JPH077678Y2 - 機器冷却用液化ガス貯蔵容器への液化ガス自動供給装置 - Google Patents
機器冷却用液化ガス貯蔵容器への液化ガス自動供給装置Info
- Publication number
- JPH077678Y2 JPH077678Y2 JP2087791U JP2087791U JPH077678Y2 JP H077678 Y2 JPH077678 Y2 JP H077678Y2 JP 2087791 U JP2087791 U JP 2087791U JP 2087791 U JP2087791 U JP 2087791U JP H077678 Y2 JPH077678 Y2 JP H077678Y2
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- liquefied gas
- storage container
- gas storage
- cooling
- replenishment
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Expired - Lifetime
Links
Landscapes
- Feeding, Discharge, Calcimining, Fusing, And Gas-Generation Devices (AREA)
- Radiation Pyrometers (AREA)
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本考案は、電子顕微鏡や温度画像
診断装置等の理科学機器での検出部を冷却するために付
設されている液化ガス貯蔵容器に液化ガスを補給するた
めの装置に関する。
診断装置等の理科学機器での検出部を冷却するために付
設されている液化ガス貯蔵容器に液化ガスを補給するた
めの装置に関する。
【０００２】
【従来技術】電子顕微鏡や温度画像診断装置等の理科学
機器では、検出精度を高めるために、その検出部を液体
窒素等の液化ガスで冷却するようにしている。そして、
一般的には液化ガスを貯蔵している貯蔵容器の底壁から
連出したコールドフィンガーで冷熱を伝達するようにし
ている。
機器では、検出精度を高めるために、その検出部を液体
窒素等の液化ガスで冷却するようにしている。そして、
一般的には液化ガスを貯蔵している貯蔵容器の底壁から
連出したコールドフィンガーで冷熱を伝達するようにし
ている。
【０００３】
【考案が解決しようとする課題】上述のような精密な検
出精度を必要とする理科学機器では、その測定中に振動
が伝達されると、検出精度に大きな影響がでることか
ら、その検出作業中は振動を発生させることなく超低温
状態を維持しておかなければならない。このため、液化
ガス貯蔵容器を放置した状態で使用していたことから、
理科学機器の検出部を冷却するために使用する液化ガス
は蒸発により液化ガス貯蔵容器外に飛散することにな
る。この結果、長時間にわたって冷却温度を一定範囲内
に維持するには、この飛散したガス分を補わなければな
らず、そのためにオペレータは頻繁に液化ガスを液化ガ
ス貯蔵容器に補給しなければならなかった。ところが、
デュワー瓶等の補給容器を用いて液化ガス貯蔵容器に液
化ガスを補給する作業は面倒でオペレータの負担が大き
いという問題があった。本考案はこのような点に着目し
てなされたもので、液化ガスの補給を簡単に行える自動
補給装置を提供することを目的とするものである。
出精度を必要とする理科学機器では、その測定中に振動
が伝達されると、検出精度に大きな影響がでることか
ら、その検出作業中は振動を発生させることなく超低温
状態を維持しておかなければならない。このため、液化
ガス貯蔵容器を放置した状態で使用していたことから、
理科学機器の検出部を冷却するために使用する液化ガス
は蒸発により液化ガス貯蔵容器外に飛散することにな
る。この結果、長時間にわたって冷却温度を一定範囲内
に維持するには、この飛散したガス分を補わなければな
らず、そのためにオペレータは頻繁に液化ガスを液化ガ
ス貯蔵容器に補給しなければならなかった。ところが、
デュワー瓶等の補給容器を用いて液化ガス貯蔵容器に液
化ガスを補給する作業は面倒でオペレータの負担が大き
いという問題があった。本考案はこのような点に着目し
てなされたもので、液化ガスの補給を簡単に行える自動
補給装置を提供することを目的とするものである。
【０００４】
【課題を解決するための手段】上記目的を達成するため
に、本考案は、機器冷却用液化ガス貯蔵容器の近傍に補
給用液化ガス貯蔵容器を配置し、機器冷却用液化ガス貯
