JPH0784228A - 誘電体光導波路デバイス - Google Patents
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Abstract
制し、誘電体光導波路デバイスの高信頼化、長寿命化を
図ることである。 【構成】 光導波路2が形成されたLiNbO3 結晶か
らなる基板1上に、SiO2 からなる絶縁性のバッファ
層4が形成され、その上にSiからなる半導電性膜5が
形成されている。そして、半導電性膜5上にSiO2 か
らなる絶縁性の拡散抑制層6が形成されており、Auか
らなる一対の金属電極3は拡散抑制膜6上に配置されて
いる。電極3が半導電性膜5に固相で拡散することによ
るシリサイド化が拡散抑制層6により防止される。
Description
スに関する。光変調器等の光デバイスの一態様として、
光導波路デバイスがある。光導波路デバイスは、構造上
小形軽量化が容易でプレーナ技術等を用いて量産するこ
とができる等の利点を有している。
はその酸化物を熱拡散して光導波路を形成するととも
に、一対の金属電極を配置して構成される誘電体光導波
路デバイスは、印加電圧によって屈折率の制御が可能で
あるため、各種の光デバイスに応用されている。
スの高信頼化、長寿命化を図るための改良技術に関する
ものである。
ば、強誘電体結晶からなる基板表面の一部に金属又はそ
の酸化物を熱拡散して光導波路を形成し、これの表面に
絶縁性のバッファ層を形成し、さらに半導電性膜を形成
し、この半導電性膜上に金属からなる一対の電極を互い
に離間して配置して構成される。
は、電極への光の吸収を小さくするためであり、該電極
を半導電性膜上に配置するのは、温度変化に伴う焦電効
果による電荷を電極の下に集中させないようにするため
である。この半導電性膜の形成材料としては、製造性及
び安定性等の観点からケイ素(Si)が用いられ、ま
た、電極の形成材料としては金(Au)が用いられてい
る。
光導波路デバイスにおいては、ケイ素等からなる半導電
性膜は金等からなる電極に対し、その接合部で固相合金
反応を起こし、例えば、ケイ素と金の場合には金シリサ
イドが形成される。この反応は時間と共に進行し、最終
的には一対の電極間が短絡されるという問題がある。特
に高温になる程固相反応の進行が早いので問題が大き
い。
に接合する固体間でおこる化学変化であり、金属の分子
又は原子がこれに接合する固体内に拡散することにより
合金化が進行する反応である。一般に高温になるほどそ
の進行速度が早い。
のであり、その目的とするところは、電極間の短絡の発
生を抑制し、誘電体光導波路デバイスの高信頼化、長寿
命化を図ることである。
れた誘電体からなる基板と、該基板上に設けられた絶縁
性のバッファ層と、該バッファ層上に設けられた半導電
性膜と、該基板の該光導波路に対応して互いに離間して
配置された金属からなる一対の電極と、該半導電性膜と
該電極との間に介在するように設けられた絶縁性の拡散
抑制層とを備えて構成される。
に形成されていてよく、あるいは、前記電極に対応する
部分のみに互いに離間して形成されていてもよい。前記
基板はニオブ酸リチウム(LiNbO3 )とし、前記半
導電性膜はケイ素(Si)とし、前記電極は金(Au)
とすることができる。また、前記バッファ層及び前記拡
散抑制層は、二酸化ケイ素(SiO2 )とすることがで
き、望ましくは、前記拡散抑制層の層厚は前記バッファ
層の層厚よりも小さくする。 (2)本発明第2の構成 また、本発明の誘電体光導波路デバイスは、光導波路が
形成された誘電体からなる基板と、該基板上に設けられ
た絶縁性のバッファ層と、該バッファ層上に設けられた
半導電性膜と、該基板の該光導波路に対応して互いに離
間して配置された金属からなる一対の電極と、該半導電
性膜と該電極との間に介在し、該電極と該半導電性膜と
の固相合金反応についての拡散定数よりも、該半導電性
膜との固相合金反応についての拡散定数が小さい金属か
らなり、該電極に対応する部分のみに互いに離間して設
けられている拡散抑制層とを備えて構成される。
は、金属がこれに接合する物体に固相反応することによ
り拡散する程度を示す値をいう。前記基板はニオブ酸リ
チウム(LiNbO3 )とし、前記半導電性膜はケイ素
(Si)とし、前記電極は金(Au)とすることができ
る。また、この場合における前記拡散抑制層の形成材料
としては、アルミニウム(Al)、チタン(Ti)、ク
ロム(Cr)、ニッケル(Ni)、銅(Cu)、亜鉛
(Zn)、ガリウム(Ga)、ゲルマニウム(Ge)、
銀(Ag)、インジウム(In)、及び白金(Pt)の
うちの一の材料、あるいはその合金を採用することがで
