JPH0790626B2 - 積層板の製造方法 - Google Patents

積層板の製造方法

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JPH0790626B2 JP16025493A JP16025493A JPH0790626B2 JP H0790626 B2 JPH0790626 B2 JP H0790626B2 JP 16025493 A JP16025493 A JP 16025493A JP 16025493 A JP16025493 A JP 16025493A JP H0790626 B2 JPH0790626 B2 JP H0790626B2
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Description

【発明の詳細な説明】
【0001】
【産業上の利用分野】この発明は、例えば、高周波プリ
ント配線基板として用いられる低誘電率積層板のような
積層板の製造方法に関する。
【0002】
【従来の技術】従来、積層板の製造方法としては次に述
べるような各種の製造方法がある。
【0003】第一の製造方法は、基材にPTFE樹脂
(ポリ・テトラ・フルオロ・エチレン、4フッ化樹脂)
を含浸し、これを乾燥および焼成してプリプレグ(pre-
preg)を形成し、複数層のプリプレグ間にPFA樹脂
(テトラフルオロエチレン・パーフルオロアルキルビニ
ルエーテル共重合樹脂)フィルムまたはFEP樹脂(テ
トラフルオロエチレン・ヘキサフルオロプロピレン共重
合樹脂)フィルムを介設し、最外層に配置する金属箔と
プリプレグとの間にも上記フィルムを介設して、積層成
形することにより積層板を製造する方法である。
【0004】この第一の製造方法によれば、上記フィル
ムを介設することで、金属箔とプリプレグとの接着強さ
が保持され、またプリプレグ層間の接着力が保持され、
さらに積層板中の樹脂含有比率が調節できる利点がある
反面、一般に上述のフィルムはスクリュ押出機で樹脂を
溶融混練し、T型ダイスを通して射出成形されるため、
このフィルムの製造工程中に相当量の金属小片や金属粉
がフィルム中に混入し、金属小片および金属粉は導電性
を有するため、プリント配線基板においては回路の短
絡、断線などの要因となり、実質的に使用困難な問題点
があった。
【0005】第二の製造方法は、基材に第1のフッ素樹
脂(例えばPTFE)を含浸し、これを乾燥および焼成
した後に、第2のフッ素樹脂としてPFAまたはFEP
を含浸し、これを乾燥および焼成して形成したプリプレ
グの最外層に金属箔を配置した後、積層成形することに
より積層板を製造する方法である。
【0006】この第二の製造方法によれば、基材に含浸
した第1のフッ素樹脂は乾燥後、該樹脂の融点以上で焼
成され、このようにフッ素樹脂が融点以上で焼成される
と、その表面エネルギが低く、濡れ性が極度に悪化する
ため、該フッ素樹脂の上に他のPFAまたはFEPを保
持させようとしても、乾燥、焼成工程中に脱落が生じ
て、均一な高精度の膜の形成が困難で、プリプレグと金
属箔との接着力、プリプレグ相互の接着力、樹脂含有量
に部分的な差異が発生し、特性値がばらつく関係上、安
定した性能の積層板が得られない問題点があった。
【0007】第三の製造方法は、布状基材の表面にフッ
素樹脂層を形成し、このフッ素樹脂層における表面近傍
が未焼結であるプリプレグを形成し、このプリプレグの
表面に金属箔を配置した後に、加熱加圧して上述の金属
箔をプリプレグに接着させて、積層板を製造する方法で
ある。
【0008】この第三の製造方法によれば、布状基材に
含浸させたフッ素樹脂層はその表面近傍のみが未焼結と
なり、基材の芯部および基材近傍は焼結される。この第
