JPS63305510A - 半導体装置 - Google Patents
半導体装置Info
- Publication number
- JPS63305510A JPS63305510A JP14123887A JP14123887A JPS63305510A JP S63305510 A JPS63305510 A JP S63305510A JP 14123887 A JP14123887 A JP 14123887A JP 14123887 A JP14123887 A JP 14123887A JP S63305510 A JPS63305510 A JP S63305510A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- wafer
- barcode
- center
- reader
- bar codes
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
- 239000004065 semiconductor Substances 0.000 title claims abstract description 25
- 230000003287 optical effect Effects 0.000 abstract description 4
- 235000012431 wafers Nutrition 0.000 description 20
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 3
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 1
- 238000000034 method Methods 0.000 description 1
- 230000002093 peripheral effect Effects 0.000 description 1
Classifications
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
- H01L2223/00—Details relating to semiconductor or other solid state devices covered by the group H01L23/00
- H01L2223/544—Marks applied to semiconductor devices or parts
- H01L2223/54493—Peripheral marks on wafers, e.g. orientation flats, notches, lot number
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
〔産業上の利用分野〕
本発明はウェハー認識用のバーコードを備えた半導体装
置に関し、特にバーコードを読み取る際の位置合せを不
要にし、かつバーコード読取装置の構成の簡略化が図れ
るようにした半導体装置に関する。
置に関し、特にバーコードを読み取る際の位置合せを不
要にし、かつバーコード読取装置の構成の簡略化が図れ
るようにした半導体装置に関する。
従来の半導体装置として、例えば、第４図に示すものが
あり、円板形のウェハー３１の周縁部の一部にオリエン
テーションフラット３４が形成され、このオリエンテー
ションフラット３４に平行させてバーコード３２が一列
に配設されている（なお、３３はバーコードの中心線で
ある）。
あり、円板形のウェハー３１の周縁部の一部にオリエン
テーションフラット３４が形成され、このオリエンテー
ションフラット３４に平行させてバーコード３２が一列
に配設されている（なお、３３はバーコードの中心線で
ある）。
発光部と受光部を有する読取装置は、このようなバーコ
ード３２に対し、ウェハー３１の面に対し垂直な方向か
らバーコード３２の読み取りを行う。その読み取りは中
心線３３上を移動させるようにして行なう。
ード３２に対し、ウェハー３１の面に対し垂直な方向か
らバーコード３２の読み取りを行う。その読み取りは中
心線３３上を移動させるようにして行なう。
ウェハー３１はその中心をターンテーブルの回転中心に
合致させてターンテーブル（不図示）上に載置される。
合致させてターンテーブル（不図示）上に載置される。
バーコード３２を読み取るに際しては、読取る装置の読
取部の移動方向とウェハー３１のオリエンテーションフ
ラット３４とが平行するようにターンテーブルを回転さ
せる。ここで読取部を移動させてバーコード３２の読み
取りを行なう。
取部の移動方向とウェハー３１のオリエンテーションフ
ラット３４とが平行するようにターンテーブルを回転さ
せる。ここで読取部を移動させてバーコード３２の読み
取りを行なう。
第５図に示すように、読取部を移動させることにより軌
跡３５が得られ、この軌跡３５とバーコード３２の中心
線３３とが一致する必要がある。このためには、ターン
テーブルの中心とウェハー３１の中心とが一致するよう
にターンテーブル上にウェハー３１を固定したとき、ウ
ェハー中心と光軸の軌跡との間の距離りが、ウェハー３
１の中心からバーコード３２の中心線までの距離と等し
くなる必要がある。
跡３５が得られ、この軌跡３５とバーコード３２の中心
線３３とが一致する必要がある。このためには、ターン
テーブルの中心とウェハー３１の中心とが一致するよう
にターンテーブル上にウェハー３１を固定したとき、ウ
ェハー中心と光軸の軌跡との間の距離りが、ウェハー３
１の中心からバーコード３２の中心線までの距離と等し
くなる必要がある。
しかし、従来の半導体装置によると、円形のウェハーに
対し直線状にバーコードを配列しているため、バーコー
ド読取装置の位置合せが難しいと共に、読取装置の構造
が複雑になるという不具合がある。
対し直線状にバーコードを配列しているため、バーコー
ド読取装置の位置合せが難しいと共に、読取装置の構造
が複雑になるという不具合がある。
本発明は上記に鑑みてなされたものであり、バーコード
読取装置の位置合せを容易にし、読取装置の構成の簡略
化が図れるようにするため、バーコードを、その中心線
がウェハーの中心に対し円軌道を描（ように配設した半
導体装置を提供する。
読取装置の位置合せを容易にし、読取装置の構成の簡略
化が図れるようにするため、バーコードを、その中心線
がウェハーの中心に対し円軌道を描（ように配設した半
導体装置を提供する。
即ち、本発明の半導体装置は以下の手段を備えている。
バーコード
ウェハーの認識のために設けられるものである。従来の
直線状に対し、例えば、半導体ウェハーの回転中心を中
心とした円として、円弧状に形成しても円環状に形成し
てもよい。
直線状に対し、例えば、半導体ウェハーの回転中心を中
心とした円として、円弧状に形成しても円環状に形成し