蔵容器と補給用液化ガス貯蔵容器とを断熱チューブで連
通接続し、この補給用液化ガス貯蔵容器の上端開口部に
極低温冷凍機のコールドヘッドを配置するとともに、補
給用液化ガス貯蔵容器に原料ガス供給路を接続し、補給
用液化ガス貯蔵容器内で原料ガスをコールドヘッドで冷
却することにより凝縮液化させた液化ガスを機器冷却用
液化ガス貯蔵容器に断熱チューブを介して自動補給する
ように構成したことを特徴としている。
に、本考案は、機器冷却用液化ガス貯蔵容器の近傍に補
給用液化ガス貯蔵容器を配置し、機器冷却用液化ガス貯
蔵容器と補給用液化ガス貯蔵容器とを断熱チューブで連
通接続し、この補給用液化ガス貯蔵容器の上端開口部に
極低温冷凍機のコールドヘッドを配置するとともに、補
給用液化ガス貯蔵容器に原料ガス供給路を接続し、補給
用液化ガス貯蔵容器内で原料ガスをコールドヘッドで冷
却することにより凝縮液化させた液化ガスを機器冷却用
液化ガス貯蔵容器に断熱チューブを介して自動補給する
ように構成したことを特徴としている。
【０００５】
【作用】本考案では、機器冷却用液化ガス貯蔵容器の近
傍に補給用液化ガス貯蔵容器を配置し、機器冷却用液化
ガス貯蔵容器と補給用液化ガス貯蔵容器とを断熱チュー
ブで連通接続し、この補給用液化ガス貯蔵容器の上端開
口部に極低温冷凍機のコールドヘッドを配置するととも
に、補給用液化ガス貯蔵容器に原料ガス供給路を接続
し、この補給用液化ガス貯蔵容器内で原料ガスをコール
ドヘッドで冷却することにより凝縮液化させた液化ガス
を機器冷却用液化ガス貯蔵容器に断熱チューブを介して
自動補給するように構成していることから、理科学機器
を冷却するために消費された液化ガスは補給用液化ガス
貯蔵容器から自動的に供給されることになる。
傍に補給用液化ガス貯蔵容器を配置し、機器冷却用液化
ガス貯蔵容器と補給用液化ガス貯蔵容器とを断熱チュー
ブで連通接続し、この補給用液化ガス貯蔵容器の上端開
口部に極低温冷凍機のコールドヘッドを配置するととも
に、補給用液化ガス貯蔵容器に原料ガス供給路を接続
し、この補給用液化ガス貯蔵容器内で原料ガスをコール
ドヘッドで冷却することにより凝縮液化させた液化ガス
を機器冷却用液化ガス貯蔵容器に断熱チューブを介して
自動補給するように構成していることから、理科学機器
を冷却するために消費された液化ガスは補給用液化ガス
貯蔵容器から自動的に供給されることになる。
【０００６】また、補給用液化ガス貯蔵容器では、ガス
体が極低温冷凍機のコールドヘッドで冷却されて順次液
化されることから、オペレータは補給用液化ガス貯蔵容
器に原料ガス供給路の弁を開閉するだけでよく、オペレ
ータの液化ガス量管理作業での負担が軽減される。
体が極低温冷凍機のコールドヘッドで冷却されて順次液
化されることから、オペレータは補給用液化ガス貯蔵容
器に原料ガス供給路の弁を開閉するだけでよく、オペレ
ータの液化ガス量管理作業での負担が軽減される。
【０００７】
【実施例】図面は本考案の実施例を示し、図１は電子顕
微鏡のＥＤＳ検出器冷却用液化ガス貯蔵容器に液化ガス
を自動補給する場合の概略構成図、図２は補給用液化ガ
ス貯蔵容器の要部断面図である。
微鏡のＥＤＳ検出器冷却用液化ガス貯蔵容器に液化ガス
を自動補給する場合の概略構成図、図２は補給用液化ガ
ス貯蔵容器の要部断面図である。
【０００８】図において符号(１)は本体部分(２)を床面
にスプリング等の振動吸収体を介して支持させた電子顕
微鏡であり、(３)は底壁からコールドフィンガーを導出
したＥＤＳ冷却用液化ガス貯蔵容器であり、このＥＤＳ
冷却用液化ガス貯蔵容器(３)は電子顕微鏡(１)の本体部
分(２)に相対移動可能な状態で固定されている。すなわ
ち、電子顕微鏡(１)の本体部分(２)から突設した補強サ
ポート(４)にリトラクトレール(５)を支持させ、このリ
トラクトレール(５)に走行台(６)をネジ式移動装置等の
移動機構でリトラクトレール(５)に沿って走行移動可能
な状態で配置し、走行台(６)に冷却用液化ガス貯蔵容器
(３)を載置固定することにより、冷却用液化ガス貯蔵容
器(３)を電子顕微鏡(１)の本体部分(２)に対してリトラ
クト移動可能に構成してある。
にスプリング等の振動吸収体を介して支持させた電子顕
微鏡であり、(３)は底壁からコールドフィンガーを導出
したＥＤＳ冷却用液化ガス貯蔵容器であり、このＥＤＳ
冷却用液化ガス貯蔵容器(３)は電子顕微鏡(１)の本体部
分(２)に相対移動可能な状態で固定されている。すなわ
ち、電子顕微鏡(１)の本体部分(２)から突設した補強サ
ポート(４)にリトラクトレール(５)を支持させ、このリ
トラクトレール(５)に走行台(６)をネジ式移動装置等の
