JPH0776982B2 - バーコードのマーク付け及び読み取りの方法及び装置 - Google Patents
バーコードのマーク付け及び読み取りの方法及び装置Info
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- JPH0776982B2 JPH0776982B2 JP2121407A JP12140790A JPH0776982B2 JP H0776982 B2 JPH0776982 B2 JP H0776982B2 JP 2121407 A JP2121407 A JP 2121407A JP 12140790 A JP12140790 A JP 12140790A JP H0776982 B2 JPH0776982 B2 JP H0776982B2
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Description
【発明の詳細な説明】 〔産業上の利用分野〕 本発明は、英数字データを表現するために有効な、バー
コード構成に関するものである。具体的にいうと、本発
明は、バーが均一な単一の幅寸法と、特別の同期性を示
し、読みやすさを高めるためにタイミングマークのサブ
シーケンスを含むように符号化される、バーコードに関
するものである。さらに具体的にいうと、VLSI回路製造
工程で生産されるような電子回路チツプの製造に用いら
れる、半導体ウエーハの製造及びその工程に採用できる
高密度バーコードシステムに関するものである。
コード構成に関するものである。具体的にいうと、本発
明は、バーが均一な単一の幅寸法と、特別の同期性を示
し、読みやすさを高めるためにタイミングマークのサブ
シーケンスを含むように符号化される、バーコードに関
するものである。さらに具体的にいうと、VLSI回路製造
工程で生産されるような電子回路チツプの製造に用いら
れる、半導体ウエーハの製造及びその工程に採用できる
高密度バーコードシステムに関するものである。
記号データ、特に英数字記号を表現するためのバーコー
ド・フオントは、大変望ましいものである。なぜならそ
れらは、光学式文字認識（OCR）システムに依存しな
い、機械の読み取り可能性を与える仕組みになつている
からである。一般的にOCRシステムは、バーコードシス
テムよりエラーを生じやすい傾向にある。しかしながら
それにもかかわらずバーコードシステムは、あるエラー
条件に影響されやすい。不透明なフィルムでバーコード
を部分的におおつてしまつたり、コントラスト比が減少
し、広い幅及び狭い幅のバーの識別を困難にしてしまう
等は、この１例である。例えば、もしバーコード読み取
り機の走査速度が絶対的に一定でないなら、バーの間の
長いギヤツプは読み取りエラーを、より生みやすくす
る。バーの間に多くの空白スペースを持つバーコード
は、特にこの種のエラーを受けやすい。例えば、あるバ
ーコードにおける３％の速度変動は、読み取りエラーを
引き起こすのに十分である。従つて、走査速度を変動に
敏感でないバーコードシステムをつくることが望ましい
ことがわかる。
ド・フオントは、大変望ましいものである。なぜならそ
れらは、光学式文字認識（OCR）システムに依存しな
い、機械の読み取り可能性を与える仕組みになつている
からである。一般的にOCRシステムは、バーコードシス
テムよりエラーを生じやすい傾向にある。しかしながら
それにもかかわらずバーコードシステムは、あるエラー
条件に影響されやすい。不透明なフィルムでバーコード
を部分的におおつてしまつたり、コントラスト比が減少
し、広い幅及び狭い幅のバーの識別を困難にしてしまう
等は、この１例である。例えば、もしバーコード読み取
り機の走査速度が絶対的に一定でないなら、バーの間の
長いギヤツプは読み取りエラーを、より生みやすくす
る。バーの間に多くの空白スペースを持つバーコード
は、特にこの種のエラーを受けやすい。例えば、あるバ
ーコードにおける３％の速度変動は、読み取りエラーを
引き起こすのに十分である。従つて、走査速度を変動に
敏感でないバーコードシステムをつくることが望ましい
ことがわかる。
多くのバーコードは、複数の異なる幅を有するバーを採
用している。しかしながら、複数幅のバーコード・フオ
ントには、いくつかの欠点がある。特に、例えば１イン
チ当りの文字数で測定した密度は、単一幅のバーのみで
表わされるフオントで得られるもの程高くはない。さら
に、複数のバー幅を採用しているバーコードシステムに
おいては、それぞれのバーの幅や少なくともバーの間の
幅の比を、回路機構が認識する必要がある。また、半導
体ウエーハに通し番号などの情報を表わすイメージを形
成するために、パルスレーザを用いて刻印を行なう時、
バー幅の変調は書き込みの問題も引き起こす。幅広のバ
ー、すなわちレーザ・スポツトの幅よりも大きな幅のバ
ーは、より低い質のバーイメージを生み、非常に長い書
き込み時間を必要とする。このために、レーザ照射強度
を増大させるので、バー幅変調方式のコードは、ウエー
ハに対して大きな損傷を与える危険もある。
用している。しかしながら、複数幅のバーコード・フオ
ントには、いくつかの欠点がある。特に、例えば１イン
チ当りの文字数で測定した密度は、単一幅のバーのみで
表わされるフオントで得られるもの程高くはない。さら
に、複数のバー幅を採用しているバーコードシステムに
おいては、それぞれのバーの幅や少なくともバーの間の
幅の比を、回路機構が認識する必要がある。また、半導
体ウエーハに通し番号などの情報を表わすイメージを形
成するために、パルスレーザを用いて刻印を行なう時、
バー幅の変調は書き込みの問題も引き起こす。幅広のバ
ー、すなわちレーザ・スポツトの幅よりも大きな幅のバ
ーは、より低い質のバーイメージを生み、非常に長い書
き込み時間を必要とする。このために、レーザ照射強度
を増大させるので、バー幅変調方式のコードは、ウエー
ハに対して大きな損傷を与える危険もある。
このように、半導体ウエーハ通し番号の識別などにおい
て、書き込みの質の問題や、バーイメージの劣化又は低
コントラストが存在する際、バー幅変調方式は、読み取
り可能性に関して問題を引き起こす傾向がある。
て、書き込みの質の問題や、バーイメージの劣化又は低
コントラストが存在する際、バー幅変調方式は、読み取
り可能性に関して問題を引き起こす傾向がある。
単一幅のバーコードが採用されているが、独立したタイ
ミングマークの同時使用が必要である。このために単一
幅のバーコードは、２倍のスペースと２台の読み取り機
を必要とする。このようなコードの代表的な例は、米国
のある種の郵便封筒の上に見つけられる。２台の読み取
り機の使用は高価であるのみならず、採用するコードも
ウエーハ上でより広い場所をとることになる。
ミングマークの同時使用が必要である。このために単一
幅のバーコードは、２倍のスペースと２台の読み取り機
を必要とする。このようなコードの代表的な例は、米国
のある種の郵便封筒の上に見つけられる。２台の読み取
り機の使用は高価であるのみならず、採用するコードも
ウエーハ上でより広い場所をとることになる。
本発明は、一般的には、製造、販売、分類及び識別機能
に広く適用できるバーコード読み取りシステムに向けら
れているが、特に半導体ウエーハの識別に適用できる。
