JPH0634817Y2 - 機器冷却用液化ガス貯蔵容器への液化ガス自動供給装置 - Google Patents
機器冷却用液化ガス貯蔵容器への液化ガス自動供給装置Info
- Publication number
- JPH0634817Y2 JPH0634817Y2 JP1991023217U JP2321791U JPH0634817Y2 JP H0634817 Y2 JPH0634817 Y2 JP H0634817Y2 JP 1991023217 U JP1991023217 U JP 1991023217U JP 2321791 U JP2321791 U JP 2321791U JP H0634817 Y2 JPH0634817 Y2 JP H0634817Y2
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- JP
- Japan
- Prior art keywords
- liquefied gas
- gas
- storage container
- cooling
- liquefied
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Expired - Lifetime
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- Devices For Use In Laboratory Experiments (AREA)
- Feeding, Discharge, Calcimining, Fusing, And Gas-Generation Devices (AREA)
- Radiation Pyrometers (AREA)
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本考案は、電子顕微鏡や温度画像
診断装置等の理科学機器での検出部を冷却するために付
設されている液化ガス貯蔵容器に液化ガスを補給するた
めの装置に関する。
診断装置等の理科学機器での検出部を冷却するために付
設されている液化ガス貯蔵容器に液化ガスを補給するた
めの装置に関する。
【０００２】
【従来技術】電子顕微鏡や温度画像診断装置等の理科学
機器では、検出精度を高めるために、その検出部を液体
窒素等の液化ガスで冷却するようにしている。そして、
一般的には液化ガスを貯蔵している貯蔵容器の底壁から
連出したコールドフィンガーで冷熱を伝達するようにし
ている。
機器では、検出精度を高めるために、その検出部を液体
窒素等の液化ガスで冷却するようにしている。そして、
一般的には液化ガスを貯蔵している貯蔵容器の底壁から
連出したコールドフィンガーで冷熱を伝達するようにし
ている。
【０００３】
【考案が解決しようとする課題】上述のような精密な検
出精度を必要とする理科学機器では、その測定中に振動
が伝達されると、検出精度に大きな影響がでることか
ら、その検出作業中は振動を発生させることなく超低温
状態を維持しておかなければならない。このため、液化
ガス貯蔵容器を放置した状態で使用していたことから、
理科学機器の検出部を冷却するために使用する液化ガス
は蒸発により液化ガス貯蔵容器外に飛散することにな
る。この結果、長時間にわたって冷却温度を一定範囲内
に維持するには、この飛散したガス分を補わなければな
らず、そのためにオペレータは頻繁に液化ガスを液化ガ
ス貯蔵容器に補給しなければならなかった。ところが、
デュワー瓶等の補給容器を用いて液化ガス貯蔵容器に液
化ガスを補給する作業は面倒でオペレータの負担が大き
いという問題があった。 本考案はこのような点に着目してなされたもので、液化
ガスの補給を簡単に行える自動補給装置を提供すること
を目的とするものである。
出精度を必要とする理科学機器では、その測定中に振動
が伝達されると、検出精度に大きな影響がでることか
ら、その検出作業中は振動を発生させることなく超低温
状態を維持しておかなければならない。このため、液化
ガス貯蔵容器を放置した状態で使用していたことから、
理科学機器の検出部を冷却するために使用する液化ガス
は蒸発により液化ガス貯蔵容器外に飛散することにな
る。この結果、長時間にわたって冷却温度を一定範囲内
に維持するには、この飛散したガス分を補わなければな
らず、そのためにオペレータは頻繁に液化ガスを液化ガ
ス貯蔵容器に補給しなければならなかった。ところが、
デュワー瓶等の補給容器を用いて液化ガス貯蔵容器に液
化ガスを補給する作業は面倒でオペレータの負担が大き
いという問題があった。 本考案はこのような点に着目してなされたもので、液化
ガスの補給を簡単に行える自動補給装置を提供すること