移動機構でリトラクトレール(５)に沿って走行移動可能
な状態で配置し、走行台(６)に冷却用液化ガス貯蔵容器
(３)を載置固定することにより、冷却用液化ガス貯蔵容
器(３)を電子顕微鏡(１)の本体部分(２)に対してリトラ
クト移動可能に構成してある。
【０００９】そして、冷却用液化ガス貯蔵容器(３)の上
側に補給用液化ガス貯蔵容器(７)が電子顕微鏡(１)とは
別の支持機構により固定してあり、補給用液化ガス貯蔵
容器(７)と冷却用液化ガス貯蔵容器(３)とは、フッ化エ
チレン樹脂等の低温特性に優れた材質製の連結チューブ
(８)で接続してある。
側に補給用液化ガス貯蔵容器(７)が電子顕微鏡(１)とは
別の支持機構により固定してあり、補給用液化ガス貯蔵
容器(７)と冷却用液化ガス貯蔵容器(３)とは、フッ化エ
チレン樹脂等の低温特性に優れた材質製の連結チューブ
(８)で接続してある。
【００１０】この補給用液化ガス貯蔵容器(７)は図２に
示すように、真空断熱構造に形成した２重容器で形成し
てあり、この補給用液化ガス貯蔵容器(７)は床面(９)を
移動可能な支持枠(10)の上面に防振機構(11)を介して固
定支持してある。そして、内側容器(12)の底壁部分(13)
に前記連結チューブ(８)が低温電磁弁(14)、ベローズ(1
5)、排気兼安全弁(16)を介して接続してある。なお、こ
の連結チューブ(８)は断熱被覆してある。
示すように、真空断熱構造に形成した２重容器で形成し
てあり、この補給用液化ガス貯蔵容器(７)は床面(９)を
移動可能な支持枠(10)の上面に防振機構(11)を介して固
定支持してある。そして、内側容器(12)の底壁部分(13)
に前記連結チューブ(８)が低温電磁弁(14)、ベローズ(1
5)、排気兼安全弁(16)を介して接続してある。なお、こ
の連結チューブ(８)は断熱被覆してある。
【００１１】また、補給用液化ガス貯蔵容器(７)の上端
開口部(17)には、極低温冷凍機のコールドヘッド(18)を
そのコールドエンド(19)が補給用液化ガス貯蔵容器(７)
内に突入する状態で配置されるとともに、補給用液化ガ
ス貯蔵容器(７)に窒素や乾燥空気等の原料ガスを供給す
るガス供給路(20)がガス供給弁(21)を介して接続してあ
る。
開口部(17)には、極低温冷凍機のコールドヘッド(18)を
そのコールドエンド(19)が補給用液化ガス貯蔵容器(７)
内に突入する状態で配置されるとともに、補給用液化ガ
ス貯蔵容器(７)に窒素や乾燥空気等の原料ガスを供給す
るガス供給路(20)がガス供給弁(21)を介して接続してあ
る。
【００１２】補給用液化ガス貯蔵容器(７)の上端開口部
(17)にコールドヘッド(18)を配置している極低温冷凍機
は、被冷却機器の検出作業停止時に補給用液化ガス貯蔵
容器(７)内に貯溜されている液化ガス温度及び補給用液
化ガス貯蔵容器(７)内の内圧に基づき自動運転されるよ
うに構成してある。図中符号(22)は容器内の液面高さを
表示する液面計、(23)は容器内圧を表示する圧力計、(2
4)は液化ガス温度を表示する温度計、(25)は安全弁であ
る。
(17)にコールドヘッド(18)を配置している極低温冷凍機
は、被冷却機器の検出作業停止時に補給用液化ガス貯蔵
容器(７)内に貯溜されている液化ガス温度及び補給用液
化ガス貯蔵容器(７)内の内圧に基づき自動運転されるよ
うに構成してある。図中符号(22)は容器内の液面高さを
表示する液面計、(23)は容器内圧を表示する圧力計、(2
4)は液化ガス温度を表示する温度計、(25)は安全弁であ
る。
【００１３】このように構成した液化ガス自動補給装置
では、冷却用液化ガス貯蔵容器(３)に配置した液面計で
の液化ガス液面検出作動に基づき、連結チューブ(８)と
補給用液化ガス貯蔵容器(７)との間に配置した低温電磁
弁(14)を開閉制御して補給用液化ガス貯蔵容器(７)内の
液化ガスを冷却用液化ガス貯蔵容器(３)に自動補給する
ように形成してある。
では、冷却用液化ガス貯蔵容器(３)に配置した液面計で
の液化ガス液面検出作動に基づき、連結チューブ(８)と
補給用液化ガス貯蔵容器(７)との間に配置した低温電磁
弁(14)を開閉制御して補給用液化ガス貯蔵容器(７)内の
液化ガスを冷却用液化ガス貯蔵容器(３)に自動補給する
ように形成してある。
【００１４】図３は本考案の別実施例を示し、これは、
補給用液化ガス貯蔵容器(７)の上端開口部(17)から液化
ガス導出管(26)を内側容器(12)の底部まで突入させ、こ
の液化ガス導出管(26)の上端部に前記連結チューブ(８)
が電磁弁(27)を介して連結し、補給用液化ガス貯蔵容器
(７)と冷却用液化ガス貯蔵容器(３)とをサイホン状連結