特にVLSI回路デバイス、すなわちシリコンのような物質
の加工ウエーハから作られるチツプの製造においては、
効率的に書き込むことができ、著しく苛酷な環境におい
ても安定なコードの採用が必要である。そのようなコー
ドは、ＡからＺ及び０から９の英数字文字のすべての範
囲を表現できる必要がある。こおセツトは、合計36文字
を構成要素とする。しかしながら文字“0"はしばしば要
求されるセツトから削除される。加えて、半導体デバイ
スの製造において存在する寸法上の制約のため、コード
は高密度を示すことが非常に望まれる。したがつてタイ
ミングマークの独立したセツトを必要とするコードは、
タイミングマークが必要とするスペースのために、望ま
しくない。
に広く適用できるバーコード読み取りシステムに向けら
れているが、特に半導体ウエーハの識別に適用できる。
特にVLSI回路デバイス、すなわちシリコンのような物質
の加工ウエーハから作られるチツプの製造においては、
効率的に書き込むことができ、著しく苛酷な環境におい
ても安定なコードの採用が必要である。そのようなコー
ドは、ＡからＺ及び０から９の英数字文字のすべての範
囲を表現できる必要がある。こおセツトは、合計36文字
を構成要素とする。しかしながら文字“0"はしばしば要
求されるセツトから削除される。加えて、半導体デバイ
スの製造において存在する寸法上の制約のため、コード
は高密度を示すことが非常に望まれる。したがつてタイ
ミングマークの独立したセツトを必要とするコードは、
タイミングマークが必要とするスペースのために、望ま
しくない。
さらに、半導体チツプ加工に適するコードは、一般に加
工中のウエーハ上への書き込みが容易で、同様にウエー
ハ又はチツプ加工中の読み取りも容易であるべきであ
る。さらに採用されたバーコード・フオントは、加工条
件、すなわち苛酷な化学物質に対する露出や高温環境
に、よく耐えることができるようにするべきである。さ
らにまた、パルスレーザによつて書き込むことができる
コードを採用することが望まれる。そして、そのような
プロセスに対して開発されたコードは、バーコードが現
在採用されている他の領域においても、広範囲の適応性
を有する。
工中のウエーハ上への書き込みが容易で、同様にウエー
ハ又はチツプ加工中の読み取りも容易であるべきであ
る。さらに採用されたバーコード・フオントは、加工条
件、すなわち苛酷な化学物質に対する露出や高温環境
に、よく耐えることができるようにするべきである。さ
らにまた、パルスレーザによつて書き込むことができる
コードを採用することが望まれる。そして、そのような
プロセスに対して開発されたコードは、バーコードが現
在採用されている他の領域においても、広範囲の適応性
を有する。
本発明の主な目的は、各文字を表わす異なるマーク・ス
ペース・シーケンスの各グループ自体に自己クロツク機
能を組み込んでいる同一幅マークから成るバーコードの
形成で識別情報を基板上にマーク付けする方法及び装置
並びにこのようなバーコード形式でマーク付けされてい
る基板の読み取り方法を提供するものである。
ペース・シーケンスの各グループ自体に自己クロツク機
能を組み込んでいる同一幅マークから成るバーコードの
形成で識別情報を基板上にマーク付けする方法及び装置
並びにこのようなバーコード形式でマーク付けされてい
る基板の読み取り方法を提供するものである。
本発明の他の目的は、マーク間のスペースの最大数が３
以上であるシーケンス・グループを含んでいるバーコー
ド体系であるにも拘らず、マーク／スペース要素単位当
りの文字数で表わした情報コーディング密度が極めて高
く、変動走査速度環境に適したバーコードにより、識別
情報の基板へのマーク付けまたは読み取りの方法を提供
することである。
以上であるシーケンス・グループを含んでいるバーコー
ド体系であるにも拘らず、マーク／スペース要素単位当
りの文字数で表わした情報コーディング密度が極めて高
く、変動走査速度環境に適したバーコードにより、識別
情報の基板へのマーク付けまたは読み取りの方法を提供
することである。
本発明の構成は次の通りである。
1.各文字、数字、記号（単に文字と呼ぶ）に対応して予
め割り振られている単位スペース幅W1の１倍、２倍・・
・Ｍ倍（Ｍまたは３以上の整数）に等しいスペース幅で
相互に離隔されているＮ個の同一幅W2のマークから成る
各文字当り１個の固定長マーク・スペース・シーケンス
の複数グループであつて、各グループ内の対応する相次
ぐ複数マーク／スペース要素位置に同一組み合せのクロ
ツク用のサブシーケンスが組み込まれているバーコード
体系を準備し、基板を識別するための入力文字列情報
を、上記バーコード形式の文字列に対応する２進値電気
信号を変換する手段と、 上記電気信号に応働して上記入力文字列情報を、対応す
るバーコード形式で、基板上にマークを付ける手段と、 より成り、各文字に対応する各コード・シーケンス・グ
ループ中にクロツク用のサブシーケンスが組み込まれて
いるバーコードを基板上にマーク付けする装置。
め割り振られている単位スペース幅W1の１倍、２倍・・
・Ｍ倍（Ｍまたは３以上の整数）に等しいスペース幅で
相互に離隔されているＮ個の同一幅W2のマークから成る
各文字当り１個の固定長マーク・スペース・シーケンス
の複数グループであつて、各グループ内の対応する相次
ぐ複数マーク／スペース要素位置に同一組み合せのクロ
ツク用のサブシーケンスが組み込まれているバーコード
体系を準備し、基板を識別するための入力文字列情報
を、上記バーコード形式の文字列に対応する２進値電気
信号を変換する手段と、 上記電気信号に応働して上記入力文字列情報を、対応す
るバーコード形式で、基板上にマークを付ける手段と、 より成り、各文字に対応する各コード・シーケンス・グ
ループ中にクロツク用のサブシーケンスが組み込まれて
いるバーコードを基板上にマーク付けする装置。
2.上記固定長マーク・スペース・シーケンスが12個のマ
ーク／スペース要素位置から成り、上記マーク数が４個
である上記請求項１記載のマーク付け装置。
ーク／スペース要素位置から成り、上記マーク数が４個
である上記請求項１記載のマーク付け装置。
3.各文字に対応して予め割り振られている単位スペース
幅W1の１倍、２倍、・・・Ｍ倍（Ｍは３以上の整数）に
等しいスペース幅で交互に離隔されているＮ個の同一幅
W2のマークから成る各文字当り１個の固定長マーク・ス
ペース・シーケンスの複数グループであつて、各グルー
プ内の対応する相次ぐ複数マーク／スペース要素位置に
同一組み合せのクロツク用サブシーケンスが組み込まれ
ているバーコード体系を準備し、基板を識別するための
入力文字列情報を上記バーコード形式の文字列に対応す
る２進電気信号に変換するステツプと、 上記電気信号に応働して上記入力文字列情報を、対応す
るバーコード形式で、基板上にマーク付けするステツプ
と、 より成り、各文字に対応する各コード・シーケンス・グ
ループ中にクロツク用のサブ・シーケンスが組み込まれ
ているバーコードを基板上にマーク付けする方法。
幅W1の１倍、２倍、・・・Ｍ倍（Ｍは３以上の整数）に
等しいスペース幅で交互に離隔されているＮ個の同一幅
W2のマークから成る各文字当り１個の固定長マーク・ス
ペース・シーケンスの複数グループであつて、各グルー