きる。 (3)本発明第3の構成 さらに、本発明による光導波路デバイスは、光導波路が
形成された誘電体からなる基板と、該基板の該光導波路
に対応して互いに離間して配置された一対の電極と、該
基板と該電極との間に設けられ、該一対の電極で挟まれ
た部分に対応する部分の一部に、該電極の相対部分の両
端方向に渡って半導電性の第1の半導電部を有し、該第
1の半導電部の周囲に絶縁性の第1の絶縁部を有する第
1の層と、該第1の層と該電極との間に介在し、該第1
の半導電部に概略対応する部分に絶縁性の第2の絶縁部
を有し、該第2の絶縁部の周囲に該第1の半導電部の周
囲近傍に接合された半導電性の第2の半導電部を有する
第2の層とを備えて構成される。
3 )とし、前記第1の層の前記第1の半導電部及び前記
第2の層の前記第2の半導電部はケイ素(Si)とし、
前記電極は金(Au)とすることができる。また、前記
第1の層の前記第1の半導電部及び前記第2の層の前記
第2の絶縁部は、それぞれ互いに離間して複数設けて構
成することができる。
の電極との間には、絶縁性の拡散抑制層が介在してお
り、この拡散抑制層により半導電性膜と電極との固相合
金反応が抑制される。従って、該一対の電極が半導電性
膜を介して経時的に短絡されるということが少なくな
り、誘電体光導波路デバイスの高信頼化及び長寿命化を
図ることができる。
合には、拡散抑制層の形成材料としては二酸化ケイ素を
採用すると合理的である。なぜなら、製造過程におい
て、バッファ層上に半導電性膜を形成した後に、その表
面を加熱処理して酸化させることにより、容易に二酸化
ケイ素膜からなる拡散抑制層を形成することができるか
らである。
抑制するという観点からは大きいほど効果的であるが、
電極に印加する駆動電圧の上昇を招くため、少なくとも
バッファ層の層厚よりも小さいことが望ましい。 (2)本発明第2の構成 本発明第2の構成によると、前記半導電性膜と前記一対
の電極との間には、金属からなる拡散抑制層が介在して
おり、この拡散抑制層により半導電性膜と電極との固相
合金反応が抑制される。従って、該一対の電極が半導電
性膜を介して経時的に短絡されるということが少なくな
り、誘電体光導波路デバイスの高信頼化及び長寿命化を
図ることができる。
半導電性膜との拡散定数よりも、該半導電性膜との拡散
定数が小さい金属を用い、且つ電気的に離間した状態で
配置される必要がある。一対の電極間が短絡されること
は許されないからである。 (3)本発明第3の構成 本発明第3の構成によると、第2の層の一対の電極で挟
まれた部分には、一対の電極の相対部分の両端方向に渡
る第2の絶縁部が存在し、この第2の絶縁部に概略対応
して第1の層に第1の半導電部が存在するようにしたの
で、電極と第2の半導電部との固相合金反応の進行は第
2の絶縁部にて阻害され、固相合金反応の進行経路が複
雑化する。従って、該一対の電極が経時的に短絡される
までの時間を大きくすることができ、誘電体光導波路デ
バイスの高信頼化及び長寿命化を図ることができる。
ことにより、電極下への不均一な電荷分布の発生による
特性変化(温度ドリフト)を抑制するという第2の層の
本来的な目的が阻害される可能性があるが、第2の絶縁
部は第1の半導電部により補われているので、このよう
な心配はない。
第2の絶縁部は、それぞれ互いに離間して複数設けるこ
とにより、さらに、固相合金反応の進行経路が複雑化
し、誘電体光導波路デバイスの高信頼化及び長寿命化を
図ることができる。
することにする。 (1)第1実施例 図1及び図2は本発明第1の構成に対応する第1実施例
を示す図であり、図1はマッハツェンダ型光変調器の要
部の断面図、図2は同じく平面図である。
iNbO3 )結晶板からなる基板であり、基板1の表面
にはその両端部近傍で結合された一対の光導波路2が形
成されている。この光導波路2は基板1表面にチタン
(Ti)等の金属を熱拡散させて、その部分の屈折率を
高めることにより形成される。
設けられた金(Au)からなる電極であり、その一方が
進行波制御電極であり、他方は接地電極である。基板1
の光導波路2が形成された表面には、二酸化シリコン
(SiO2 )からなるバッファ層4が一様に形成されて
いる。このバッファ層4は光導波路2上に対応して配置
される電極3による光の吸収を小さくするためのもので
ある。
i)からなる高抵抗の半導電性膜5が一様に形成されて
いる。基板1を構成するニオブ酸リチウム結晶は焦電効
果が大きく、基板1の温度変化により基板1表面に電荷
を生じるが、この電荷が電極3の下に集中することによ
り、光導波路2の屈折率に影響し、光変調器の場合には
動作点が変化(温度ドリフト)して動作が不安定にな