チューブ(８)で配管したものである。なお、図３中符号
(28)は面積式流量計である。
補給用液化ガス貯蔵容器(７)の上端開口部(17)から液化
ガス導出管(26)を内側容器(12)の底部まで突入させ、こ
の液化ガス導出管(26)の上端部に前記連結チューブ(８)
が電磁弁(27)を介して連結し、補給用液化ガス貯蔵容器
(７)と冷却用液化ガス貯蔵容器(３)とをサイホン状連結
チューブ(８)で配管したものである。なお、図３中符号
(28)は面積式流量計である。
【００１５】
【考案の効果】本考案は、機器冷却用液化ガス貯蔵容器
の近傍に補給用液化ガス貯蔵容器を配置し、機器冷却用
液化ガス貯蔵容器と補給用液化ガス貯蔵容器とを断熱チ
ューブで連通接続し、この補給用液化ガス貯蔵容器の上
端開口部に極低温冷凍機のコールドヘッドを配置すると
ともに、補給用液化ガス貯蔵容器に原料ガス供給路を接
続し、この補給用液化ガス貯蔵容器内で原料ガスをコー
ルドヘッドで冷却することにより凝縮液化させた液化ガ
スを機器冷却用液化ガス貯蔵容器に断熱チューブを介し
て自動補給するように構成していることから、理科学機
器を冷却するために消費された液化ガスは補給用液化ガ
ス貯蔵容器から自動的に順次供給されることになり、オ
ペレータの液化ガス管理での負担が軽減される。
の近傍に補給用液化ガス貯蔵容器を配置し、機器冷却用
液化ガス貯蔵容器と補給用液化ガス貯蔵容器とを断熱チ
ューブで連通接続し、この補給用液化ガス貯蔵容器の上
端開口部に極低温冷凍機のコールドヘッドを配置すると
ともに、補給用液化ガス貯蔵容器に原料ガス供給路を接
続し、この補給用液化ガス貯蔵容器内で原料ガスをコー
ルドヘッドで冷却することにより凝縮液化させた液化ガ
スを機器冷却用液化ガス貯蔵容器に断熱チューブを介し
て自動補給するように構成していることから、理科学機
器を冷却するために消費された液化ガスは補給用液化ガ
ス貯蔵容器から自動的に順次供給されることになり、オ
ペレータの液化ガス管理での負担が軽減される。
【図１】電子顕微鏡のＥＤＳ検出器冷却用液化ガス貯蔵
容器に液化ガスを自動補給する場合の概略構成図であ
る。
容器に液化ガスを自動補給する場合の概略構成図であ
る。
【図２】補給用液化ガス貯蔵容器の要部断面図である。
【図３】別実施例の補給用液化ガス貯蔵容器の要部断面
図である。
図である。
３…機器冷却用液化ガス貯蔵容器、 ７…補給用液化
ガス貯蔵容器８…断熱チューブ、 13
…補給用液化ガス貯蔵容器の底壁、18…コールドヘッ
ド、 20…原料ガス供給路。
ガス貯蔵容器８…断熱チューブ、 13
…補給用液化ガス貯蔵容器の底壁、18…コールドヘッ
ド、 20…原料ガス供給路。
Claims (3)
- 【請求項１】 機器冷却用液化ガス貯蔵容器(３)の近傍
に補給用液化ガス貯蔵容器(７)を配置し、機器冷却用液
化ガス貯蔵容器(３)と補給用液化ガス貯蔵容器(７)とを
断熱チューブ(８)で連通接続し、この補給用液化ガス貯
蔵容器(７)の上端開口部に極低温冷凍機のコールドヘッ
ド(18)を配置するとともに、補給用液化ガス貯蔵容器
(７)に原料ガスの供給路(20)を接続し、補給用液化ガス
貯蔵容器(７)内で原料ガスをコールドヘッド(18)で冷却
することにより凝縮液化させた液化ガスを機器冷却用液
化ガス貯蔵容器(３)に断熱チューブ(８)を介して自動補
給するように構成した機器冷却用液化ガス貯蔵容器への
液化ガス自動供給装置。 - 【請求項２】 断熱チューブ(８)を補給用液化ガス貯蔵
容器(７)の底壁(13)から導出し、断熱チューブ(８)内を
流下させて液化ガスを補給するように構成した請求項１
に記載の機器冷却用液化ガス貯蔵容器への液化ガス自動
供給装置。 - 【請求項３】 断熱チューブ(８)をサイホン状に配置し
た請求項１に記載の機器冷却用液化ガス貯蔵容器への液
化ガス自動供給装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2087791U JPH077678Y2 (ja) | 1991-03-08 | 1991-03-08 | 機器冷却用液化ガス貯蔵容器への液化ガス自動供給装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2087791U JPH077678Y2 (ja) | 1991-03-08 | 1991-03-08 | 機器冷却用液化ガス貯蔵容器への液化ガス自動供給装置 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH04109298U JPH04109298U (ja) | 1992-09-22 |
