JPH0634818Y2 - 機器冷却用液化ガス貯蔵容器への液化ガス自動供給装置 - Google Patents
機器冷却用液化ガス貯蔵容器への液化ガス自動供給装置Info
- Publication number
- JPH0634818Y2 JPH0634818Y2 JP1991023218U JP2321891U JPH0634818Y2 JP H0634818 Y2 JPH0634818 Y2 JP H0634818Y2 JP 1991023218 U JP1991023218 U JP 1991023218U JP 2321891 U JP2321891 U JP 2321891U JP H0634818 Y2 JPH0634818 Y2 JP H0634818Y2
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- JP
- Japan
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- liquefied gas
- storage container
- gas storage
- replenishment
- liquefied
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- Expired - Lifetime
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- Feeding, Discharge, Calcimining, Fusing, And Gas-Generation Devices (AREA)
- Radiation Pyrometers (AREA)
- Devices For Use In Laboratory Experiments (AREA)
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本考案は、電子顕微鏡や温度画像
診断装置等の理科学機器での検出部を冷却するために付
設されている液化ガス貯蔵容器に液化ガスを補給するた
めの装置に関する。
診断装置等の理科学機器での検出部を冷却するために付
設されている液化ガス貯蔵容器に液化ガスを補給するた
めの装置に関する。
【０００２】
【従来技術】電子顕微鏡や温度画像診断装置等の理科学
機器では、検出精度を高めるために、その検出部を液体
窒素等の液化ガスで冷却するようにしている。そして、
一般的には液化ガスを貯蔵している貯蔵容器の底壁から
連出したコールドフィンガーで冷熱を伝達するようにし
ている。
機器では、検出精度を高めるために、その検出部を液体
窒素等の液化ガスで冷却するようにしている。そして、
一般的には液化ガスを貯蔵している貯蔵容器の底壁から
連出したコールドフィンガーで冷熱を伝達するようにし
ている。
【０００３】
【考案が解決しようとする課題】上述のような精密な検
出精度を必要とする理科学機器では、その測定中に振動
が伝達されると、検出精度に大きな影響がでることか
ら、その検出作業中は振動を発生させることなく超低温
状態を維持しておかなければならない。このため、液化
ガス貯蔵容器を放置した状態で使用していたことから、
理科学機器の検出部を冷却するために使用する液化ガス
は蒸発により液化ガス貯蔵容器外に飛散することにな
る。この結果、長時間にわたって冷却温度を一定範囲内
に維持するには、この飛散したガス分を補わなければな
らず、そのためにオペレータは頻繁に液化ガスを液化ガ
ス貯蔵容器に補給しなければならなかった。ところが、
デュワー瓶等の補給容器を用いて液化ガス貯蔵容器に液
化ガスを補給する作業は面倒でオペレータの負担が大き
いという問題があった。 本考案はこのような点に着目してなされたもので、液化
ガスの補給を簡単に行える自動補給装置を提供すること
を目的とするものである。
出精度を必要とする理科学機器では、その測定中に振動
が伝達されると、検出精度に大きな影響がでることか