る。半導電性膜5は、このような温度ドリフトを防止す
る。
シリコン(SiO2 )からなる拡散抑制層としての絶縁
性膜6が一様に形成されている。この絶縁性膜6は、例
えば、前記の半導電性膜5を所要の厚さより厚く形成
し、その表面を加熱して酸化することにより容易に形成
することができる。また、この絶縁性膜6は絶縁性であ
るから、電極3への駆動電圧の上昇を防止する観点から
バッファ層4の層厚よりも小さい層厚とすることが望ま
しい。電極3はこの絶縁性膜6上に、蒸着あるいはメッ
キ等により形成される。
おくと、光導波路の一端からの入射光は分岐されて、一
対の光導波路2に至り、ここで電極3に駆動電圧が印加
されることにより、電気光学効果により分岐された両光
に位相差が生じ、これら両光を再び結合させて光信号出
力として取り出す。両光の位相差を例えば零又はπにな
るように駆動電圧を印加すれば、例えば、ON−OFF
のパスル信号を得ることができる。
電極3との間には、絶縁性膜6が介在しており、電極3
は半導電性膜5に直接的に接合されていないから、電極
3と半導電性膜5との固相合金反応が抑制される。従っ
て、一対の電極3が経時的に短絡されるということが少
なくなり、高信頼性で長寿命な光変調器が得られる。 (2)第2実施例 図3は本発明第2の構成に対応する第2実施例を示す図
であり、マッハツェンダ型光変調器の要部の断面図であ
る。前記第1実施例と同一の構成部分には同一の番号を
付し、異なる部分のみについて説明する。
対の電極3の間に拡散抑制層として絶縁性膜6を介在さ
せているが、この実施例では、半導電性膜5と一対の電
極3の間に拡散抑制層として金属膜7を介在させてい
る。この金属膜7は、一対の電極3に対応する部分のみ
に互いに電気的に離間して設けられている。
性膜5(Si)に対する固相合金反応についての拡散定
数よりも、半導電性膜5に対する固相合金反応について
の拡散定数が小さい、例えば、クロム(Cr)から構成
される。また、金属膜7の形成材料としては、クロムの
他に、アルミニウム(Al)、チタン(Ti)、ニッケ
ル(Ni)、銅(Cu)、亜鉛(Zn)、ガリウム(G
a)、ゲルマニウム(Ge)、銀(Ag)、インジウム
(In)、及び白金(Pt)のうちの一の材料、あるい
はその合金を採用することができる。
電極3との間には、金属膜7が介在しており、金属膜7
と半導電性膜5との固相合金反応についての拡散定数
は、電極3と半導電性膜5の拡散定数よりも小さいか
ら、従来の構造と比較して半導電性膜5の固相合金反応
の進行は少ない。従って、一対の電極3が経時的に短絡
されるということが少なくなり、高信頼で長寿命な光変
調器が得られる。 (3)第3実施例 図4乃至図6は本発明第3の構成に対応する第3実施例
を示す図であり、図4はマッハツェンダ型光変調器の要
部の断面図、図5は同じく平面図、図6は同じく製造工
程図である。前記第1又は第2実施例と同一の構成部分
については同一の番号を付して説明する。
いて、1はニオブ酸リチウム(LiNbO3 )結晶板か
らなる基板であり、基板1の表面にはその両端部近傍で
結合された一対の光導波路2が形成されている。
設けられた金(Au)からなる電極であり、その一方が
進行波制御電極であり、他方は接地電極である。基板1
の光導波路2が形成された表面には、主として二酸化シ
リコン(SiO 2 )からなるバッファ層として機能する
第1の層8が一様に形成されている。この第1の層8は
光導波路2上に配置される電極3による光の吸収を小さ
くするためのものである。
に挟まれた部分に対応する部分に、一対の電極3の相対
部分の両端方向に渡ってシリコン(Si)からなる一対
の半導電部(第1の半導電部)8Aを有しており(図5
参照)、その余の部分に二酸化シリコンからなる絶縁部
8Bを有している。
(Si)からなる高抵抗の半導電性膜からなる第2の層
9が一様に形成されている。そして、この第2の層9の
一部には、第1の層8の半導電部8Aにそれぞれ対応し
て、二酸化シリコン(SiO 2 )からなる一対の絶縁部
9Aが設けられている。この絶縁部9A以外の部分はシ
リコン(Si)からなる半導電部9Bである。
さく形成されており、第1の層8の半導電部8Aの周囲
近傍は、第2の層9の半導電部9Bに接合されている。
即ち、第2の層9の絶縁部9Aが第1の層8の半導電部
8Aにより補完されており、半導電部9B及び半導電部
8Aにより、前記第1又は第2実施例における半導電性
膜5に相当する機能が営まれる。
焦電効果が大きく、基板1の温度変化により基板1表面
に電荷を生じるが、この電荷が電極3の下に集中するこ
とにより、光導波路2の屈折率に影響し、光変調器の場
合には動作点が変化(温度ドリフト)して動作が不安定
