１枚
ずつ取りだし複数のテストヘッドに分配するテストハン
ドラ。 〔２〕 前記マガジン毎にマガジン連番とこのマガジン
連番に対応するテスト条件を入力して記憶するコンピュ
ータ。 〔３〕 前記マガジン連番に基づいて前記テストハンド
ラのテストヘッドに搬送されたパレットに対応した前記
テスト条件をテストヘッド毎に送出するハンドラ制御
部。 〔４〕 前記テスト条件に基づいてテスト処理を行うテ
スタ。

【００２４】

【作用】この発明の請求項１に係るＩＣテスト装置にお
いては、テストハンドラによって、複数のパレットを収
納するマガジンがストックされ前記マガジン内のパレッ
トが１枚ずつ取りだされ複数のテストヘッドに分配され
る。また、コンピュータによって、前記マガジン毎にマ
ガジン連番とこのマガジン連番に対応するテスト条件が
入力されて記憶される。さらに、ハンドラ制御部によっ
て、前記マガジン連番に基づいて前記テストハンドラの
テストヘッドに搬送されたパレットに対応した前記テス
ト条件がテストヘッド毎に送出される。そして、テスタ
によって、前記テスト条件に基づいてテスト処理が行わ
れる。

【００２５】この発明の請求項２に係るＩＣテスト装置
においては、テストハンドラによって、複数のパレット
を収納するマガジンがストックされ前記マガジン内のパ
レットが１枚ずつ取りだされ複数のテストヘッドに分配
される。また、コンピュータによって、前記パレット毎
にマガジン連番とこのマガジン連番に対応するテスト条
件が入力される。さらに、ハンドラ制御部によって、前
記マガジン連番に基づいて前記テストハンドラのテスト
ヘッドに搬送されたパレットに対応した前記テスト条件
がテストヘッド毎に送出される。そして、テスタによっ
て、前記テスト条件に基づいてテスト処理が行われる。

【００２６】この発明の請求項３に係るＩＣテスト装置
においては、テストハンドラによって、テストヘッドの
数より多いパレットを収納するマガジンがストックされ
前記マガジン内のパレットが１枚ずつ取りだされ複数の
テストヘッドに分配される。また、コンピュータによっ
て、前記マガジン毎にマガジン連番とこのマガジン連番
に対応するテスト条件が入力されて記憶される。さら
に、ハンドラ制御部によって、前記マガジン連番に基づ
いて前記テストハンドラのテストヘッドに搬送されたパ
レットに対応した前記テスト条件がテストヘッド毎に送
出される。そして、テスタによって、前記テスト条件に
基づいてテスト処理が行われる。

【００２７】

【実施例】

実施例１．この発明の実施例１の構成について図１を参
照しながら説明する。図１は、この発明の実施例１の構
成を示す図であり、テスタ４〜パレット排出機１３は上
述した従来装置のものと同様である。なお、各図中、同
一符号は同一又は相当部分を示す。

【００２８】図１において、１４はハンドラ制御部１２
に接続されたコンピュータである。

【００２９】つぎに、前述した実施例１の動作について
図１、図２、図３及び図４を参照しながら説明する。図
２は、この発明の実施例１のパレットとマガジンの流れ
を示す図である。また、図３は、この発明の実施例１の
動作を示すフローチャートである。さらに、図４は、こ
の発明の実施例１の動作を示すタイミングチャートであ
る。図３において、左側はオペレータの作業を示し、中
間はテスタ４の動作、右側はハンドラ制御部１２の動作
をそれぞれ示す。

【００３０】デバイス１の入ったパレット２ａを１枚収
納した実のマガジン３ａと、デバイス１の入ったパレッ
ト２ｂを１枚収納した実のマガジン３ｂを２個準備す
る。図１に示すように、コンピュータ１４に１個目の実
のマガジン３ａのテストプログラム名（例えば、ｍ３７
５８９）を入力し、テストハンドラ５のマガジンローダ
６に投入する。続けて２個目の実のマガジン３ｂもコン
ピュータ１４にテストプログラム名（例えば、ｍ２７６
６８）を入力してマガジンローダ６に投入する（ステッ
プ４０〜４２）。

【００３１】コンピュータ１４は、図１に示すように、
マガジン連番“１”、“２”のところに入力されたテス
トプログラム名（ｍ３７５８９、ｍ２７６６８）を記憶
する。同時に、ハンドラ制御部１２でも投入された実の
マガジン３ａ、３ｂに対しマガジン連番を対応ずけて記
憶する。