| JPH077678Y2 true JPH077678Y2 (ja) | 1995-02-22 |
Family
ID=31906851
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP2087791U Expired - Lifetime JPH077678Y2 (ja) | 1991-03-08 | 1991-03-08 | 機器冷却用液化ガス貯蔵容器への液化ガス自動供給装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH077678Y2 (ja) |
Families Citing this family (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP4663858B2 (ja) * | 2000-08-30 | 2011-04-06 | 日置電機株式会社 | 冷却装置および光検出装置 |
| JP2013195031A (ja) * | 2012-03-22 | 2013-09-30 | Aisin Seiki Co Ltd | 予冷型冷却装置 |
-
1991
- 1991-03-08 JP JP2087791U patent/JPH077678Y2/ja not_active Expired - Lifetime
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPH04109298U (ja) | 1992-09-22 |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| US11326739B2 (en) | Cryostat | |
| JPH077678Y2 (ja) | 機器冷却用液化ガス貯蔵容器への液化ガス自動供給装置 | |
| JPS6028537B2 (ja) | 低温装置 | |
| US5212953A (en) | Apparatus for preventing evaporation of liquefied gas in liquefied gas reservoir and its control method | |
| JPH0634818Y2 (ja) | 機器冷却用液化ガス貯蔵容器への液化ガス自動供給装置 | |
| JPH0627617B2 (ja) | 半導体センサー冷却用液体窒素の貯蔵槽での液体窒素蒸発防止装置 | |
| JPH0634817Y2 (ja) | 機器冷却用液化ガス貯蔵容器への液化ガス自動供給装置 | |
| JP5212981B2 (ja) | 極低温冷却装置 | |
| JPH10246547A (ja) | 理化学機器冷却用液化ガスの再液化装置 | |
| US20220178497A1 (en) | Cryostat for operation with liquid helium and method of operating the same | |
| JP2844433B2 (ja) | 理化学機器冷却用液化ガスの再液化装置 | |
| JPH06790Y2 (ja) | Ｅｄｓ検出器冷却用液化ガス蒸発防止装置 | |
| US6810679B2 (en) | Cooling apparatus and squid microscope using same | |
| GB2251930A (en) | Device for preventing evaporation of liquefied gas in a liquefied gas reservoir | |
| JP3598340B2 (ja) | 低温試料位置制御装置 | |
| JPS63297983A (ja) | 低温保冷装置 | |
| JPH0618638A (ja) | クライオスタット | |
| JPH10332088A (ja) | 容器内で多成分低温混合物を貯蔵するための装置 | |
| JPS61272634A (ja) | 吸着量測定装置 | |
| JP3601946B2 (ja) | 理化学機器冷却用液化ガスの再液化装置 | |
| JPH0727553Y2 (ja) | Ｅｄｓ検出器冷却用液化ガス蒸発防止装置 | |
| JPS6230937A (ja) | 吸着量測定装置 | |
| JPH0743599Y2 (ja) | 液化ガスの貯蔵容器 | |
| JP2001108321A (ja) | 理化学機器冷却用液化ガスの再液化装置 | |
| JP4397315B2 (ja) | 超伝導磁気測定装置 |