を目的とするものである。
【０００４】
【課題を解決するための手段】上記目的を達成するため
に、本第１考案は、理科学機器に接続する状態で配置し
た機器冷却用液化ガス貯蔵容器の液化ガス補給口にガス
液化装置の液化ガス送出口を接続し、原料ガスを生成す
る圧力振動式ガス分離生成装置をガス液化装置に連通接
続するように構成したことを特徴とし、本第２考案は理
科学機器に接続する状態で配置した機器冷却用液化ガス
貯蔵容器の液化ガス補給口にガス液化装置を中継断熱容
器を介して接続し、原料ガスを生成する圧力振動式ガス
分離生成装置をガス液化装置に連通接続し、この圧力振
動式ガス分離生成装置とガス液化装置とを理科学機器設
置室とは別室に配置するように構成したことを特徴とし
ている。
に、本第１考案は、理科学機器に接続する状態で配置し
た機器冷却用液化ガス貯蔵容器の液化ガス補給口にガス
液化装置の液化ガス送出口を接続し、原料ガスを生成す
る圧力振動式ガス分離生成装置をガス液化装置に連通接
続するように構成したことを特徴とし、本第２考案は理
科学機器に接続する状態で配置した機器冷却用液化ガス
貯蔵容器の液化ガス補給口にガス液化装置を中継断熱容
器を介して接続し、原料ガスを生成する圧力振動式ガス
分離生成装置をガス液化装置に連通接続し、この圧力振
動式ガス分離生成装置とガス液化装置とを理科学機器設
置室とは別室に配置するように構成したことを特徴とし
ている。
【０００５】
【作用】本考案では、理科学機器に接続する状態で配置
した機器冷却用液化ガス貯蔵容器にガス液化装置を接続
し、原料ガスを生成する圧力振動式ガス分離生成装置を
ガス液化装置に連通接続するように構成していることか
ら、機器冷却用液化ガス貯蔵容器にガス液化装置で生成
された液化ガスを簡単な操作で補給することができる。
これにより、理科学機器を冷却するために消費された液
化ガスの補給作業を容易に行うことができるようにな
る。
した機器冷却用液化ガス貯蔵容器にガス液化装置を接続
し、原料ガスを生成する圧力振動式ガス分離生成装置を
ガス液化装置に連通接続するように構成していることか
ら、機器冷却用液化ガス貯蔵容器にガス液化装置で生成
された液化ガスを簡単な操作で補給することができる。
これにより、理科学機器を冷却するために消費された液
化ガスの補給作業を容易に行うことができるようにな
る。
【０００６】また、第２考案のようにガス液化装置とガ
ス分離生成装置とを理科学機器設置室とは別の部屋に配
置した場合には、ガス液化時での振動影響が理科学機器
に現れることはなくなる。
ス分離生成装置とを理科学機器設置室とは別の部屋に配
置した場合には、ガス液化時での振動影響が理科学機器
に現れることはなくなる。
【０００７】
【実施例】図面は本考案の実施例を示し、図１は電子顕
微鏡のＥＤＳ検出器冷却用液化ガス貯蔵容器に液化ガス
を自動補給する場合の概略構成図である。
微鏡のＥＤＳ検出器冷却用液化ガス貯蔵容器に液化ガス
を自動補給する場合の概略構成図である。
【０００８】図において符号(１)は本体部分(２)を床面
(３)にスプリング等の振動吸収体(４)を介して支持させ
た電子顕微鏡、(５)は底壁からコールドフィンガーを導
出したＥＤＳ冷却用液化ガス貯蔵容器であり、このＥＤ
Ｓ冷却用液化ガス貯蔵容器(５)は電子顕微鏡(１)の本体
部分(２)に固定したリトラクトレール(６)に走行台(７)
を介して支持固定することにより、冷却用液化ガス貯蔵
容器(５)を電子顕微鏡(１)の本体部分(２)に対してリト
ラクト移動可能に構成してある。
(３)にスプリング等の振動吸収体(４)を介して支持させ
た電子顕微鏡、(５)は底壁からコールドフィンガーを導
出したＥＤＳ冷却用液化ガス貯蔵容器であり、このＥＤ
Ｓ冷却用液化ガス貯蔵容器(５)は電子顕微鏡(１)の本体
部分(２)に固定したリトラクトレール(６)に走行台(７)
を介して支持固定することにより、冷却用液化ガス貯蔵
容器(５)を電子顕微鏡(１)の本体部分(２)に対してリト
ラクト移動可能に構成してある。
【０００９】そして、冷却用液化ガス貯蔵容器(５)の上
端開口部(８)には容器内の液面高さを表示する液面計(1
0)が装着してあり、液面計(10)のセンサーは導出路(11)
内を通って冷却用液化ガス貯蔵容器(５)内に突入させて
ある。そして、この導出路(11)に液化ガス補給口(12)が
開設してあり、この液化ガス補給口(12)は断熱処理を施
した液化ガス供給管(13)で液化ガス供給源(14)に連通さ
せてある。
端開口部(８)には容器内の液面高さを表示する液面計(1
0)が装着してあり、液面計(10)のセンサーは導出路(11)
内を通って冷却用液化ガス貯蔵容器(５)内に突入させて