【００３２】テストハンドラ５は、マガジンローダ６に
より１個目の実のマガジン３ａをパレットストッカ７の
位置まで搬送し、収納されたパレット２ａをパレットス
トッカ７に移し替え、残ったマガジン３ａはマガジンア
ンローダ８の位置まで搬送する。この間、図４に示すよ
うに、２個目の実のマガジン３ｂは、前述したようにコ
ンピュータ１４にテストプログラム名が入力され、マガ
ジンローダ６で待機する（ステップ４３）。

【００３３】パレットストッカ７からパレット２ａが切
り出され、パレット投入機９に載せられる。この間、図
４に示すように、２個目の実のマガジン３ｂのパレット
２ｂをパレットストッカ７に移し替える。パレット２ａ
は実のマガジン３ａの一枚目であるため、ハンドラ制御
部１２は、マガジン連番が“１”のテストプログラム名
をコンピュータ１４から受信し、テスタ４に送る。テス
タ４はテストプログラム名を受信し、テストプログラム
を入れ換え、テストスタート信号待ちになる（ステップ
４４〜４７）。

【００３４】ハンドラ制御部１２は、テストプログラム
名を送り終るとテスタ４に対してテストスタート信号を
送って、テスト完了を待つ。同時に、パレット２ａはパ
レット投入機９によって恒温槽１０ａに入れられテスト
ヘッド１１ａ位置まで搬送される（ステップ４８〜５
０）。また、図２及び図４に示すように、パレット２ａ
のテスト処理を行っている間に、パレット２ｂはパレッ
ト投入機９によって恒温槽１０ｂに入れられテストヘッ
ド１１ｂ位置まで搬送される。

【００３５】テスタ４は、ハンドラ制御部１２からテス
トスタートを受信し、テストヘッド１１ａにセットされ
たパレット２ａのデバイス１のテストを実行し、テスト
完了信号をハンドラ制御部１２に送る（ステップ５１〜
５２）。

【００３６】ハンドラ制御部１２は、テスト完了信号を
テスタ４から受信すると、テストヘッド１１ａの位置の
パレット２ａをパレット排出機１３により排出し、マガ
ジンアンローダ８のマガジン３ａに収納し、払い出す
（ステップ５３〜５５）。

【００３７】平行して、ハンドラ制御部１２は、マガジ
ン連番“２”のテストプログラム名をテスタ４に送る。
テスタ４は、テストプログラムを入れ換え、テストスタ
ート信号待ちになる。そして、テストスタート信号を受
信すると、テストヘッド１１ｂにセットされたパレット
２ｂのデバイス１をテストし、マガジンアンローダ８の
マガジン３ｂに収納して払い出す（ステップ５６〜５
８、４５〜５５）。

【００３８】この実施例１によれば、実のマガジン３
ａ、３ｂの投入時、マガジン連番とマガジン連番に対応
したテストプログラム名をコンピュータ１４１に入力、
記憶し、テストヘッド毎にテストプログラム名をテスタ
４に指示することで、先に投入した実のマガジン３ａの
パレット２ａに連続して次の実のマガジン３ｂのパレッ
ト２ｂを搬送し、連続してテストすることができる。従
って、１枚のパレット入りの実のマガジン３ａ及び３ｂ
を処理する時間は、図４に示すように、１３．５分であ
る。すなわち、図４に示すように、２個目のマガジン３
ｂとそのパレット２ｂの搬送を１個目のマガジン３ａの
処理と平行して行っているので、その分の処理にかかる
時間を従来と比べて３．５分短縮することができる。

【００３９】この発明の実施例１は、前述したように、
デバイス１をパレット２に納め、パレット２をマガジン
３に納め、このマガジン３を処理単位とし、複数のマガ
ジン３をストックし、マガジン３内のパレット２を１枚
ずつ取りだし複数のテストヘッド１１ａ〜１１ｄに分配
するテストハンドラ５と、このテストハンドラ５に接続
されたテストヘッドのデバイス１をテストするテスタ４
とで構成されたＩＣテスト装置において、マガジン毎に
テスト条件（テストプログラム名）を入力するコンピュ
ータ１４と、テストヘッドへ搬送されるパレット２に対
応したテスト条件毎にテスタ４に指示するハンドラ制御
部１２と、ハンドラ制御部１２より得たテスト条件に切
り替えるテスタ４とを備えたものである。

【００４０】テストハンドラ５のハンドラ制御に投入す
る複数の実のマガジン３のマガジン連番の記憶とテスト
プログラム名の入力・記憶を行うコンピュータ１４を追
加し、テストヘッドに搬送されたパレット２のマガジン
連番に対応するテストプログラム名をハンドラ制御部１
２を介してテスタ４に送る構成としたものである。

