JPH0779220B2 - 圧電部品の容量調整方法及び圧電部品 - Google Patents
圧電部品の容量調整方法及び圧電部品Info
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- JPH0779220B2 JPH0779220B2 JP19579990A JP19579990A JPH0779220B2 JP H0779220 B2 JPH0779220 B2 JP H0779220B2 JP 19579990 A JP19579990 A JP 19579990A JP 19579990 A JP19579990 A JP 19579990A JP H0779220 B2 JPH0779220 B2 JP H0779220B2
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- piezoelectric
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Description
【発明の詳細な説明】 ［産業上の利用分野］ 本願発明は容量を一体的に有する容量付加型の圧電部品
の容量調整方法及びその方法により容量調整を施した圧
電部品に関する。
の容量調整方法及びその方法により容量調整を施した圧
電部品に関する。
［従来の技術］ 従来の容量付加型の圧電部品としては、例えば第３図及
び第４図にその斜視図及び断面図を示すような３端子型
圧電部品がある。
び第４図にその斜視図及び断面図を示すような３端子型
圧電部品がある。
この従来の圧電部品においては、第５図に示すように、
圧電基板１の両面に振動電極2a,2b及びこれと導通する
引出し電極10a,10bを設けて圧電素子３を形成してい
る。そして、この圧電素子３を間に挾んで上部及び下部
封止基板4a,4bを積層し、その両端側に、上部封止基板4
aの上面から下部封止基板4bの下面にわたって外部電極5
a,5bを形成している。上記封止基板4a,4bは誘電体から
なっており、その内面には、第６図に示すように、振動
空間を形成するための円形の凹部11と外部電極5a,5bと
引出し電極10a,10bの接触面積を増大し接続強度を大き
くするための半円形凹部12が形成されている。外部電極
5a,5bの間の封止基板4a,4bの表面には、外部電極5a,5b
との間に所定の容量を形成するセンタ電極６が形成され
ている。このように構成された圧電部品は第７図に示す
ような等価回路を有しており、発振子Ａと容量C1,C2が
一体的に構成された容量付加型の発振子を構成してい
る。
圧電基板１の両面に振動電極2a,2b及びこれと導通する
引出し電極10a,10bを設けて圧電素子３を形成してい
る。そして、この圧電素子３を間に挾んで上部及び下部
封止基板4a,4bを積層し、その両端側に、上部封止基板4
aの上面から下部封止基板4bの下面にわたって外部電極5
a,5bを形成している。上記封止基板4a,4bは誘電体から
なっており、その内面には、第６図に示すように、振動
空間を形成するための円形の凹部11と外部電極5a,5bと
引出し電極10a,10bの接触面積を増大し接続強度を大き
くするための半円形凹部12が形成されている。外部電極
5a,5bの間の封止基板4a,4bの表面には、外部電極5a,5b
との間に所定の容量を形成するセンタ電極６が形成され
ている。このように構成された圧電部品は第７図に示す
ような等価回路を有しており、発振子Ａと容量C1,C2が
一体的に構成された容量付加型の発振子を構成してい
る。
そして、上記３端子型圧電部品においては、容量C1,C2
は第４図に示すように形成されており、その容量値は封
止基板4a,4bの誘電率ε、厚みｔ、外部電極5a,5bとセン
タ電極６の間の距離（ギャップ）Ｇなどを適当に選択す
ることにより調整されている。
は第４図に示すように形成されており、その容量値は封
止基板4a,4bの誘電率ε、厚みｔ、外部電極5a,5bとセン
タ電極６の間の距離（ギャップ）Ｇなどを適当に選択す
ることにより調整されている。
［発明が解決しようとする課題］ しかし、封止基板4a及び4bの誘電率ε、厚みｔ、外部電
極5a,5bとセンタ電極６の間の距離Ｇなどの選択範囲に
は、封止基板4a,4bの機械的強度あるいは圧電部品とし
ての寸法的な制約その他に起因する制約があり、所定の
容量を得ることは必ずしも容易ではなく、場合によって
は圧電部品として必要な特性を得ることができないとい
う問題点がある。
極5a,5bとセンタ電極６の間の距離Ｇなどの選択範囲に
は、封止基板4a,4bの機械的強度あるいは圧電部品とし
ての寸法的な制約その他に起因する制約があり、所定の
容量を得ることは必ずしも容易ではなく、場合によって
は圧電部品として必要な特性を得ることができないとい