ある。そして、この導出路(11)に液化ガス補給口(12)が
開設してあり、この液化ガス補給口(12)は断熱処理を施
した液化ガス供給管(13)で液化ガス供給源(14)に連通さ
せてある。
【００１０】液化ガス供給源(14)は、原料ガスを生成す
る圧力振動式ガス分離生成装置(ＰＳＡ)(15)とその分離
生成された原料ガスを液化するガス液化装置(16)とで構
成してあり、前述の液化ガス供給管(13)はガス液化装置
(16)の液化ガス送出口(17)に電磁弁(18)を介して接続し
てある。なお、この圧力振動式ガス分離生成装置(15)と
ガス液化装置(16)は電子顕微鏡(１)での検出作業停止時
に自動運転されるように構成してある。
る圧力振動式ガス分離生成装置(ＰＳＡ)(15)とその分離
生成された原料ガスを液化するガス液化装置(16)とで構
成してあり、前述の液化ガス供給管(13)はガス液化装置
(16)の液化ガス送出口(17)に電磁弁(18)を介して接続し
てある。なお、この圧力振動式ガス分離生成装置(15)と
ガス液化装置(16)は電子顕微鏡(１)での検出作業停止時
に自動運転されるように構成してある。
【００１１】図２は本考案の別の実施例を示し、これ
は、冷却用液化ガス貯蔵容器(５)から導出した液化ガス
供給管(13)を中継断熱容器(19)を介して液化ガス供給源
(14)に連通接続するようにしたもので、この中継断熱容
器(19)は理科学機器設置室(20)に配置され、液化ガス供
給源(14)は理科学機器設置室(20)とは別の部屋(21)に設
置してある。このように構成すると、ガス液化装置(16)
や圧力振動式ガス分離生成装置(15)の運転には伴う振動
の影響を理科学機器に与えることがなくなり、理科学機
器での検出精度を高く維持することができる。
は、冷却用液化ガス貯蔵容器(５)から導出した液化ガス
供給管(13)を中継断熱容器(19)を介して液化ガス供給源
(14)に連通接続するようにしたもので、この中継断熱容
器(19)は理科学機器設置室(20)に配置され、液化ガス供
給源(14)は理科学機器設置室(20)とは別の部屋(21)に設
置してある。このように構成すると、ガス液化装置(16)
や圧力振動式ガス分離生成装置(15)の運転には伴う振動
の影響を理科学機器に与えることがなくなり、理科学機
器での検出精度を高く維持することができる。
【００１２】なお、上記各実施例では、原料ガスを生成
する圧力振動式ガス分離生成装置(15)とその分離生成さ
れた原料ガスを液化するガス液化装置(16)とで液化ガス
供給源(14)を構成したが、ガス液化装置(16)に原料ガス
貯蔵容器を接続して液化ガス供給源(14)を構成するよう
にしてもよい。
する圧力振動式ガス分離生成装置(15)とその分離生成さ
れた原料ガスを液化するガス液化装置(16)とで液化ガス
供給源(14)を構成したが、ガス液化装置(16)に原料ガス
貯蔵容器を接続して液化ガス供給源(14)を構成するよう
にしてもよい。
【００１３】
【考案の効果】本考案は、理科学機器に接続する状態で
配置した機器冷却用液化ガス貯蔵容器の液化ガス補給口
にガス液化装置の液化ガス送出口を連通接続しているこ
とから、理科学機器を冷却するために消費された液化ガ
スを冷却用液化ガス貯蔵容器にガス液化装置で生成した
液化ガスを簡単な操作で補充することができ、オペレー
タの液化ガス量管理作業での負担を軽減することができ
る。
配置した機器冷却用液化ガス貯蔵容器の液化ガス補給口
にガス液化装置の液化ガス送出口を連通接続しているこ
とから、理科学機器を冷却するために消費された液化ガ
スを冷却用液化ガス貯蔵容器にガス液化装置で生成した
液化ガスを簡単な操作で補充することができ、オペレー
タの液化ガス量管理作業での負担を軽減することができ
る。
【００１４】しかも、液化ガスは圧力振動式ガス分離生
成装置で分離生成するものであるから、原料ガスの管理
もしなくてもよいから、オペレータは本来業務である検
出・測定作業だけをすればよく、オペレータの負担はよ
り軽減されることになる。
成装置で分離生成するものであるから、原料ガスの管理
もしなくてもよいから、オペレータは本来業務である検
出・測定作業だけをすればよく、オペレータの負担はよ
り軽減されることになる。
【図１】電子顕微鏡のＥＤＳ検出器冷却用液化ガス貯蔵
容器に液化ガスを自動補給する場合の概略構成図であ
る。
容器に液化ガスを自動補給する場合の概略構成図であ
る。
【図２】電子顕微鏡のＥＤＳ検出器冷却用液化ガス貯蔵
容器に液化ガスを自動補給する粉となる実施例の概略構
成図である。
容器に液化ガスを自動補給する粉となる実施例の概略構
成図である。
１…理科学機器(電子顕微鏡)、 ５…機器冷却用液化