【００４１】この実施例１におけるコンピュータ１４
は、実のマガジン３ａ、３ｂの投入時、マガジン連番と
マガジン連番に対応したテストプログラム名を入力・記
憶し、デバイス１をテストする前にハンドラ制御部１２
を介してテスタ４にテストプログラム名を送る。テスタ
４は、テストプログラム名を受信することでテストスタ
ート信号待ちとなる。従って、次の実のマガジン３ｂの
デバイス１をテストする前に、テスタ４のテストプログ
ラム（テスト条件）を自動的に変えることができ、実の
マガジン３ａの全てのデバイス１がテスト完了しなくと
も、次の実のマガジン３ｂを投入後パレット搬送でき、
先に投入した実のマガジン３ａのパレット２ａに連続し
て次の実のマガジン３ｂのパレット２ｂの搬送をするこ
とができる。

【００４２】すなわち、この実施例１は、先に投入した
実のマガジン３ａのパレット２ａとテストプログラムの
異なる次の実のマガジン３ｂのパレット２ｂの搬送に空
きを無くし、次の実のマガジン３ｂの投入から払い出し
までの時間のうち、テスタ４のテスト処理（テストスタ
ート〜テスト完了）以外、すなわちマガジン３ｂとパレ
ット２ｂの搬送にかかる時間を短縮することを目的とす
る。

【００４３】そのために、ハンドラ制御部１２に実のマ
ガジン３ａ、３ｂの投入時、マガジン連番とマガジン連
番に対応したテストプログラム名を入力・記憶するコン
ピュータ１４を接続する。デバイス１をテストする前に
ハンドラ制御部１２を介してテスタ４にテストプログラ
ム名を送り、テスタ４はテストプログラム名を受信して
テストスタート信号待ちとなる。そして、次の実マガジ
ン３ｂのデバイス１をテストする前にテスタ４のテスト
プログラムを自動的に変えることで、先に投入した実の
マガジン３ａの全てのデバイス１がテスト完了しなくと
も、次の実のマガジン３ｂを投入してパレット搬送し、
先に投入した実のマガジン３ａのパレット２ａに連続し
てパレット搬送する。

【００４４】実施例２．テストプログラムの異なる２枚
のパレット２ａ、２ｂを１つのマガジン３に収容し、テ
ストプログラム名の設定を実のマガジン３に収納された
パレット毎にしてもよい。

【００４５】この発明の実施例２の構成は、前述した実
施例１のものと同様である。なお、動作は、以下に説明
するように、若干異なる。

【００４６】この実施例２は、パレット毎にテスト条件
を入力してテスタ４へ指示するハンドラ制御部１２を備
えたものである。具体的には、マガジン連番“１”に対
応して、テストプログラム名をパレット毎にコンピュー
タ１４に入力、記憶する。こうすると、投入する実のマ
ガジン３の数量を減らすことができ、従ってマガジン３
の投入、パレットストッカ７への移し替えの時間が実の
マガジン３の数が減った分だけ短縮される。すなわち、
図５に示すように、２個目のマガジンの上記処理が不要
となるので、その分時間を短縮することができる。

【００４７】従って、２枚のパレット入りの実のマガジ
ン３を処理する時間は、図５に示すように、１３．５分
である。すなわち、１枚目のパレット２ａのテスト処理
をしている間に２枚目のパレット２ｂの搬送を行ってい
るので、全体の処理時間を従来と比べて３．５分短縮し
ている。

【００４８】実施例３．マガジン３に収納されるパレッ
ト２の数が、テストヘッドの数より多くてもよい。例え
ば、マガジン３ａに６枚のパレット２ａが収納され、マ
ガジン３ｂに６枚のパレット２ｂが収納されている場合
について以下説明する。

【００４９】この発明の実施例３の構成は、前述した実
施例１のものと同様である。なお、動作は、以下に説明
するように、異なる。

【００５０】図６に示すように、１個目のマガジン３ａ
に連続して２個目のマガジン３ｂをマガジンローダ６へ
投入する。つまり、図９に示すように、１個目のマガジ
ン３ａのパレット２ｂのパレットストッカ７への移し替
え中に、２個目のマガジン３ｂの投入を行う。