ら、その検出作業中は振動を発生させることなく超低温
状態を維持しておかなければならない。このため、液化
ガス貯蔵容器を放置した状態で使用していたことから、
理科学機器の検出部を冷却するために使用する液化ガス
は蒸発により液化ガス貯蔵容器外に飛散することにな
る。この結果、長時間にわたって冷却温度を一定範囲内
に維持するには、この飛散したガス分を補わなければな
らず、そのためにオペレータは頻繁に液化ガスを液化ガ
ス貯蔵容器に補給しなければならなかった。ところが、
デュワー瓶等の補給容器を用いて液化ガス貯蔵容器に液
化ガスを補給する作業は面倒でオペレータの負担が大き
いという問題があった。 本考案はこのような点に着目してなされたもので、液化
ガスの補給を簡単に行える自動補給装置を提供すること
を目的とするものである。
【０００４】
【課題を解決するための手段】上記目的を達成するため
に、本考案は、理科学機器に接続する状態で配置した機
器冷却用液化ガス貯蔵容器の上側に補給用液化ガス貯蔵
容器を配置し、機器冷却用液化ガス貯蔵容器と補給用液
化ガス貯蔵容器とを断熱チューブで連通接続し、この補
給用液化ガス貯蔵容器の上端開口部に極低温冷凍機のコ
ールドヘッドを配置するとともに、補給用液化ガス貯蔵
容器に原料ガスの供給路を接続し、補給用液化ガス貯蔵
容器内で原料ガスがコールドヘッドと接触することによ
り凝縮液化した液化ガスを機器冷却用液化ガス貯蔵容器
に断熱チューブを介して自動補給するように構成し、極
低温冷凍機の圧縮機部分と原料ガスを生成する圧力振動
式ガス分離生成装置とを理科学機器設置室とは別室に配
置したことを特徴としている。
に、本考案は、理科学機器に接続する状態で配置した機
器冷却用液化ガス貯蔵容器の上側に補給用液化ガス貯蔵
容器を配置し、機器冷却用液化ガス貯蔵容器と補給用液
化ガス貯蔵容器とを断熱チューブで連通接続し、この補
給用液化ガス貯蔵容器の上端開口部に極低温冷凍機のコ
ールドヘッドを配置するとともに、補給用液化ガス貯蔵
容器に原料ガスの供給路を接続し、補給用液化ガス貯蔵
容器内で原料ガスがコールドヘッドと接触することによ
り凝縮液化した液化ガスを機器冷却用液化ガス貯蔵容器
に断熱チューブを介して自動補給するように構成し、極
低温冷凍機の圧縮機部分と原料ガスを生成する圧力振動
式ガス分離生成装置とを理科学機器設置室とは別室に配
置したことを特徴としている。
【０００５】
【作用】本考案では、理科学機器に接続する状態で配置
した機器冷却用液化ガス貯蔵容器の上側に補給用液化ガ
ス貯蔵容器を配置し、機器冷却用液化ガス貯蔵容器と補
給用液化ガス貯蔵容器とを断熱チューブで連通接続し、
この補給用液化ガス貯蔵容器の上端開口部に極低温冷凍
機のコールドヘッドを配置するとともに、補給用液化ガ
ス貯蔵容器に原料ガスの供給路を接続し、補給用液化ガ
ス貯蔵容器内で原料ガスがコールドヘッドと接触するこ
とにより凝縮液化した液化ガスを機器冷却用液化ガス貯
蔵容器に断熱チューブを介して自動補給するように構成
していることから、理科学機器を冷却するために消費さ
れた液化ガスは補給用液化ガス貯蔵容器から自動的に供
給されることになる。
した機器冷却用液化ガス貯蔵容器の上側に補給用液化ガ
ス貯蔵容器を配置し、機器冷却用液化ガス貯蔵容器と補
給用液化ガス貯蔵容器とを断熱チューブで連通接続し、
この補給用液化ガス貯蔵容器の上端開口部に極低温冷凍
機のコールドヘッドを配置するとともに、補給用液化ガ
ス貯蔵容器に原料ガスの供給路を接続し、補給用液化ガ
ス貯蔵容器内で原料ガスがコールドヘッドと接触するこ
とにより凝縮液化した液化ガスを機器冷却用液化ガス貯
蔵容器に断熱チューブを介して自動補給するように構成
していることから、理科学機器を冷却するために消費さ
れた液化ガスは補給用液化ガス貯蔵容器から自動的に供
給されることになる。
【０００６】また、補給用液化ガス貯蔵容器では、供給
された原料ガスが極低温冷凍機のコールドヘッドで冷却
されて順次液化されることから、オペレータは補給用液