プ内の対応する相次ぐ複数マーク／スペース要素位置に
同一組み合せのクロツク用サブシーケンスが組み込まれ
ているバーコード体系を準備し、基板を識別するための
入力文字列情報を上記バーコード形式の文字列に対応す
る２進電気信号に変換するステツプと、 上記電気信号に応働して上記入力文字列情報を、対応す
るバーコード形式で、基板上にマーク付けするステツプ
と、 より成り、各文字に対応する各コード・シーケンス・グ
ループ中にクロツク用のサブ・シーケンスが組み込まれ
ているバーコードを基板上にマーク付けする方法。
4.各文字に対応して予め割り振られている単位スペース
幅W1の１倍、２倍、・・・Ｍ倍（Ｍは３以上の整数）に
等しいスペース幅で交互に離隔７されているＮ個の同一
幅W2のマークから成る各文字当り１個の固定長マーク・
スペース・シーケンスの複数グループであつて、各グル
ープ内の対応する相次ぐ複数マーク／スペース要素位置
に同一組み合せのクロツク用サブシーケンスが組み込ま
れているバーコードの形式で識別情報がマーク付けられ
ている基板を準備し、該基板上のバーコード領域を走査
するステツプと、 上記各シーケンス・グループ内に隣接して配置されてい
るマーク及びスペースの存在又は不在を判定して識別情
報に対応する２進電気信号を発生するステツプと、 より成る基板上のバーコードの読み取り方法。
幅W1の１倍、２倍、・・・Ｍ倍（Ｍは３以上の整数）に
等しいスペース幅で交互に離隔７されているＮ個の同一
幅W2のマークから成る各文字当り１個の固定長マーク・
スペース・シーケンスの複数グループであつて、各グル
ープ内の対応する相次ぐ複数マーク／スペース要素位置
に同一組み合せのクロツク用サブシーケンスが組み込ま
れているバーコードの形式で識別情報がマーク付けられ
ている基板を準備し、該基板上のバーコード領域を走査
するステツプと、 上記各シーケンス・グループ内に隣接して配置されてい
るマーク及びスペースの存在又は不在を判定して識別情
報に対応する２進電気信号を発生するステツプと、 より成る基板上のバーコードの読み取り方法。
5.上記各コード・シーケンス・グループ中のマーク数Ｎ
が４である上記請求項３及び請求項４のいずれかに記載
した方法。
が４である上記請求項３及び請求項４のいずれかに記載
した方法。
6.上記単位スペース幅がW1が上記マーク幅W2に実質的に
等しい上記請求項３及び請求項４のいずれかに記載した
方法。
等しい上記請求項３及び請求項４のいずれかに記載した
方法。
第１図は、本発明の好ましい実施例を示している。特
に、アラビア数字０から９及びアルフアベツト文字Ａか
らＺ（ただし文字“0"は除く）を表現可能な、存在／不
在方式の単一幅のバーコードの符号を第１図は示してい
る。この特別なコードは、35種の別々の記号を表現でき
ることがわかる。それぞれのバーコード符号の底部にお
ける、平らなＵ字型のチヤネルマークは、各バーコード
符号が一定の符号長を有することを示すためにのみ、便
宜上表示されている。特に、各符号が固定長を有し、そ
して複数の単一の幅の垂直なバーと、これらのバーの間
のスペースとから作られていることに注目されたい。ス
ペースの幅は最小スペース幅又はその整数倍の幅を有
し、最小スペース幅はバーの幅と同じ幅であるのが望ま
しい。さらに、英数字のコード・シーケンスに一緒に合
成さる時、それぞれのコードの最初のバーが、タイミン
グ情報を与えることのできるタイミングバーを形成する
ことがわかる。
に、アラビア数字０から９及びアルフアベツト文字Ａか
らＺ（ただし文字“0"は除く）を表現可能な、存在／不
在方式の単一幅のバーコードの符号を第１図は示してい
る。この特別なコードは、35種の別々の記号を表現でき
ることがわかる。それぞれのバーコード符号の底部にお
ける、平らなＵ字型のチヤネルマークは、各バーコード
符号が一定の符号長を有することを示すためにのみ、便
宜上表示されている。特に、各符号が固定長を有し、そ
して複数の単一の幅の垂直なバーと、これらのバーの間
のスペースとから作られていることに注目されたい。ス
ペースの幅は最小スペース幅又はその整数倍の幅を有
し、最小スペース幅はバーの幅と同じ幅であるのが望ま
しい。さらに、英数字のコード・シーケンスに一緒に合
成さる時、それぞれのコードの最初のバーが、タイミン
グ情報を与えることのできるタイミングバーを形成する
ことがわかる。
次に、上で述べたコードBC412を含む、様々な単一幅の
バーコードを図示する第2A図及び第2B図を参照して説明
する。特に第2A図及び第2B図は、文字Ｉの形状でコード
の中のバーの存在を示している。スペース即ちバーの不
在は、ハイフン“−”で図示されている。特に、第2A図
に示されるコードBC412は、常に“Ｉ−”の連続で始ま
ることがわかる。この場合これら２つのコード記号は、
どのようなバーコード符号の連鎖の中にもくりかえされ
る自己クロツキング・サブシーケンス中の２つの要素を
構成する。コードBC412では、コード要素の総数は12で
あり、固定長になつている。さらに、バーが存在しうる
これらの12個のスロツト（要素）の中には、英数字文字
あたり合計４つのバーが存在し、これはタイミング制御
を設定又は再設定する時に役立つ。対応して、それぞれ
の記号は、文字記号あたり合計８つのスペース（バーの
不在）を含む。このようにコードBC412は、ほとんどの
英数字の応用に十分な35文字を表現できることがわか
る。コードBC412に対して最も重要なことは、いかなる
コード・シーケンスにおいても、バーの間のスペースの
最大数が５であるということである。これは隣接するバ
ーの間のスペースが、長い期間ではないことを意味す
る。これは、このようなバーコードの読みやすさや信頼
性を著しく改善する。また、バーの間には最小１つのス
ペースが存在する。従つて最初と最後の要素はそれぞれ
バーとスペースとなる。特に、バーの間のスペースの最
大数が最小となるようなバーコードは、読み取り装置に
おける速度変化に対する感度を制御するために好まし
い。というのは、読み取り装置がバー／スペースのシー
ケンスを読み取る時、装置はバーの存在を発見し、走査
速度と時間からバーの間のスペースの数を推測するから
である。もし走査速度が絶対的に一定でないなら、バー
の間のスペースの長い切れ目は、読み取りエラーを生じ
やすい。第2B図に示されるような、バーの間に最大17ま
でのスペースを有するBBC31コードは、このようなコー
ドの１例である。このようなコードは、ほんの３％の速
度変化でも読み取りエラーになる。しかしながらこれに
対してBC412コードは、バーの間に最大５つのスペース
しか含まず、８％の速度変化でも読み取り可能である。
これは、BC412コードの重要な利点がある。
バーコードを図示する第2A図及び第2B図を参照して説明
する。特に第2A図及び第2B図は、文字Ｉの形状でコード
の中のバーの存在を示している。スペース即ちバーの不
在は、ハイフン“−”で図示されている。特に、第2A図
に示されるコードBC412は、常に“Ｉ−”の連続で始ま
ることがわかる。この場合これら２つのコード記号は、
どのようなバーコード符号の連鎖の中にもくりかえされ
る自己クロツキング・サブシーケンス中の２つの要素を
構成する。コードBC412では、コード要素の総数は12で