【００５１】次に、図７に示すように、１個目のマガジ
ン３ａの６枚のパレット２ａのうち、４枚のパレット２
ａをパレット投入機９によってテストヘッド１１ａ〜１
１ｄに搬送する。図９に示すように、上記搬送中に、２
個目のマガジン３ｂのパレット２ｂのパレットストッカ
７への移し替えを行う。なお、１個目のマガジン３ａの
４枚のパレット２ａの搬送中に、２個目のマガジン３ｂ
のパレットストッカ７への移し替えを全部行うことがで
きないので、残りの処理は１個目のマガジン３ａのテス
ト完了後に行う。

【００５２】つづいて、１個目のマガジン３ａの４枚の
パレット２ａのテスト処理を行い、テスト完了後にパレ
ット排出機１３によってマガジン３ａに収納する。図９
に示すように、上記収納中に、１個目のマガジン３ａの
残りの２枚のパレット２ａをパレット投入機９によって
テストヘッド１１ａ、１１ｂに搬送する。また、前述し
たように、２個目のマガジン３ｂのパレットストッカ７
への移し替えの残りの処理を行う。さらに、図８に示す
ように、２個目のマガジン３ｂの６枚のパレット２ｂの
うち、２枚のパレット２ｂをパレット投入機９によって
テストヘッド１１ｃ、１１ｄに搬送する。

【００５３】次に、１個目のマガジン３ａの２枚のパレ
ット２ａのテスト処理を行い、テスト完了後にパレット
排出機１３によってマガジン３ａに収納する。図９に示
すように、上記収納中に、２個目のマガジン３ｂの２枚
のパレット２ｂをパレット投入機９によってテストヘッ
ド１１ａ、１１ｂに搬送する。

【００５４】つづいて、２個目のマガジン３ｂの４枚の
パレット２ｂのテスト処理を行い、テスト完了後にパレ
ット排出機１３によってマガジン３ｂに収納する。図９
に示すように、上記収納中に、２個目のマガジン３ｂの
残りの２枚のパレット２ｂをパレット投入機９によって
テストヘッド１１ａ、１１ｂに搬送する。その後、２個
目のマガジン３ｂの２枚のパレット２ｂのテスト処理を
行い、テスト完了後にパレット排出機１３によってマガ
ジン３ｂに収納する。

【００５５】すなわち、この実施例３は、マガジン３
ａ、３ｂ内に収容されるパレット２ａ、２ｂの枚数がテ
ストヘッドの数と同じでないことを特徴とする。つま
り、マガジン３ａ、３ｂに収納されるパレット２ａ、２
ｂの数が、テストヘッド数より多い場合、先に投入した
実のマガジン３ａのパレット２ａに連続して次の実のマ
ガジン３ｂのパレット２ｂを搬送し、テストすることが
できる。

【００５６】従って、６枚のパレット入りの実のマガジ
ン３ａ、３ｂを２個処理する時間は、図９に示すとおり
３０．５分である。すなわち、図１６に示すように、従
来装置と比較してマガジン３ａ、３ｂとパレット２ａ、
２ｂの搬送にかかる時間を２分短縮している。

【００５７】

【発明の効果】この発明の請求項１に係るＩＣテスト装
置は、以上説明したとおり、複数のパレットを収納する
マガジンをストックし前記マガジン内のパレットを１枚
ずつ取りだし複数のテストヘッドに分配するテストハン
ドラと、前記マガジン毎にマガジン連番とこのマガジン
連番に対応するテスト条件を入力して記憶するコンピュ
ータと、前記マガジン連番に基づいて前記テストハンド
ラのテストヘッドに搬送されたパレットに対応した前記
テスト条件をテストヘッド毎に送出するハンドラ制御部
と、前記テスト条件に基づいてテスト処理を行うテスタ
とを備えたので、パレット搬送の空きをなくすことがで
き、処理能力の向上を図ることができるという効果を奏
する。

【００５８】この発明の請求項２に係るＩＣテスト装置
は、以上説明したとおり、複数のパレットを収納するマ
ガジンをストックし前記マガジン内のパレットを１枚ず
つ取りだし複数のテストヘッドに分配するテストハンド
ラと、前記パレット毎にマガジン連番とこのマガジン連
番に対応するテスト条件を入力して記憶するコンピュー
タと、前記マガジン連番に基づいて前記テストハンドラ
のテストヘッドに搬送されたパレットに対応した前記テ
スト条件をテストヘッド毎に送出するハンドラ制御部
と、前記テスト条件に基づいてテスト処理を行うテスタ
とを備えたので、パレット搬送の空きをなくすことがで
き、処理能力の向上を図ることができるという効果を奏
する。