三の製造方法によればプリプレグと金属箔との接着強さ
をある程度確保することができる利点がある反面、大型
の積層板においてはその全面にわたって均一な接着力を
得ることが困難で、ばらつきが大きいうえ、樹脂含有率
が低い積層板においては、回路形成時のエッチングによ
り金属箔を除去した後の樹脂表面から薬液の浸込みが生
じ、かつハンダ耐熱性が劣り、金属箔に膨れなどの欠陥
が発生する問題点があった。加えて、プリプレグ中に焼
結層と未焼結層とが混在する関係上、積層板の厚さが薄
い場合には、反り、捩れなどの欠陥が発生しやすい問題
点があった。
【0009】第四の製造方法は、基材に第1のフッ素樹
脂を含浸した後に、これを乾燥および焼結し、この上層
に対して第1のフッ素樹脂より低融点の第2のフッ素樹
脂を保持させてプリプレグを形成し、このプリプレグに
金属箔を配置した後に、第1のフッ素樹脂の融点より低
温で、しかも第2のフッ素樹脂の融点より高温となる温
度条件下で、積層成形することにより積層板を製造する
方法である。
【0010】この第四の製造方法によれば、積層加圧時
に上述の第1のフッ素樹脂は当該樹脂特有の形状記憶性
に起因してクッション性を発揮するため、積層板特性が
ばらついて不安定となり、加えて第1のフッ素樹脂の焼
成時にこの第1のフッ素樹脂の融点以上で焼成されるた
め、表面エネルギが低く、濡れ性が悪化するため、この
第1のフッ素樹脂の上に第2のフッ素樹脂を保持させよ
うとしても、乾燥、焼成工程中に脱落して均一な高精度
の膜の形成が困難となる問題点があった。
【0011】一方、低誘電率基板を得るためには、樹脂
含有率が多いプリプレグを形成する必要があるが、従来
技術においては樹脂含有率が多いプリプレグを形成する
ことが困難であった。すなわち、ガラス布基材に樹脂を
含浸した後に、乾燥、焼結を繰返す場合、上述の樹脂焼
結工程で樹脂が収縮するので、仮りにガラス布基材に対
する樹脂の厚塗りが可能になっても、上記操作の繰返し
により、基材が上記収縮力に絶えられず、波打ち状に変
形するため、形成されたプリプレグに凹凸状の厚みむら
が生じ、厚さ精度が悪化する。
【0012】したがって従来においては既述した第一の
製造方法に見られるように、各層間およびプリプレグと
金属箔との間にPFAフィルムやFEPフィルムを介設
する方法がとられていたが、このような従来方法によれ
ば、積層成形時にPFAやFEPの樹脂フィルムの溶融
温度以上で加熱加圧される関係上、極薄肉化が比較的困
難なPFAフィルム、FEPフィルムの溶融もしくは軟
化した樹脂層(PFAやFEPの樹脂層)が流動状態と
なって、流出し、この樹脂の流出により基板厚さが不均
一となり、充分な厚さ精度が確保できない問題点があっ
た。
【0013】このような問題点を解決するために高温低
圧条件下で加圧した場合には、層間にボイド(小孔)が
残在し、また接合が不充分になるため、プリプレグそれ
自体に樹脂むらが生じ、金属箔の接合時やハンダ接着時
において金属箔の膨れ、層間クラック、層間剥離などが
生じ、ハンダ耐熱性および熱衝撃性が共に低く、さらに
は積層板全体の密度低下により、エッチング時に薬液の
浸込みが発生する問題点があった。
【0014】
【発明が解決しようとする課題】この発明は、プリプレ
グをPTFEの第1層と、PTFEの第2層と、PFA
の第3層との3層構造にし、PTFE第2層は焼結する
ことなく低温条件下で乾燥処理して、PFA第3層の保
持を良好とし、かつPFA第3層はフィルム介設構造で
はなくディスパージョン含浸、乾燥、焼成により形成す
ることで、高温高圧プレスを可能とし、積層プレス時に
PTFE、PFAの融点より高温かつ高圧条件下で加圧
する特異な方法により、厚さ精度が高く、厚さのばらつ
きが小で、厚さ方向の線膨張係数が小さく、また金属箔