あり、固定長になつている。さらに、バーが存在しうる
これらの12個のスロツト（要素）の中には、英数字文字
あたり合計４つのバーが存在し、これはタイミング制御
を設定又は再設定する時に役立つ。対応して、それぞれ
の記号は、文字記号あたり合計８つのスペース（バーの
不在）を含む。このようにコードBC412は、ほとんどの
英数字の応用に十分な35文字を表現できることがわか
る。コードBC412に対して最も重要なことは、いかなる
コード・シーケンスにおいても、バーの間のスペースの
最大数が５であるということである。これは隣接するバ
ーの間のスペースが、長い期間ではないことを意味す
る。これは、このようなバーコードの読みやすさや信頼
性を著しく改善する。また、バーの間には最小１つのス
ペースが存在する。従つて最初と最後の要素はそれぞれ
バーとスペースとなる。特に、バーの間のスペースの最
大数が最小となるようなバーコードは、読み取り装置に
おける速度変化に対する感度を制御するために好まし
い。というのは、読み取り装置がバー／スペースのシー
ケンスを読み取る時、装置はバーの存在を発見し、走査
速度と時間からバーの間のスペースの数を推測するから
である。もし走査速度が絶対的に一定でないなら、バー
の間のスペースの長い切れ目は、読み取りエラーを生じ
やすい。第2B図に示されるような、バーの間に最大17ま
でのスペースを有するBBC31コードは、このようなコー
ドの１例である。このようなコードは、ほんの３％の速
度変化でも読み取りエラーになる。しかしながらこれに
対してBC412コードは、バーの間に最大５つのスペース
しか含まず、８％の速度変化でも読み取り可能である。
これは、BC412コードの重要な利点がある。
本発明に従つた別のバーコードが、第2A図中にBC313と
付けられたコードによつて示される。コードBC412に関
して上述した同じ理由のために、コードBC313も、コー
ド構造に固有の自己クロツキング特性を有することがわ
かる。したがつて、BC412やBC313等のコードは、タイミ
ングマークの独立したセツトの存在を必要としない。し
かしながらコードBC313は、コードBC412よりも、記号あ
たりの要素の数が１つ多い。それでも、36種の異なる記
号のすべてのアルフアベツト文字のセツトを完全に表現
できる。コードBC313は、文字あたり合計３個のバー
と、文字あたり合計10個のスペースとを含んでいること
がわかる。加えて、バーの間のスペースの最大数は８で
あり、これはコードBC412の最大間隔よりも大きい。し
かしコードBC412及びBC313の両者は、それ自体がタイミ
ング回復のサブシーケンスを含む、単一幅のバーコード
を与える。コードBC412及びBC313はそれぞれ固有の識別
性のある構造を有するから、表現される文字あたりの要
素の数が、12個よりも多いコードにまで容易に拡張でき
る。
付けられたコードによつて示される。コードBC412に関
して上述した同じ理由のために、コードBC313も、コー
ド構造に固有の自己クロツキング特性を有することがわ
かる。したがつて、BC412やBC313等のコードは、タイミ
ングマークの独立したセツトの存在を必要としない。し
かしながらコードBC313は、コードBC412よりも、記号あ
たりの要素の数が１つ多い。それでも、36種の異なる記
号のすべてのアルフアベツト文字のセツトを完全に表現
できる。コードBC313は、文字あたり合計３個のバー
と、文字あたり合計10個のスペースとを含んでいること
がわかる。加えて、バーの間のスペースの最大数は８で
あり、これはコードBC412の最大間隔よりも大きい。し
かしコードBC412及びBC313の両者は、それ自体がタイミ
ング回復のサブシーケンスを含む、単一幅のバーコード
を与える。コードBC412及びBC313はそれぞれ固有の識別
性のある構造を有するから、表現される文字あたりの要
素の数が、12個よりも多いコードにまで容易に拡張でき
る。
第2B図は、他の単一幅のバーコードすなわちコードBC41
1、コードBBC31及びコードBC311を示している。これら
はすべて、単一幅のバーコードを例示しているが、好ま
しい自己クロツキングの特徴を有していないことがわか
る。さらにコードBBC31は、いくつかの記号を含まず、
全体で31個の記号の表現しかできない。第2A図及び第2B
図に示される様々なコードの属性は、以下の表１に記載
されている。
1、コードBBC31及びコードBC311を示している。これら
はすべて、単一幅のバーコードを例示しているが、好ま
しい自己クロツキングの特徴を有していないことがわか
る。さらにコードBBC31は、いくつかの記号を含まず、
全体で31個の記号の表現しかできない。第2A図及び第2B
図に示される様々なコードの属性は、以下の表１に記載
されている。
一定数のバーを持つ表１における４つのコードの中で
も、コードBC412はバーの間のスペースの最大数が最も
少なく、５つのスペースしか持たないことに特に注目さ
れたい。前に述べたように、これは非常に望まれる特性
である。また、表現される記号文字あたりの一定数のバ
ー及びスペースを持つという望ましい特徴でさえ、BBC3
1のようなコードは所有しないこともわかる。
も、コードBC412はバーの間のスペースの最大数が最も
少なく、５つのスペースしか持たないことに特に注目さ
れたい。前に述べたように、これは非常に望まれる特性
である。また、表現される記号文字あたりの一定数のバ
ー及びスペースを持つという望ましい特徴でさえ、BBC3
1のようなコードは所有しないこともわかる。
本発明のシステムは、特に加工中の半導体ウエハに識別
番号をつけるのに応用できる。本発明によれば、読み取
り装置はバーの幅やバーの幅の比を認識せずに、バーの
存在又は不在だけを認識すればよいので、書込みも読み
取りも容易になり、コード密度も高くなる。シリコンウ
エーハに適用し、1cmあたり12から６文字のコード密度
を用いた場合、バーの幅は、研磨前及び研磨後のマーク
書込みでは、代表的には約0.10mm〜0.05mmの間である。
より高い分解能の読み取り機を使うなら、より高密度に
より狭くバーを書き込むことも可能である。一例では、
4mil（0.1016mm）の幅を持つバーを用いた。そのような
バーは、中心間の間隔が10mil（0.254mm）になるように
置かれ、このとき隣接バーの間の幅即ちスペースは6mil
（0.1524mm）になる。
番号をつけるのに応用できる。本発明によれば、読み取
り装置はバーの幅やバーの幅の比を認識せずに、バーの
存在又は不在だけを認識すればよいので、書込みも読み
取りも容易になり、コード密度も高くなる。シリコンウ
エーハに適用し、1cmあたり12から６文字のコード密度
を用いた場合、バーの幅は、研磨前及び研磨後のマーク
書込みでは、代表的には約0.10mm〜0.05mmの間である。
より高い分解能の読み取り機を使うなら、より高密度に
より狭くバーを書き込むことも可能である。一例では、
4mil（0.1016mm）の幅を持つバーを用いた。そのような
バーは、中心間の間隔が10mil（0.254mm）になるように
置かれ、このとき隣接バーの間の幅即ちスペースは6mil
（0.1524mm）になる。
できれば、ドツトマトリツクスモードで動作する切り換