う問題点がある。
本願発明は上記の問題点を解決するものであり、組み立
て後にも容易に容量を調整することが可能な圧電部品の
容量調整方法及び外容量調整方法により所定の容量に調
整された容量付加型の圧電部品を提供することを目的と
する。
て後にも容易に容量を調整することが可能な圧電部品の
容量調整方法及び外容量調整方法により所定の容量に調
整された容量付加型の圧電部品を提供することを目的と
する。
［課題を解決するための手段］ 上記問題点を解決するために、本願発明の圧電部品の周
波数調整方法は、 圧電基板に振動電極を設けてなる圧電素子と、該圧電素
子を両面から挾持する上部及び下部封止基板と、前記封
止基板の両端部に上部封止基板の上面から下部封止基板
の下面にわたって形成された外部電極と、前記外部電極
の間の前記封止基板の表面に設けられ前記外部電極との
間に所定の容量を形成するセンタ電極とを備えた圧電部
品において、 前記外部電極とセンタ電極との間の前記封止基板の表面
に溝を形成することにより前記容量の大きさを調整する
ことを特徴とする。
波数調整方法は、 圧電基板に振動電極を設けてなる圧電素子と、該圧電素
子を両面から挾持する上部及び下部封止基板と、前記封
止基板の両端部に上部封止基板の上面から下部封止基板
の下面にわたって形成された外部電極と、前記外部電極
の間の前記封止基板の表面に設けられ前記外部電極との
間に所定の容量を形成するセンタ電極とを備えた圧電部
品において、 前記外部電極とセンタ電極との間の前記封止基板の表面
に溝を形成することにより前記容量の大きさを調整する
ことを特徴とする。
また、本願発明の圧電部品は、 圧電基板の両面に振動電極及び該振動電極から引出され
た引出し電極を設けてなる圧電素子と、 前記圧電素子を両面から挾持する上部及び下部封止基板
と、 前記封止基板の両端側に上部封止基板の上面から下部封
止基板の下面にわたって形成された外部電極と、 前記外部電極の間の前記封止基板の表面に設けられ前記
外部電極との間に所定の容量を形成するセンタ電極とを
備えるとともに、 前記外部電極とセンタ電極との間の封止基板の表面に容
量調整用の溝を設けたことを特徴としている。
た引出し電極を設けてなる圧電素子と、 前記圧電素子を両面から挾持する上部及び下部封止基板
と、 前記封止基板の両端側に上部封止基板の上面から下部封
止基板の下面にわたって形成された外部電極と、 前記外部電極の間の前記封止基板の表面に設けられ前記
外部電極との間に所定の容量を形成するセンタ電極とを
備えるとともに、 前記外部電極とセンタ電極との間の封止基板の表面に容
量調整用の溝を設けたことを特徴としている。
［作用］ 本願発明の容量調整方法においては、外部電極とセンタ
電極との間の封止基板の表面に溝が形成されることによ
り、外部電極とセンタ電極との間の封止基板（誘電体）
の形状が変化する。したがって、封止基板に所定の幅、
深さあるいは断面形状を有する上記溝を形成することに
より外部電極とセンタ電極との間に形成される容量の大
きさを調整することができる。
電極との間の封止基板の表面に溝が形成されることによ
り、外部電極とセンタ電極との間の封止基板（誘電体）
の形状が変化する。したがって、封止基板に所定の幅、
深さあるいは断面形状を有する上記溝を形成することに
より外部電極とセンタ電極との間に形成される容量の大
きさを調整することができる。
また、本願発明の圧電部品にあっては、外部電極とセン
タ電極との間の封止基板の表面に設けられた容量調整用
の溝により、外部電極とセンタ電極との間に形成される
容量の大きさが所定の値に調整されている。
タ電極との間の封止基板の表面に設けられた容量調整用
の溝により、外部電極とセンタ電極との間に形成される
容量の大きさが所定の値に調整されている。
［実施例］ 以下、本願発明の実施例を図に基づいて説明する。
第１図及び第２図は本願発明の一実施例にかかる圧電部
品の裏面を示す斜視図及び正置した状態の断面図であ
る。この実施例において、封止基板4a,4bの内面の構
造、これらに挾持された圧電素子３などの内部構造は前
述の従来例と同様であるため、その説明を省略する。
品の裏面を示す斜視図及び正置した状態の断面図であ
る。この実施例において、封止基板4a,4bの内面の構
造、これらに挾持された圧電素子３などの内部構造は前
述の従来例と同様であるため、その説明を省略する。
第１図及び第２図に示すように、この圧電部品において
は、圧電素子３を挾持する上部及び下部封止基板4a,4b
の両端部には上部封止基板4aの上面から下部封止基板4b
の下面にわたって形成された２つの外部電極5a,5bが形
成されている。外部電極5a,5bの間の封止基板4a,4bの表
面にはこれら外部電極5a,5bとの間に所定の容量を形成
するセンタ電極６が圧電部品の全周にわたって形成され
ている。