になる。この第2の層9の半導電部9B及び第1の層8
の半導電部8Aにより、このような温度変化による動作
点の変化が防止される。電極3は第2の層9の半導電部
9B上に配置される。
製造工程の一例を簡単に説明する。まず、同図(a)に
示されるように、ニオブ酸リチウム(LiNbO3 )結
晶板からなる基板1表面に、チタン(Ti)等の金属を
熱拡散させて、その部分の屈折率を高めることにより光
導波路2を形成し、これの表面に二酸化シリコン(Si
O2 )膜10を全体的に一様に形成する。次に、同図
(b)に示されるように、後に形成される一対の電極3
の間の部分に相当する部分の一部をエッチング除去する
ことにより溝11を形成し、同図(c)に示されるよう
に、溝11を含むその表面にシリコン(Si)膜12を
形成する。
リコン膜12の一部をエッチング除去することにより
(溝11内のシリコン膜13は残す)、溝14を形成
し、さらに、同図(e)に示されるように、溝14内に
二酸化シリコン膜15を充填するように形成し、同図
(f)に示されるように、シリコン膜12上に金を蒸着
あるいはメッキして電極3を形成する。
極3で挟まれた部分に、一対の絶縁部9Aが設けられ、
この一対の絶縁部9Aに概略対応して第1の層8に半導
電部8Aが設けられているので、一対の電極3間に存す
る半導電部9B及び8Aは、図4からも明らかなように
段差状となっており、その経路が複雑化しており、半導
電部9B及び8Aのシリサイド化が進行したとしても、
短絡に至るまでには、長時間を要するようになる。従っ
て、光変調器の高信頼化及び長寿命化を図ることができ
る。
とにより、電極3の下への不均一な電荷分布の発生によ
る特性変化(温度ドリフト)を抑制するという本来的な
機能が阻害されることが危惧されるが、第2の層9の絶
縁部9Aは第1の層8の半導電部8Aにより補われてい
るので、このような心配はない。
の半導電部8A及び第2の層9の絶縁部9Aは、それぞ
れ2本設けて構成しているが、本発明はこれに限定され
ることはなく、第1の層8の半導電部8A及び第2の層
9の絶縁部9Aは、それぞれ1本でもよく、さらに、そ
れぞれ3本以上設けて構成してもよい。
で、固相合金反応による電極間の短絡の発生が抑制さ
れ、誘電体光導波路デバイスの高信頼化、長寿命化を図
ることができるという効果を奏する。
Claims (14)
- 【請求項1】 光導波路(2) が形成された誘電体からな
る基板(1) と、 該基板(1) 上に設けられた絶縁性のバッファ層(4) と、 該バッファ層(4) 上に設けられた半導電性膜(5) と、 該基板(1) の該光導波路(2) に対応して互いに離間して
配置された金属からなる一対の電極(3) と、 該半導電性膜(5) と該電極(3) との間に介在するように
設けられた絶縁性の拡散抑制層(6) とを備えた誘電体光
導波路デバイス。 - 【請求項2】 前記基板はニオブ酸リチウム(LiNb
O3 )である請求項1に記載の誘電体光導波路デバイ
ス。 - 【請求項3】 前記半導電性膜はケイ素(Si)であ
り、前記電極は金(Au)である請求項1に記載の誘電
体光導波路デバイス。 - 【請求項4】 前記拡散抑制層は二酸化ケイ素(SiO
2 )である請求項3に記載の誘電体光導波路デバイス。 - 【請求項5】 前記バッファ層は二酸化ケイ素(SiO
2 )である請求項4に記載の誘電体光導波路デバイス。 - 【請求項6】 前記拡散抑制層の層厚は前記バッファ層
の層厚よりも小さい請求項5に記載の誘電体光導波路デ
バイス。 - 【請求項7】 光導波路(2) が形成された誘電体からな
る基板(1) と、 該基板(1) 上に設けられた絶縁性のバッファ層(4) と、 該バッファ層(4) 上に設けられた半導電性膜(5) と、 該基板(1) の該光導波路(2) に対応して互いに離間して
配置された金属からなる一対の電極(3) と、 該半導電性膜(5) と該電極(3) との間に介在し、該電極
(3) と該半導電性膜(5) との固相合金反応についての拡
散定数よりも、該半導電性膜(5) との固相合金反応につ
いての拡散定数が小さい金属からなり、該電極(3) に対
応する部分のみに互いに離間して設けられている拡散抑
制層(7) とを備えた誘電体光導波路デバイス。 - 【請求項8】 前記基板はニオブ酸リチウム(LiNb
O3 )である請求項7に記載の誘電体光導波路デバイ
ス。 - 【請求項9】 前記半導電性膜はケイ素(Si)であ
り、前記電極は金(Au)である請求項7に記載の誘電
体光導波路デバイス。 - 【請求項10】 前記拡散抑制層はアルミニウム(A
l)、チタン(Ti)、クロム(Cr)、ニッケル(N