てもよい。
バーコードを半導体ウェハーの中心を中心とする円周に
沿って形成したため、読取装置の光軸軌跡とバーコード
の中心線が一致し、半導体ウェハーを回転中心にして回
転させることにより、読取装置を固定したままバーコー
ドの読み取りが可能になる。
沿って形成したため、読取装置の光軸軌跡とバーコード
の中心線が一致し、半導体ウェハーを回転中心にして回
転させることにより、読取装置を固定したままバーコー
ドの読み取りが可能になる。
以下、本発明の実施例を詳細に説明する。
第１図は本発明の一実施例を示し、円板状のウェハー１
）は、その外縁部の一部がカントされてオリエンテーシ
ョンフラン目５が形成されている。一方、ウェハー１）
の回転中心に対し、半径Ｌ１の円軌道上で且つオリエン
テーションフラット１５に面した部位に、円弧状にバー
コード１２が形成される。このバーコード１２の中心線
が１３である。
）は、その外縁部の一部がカントされてオリエンテーシ
ョンフラン目５が形成されている。一方、ウェハー１）
の回転中心に対し、半径Ｌ１の円軌道上で且つオリエン
テーションフラット１５に面した部位に、円弧状にバー
コード１２が形成される。このバーコード１２の中心線
が１３である。
第２図は本発明の半導体装置に対する読取装置２１の位
置決め説明図であり、ウェハー１）はターンテーブル２
２に載置されている。ターンテーブル２２は、中心軸２
３を回転中心として回転する。この中心軸２３に対し、
距ＭＬｔの線上すなわちバーコードの中心線１３上に読
取装置２１が垂直に設置される。２４は読取装置２１の
光軸である。
置決め説明図であり、ウェハー１）はターンテーブル２
２に載置されている。ターンテーブル２２は、中心軸２
３を回転中心として回転する。この中心軸２３に対し、
距ＭＬｔの線上すなわちバーコードの中心線１３上に読
取装置２１が垂直に設置される。２４は読取装置２１の
光軸である。
以上の構成において、バーコード１２を読み取る場合、
読取装置ｉ：２１をバーコード１２の始端に位置させ、
バーコード１２が順次読取装置２１の直下を通過するよ
うにターンテーブル２２を回転させる。このように、タ
ーンテーブル２２を回転させるのみで、読取装置２１を
固定したままバーコード１２を読み取ることができる。
読取装置ｉ：２１をバーコード１２の始端に位置させ、
バーコード１２が順次読取装置２１の直下を通過するよ
うにターンテーブル２２を回転させる。このように、タ
ーンテーブル２２を回転させるのみで、読取装置２１を
固定したままバーコード１２を読み取ることができる。
第３図は本発明の他の実施例を示し、第１図と同一の部
分は同一の引用数字で示したので重複する説明は省略す
るが、オリエンテーションフラット１５の部分を除くウ
ェハー１）の周辺の全域に及んでバーコード１６を設け
るようにしたものである。
分は同一の引用数字で示したので重複する説明は省略す
るが、オリエンテーションフラット１５の部分を除くウ
ェハー１）の周辺の全域に及んでバーコード１６を設け
るようにしたものである。
本実施例によれば、バーコードを長くすることができる
ため、多くの情報量をウェハー１）上に記録することが
できる。
ため、多くの情報量をウェハー１）上に記録することが
できる。
以上説明した通り、本発明によれば、ウェハーの回転中
心を中心とする円周に沿ってバーコードを円弧状に形成
したため、ウェハーと読取装置の位置合せが不要になる
。さらに、読取装置を固定したままで読み取りができる
ため、読取装置の構成を簡略化することができる。
心を中心とする円周に沿ってバーコードを円弧状に形成
したため、ウェハーと読取装置の位置合せが不要になる
。さらに、読取装置を固定したままで読み取りができる
ため、読取装置の構成を簡略化することができる。
第１図は本発明の一実施例を示す平面図、第２図は本発
明の半導体装直に対する読取装置２１の位置決め説明図
、第３図は本発明の他の実施例を示す平面図、第４図は
従来の半導体装置を示す平面図、第５図は従来の半導体
装置におとけるバーコードの読み取り説明図。 符号の説明
明の半導体装直に対する読取装置２１の位置決め説明図
、第３図は本発明の他の実施例を示す平面図、第４図は
従来の半導体装置を示す平面図、第５図は従来の半導体
装置におとけるバーコードの読み取り説明図。 符号の説明
Claims (3)
- （１）円板状の半導体ウェハー上にウェハー認識用のバ
ーコードが形成された半導体装置において、 前記バーコードを前記半導体ウェハーの中心を中心とす
る円周上に形成したことを特徴とする半導体装置。 - （２）前記バーコードが、前記半導体ウェハーに設けら
れているオリエンテーションフラットの近傍に円弧状に
設けられていることを特徴とする特許請求の範囲第１項
記載の半導体装置。 - （３）前記バーコードが、前記半導体ウェハーに設けら
れたオリエンテーションフラットを除く周縁の所定長に
設けられていることを特徴とする特許請求の範囲第１項
記載の半導体装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP14123887A JPS63305510A (ja) | 1987-06-05 | 1987-06-05 | 半導体装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP14123887A JPS63305510A (ja) | 1987-06-05 | 1987-06-05 | 半導体装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS63305510A true JPS63305510A (ja) | 1988-12-13 |
Family
ID=15287314
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP14123887A Pending JPS63305510A (ja) | 1987-06-05 | 1987-06-05 | 半導体装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS63305510A (ja) |
Cited By (8)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH035893A (ja) * | 1989-05-15 | 1991-01-11 | Internatl Business Mach Corp <Ibm> | バーコードのマーク付け及び読み取りの方法及び装置 |
| JPH0540963U (ja) * | 1991-11-05 | 1993-06-01 | 株式会社オプトエレクトロニクス | 情報パターン表示部材 |