は、圧電素子３を挾持する上部及び下部封止基板4a,4b
の両端部には上部封止基板4aの上面から下部封止基板4b
の下面にわたって形成された２つの外部電極5a,5bが形
成されている。外部電極5a,5bの間の封止基板4a,4bの表
面にはこれら外部電極5a,5bとの間に所定の容量を形成
するセンタ電極６が圧電部品の全周にわたって形成され
ている。
第１図及び第２図はすでに容量調整用の溝20が形成され
た状態を示しているが、第３図及び第４図に示すような
容量調整前に圧電部品について容量調整を行うにあたっ
ては、例えば、ダイサー等により、下部封止基板4bの、
外部電極5a,5bとセンタ電極６との間に容量調整用の溝2
0を形成することにより行う（第１図，第２図）。
た状態を示しているが、第３図及び第４図に示すような
容量調整前に圧電部品について容量調整を行うにあたっ
ては、例えば、ダイサー等により、下部封止基板4bの、
外部電極5a,5bとセンタ電極６との間に容量調整用の溝2
0を形成することにより行う（第１図，第２図）。
封止基板4a,4bに容量調整用の溝20を形成するには上記
のようにダイサーによる場合に限らず、カッタをモータ
で駆動させるようにした切削機械等により切削加工する
ようにしてもよく、その他種々の方法で溝20を形成する
ことができる。
のようにダイサーによる場合に限らず、カッタをモータ
で駆動させるようにした切削機械等により切削加工する
ようにしてもよく、その他種々の方法で溝20を形成する
ことができる。
溝20の幅、深さ、断面形状などは容量の調整幅などに応
じて適当に選択することができる。
じて適当に選択することができる。
溝20の数についても容量の調整量によりその数を任意に
選択することが可能であり、一つあるいは複数の溝を形
成することにより所定の容量値に調整することができ
る。
選択することが可能であり、一つあるいは複数の溝を形
成することにより所定の容量値に調整することができ
る。
また、下部封止基板4bのみではなく上部封止基板4aにも
溝20を形成することにより、容量の調整幅を増大させる
ことができる。ただし、実装工程において用いるチップ
マウンタが吸引ノズルを用いている場合には、圧電部品
の上面に溝を形成すると該溝から空気が洩れて圧電部品
をチップマウンタにより保持できなくなるため、上部封
止基板4aの表面に溝を形成することは好ましくない場合
がある。
溝20を形成することにより、容量の調整幅を増大させる
ことができる。ただし、実装工程において用いるチップ
マウンタが吸引ノズルを用いている場合には、圧電部品
の上面に溝を形成すると該溝から空気が洩れて圧電部品
をチップマウンタにより保持できなくなるため、上部封
止基板4aの表面に溝を形成することは好ましくない場合
がある。
上記の容量調整方法により行った容量調整の例を以下に
示す。
示す。
第１図及び第２図に示すような圧電部品において、その
寸法が幅Ｘ＝4.5mm、長さＹ＝5.8mmであるときに、誘電
率ε＝1600、厚みｔ＝0.7mm、外部電極とセンタ電極の
間の距離Ｇ＝1.2mmとすると、容量C1及びC2＝約30pFと
なる。
寸法が幅Ｘ＝4.5mm、長さＹ＝5.8mmであるときに、誘電
率ε＝1600、厚みｔ＝0.7mm、外部電極とセンタ電極の
間の距離Ｇ＝1.2mmとすると、容量C1及びC2＝約30pFと
なる。
この圧電部品の下部封止基板4bに、第１図及び第２図に
示すように、深さａ＝0.2mm、幅ｂ＝0.8mmの溝20を２本
形成すると、容量C1,C2＝約20pFとなった。
示すように、深さａ＝0.2mm、幅ｂ＝0.8mmの溝20を２本
形成すると、容量C1,C2＝約20pFとなった。
［発明の効果］ 上述のように、本願発明の圧電部品の容量調整方法は、
外部電極とセンタ電極との間の封止基板の表面に所定の
幅、深さあるいは断面形状を有する溝を形成して外部電
極とセンタ電極との間に形成される容量を調整するよう
に構成しているので、組み立て後に容量を調整して圧電
部品に所望の容量値を持たせることができる。
外部電極とセンタ電極との間の封止基板の表面に所定の
幅、深さあるいは断面形状を有する溝を形成して外部電
極とセンタ電極との間に形成される容量を調整するよう
に構成しているので、組み立て後に容量を調整して圧電
部品に所望の容量値を持たせることができる。
また、本願発明の圧電部品は、外部電極とセンタ電極と
の間の封止基板の表面に溝を設けることにより容量調整
が行われており、安価で所定の容量が付加された圧電部
品として、フィルタ回路など種々の用途に用いることが
できる。
の間の封止基板の表面に溝を設けることにより容量調整
が行われており、安価で所定の容量が付加された圧電部
品として、フィルタ回路など種々の用途に用いることが
できる。
第１図は本願発明の一実施例を示す斜視図、第２図はそ