とプリプレグとの接着力が強く、ハンダ耐熱性および熱
衝撃の耐性が共に高く、さらには薬液の浸込みがない低
誘電率の積層板の製造方法の提供を目的とする。
【0015】
【課題を解決するための手段】この発明は、基材にPT
FEディスパージョンを含浸して乾燥させた後、PTF
Eの融点より高温条件下で焼成し、上記含浸、乾燥およ
び焼成を繰返して必要樹脂保持量の第1層を形成する第
1工程と、上記第1層の表面にPTFEディスパージョ
ンを含浸した後、PTFEの融点より低温条件下で乾燥
させ、上記含浸および乾燥を繰返して必要樹脂保持量の
第2層を形成する第2工程と、上記第2層の表面にPF
Aディスパージョンを含浸して乾燥させた後、該PFA
および上記PTFEの融点より高温条件下で焼成し、上
記含浸、乾燥および焼成を繰返して必要樹脂保持量の第
3層を形成すると共に、プリプレグを形成する第3工程
と、上記プリプレグの少なくとも片面に金属箔を配置し
た後に、上記PTFEおよびPFAの融点より高温条件
下で、かつ高圧プレスする第4工程とを備えた積層板の
製造方法であることを特徴とする。
【0016】
【発明の効果】この発明によれば、上述のプリプレグを
PTFEの第1層と、PTFEの第2層と、PFAの第
3層との3層構造にし、PTFE第2層は焼結すること
なくPTFEの融点より低温条件下で乾燥処理して、P
FA第3層の保持を良好とし、かつPFA第3層はフィ
ルム介設手段ではなくPFAディスパージョンの含浸、
乾燥、焼成により形成するので、積層時の高温高圧プレ
スが可能となる。
【0017】しかも積層プレス時にはPTFEおよびP
FAの各融点より高温かつ高圧条件下で加圧する方法で
あるから、厚さ精度が高く、厚さのばらつきが小で、厚
さ方向の線膨張係数が小さく、また金属箔とプリプレグ
との接着力が強く、ハンダ耐熱性および熱衝撃の耐性が
共に高く、さらには薬液の浸込みがない効果がある。
【0018】また上記高温高圧プレスにより積層板が製
造されるので、層間のボイド(小孔)がなく、層間の接
合が充分で、プリプレグそれ自体の樹脂むらも生じない
うえ、ハンダ接着時等の金属箔の膨れ、層間クラック、
層間剥離を防止することができる効果がある。
【0019】
【実施例】この発明の一実施例を以下図面に基づいて詳
述する。図面は積層板の製造方法を示し、図1に示す第
1工程S1で、目付48g/m 2のガラス布基材1(図2
参照)にPTFEディスパージョンを含浸して乾燥させ
た後に、PTFEの融点327℃より高温の380℃で
焼成(焼結)し、必要樹脂保持量としての樹脂含有率7
0vol %になるまで上述の含浸、乾燥および焼結を繰返
して第1層2を形成する。
【0020】次に図1に示す第2工程S2で、上述の第
1層2の上下両表面にPTFEディスパージョンを含浸
した後に、PTFEの融点327℃より低温の305℃
で乾燥させ、必要樹脂保持量としての樹脂含有率76vo
l %になるまで上述の含浸および乾燥を繰返して第2層
3を形成する。
【0021】次に図1に示す第3工程S3で、上述の第
2層3,3の上下両表面にPFAディスパージョンを含
浸して乾燥させた後、このPFAの融点310℃および
上述のPTFEの融点327℃より高温の380℃で焼
成(焼結)し、必要樹脂保持量としての樹脂含有率80
vol %になるまで上述の含浸、乾燥および焼結を繰返し
て第3層4を形成すると共に、プリプレグ5を形成す
る。
【0022】次に図1に示す第4工程S4で、上述のプ
リプレグ5を例えば2層重ね合わせ、図3に示すよう
に、この2層重合構造のプリプレグ5,5の最外層に金
属箔としてのCu箔6,6を配置した後に、上記PTF
Eの融点327℃およびPFAの融点310℃より高温
の380℃で、かつ高圧プレスして、全体の厚さが0.