えNd:YAGレーザを用いて、マークを半導体基板に書き込
むのが好ましい。高品質のバーが、重複ドツトなしに、
シリコンウエーハ上に製作される。エツチング及び化学
的機械的研磨操作が、マークをより連続的な線に変え
る。
えNd:YAGレーザを用いて、マークを半導体基板に書き込
むのが好ましい。高品質のバーが、重複ドツトなしに、
シリコンウエーハ上に製作される。エツチング及び化学
的機械的研磨操作が、マークをより連続的な線に変え
る。
バーコードは、VLSI加工方法の苛酷な環境によく耐えら
れることが望ましい。処理工程の間に付着される一時的
な被覆によつてバーコードの一部が覆われたり、コント
ラスト比が減少すると、バーコードの読み取りが困難に
なる。このような場合はバーコード領域の被覆をエツチ
ングする必要がある。第3A図及び第3B図は、シリコン・
ウエハに本発明のバーコードを書き込み、酸及びアルカ
リの化学薬品でエツチングした結果を示しており、バー
コードが残存することが確認された。
れることが望ましい。処理工程の間に付着される一時的
な被覆によつてバーコードの一部が覆われたり、コント
ラスト比が減少すると、バーコードの読み取りが困難に
なる。このような場合はバーコード領域の被覆をエツチ
ングする必要がある。第3A図及び第3B図は、シリコン・
ウエハに本発明のバーコードを書き込み、酸及びアルカ
リの化学薬品でエツチングした結果を示しており、バー
コードが残存することが確認された。
次に、ウエーハ又は同様の基板上に置かれた、このよう
なマークを読み取ることのできるシステムについて説明
する。第4A図において、光源及び反射検出器10はウエー
ハ18の基板上へ、できればレーザ光のような光を照射す
る。ウエーハ18から反射した光は、機能的ブロツク10の
中の検出器によつて、受け取られる。そして、第4B図に
示すような電気信号を発生する。この信号は増幅器12に
よつて増幅され、ピーク検出器14及び比較器16に送られ
ると、BC412やBC313のようなバーコードの形で、ウエー
ハ18上に現われる文字の列を表わす２進の出力を発生す
る。
なマークを読み取ることのできるシステムについて説明
する。第4A図において、光源及び反射検出器10はウエー
ハ18の基板上へ、できればレーザ光のような光を照射す
る。ウエーハ18から反射した光は、機能的ブロツク10の
中の検出器によつて、受け取られる。そして、第4B図に
示すような電気信号を発生する。この信号は増幅器12に
よつて増幅され、ピーク検出器14及び比較器16に送られ
ると、BC412やBC313のようなバーコードの形で、ウエー
ハ18上に現われる文字の列を表わす２進の出力を発生す
る。
以上により、本発明によれば、すべての英数字文字セツ
トを表現でき、固有の自己クロツキング特性を示す、単
一幅のバーコードシステムを実現できることが理解され
よう。例示したバーコードは符号の先頭にタイミングバ
ーマークを有するが、中間部又は後部に位置することも
できる。また、本明細書では、本発明は特に半導体ウエ
ーハやチツプの加工に関して説明されたが、一般にバー
コードを使用するどのようなシステムにおいても適用可
能である。さらに、本明細書における“基板”という用
語は、半導体物質とは限らず、直接マークを付けること
ができるか、又はマークを付けたものを受け取ることが
できるものであれば、木、紙、金属、プラスチツクなど
でもよい。マークは、インクによつて、あるいは表面の
性質や、電気的、磁気的性質などの他の物理的性質を変
えることによつて付けられることができる。
トを表現でき、固有の自己クロツキング特性を示す、単
一幅のバーコードシステムを実現できることが理解され
よう。例示したバーコードは符号の先頭にタイミングバ
ーマークを有するが、中間部又は後部に位置することも
できる。また、本明細書では、本発明は特に半導体ウエ
ーハやチツプの加工に関して説明されたが、一般にバー
コードを使用するどのようなシステムにおいても適用可
能である。さらに、本明細書における“基板”という用
語は、半導体物質とは限らず、直接マークを付けること
ができるか、又はマークを付けたものを受け取ることが
できるものであれば、木、紙、金属、プラスチツクなど
でもよい。マークは、インクによつて、あるいは表面の
性質や、電気的、磁気的性質などの他の物理的性質を変
えることによつて付けられることができる。
本発明によつて、高密度なバーコードシステム、特に半
導体製造工程におけるウエーハやチツプの識別に使用す
るのに適する、高密度なバーコードシステムを提供する
ことができる。本発明は、単一幅のバーを使用し、しか
も自己クロツキング特性を有するバーコードシステムを
用いた情報表示方法を提供することができる。
導体製造工程におけるウエーハやチツプの識別に使用す
るのに適する、高密度なバーコードシステムを提供する
ことができる。本発明は、単一幅のバーを使用し、しか
も自己クロツキング特性を有するバーコードシステムを
用いた情報表示方法を提供することができる。
第１図は、本発明の好ましいバーコードシステムを示す
図である。 第2A図は、本発明によるタイミング・バーを含む２種類
の単一幅バーコードを示す図である。 第2B図はタイミング・バーを持たない３種類の単一幅バ
ーコードを示す図である。 第3A図は、半導体基板上の酸エツチングされたバーコー
ドマークの平面図である。 第3B図は、アルカリエツチングされたバーコードマーク
の平面図である。 第4A図は、本発明に従つて作られたコードを読み取るこ
とのできるシステムを示す図である。 第4B図は、第4A図のバーコード読み取りシステムによつ
て発生される信号の図である。 10…光源及び反射検出器、12…増幅器、14…ピーク検知
器、16…比較器、18…ウエーハ。
図である。 第2A図は、本発明によるタイミング・バーを含む２種類
の単一幅バーコードを示す図である。 第2B図はタイミング・バーを持たない３種類の単一幅バ
ーコードを示す図である。 第3A図は、半導体基板上の酸エツチングされたバーコー
ドマークの平面図である。 第3B図は、アルカリエツチングされたバーコードマーク
の平面図である。 第4A図は、本発明に従つて作られたコードを読み取るこ
とのできるシステムを示す図である。 第4B図は、第4A図のバーコード読み取りシステムによつ
て発生される信号の図である。 10…光源及び反射検出器、12…増幅器、14…ピーク検知
器、16…比較器、18…ウエーハ。
フロントページの続き (72)発明者 フレドリツク・ヘイズ・デイル アメリカ合衆国ニユーヨーク州サウス・セ イレム、ボツクス144、アール・アール１ 番地 (72)発明者 ダグラス・セイモア・ゴードマン アメリカ合衆国ニユーヨーク州ヨークタウ ン・ハイツ、ダーンレイ・プレス2616番地 (72)発明者 ム‐ユ・シヤー アメリカ合衆国ニユーヨーク州ポキプシ イ、フエア・ウエイ７番地 (72)発明者 ポール・ビンセント・マクカーン アメリカ合衆国ニユーヨーク州ホープウエ ル、ジヤンクシヨン、ホープウエル・ガー デンズ・デイー11、376ルート276番地 (72)発明者 ジエームズ・マイケル・マリーガン アメリカ合衆国ニユーヨーク州ポーグアー グ、ボツクス33、アール・アール２番地 (72)発明者 リツキイー・アレン・ランド アメリカ合衆国ニユーヨーク州ソマーズ、 ウイルナー・ロード（番地なし) (56)参考文献 特開 昭54−46426（ＪＰ，Ａ) 特開 昭59−66792（ＪＰ，Ａ) 特開 昭63−305510（ＪＰ，Ａ) 特開 平１−96920（ＪＰ，Ａ)