i)、銅(Cu)、亜鉛(Zn)、ガリウム(Ga)、
ゲルマニウム(Ge)、銀(Ag)、インジウム(I
n)、及び白金(Pt)のうちの少なくとも一の材料か
らなる請求項9に記載の誘電体光導波路デバイス。 - 【請求項11】 光導波路(2) が形成された誘電体から
なる基板(1) と、 該基板(1) の該光導波路(2) に対応して互いに離間して
配置された金属からなる一対の電極(3) と、 該基板(1) と該電極(3) との間に設けられ、該一対の電
極(3) で挟まれた部分に対応する部分の一部に、該電極
(3) の相対部分の両端方向に渡って半導電性の第1の半
導電部(8A)を有し、該第1の半導電部(8A)の周囲に絶縁
性の第1の絶縁部(8B)を有する第1の層(8) と、 該第1の層(8) と該電極(3) との間に介在し、該第1の
半導電部(8A)に概略対応する部分に絶縁性の第2の絶縁
部(9A)を有し、該第2の絶縁部(9A)の周囲に該第1の半
導電部(8A)の周囲近傍に接合された半導電性の第2の半
導電部(9B)を有する第2の層(9) とを備えた誘電体光導
波路デバイス。 - 【請求項12】 前記基板はニオブ酸リチウム(LiN
bO3 )である請求項11に記載の誘電体光導波路デバ
イス。 - 【請求項13】 前記第1の層の前記第1の半導電部及
び前記第2の層の前記第2の半導電部はケイ素(Si)
であり、前記電極は金(Au)である請求項11に記載
の誘電体光導波路デバイス。 - 【請求項14】 前記第1の層の前記第1の半導電部及
び前記第2の層の前記第2の絶縁部は、それぞれ互いに
離間して複数存在する請求項11に記載の誘電体光導波
路デバイス。
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Cited By (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH103064A (ja) * | 1996-06-14 | 1998-01-06 | Sumitomo Osaka Cement Co Ltd | 導波路型光デバイス |
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Families Citing this family (19)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2894961B2 (ja) * | 1994-11-18 | 1999-05-24 | 日本電気株式会社 | 光制御デバイス |
JP3544020B2 (ja) * | 1995-01-13 | 2004-07-21 | 富士通株式会社 | 光導波路デバイスの製造方法 |
JP2850950B2 (ja) * | 1996-01-19 | 1999-01-27 | 日本電気株式会社 | 導波型光デバイス |
EP0813092B1 (en) * | 1996-06-14 | 2007-03-07 | Sumitomo Osaka Cement Co., Ltd. | Optical waveguide modulator with travelling-wave type electrodes |
US6198855B1 (en) | 1996-07-19 | 2001-03-06 | Jds Uniphase Corporation | Velocity-matched, traveling-wave electro-optical devices using non-conductive and conductive polymer buffer layers |
JP3723333B2 (ja) * | 1997-09-29 | 2005-12-07 | 日本碍子株式会社 | 光変調器 |
US5987196A (en) * | 1997-11-06 | 1999-11-16 | Micron Technology, Inc. | Semiconductor structure having an optical signal path in a substrate and method for forming the same |
US6185355B1 (en) * | 1998-09-01 | 2001-02-06 | Henry H. Hung | Process for making high yield, DC stable proton exchanged waveguide for active integrated optic devices |