ガス貯蔵容器、 12…液化ガス補給口、 15…圧力振動式ガス
分離生成装置、 16…ガス液化装置、 17…液化ガス送出
口、 19…中継断熱容器、 20…理科学機器設置
室。
ガス貯蔵容器、 12…液化ガス補給口、 15…圧力振動式ガス
分離生成装置、 16…ガス液化装置、 17…液化ガス送出
口、 19…中継断熱容器、 20…理科学機器設置
室。
Claims (2)
- 【請求項１】 理科学機器(１)に接続する状態で配置し
た機器冷却用液化ガス貯蔵容器(５)の液化ガス補給口(1
2)にガス液化装置(16)の液化ガス送出口(17)を接続し、
原料ガスを生成する圧力振動式ガス分離生成装置(15)を
ガス液化装置(16)に連通接続して構成した機器冷却用液
化ガス貯蔵容器への液化ガス自動供給装置。 - 【請求項２】 理科学機器(１)に接続する状態で配置し
た機器冷却用液化ガス貯蔵容器(５)の液化ガス補給口(1
2)にガス液化装置(16)を中継断熱容器(19)を介して接続
し、原料ガスを生成する圧力振動式ガス分離生成装置(1
5)をガス液化装置(16)に連通接続し、この圧力振動式ガ
ス分離生成装置(15)とガス液化装置(16)とを理科学機器
設置室(20)とは別室に配置して構成した機器冷却用液化
ガス貯蔵容器への液化ガス自動供給装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP1991023217U JPH0634817Y2 (ja) | 1991-03-15 | 1991-03-15 | 機器冷却用液化ガス貯蔵容器への液化ガス自動供給装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP1991023217U JPH0634817Y2 (ja) | 1991-03-15 | 1991-03-15 | 機器冷却用液化ガス貯蔵容器への液化ガス自動供給装置 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH04114428U JPH04114428U (ja) | 1992-10-08 |
| JPH0634817Y2 true JPH0634817Y2 (ja) | 1994-09-14 |
Family
ID=31908515
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP1991023217U Expired - Lifetime JPH0634817Y2 (ja) | 1991-03-15 | 1991-03-15 | 機器冷却用液化ガス貯蔵容器への液化ガス自動供給装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH0634817Y2 (ja) |
Citations (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH0271085A (ja) * | 1988-09-07 | 1990-03-09 | Hitachi Ltd | 液体窒素発生装置 |
Family Cites Families (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS55173066U (ja) * | 1979-05-31 | 1980-12-11 | ||
| JPS625630Y2 (ja) * | 1980-10-25 | 1987-02-09 | ||
| JPH0533911Y2 (ja) * | 1989-03-31 | 1993-08-27 |
-
1991
- 1991-03-15 JP JP1991023217U patent/JPH0634817Y2/ja not_active Expired - Lifetime
Patent Citations (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH0271085A (ja) * | 1988-09-07 | 1990-03-09 | Hitachi Ltd | 液体窒素発生装置 |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPH04114428U (ja) | 1992-10-08 |
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Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| EXPY | Cancellation because of completion of term |