Claims (6)
- 【請求項１】各文字、数字、記号（単に文字と呼ぶ）に
対応して予め割り振られている単位スペース幅W1の１
倍、２倍・・・Ｍ倍（Ｍは３以上の整数）に等しいスペ
ース幅で相互に隔離されているＮ個の同一幅W2のマーク
から成る各文字当り１個の固定長マーク・スペース・シ
ーケンスの複数グループであつて、各グループ内の対応
する相次ぐ複数マーク／スペース要素位置に同一組み合
せのクロツク用のサブシーケンスが組み込まれているバ
ーコード体系を準備し、基板を識別するための入力文字
列情報を、上記バーコード形式の文字列に対応する２進
値電気信号を変換する手段と、 上記電気信号に応働して上記入力文字列情報を、対応す
るバーコード形式で、基板上にマークを付ける手段と、 より成り、各文字に対応する各コード・シーケンス・グ
ループ中にクロツク用のサブシーケンスが組み込まれて
いるバーコードを基板上にマーク付けする装置。 - 【請求項２】上記固定長マーク・スペース・シーケンス
が12個のマーク／スペース要素位置から成り、上記マー
ク数が４個である上記請求項１記載のマーク付け装置。 - 【請求項３】各文字に対応して予め割り振られている単
位スペース幅W1の１倍、２倍、・・・Ｍ倍（Ｍは３以上
の整数）に等しいスペース幅で相互に離隔されているＮ
個の同一幅W2のマークから成る各文字当り１個の固定長
マーク・スペース・シーケンスの複数グループであつ
て、各グループ内の対応する相次ぐ、複数マーク／スペ
ース要素位置に同一組み合せのクロツク用サブシーケン
スが組み込まれているバーコード体系を準備し、基板を
識別するための入力文字列情報を上記バーコード形式の
文字列に対応する２進電気信号に変換するステツプと、 上記電気信号に応働して上記入力文字列情報を、対応す
るバーコード形式で、基板上にンマーク付けするステツ
プと、 より成り、各文字に対応する各コード・シーケンス・グ
ループ中にクロツク用のサブ・シーケンスが組み込まれ
ているバーコードを基板上にマーク付けする方法。 - 【請求項４】各文字に対応して予め割り振られている単
位スペース幅W1の１倍、２倍、・・・Ｍ倍（Ｍは３以上
の整数）に等しいスペース幅で相互に離隔されているＮ
個の同一幅W2のマークから成る各文字当り１個の固定長
マーク・スペース・シーケンスの複数グループであつ
て、各グループ内に対応する相次ぐ複数マーク／スペー
ス要素位置に同一組み合せのクロツク用サブシーケンス
が組み込まれているバーコードの形式で識別情報がマー
ク付けられている基板を準備し、該基板上のバーコード
領域を走査するステツプと、 上記各シーケンス・グループ内に隣接して配置されてい
るマーク及びスペースの存在又は不在を判定して識別情
報に対応する２進電気信号を発生するステツプと、 より成る基板上のバーコードの読み取り方法。 - 【請求項５】上記各コード・シーケンス・グループ中の
マーク数Ｎが４である上記請求項３及び請求項４のいず
れかに記載した方法 - 【請求項６】上記単位スペース幅がW1が上記マーク幅W2
に実質的に等しい上記請求項３及び請求項４のいずれか
に記載した方法。
Applications Claiming Priority (2)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| US35190289A | 1989-05-15 | 1989-05-15 | |
| US351902 | 1989-05-15 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH035893A JPH035893A (ja) | 1991-01-11 |
| JPH0776982B2 true JPH0776982B2 (ja) | 1995-08-16 |
Family
ID=23382914
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP2121407A Expired - Fee Related JPH0776982B2 (ja) | 1989-05-15 | 1990-05-14 | バーコードのマーク付け及び読み取りの方法及び装置 |
Country Status (4)
| Country | Link |
|---|---|
| US (2) | US5552591B1 (ja) |
| EP (1) | EP0397989A3 (ja) |
| JP (1) | JPH0776982B2 (ja) |
| CA (1) | CA2011296A1 (ja) |
Families Citing this family (25)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| USRE38758E1 (en) * | 1990-07-31 | 2005-07-19 | Xerox Corporation | Self-clocking glyph shape codes |
| JPH0775028B2 (ja) * | 1990-08-15 | 1995-08-09 | インターナショナル・ビジネス・マシーンズ・コーポレイション | バーコードによる基板のマーク方法、その方法によってマークされた基板及び識別情報を有する基板 |
| FR2691547B1 (fr) * | 1992-05-19 | 1997-01-17 | Matra Transport | Procede et dispositif de detection optique d'obstacle mobile. |
| US5811781A (en) * | 1993-11-05 | 1998-09-22 | Intermec Corporation | Bar code symbology capable of encoding 16-bit characters, and method and apparatus for printing and reading same |
| US6321986B1 (en) | 1993-11-05 | 2001-11-27 | Intermec Ip Corporation | Robust machine-readable symbology and method and apparatus for printing and reading same |
| US6149059A (en) * | 1993-11-05 | 2000-11-21 | Intermec Ip Corporation | Bar code symbology capable of encoding bytes, words, 16-bit characters, etc. and method and apparatus for printing and reading same |