4mmの銅箔張り積層板7を製造した。
【0023】一方比較例として図1で示す第1工程S1
で樹脂含有量を76vol %とし、このプリプレグを6層
重ね合わせ、その外側にPFAフィルムを配設し、最外
層に金属箔としてのCu箔を配設した後に、380℃で
高圧プレスをした積層板(比較例1)を製造すると共
に、さらに他の比較例として図1に示す第1工程S1で
樹脂含有量を70vol %とし、このプリプレグとPFA
フィルムを交互に6層配設し、最外層とするCu箔との
間がPFAフィルムとなるようにし、340℃かつ面圧
10Kgf/cm2 でプレスした積層板(比較例2)を製造
し、上記実施例品(実施例1)と比較例1、比較例2の
各比較品に対して各種の測定および試験を行なった結果
を次の表1に示す。
【0024】
【表1】
【0025】上述の表1から明らかなように、本実施例
の製造方法により製造された積層板7は、厚さ精度が高
く、積層板7の板厚のばらつき(R=最大値−最小値)
が0.007mmと小さく、厚さ方向の線膨張係数は20
0×10-6/k で小さく、Cu箔6の剥離強度は常温お
よび200℃の何れにおいても強く、ハンダ耐熱性に優
れると共に、低温20℃と高温260℃との繰返し試験
による熱衝撃性(スルーホール信頼性)は60サイクル
と高く、蛍光探傷に漬けて紫外線で測定した薬液浸込み
試験においては薬液の浸込みがなく、何れも比較例1、
2に対して優れた結果を得ることができた。
【0026】また上述の実施例の製造方法によれば、樹
脂含有率が80〜90vol %の積層板7の製造が可能な
うえ、焼結工程(図1の第1工程S1および第3工程S
3参照)を経てプリプレグ5が形成されるので、樹脂被
膜がなめらかで、ボイドもなく、仮りにプリプレグ5が
汚れた場合には、その表面を払拭して次ステップに移行
することができる。
【0027】以上要するに、上述のプリプレグ5をPT
FEの第1層2と、PTFEの第2層3と、PFAの第
3層4との3層構造にし、PTFE第2層3は焼結する
ことなくPTFEの融点より低温条件下で乾燥処理し
て、PFA第3層4の保持を良好とし、かつPFA第3
層4はフィルム介設手段ではなくPFAディスパージョ
ンの含浸、乾燥、焼成により形成するので、積層時の高
温高圧プレスが可能となる。
【0028】しかも積層プレス時にはPTFEおよびP
FAの各融点より高温かつ高圧条件下で加圧する方法で
あるから、厚さ精度が高く、厚さのばらつきが小で、厚
さ方向の線膨張係数が小さく、また金属箔とプリプレグ
との接着力が強く、ハンダ耐熱性および熱衝撃の耐性が
共に高く、さらには薬液の浸込みがない効果がある。
【0029】また上記高温高圧プレスにより積層板7が
製造されるので、層間のボイド(小孔)がなく、層間の
接合が充分で、プリプレグそれ自体の樹脂むらも生じな
いうえ、ハンダ接着時等の金属箔の膨れ、層間クラッ
ク、層間剥離を防止することができる効果がある。
【0030】図4、図5、図6は積層板の製造方法の他
の実施例を示し、先の実施例で示したプリプレグ5をこ
の実施例においては外層用プリプレグ8(図4参照)と
して、内層用プリプレグ9(図5参照)を次に述べる方
法により別途形成し、上述の外層用プリプレグ8と上述
の内層用プリプレグ9とを用いて積層板10(図6参
照)を製造する方法である。
【0031】以下、この積層板の製造方法について詳述
するが、外層用プリプレグ8については先の実施例のプ
リプレグ5の製造方法と同一であるから、図4において
前図と同一の部分には同一番号を付して、その詳しい説
明を省略する。
【0032】内層用プリプレグ9は図5に示すように、
目付48g /m 2 のガラスクロス11にPTFEディス
パージョンを含浸して乾燥させた後に、PTFEの融点
327℃より高温の380℃で焼成(焼結)し、必要樹
脂保持量としての樹脂含有率70vol %になるまで上述
の含浸、乾燥および焼結を繰返してPTFE層12を有
する内層用プリプレグ9を形成する。
【0033】次に図6に示すように、上述の内層用プリ
プレグ9を中央部分に2層重ね合わせ、これら各内層用
プリプレグ9,9の上下面に上述の外層用プリプレグ
8,8を重ね合わせ、さらに外層用プリプレグ8,8の
外表面に金属箔としてのCu箔6,6を配置した後に、