US6891982B2 (en) | 2001-05-25 | 2005-05-10 | Anritsu Corporation | Optical modulation device having excellent electric characteristics by effectively restricting heat drift |
US6751396B2 (en) * | 2001-12-26 | 2004-06-15 | Lucent Technologies Inc. | Integrated optical devices and method of fabrication therefor |
US6711308B2 (en) * | 2001-12-26 | 2004-03-23 | Lucent Technologies Inc. | Electro-optical modulators |
US7231101B2 (en) * | 2005-04-18 | 2007-06-12 | Jds Uniphase Corporation | Electro-optic waveguide device capable of suppressing bias point DC drift and thermal bias point shift |
US7856156B2 (en) * | 2008-08-22 | 2010-12-21 | The Boeing Company | Lithium niobate modulator having a doped semiconductor structure for the mitigation of DC bias drift |
JP5291764B2 (ja) * | 2011-06-24 | 2013-09-18 | 株式会社アドバンテスト | 光デバイスおよび光変調装置 |
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GB8812180D0 (en) * | 1988-05-23 | 1988-06-29 | Bt & D Technologies Ltd | Electro-optic device |
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JPH0786624B2 (ja) * | 1989-02-28 | 1995-09-20 | 日本電気株式会社 | 方向性結合器型光スイッチ |
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JPH04179931A (ja) * | 1990-11-14 | 1992-06-26 | Oki Electric Ind Co Ltd | 導波型光デバイス |
JP3162424B2 (ja) * | 1991-05-27 | 2001-04-25 | キヤノン株式会社 | 導波型光検出器及びその作製方法 |
-
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-
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- 1994-02-03 EP EP94101645A patent/EP0644449B1/en not_active Expired - Lifetime
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-
1995
- 1995-06-02 US US08/459,459 patent/US5598490A/en not_active Expired - Lifetime
Cited By (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH103064A (ja) * | 1996-06-14 | 1998-01-06 | Sumitomo Osaka Cement Co Ltd | 導波路型光デバイス |
US5982958A (en) * | 1996-06-14 | 1999-11-09 | Sumitomo Osaka Cement Co., Ltd. | Optical waveguide modulator device |
JP2017161595A (ja) * | 2016-03-07 | 2017-09-14 | 住友大阪セメント株式会社 | 導波路型光素子 |
Also Published As
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