| US6422476B1 (en) | 1993-11-05 | 2002-07-23 | Intermec Ip Corp. | Method, apparatus and character set for encoding and decoding data characters in data carriers, such as RFID tags |
| US6371375B1 (en) | 1995-09-25 | 2002-04-16 | Intermec Ip Corp. | Method and apparatus for associating data with a wireless memory device |
| US5956596A (en) * | 1995-11-06 | 1999-09-21 | Samsung Electronics Co., Ltd. | Method of forming and cleaning a laser marking region at a round zone of a semiconductor wafer |
| JPH1126333A (ja) * | 1997-06-27 | 1999-01-29 | Oki Electric Ind Co Ltd | 半導体装置及びその情報管理システム |
| US20020084329A1 (en) * | 1997-07-16 | 2002-07-04 | Kaye Paul H. | Coded items for labeling objects |
| GB9919333D0 (en) * | 1999-08-16 | 1999-10-20 | Flying Null Ltd | Information bearing label codes |
| EP1868249B1 (en) * | 1999-09-28 | 2011-07-13 | Kaneka Corporation | Method of controlling manufacturing process of photoelectric conversion apparatus |
| JP2001265000A (ja) * | 2000-03-16 | 2001-09-28 | Toray Eng Co Ltd | レーザー露光装置 |
| GB0009719D0 (en) * | 2000-04-19 | 2000-06-07 | Scient Generics Ltd | A method of fabricating coded particles |
| US6759248B2 (en) * | 2001-09-28 | 2004-07-06 | Motorola, Inc. | Semiconductor wafer identification |
| US7051930B2 (en) * | 2002-05-22 | 2006-05-30 | Lockheed Martin Corportion | Bar code for mail processing systems |
| US7905409B2 (en) * | 2005-05-20 | 2011-03-15 | Senshin Capital, Llc | Print medium feature encoding and decoding |
| WO2007035863A2 (en) | 2005-09-21 | 2007-03-29 | Intermec Ip Corp. | Radio frequency identification tags based on coalition formation |
| KR100647462B1 (ko) * | 2005-12-16 | 2006-11-23 | 삼성전자주식회사 | 반도체 장치에서 사용되는 칩 정보 기호 및 이의 표기방법. |
| US8120461B2 (en) | 2006-04-03 | 2012-02-21 | Intermec Ip Corp. | Automatic data collection device, method and article |
| US8002173B2 (en) | 2006-07-11 | 2011-08-23 | Intermec Ip Corp. | Automatic data collection device, method and article |
| US20080142606A1 (en) * | 2006-12-19 | 2008-06-19 | Ping-Chang Wu | E-fuse bar code structure and method of using the same |
| US7546955B2 (en) * | 2007-03-16 | 2009-06-16 | Intermec Ip Corp. | Systems, devices, and methods for reading machine-readable characters and human-readable characters |
| US7878414B2 (en) * | 2007-07-29 | 2011-02-01 | Yonatan Yulevich | Code and a method for coding and encoding information |
Family Cites Families (32)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US3735350A (en) | 1966-02-10 | 1973-05-22 | J Lemelson | Code scanning system |
| US3562536A (en) | 1968-08-30 | 1971-02-09 | Ibm | Radiation sensitive semiconductor wafer identification system |
| US3558899A (en) | 1968-08-30 | 1971-01-26 | Ibm | System and method for using numerically coded etched indicia for identification of pieces of semiconductor material |
| US3597045A (en) | 1969-06-30 | 1971-08-03 | Ibm | Automatic wafer identification system and method |
| US3731064A (en) * | 1970-07-28 | 1973-05-01 | Pitney Bowes Alpex | Data processing system and reader therefor |
| NL160138C (nl) | 1972-05-11 | 1979-09-17 | Philips Nv | Inrichting voor het uitlezen van een vlakke registratie- drager. |