【００５９】この発明の請求項３に係るＩＣテスト装置
は、以上説明したとおり、テストヘッドの数より多いパ
レットを収納するマガジンをストックし前記マガジン内
のパレットを１枚ずつ取りだし複数のテストヘッドに分
配するテストハンドラと、前記マガジン毎にマガジン連
番とこのマガジン連番に対応するテスト条件を入力して
記憶するコンピュータと、前記マガジン連番に基づいて
前記テストハンドラのテストヘッドに搬送されたパレッ
トに対応した前記テスト条件をテストヘッド毎に送出す
るハンドラ制御部と、前記テスト条件に基づいてテスト
処理を行うテスタとを備えたので、パレット搬送の空き
をなくすことができ、処理能力の向上を図ることができ
るという効果を奏する。

【図面の簡単な説明】

【図１】この発明の実施例１の構成を示す図である。

【図２】この発明の実施例１のパレットとマガジンの流
れを示す図である。

【図３】この発明の実施例１の動作を示すフローチャー
トである。

【図４】この発明の実施例１の動作を示すタイミングチ
ャートである。

【図５】この発明の実施例２の動作を示すタイミングチ
ャートである。

【図６】この発明の実施例３の構成を示す図である。

【図７】この発明の実施例３のパレットとマガジンの流
れを示す図である。

【図８】この発明の実施例３のパレットとマガジンの流
れを示す図である。

【図９】この発明の実施例３の動作を示すタイミングチ
ャートである。

【図１０】この発明及び従来のＩＣテスト装置に使用さ
れるデバイスをのせたパレットの外観を示す図である。

【図１１】この発明及び従来のＩＣテスト装置に使用さ
れるパレットを収納したマガジンの外観を示す図であ
る。

【図１２】従来のＩＣテスト装置の構成を示す図であ
る。

【図１３】従来のＩＣテスト装置のパレットとマガジン
の流れを示す図である。

【図１４】従来のＩＣテスト装置の動作を示すフローチ
ャートである。

【図１５】従来のＩＣテスト装置の動作を示すタイミン
グチャートである。

【図１６】従来のＩＣテスト装置の別の動作を示すタイ
ミングチャートである。

【符号の説明】

１ デバイス ２ パレット ２ａ パレット ２ｂ パレット ３ マガジン ３ａ マガジン ３ｂ マガジン ４ テスタ ５ テストハンドラ ６ マガジンローダ ７ パレットストッカ ８ マガジンアンローダ ９ パレット投入機 １０ａ、１０ｂ、１０ｃ、１０ｄ 恒温槽 １１ａ、１１ｂ、１１ｃ、１１ｄ テストヘッド １２ ハンドラ制御部 １３ パレット排出機 １４ コンピュータ

Claims (3)

【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】 複数のパレットを収納するマガジンをス
   トックし前記マガジン内のパレットを１枚ずつ取りだし
   複数のテストヘッドに分配するテストハンドラ、前記マ
   ガジン毎にマガジン連番とこのマガジン連番に対応する
   テスト条件を入力して記憶するコンピュータ、前記マガ
   ジン連番に基づいて前記テストハンドラのテストヘッド
   に搬送されたパレットに対応した前記テスト条件をテス
   トヘッド毎に送出するハンドラ制御部、及び前記テスト
   条件に基づいてテスト処理を行うテスタを備えたことを
   特徴とするＩＣテスト装置。
2. 【請求項２】 複数のパレットを収納するマガジンをス
   トックし前記マガジン内のパレットを１枚ずつ取りだし
   複数のテストヘッドに分配するテストハンドラ、前記パ
   レット毎にマガジン連番とこのマガジン連番に対応する
   テスト条件を入力して記憶するコンピュータ、前記マガ
   ジン連番に基づいて前記テストハンドラのテストヘッド
   に搬送されたパレットに対応した前記テスト条件をテス
   トヘッド毎に送出するハンドラ制御部、及び前記テスト
   条件に基づいてテスト処理を行うテスタを備えたことを
   特徴とするＩＣテスト装置。
3. 【請求項３】 テストヘッドの数より多いパレットを収
   納するマガジンをストックし前記マガジン内のパレット
   を１枚ずつ取りだし複数のテストヘッドに分配するテス
   トハンドラ、前記マガジン毎にマガジン連番とこのマガ
   ジン連番に対応するテスト条件を入力して記憶するコン
   ピュータ、前記マガジン連番に基づいて前記テストハン
   ドラのテストヘッドに搬送されたパレットに対応した前
   記テスト条件をテストヘッド毎に送出するハンドラ制御
   部、及び前記テスト条件に基づいてテスト処理を行うテ
   スタを備えたことを特徴とするＩＣテスト装置。