化ガス貯蔵容器に原料ガス供給路の弁を開閉するだけで
よく、オペレータの液化ガス量管理作業での負担が軽減
される。
された原料ガスが極低温冷凍機のコールドヘッドで冷却
されて順次液化されることから、オペレータは補給用液
化ガス貯蔵容器に原料ガス供給路の弁を開閉するだけで
よく、オペレータの液化ガス量管理作業での負担が軽減
される。
【０００７】しかも、原料ガスの液化時に振動源となる
極低温冷凍機の圧縮機部分と原料ガスを生成する圧力振
動式ガス分離生成装置を理科学機器設置室とは別の部屋
に配置していることから、ガス液化時での振動影響が理
科学機器に現れることはなくなる。
極低温冷凍機の圧縮機部分と原料ガスを生成する圧力振
動式ガス分離生成装置を理科学機器設置室とは別の部屋
に配置していることから、ガス液化時での振動影響が理
科学機器に現れることはなくなる。
【０００８】
【実施例】図面は本考案の実施例を示し、図１は電子顕
微鏡のＥＤＳ検出器冷却用液化ガス貯蔵容器に液化ガス
を自動補給する場合の概略構成図である。
微鏡のＥＤＳ検出器冷却用液化ガス貯蔵容器に液化ガス
を自動補給する場合の概略構成図である。
【０００９】図において符号(１)は本体部分(２)を床面
(３)にスプリング等の振動吸収体(４)を介して支持させ
た電子顕微鏡、(５)は底壁からコールドフィンガーを導
出したＥＤＳ冷却用液化ガス貯蔵容器であり、このＥＤ
Ｓ冷却用液化ガス貯蔵容器(５)は電子顕微鏡(１)の本体
部分(２)に固定したリトラクトレール(６)に走行台(７)
を介して支持固定することにより、冷却用液化ガス貯蔵
容器(５)を電子顕微鏡(１)の本体部分(２)に対してリト
ラクト移動可能に構成してある。
(３)にスプリング等の振動吸収体(４)を介して支持させ
た電子顕微鏡、(５)は底壁からコールドフィンガーを導
出したＥＤＳ冷却用液化ガス貯蔵容器であり、このＥＤ
Ｓ冷却用液化ガス貯蔵容器(５)は電子顕微鏡(１)の本体
部分(２)に固定したリトラクトレール(６)に走行台(７)
を介して支持固定することにより、冷却用液化ガス貯蔵
容器(５)を電子顕微鏡(１)の本体部分(２)に対してリト
ラクト移動可能に構成してある。
【００１０】そして、冷却用液化ガス貯蔵容器(５)の上
側に補給用液化ガス貯蔵容器(８)が配置してあり、この
補給用液化ガス貯蔵容器(８)と前記冷却用液化ガス貯蔵
容器(５)とはフッ化エチレン樹脂等の低温特性に優れた
材質製の断熱処理を施した連結チューブ(９)で接続して
ある。補給用液化ガス貯蔵容器(８)は、真空断熱構造に
形成した２重容器で形成してあり、この補給用液化ガス
貯蔵容器(８)は電子顕微鏡配設室(10)の天井壁(11)に支
持枠(12)を介して防振支持させてある。
側に補給用液化ガス貯蔵容器(８)が配置してあり、この
補給用液化ガス貯蔵容器(８)と前記冷却用液化ガス貯蔵
容器(５)とはフッ化エチレン樹脂等の低温特性に優れた
材質製の断熱処理を施した連結チューブ(９)で接続して
ある。補給用液化ガス貯蔵容器(８)は、真空断熱構造に
形成した２重容器で形成してあり、この補給用液化ガス
貯蔵容器(８)は電子顕微鏡配設室(10)の天井壁(11)に支
持枠(12)を介して防振支持させてある。
【００１１】補給用液化ガス貯蔵容器(８)の上端開口部
(13)には、極低温冷凍機(14)のコールドヘッド(15)をそ
のコールドエンドが補給用液化ガス貯蔵容器(８)内に突
入する状態で配置されるとともに、補給用液化ガス貯蔵
容器(８)に窒素や乾燥空気等の原料ガスを供給するガス
供給路(16)がガス供給弁(17)を介して接続してある。
(13)には、極低温冷凍機(14)のコールドヘッド(15)をそ
のコールドエンドが補給用液化ガス貯蔵容器(８)内に突
入する状態で配置されるとともに、補給用液化ガス貯蔵
容器(８)に窒素や乾燥空気等の原料ガスを供給するガス
供給路(16)がガス供給弁(17)を介して接続してある。
【００１２】補給用液化ガス貯蔵容器(８)の上端開口部
(13)にコールドヘッド(15)を配置している極低温冷凍機