| US3906202A (en) | 1974-03-01 | 1975-09-16 | Monarch Marking Systems Inc | Data retrieval and error detection method and apparatus designed for use in a width-modulated bar-code scanning apparatus |
| GB1441318A (en) * | 1973-10-18 | 1976-06-30 | Plessey Co Ltd | Bar coded badges or labels |
| SE391248B (sv) | 1974-04-30 | 1977-02-07 | Ibm Svenska Ab | Sett och anordning for selektiv avsokning av streckkod |
| US4010355A (en) | 1974-06-10 | 1977-03-01 | Motorola, Inc. | Semiconductor wafer having machine readable indicies |
| US4020357A (en) | 1976-01-29 | 1977-04-26 | Metrologic Instruments, Inc. | Signal processing for print scanners |
| JPS586982B2 (ja) | 1976-08-18 | 1983-02-07 | 株式会社デンソー | バ−コ−ド読取方法および装置 |
| US4074852A (en) | 1976-12-06 | 1978-02-21 | Ncr Corporation | Symbol decoding method and means |
| GB1584343A (en) | 1977-06-07 | 1981-02-11 | Tokyo Shibaura Electric Co | Apparatus for marking identification symbols on wafer |
| FR2402252A1 (fr) | 1977-08-30 | 1979-03-30 | Cii Honeywell Bull | Dispositif de lecture de caracteres imprimes |
| JPS5446426A (en) * | 1977-09-19 | 1979-04-12 | Nec Corp | Input medium expressed by bar code to information processor |
| US4239151A (en) | 1979-04-19 | 1980-12-16 | International Business Machines Corporation | Method and apparatus for reducing the number of rejected documents when reading bar codes |
| JPS5827663B2 (ja) | 1979-06-04 | 1983-06-10 | 富士通株式会社 | 半導体装置の製造方法 |
| US4329574A (en) | 1980-06-25 | 1982-05-11 | International Business Machines Corp. | Bar code candidate select circuit |
| US4680459A (en) * | 1981-02-27 | 1987-07-14 | Drexler Technology Corporation | Updatable micrographic pocket data card |
| DE3109288C2 (de) | 1981-03-11 | 1985-01-10 | Standard Elektrik Lorenz Ag, 7000 Stuttgart | Optische Leseeinrichtung für in Balkencodeschrift codierte Zeichen |
| US4414468A (en) | 1981-05-18 | 1983-11-08 | International Business Machines Corporation | Systematic error correction in bar code scanner |
| JPS5966792A (ja) * | 1982-10-07 | 1984-04-16 | Sumitomo Rubber Ind Ltd | バ−コ−ド及びその判読方法 |
| FR2543308B1 (fr) | 1983-03-25 | 1985-07-26 | Oreal | Procede et dispositif de detection de la position d'objets stockes sur palettes, supports de reperes de position et ensemble de detection comprenant un tel dispositif et de tels supports |
| US4567361A (en) | 1983-05-23 | 1986-01-28 | Gca Corporation | Reticle bar code and method and apparatus for reading same |
| US4585931A (en) | 1983-11-21 | 1986-04-29 | At&T Technologies, Inc. | Method for automatically identifying semiconductor wafers |
| US4680457A (en) * | 1985-03-07 | 1987-07-14 | Telesis Controls Corporation | Code reader |
| JPS63305510A (ja) * | 1987-06-05 | 1988-12-13 | Nec Corp | 半導体装置 |
| DE3719983C2 (de) * | 1987-06-15 | 1997-08-07 | Siemens Ag | Verfahren zur Kennzeichnung von Halbleiteroberflächen |
| US5175425A (en) * | 1987-06-15 | 1992-12-29 | Leuze Electronic Gmbh & Co. | Process for marking semiconductor surfaces |
| JPH0196920A (ja) | 1987-10-09 | 1989-04-14 | Fujitsu Ltd | ウエーハの識別方法 |
| US4833306A (en) * | 1988-05-18 | 1989-05-23 | Fluoroware, Inc. | Bar code remote recognition system for process carriers of wafer disks |
-
1990
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