| US5690892A (en) * | 1995-09-15 | 1997-11-25 | Accumed, Inc. | Cassette for use with automated specimen handling system |
| US5798514A (en) * | 1996-01-11 | 1998-08-25 | Accumed Inc. | Circular bar code |
| US5930732A (en) * | 1995-09-15 | 1999-07-27 | Accumed International, Inc. | System for simplifying the implementation of specified functions |
| US5963368A (en) * | 1995-09-15 | 1999-10-05 | Accumed International, Inc. | Specimen management system |
| US6091842A (en) * | 1996-10-25 | 2000-07-18 | Accumed International, Inc. | Cytological specimen analysis system with slide mapping and generation of viewing path information |
| US6118581A (en) * | 1995-09-15 | 2000-09-12 | Accumed International, Inc. | Multifunctional control unit for a microscope |
-
1987
- 1987-06-05 JP JP14123887A patent/JPS63305510A/ja active Pending
Cited By (8)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH035893A (ja) * | 1989-05-15 | 1991-01-11 | Internatl Business Mach Corp <Ibm> | バーコードのマーク付け及び読み取りの方法及び装置 |
| JPH0540963U (ja) * | 1991-11-05 | 1993-06-01 | 株式会社オプトエレクトロニクス | 情報パターン表示部材 |
| US5690892A (en) * | 1995-09-15 | 1997-11-25 | Accumed, Inc. | Cassette for use with automated specimen handling system |
| US5930732A (en) * | 1995-09-15 | 1999-07-27 | Accumed International, Inc. | System for simplifying the implementation of specified functions |
| US5963368A (en) * | 1995-09-15 | 1999-10-05 | Accumed International, Inc. | Specimen management system |
| US6118581A (en) * | 1995-09-15 | 2000-09-12 | Accumed International, Inc. | Multifunctional control unit for a microscope |
| US5798514A (en) * | 1996-01-11 | 1998-08-25 | Accumed Inc. | Circular bar code |
| US6091842A (en) * | 1996-10-25 | 2000-07-18 | Accumed International, Inc. | Cytological specimen analysis system with slide mapping and generation of viewing path information |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| US5192087A (en) | Device for supporting a wafer | |
| EP0313466B1 (en) | Wafer positioning apparatus | |
| JPS63305510A (ja) | 半導体装置 | |
| US6554560B2 (en) | Method for aligning wafers in a cassette | |
| KR100686707B1 (ko) | 기판반송장치 | |
| US5015832A (en) | Method of and apparatus for decoding bar code symbols | |
| JPH053153A (ja) | ウエハ上の不要レジスト露光装置 | |
| JP3793417B2 (ja) | 基板のための行程装置 | |
| JP5115363B2 (ja) | ウェハのアライメント装置、それを備えた搬送装置、半導体製造装置、および半導体ウェハのアライメント方法 | |
| JPH10209249A (ja) | ウエハアライメント装置 | |
| US3786236A (en) | Programmed signal generating apparatus | |
| JPH01165118A (ja) | ウエハの周縁部露光装置 | |
| WO1998009895A1 (en) | Print-registration indexing device | |
| JP2646832B2 (ja) | ウェハー整列装置 | |
| JPH04339323A (ja) | 光ピックアップ駆動装置 | |
| JP2629274B2 (ja) | 半導体ウェーハのオリエンテーション・フラット合せ機 | |
| JPH10256121A (ja) | 周辺露光装置および周辺露光方法 | |
| JPH09246357A (ja) | 半導体ウエハの一斉方向合わせ方法及びその装置 | |
| JPS59219931A (ja) | ウエハの位置決め装置 | |
| JPH0248425Y2 (ja) | ||
| JPS60239752A (ja) | フオトマスク若しくはレチクル | |
| JP4108304B2 (ja) | 電子部品の搬送方法、処理方法及び搬送装置 | |
| SU1321553A1 (ru) | Загрузочное устройство | |
| JPH0380528A (ja) | ウェーハの周辺露光装置 | |
| JPH02101734A (ja) | ウェハー周辺の露光方法 |