上記PTFEの融点327℃およびPFAの融点310
℃より高温の380℃で、かつ高圧プレスして、全体の
厚さが0.6mmの銅箔張り積層板10を製造した。
【0034】このようにして製造された実施例品(実施
例2)と比較例1、比較例2、の各比較品(なお、これ
ら各比較品の製造方法は前述と同様)に対して各種の測
定および試験を行なった結果を次の表2に示す。
【0035】
【表2】
【0036】上述の表2から明らかなように、本実施例
の製造方法により製造された積層板10は、積層板10
の板厚のばらつき(R=最大値−最小値)が0.010
mmと小さく、厚さ精度が高く、厚さ方向の線膨張係数は
180×10-6/k で小さく、Cu箔6の剥離強度は常
温および200℃の何れにおいても強く、ハンダ耐熱性
に優れると共に、低温20℃と高温260℃との繰返し
試験による熱衝撃性(スルーホール信頼性)は60サイ
クルと高く、蛍光探傷に漬けて紫外線で測定した薬液浸
込み試験においては薬液の浸込みがなく、何れも比較例
1、2に対して優れた結果を得ることができた。
【0037】以上要するに、上述の外層用プリプレグ8
をPTFEの第1層2と、PTFEの第2層3と、PF
Aの第3層4との3層構造にし、PTFE第2層3は焼
結することなくPTFEの融点より低温条件下で乾燥処
理して、PFA第3層4の保持を良好とし、かつPFA
第3層4はフィルム介設手段ではなくPFAディスパー
ジョンの含浸、乾燥、焼成により形成するので、積層時
の高温高圧プレスが可能となる。
【0038】しかも積層プレス時にはPTFEおよびP
FAの各融点より高温かつ高圧条件下で加圧する方法で
あるから、厚さ精度が高く、厚さのばらつきが小で、厚
さ方向の線膨張係数が小さく、また金属箔とプリプレグ
との接着力が強く、ハンダ耐熱性および熱衝撃の耐性が
共に高く、さらには薬液の浸込みがない効果がある。
【0039】また上記高温高圧プレスにより積層板10
が製造されるので、層間のボイド(小孔)がなく、層間
の接合が充分で、プリプレグそれ自体の樹脂むらも生じ
ないうえ、ハンダ接着時等の金属箔の膨れ、層間クラッ
ク、層間剥離を防止することができる効果がある。
【0040】この発明の構成と、上述の実施例との対応
において、この発明の基材は、実施例のガラス布基材1
に対応し、以下同様に、金属箔は、Cu箔6に対応し、
プリプレグは、第1実施例のプリプレグ5と第2実施例
の外層用プリプレグ8とに対応するも、この発明は上述
の実施例の構成のみに限定されるものではない。
【図面の簡単な説明】
【図1】本発明の積層板の製造方法を示す工程図。
【図2】プリプレグの断面図。
【図3】本発明の製造方法により製造された積層板の断
面図。
【図4】本発明の積層板の製造方法の他の実施例を示す
外層用プリプレグの断面図。
【図5】本発明の積層板の製造方法の他の実施例を示す
内層用プリプレグの断面図。
【図6】他の実施例により製造された積層板の断面図。
【符号の説明】
1…ガラス布基材 2…第1層 3…第2層 4…第3層 5…プリプレグ 6…Cu箔 8…外層用プリプレグ

Claims (1)

    【特許請求の範囲】
  1. 【請求項1】基材にPTFEディスパージョンを含浸し
    て乾燥させた後、PTFEの融点より高温条件下で焼成
    し、上記含浸、乾燥および焼成を繰返して必要樹脂保持
    量の第1層を形成する第1工程と、上記第1層の表面に
    PTFEディスパージョンを含浸した後、PTFEの融
    点より低温条件下で乾燥させ、上記含浸および乾燥を繰
    返して必要樹脂保持量の第2層を形成する第2工程と、
    上記第2層の表面にPFAディスパージョンを含浸して
    乾燥させた後、該PFAおよび上記PTFEの融点より
    高温条件下で焼成し、上記含浸、乾燥および焼成を繰返
    して必要樹脂保持量の第3層を形成すると共に、プリプ
    レグを形成する第3工程と、上記プリプレグの少なくと
    も片面に金属箔を配置した後に、上記PTFEおよびP
    FAの融点より高温条件下で、かつ高圧プレスする第4
    工程とを備えた積層板の製造方法。
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