の断面図、第３図は本願発明の方法で容量調整する前の
圧電部品すなわち従来の圧電部品を示す斜視図、第４図
はその断面図、第５図は圧電部品の圧電素子を示す図、
第６図は封止基板の内面を示す斜視図、第７図は従来の
圧電部品の等価回路示す図である。 図において同一符号は同一または相当部分を示す。 １……圧電基板 2a,2b……振動電極 ３……圧電素子 4a,4b……封止基板 5a,5b……外部電極 ６……センタ電極 20……溝
の断面図、第３図は本願発明の方法で容量調整する前の
圧電部品すなわち従来の圧電部品を示す斜視図、第４図
はその断面図、第５図は圧電部品の圧電素子を示す図、
第６図は封止基板の内面を示す斜視図、第７図は従来の
圧電部品の等価回路示す図である。 図において同一符号は同一または相当部分を示す。 １……圧電基板 2a,2b……振動電極 ３……圧電素子 4a,4b……封止基板 5a,5b……外部電極 ６……センタ電極 20……溝
Claims (2)
- 【請求項１】圧電基板に振動電極を設けてなる圧電素子
と、該圧電素子を両面から挾持する上部及び下部封止基
板と、前記封止基板の両端部に上部封止基板の上面から
下部封止基板の下面にわたって形成された外部電極と、
前記外部電極の間の前記封止基板の表面に設けられ前記
外部電極との間に所定の容量を形成するセンタ電極とを
備えた圧電部品において、 前記外部電極とセンタ電極との間の前記封止基板の表面
に溝を形成することにより前記容量の大きさを調整する
ことを特徴とする圧電部品の容量調整方法。 - 【請求項２】圧電基板の両面に振動電極及び該振動電極
から引出された引出し電極を設けてなる圧電素子と、 前記圧電素子を両面から挾持する上部及び下部封止基板
と、 前記封止基板の両端側に上部封止基板の上面から下部封
止基板の下面にわたって形成された外部電極と、 前記外部電極の間の前記封止基板の表面に設けられ前記
外部電極との間に所定の容量を形成するセンタ電極とを
備えるとともに、 前記外部電極とセンタ電極との間の封止基板の表面に容
量調整用の溝を設けたこと を特徴とする圧電部品。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP19579990A JPH0779220B2 (ja) | 1990-07-24 | 1990-07-24 | 圧電部品の容量調整方法及び圧電部品 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP19579990A JPH0779220B2 (ja) | 1990-07-24 | 1990-07-24 | 圧電部品の容量調整方法及び圧電部品 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH0482312A JPH0482312A (ja) | 1992-03-16 |
| JPH0779220B2 true JPH0779220B2 (ja) | 1995-08-23 |
Family
ID=16347172
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP19579990A Expired - Lifetime JPH0779220B2 (ja) | 1990-07-24 | 1990-07-24 | 圧電部品の容量調整方法及び圧電部品 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH0779220B2 (ja) |
Families Citing this family (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| WO2008016599A2 (en) * | 2006-08-02 | 2008-02-07 | Cts Corporation | Laser capacitance trimmed piezoelectric element and method of making the same |
-
1990
- 1990-07-24 JP JP19579990A patent/JPH0779220B2/ja not_active Expired - Lifetime
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPH0482312A (ja) | 1992-03-16 |
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Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| LAPS | Cancellation because of no payment of annual fees |