(14)の圧縮機部分(18)は、ガス供給路(16)に供給する原
料ガスを生成する圧力振動式ガス分離生成装置(ＰＳＡ)
(19)とともに電子顕微鏡配設室(10)とは別の部屋(20)に
配置してある。そして、この極低温冷凍機(14)とＰＳＡ
装置(19)は電子顕微鏡(１)での検出作業停止時に補給用
液化ガス貯蔵容器(８)内に貯溜されている液化ガス温度
及び補給用液化ガス貯蔵容器(８)内の内圧に基づき自動
運転されるように構成してある。
(13)にコールドヘッド(15)を配置している極低温冷凍機
(14)の圧縮機部分(18)は、ガス供給路(16)に供給する原
料ガスを生成する圧力振動式ガス分離生成装置(ＰＳＡ)
(19)とともに電子顕微鏡配設室(10)とは別の部屋(20)に
配置してある。そして、この極低温冷凍機(14)とＰＳＡ
装置(19)は電子顕微鏡(１)での検出作業停止時に補給用
液化ガス貯蔵容器(８)内に貯溜されている液化ガス温度
及び補給用液化ガス貯蔵容器(８)内の内圧に基づき自動
運転されるように構成してある。
【００１３】このように構成した液化ガス自動補給装置
では、冷却用液化ガス貯蔵容器(５)に配置した液面計で
の液化ガス液面検出作動に基づき、連結チューブ(９)に
配置した低温電磁弁(21)を開閉制御して補給用液化ガス
貯蔵容器(８)内の液化ガスを冷却用液化ガス貯蔵容器
(５)に自動補給するようになっている。なお、上記実施
例では、原料ガスを圧力振動式ガス分離生成装置(19)で
分離生成するようにしたが、原料ガス貯蔵容器を補給用
液化ガス貯蔵容器に連通接続するようにしてもよい。
では、冷却用液化ガス貯蔵容器(５)に配置した液面計で
の液化ガス液面検出作動に基づき、連結チューブ(９)に
配置した低温電磁弁(21)を開閉制御して補給用液化ガス
貯蔵容器(８)内の液化ガスを冷却用液化ガス貯蔵容器
(５)に自動補給するようになっている。なお、上記実施
例では、原料ガスを圧力振動式ガス分離生成装置(19)で
分離生成するようにしたが、原料ガス貯蔵容器を補給用
液化ガス貯蔵容器に連通接続するようにしてもよい。
【００１４】
【考案の効果】本考案は、理科学機器に接続する状態で
配置した機器冷却用液化ガス貯蔵容器の上側に補給用液
化ガス貯蔵容器を配置し、機器冷却用液化ガス貯蔵容器
と補給用液化ガス貯蔵容器とを断熱チューブで連通接続
し、この補給用液化ガス貯蔵容器の上端開口部に極低温
冷凍機のコールドヘッドを配置するとともに、補給用液
化ガス貯蔵容器に原料ガスの供給路を接続し、補給用液
化ガス貯蔵容器内で原料ガスがコールドヘッドと接触す
ることにより凝縮液化した液化ガスを機器冷却用液化ガ
ス貯蔵容器に断熱チューブを介して自動補給するように
構成していることから、理科学機器を冷却するために消
費された液化ガスを補給用液化ガス貯蔵容器から自動的
に供給することができる。
配置した機器冷却用液化ガス貯蔵容器の上側に補給用液
化ガス貯蔵容器を配置し、機器冷却用液化ガス貯蔵容器
と補給用液化ガス貯蔵容器とを断熱チューブで連通接続
し、この補給用液化ガス貯蔵容器の上端開口部に極低温
冷凍機のコールドヘッドを配置するとともに、補給用液
化ガス貯蔵容器に原料ガスの供給路を接続し、補給用液
化ガス貯蔵容器内で原料ガスがコールドヘッドと接触す
ることにより凝縮液化した液化ガスを機器冷却用液化ガ
ス貯蔵容器に断熱チューブを介して自動補給するように
構成していることから、理科学機器を冷却するために消
費された液化ガスを補給用液化ガス貯蔵容器から自動的
に供給することができる。
【００１５】また、補給用液化ガス貯蔵容器では、供給
された原料ガスが極低温冷凍機のコールドヘッドで冷却
されて順次液化されることから、オペレータは補給用液
化ガス貯蔵容器に原料ガス供給路の弁を開閉するだけで
よく、オペレータの液化ガス量管理作業での負担を軽減
することができる。
された原料ガスが極低温冷凍機のコールドヘッドで冷却
されて順次液化されることから、オペレータは補給用液
化ガス貯蔵容器に原料ガス供給路の弁を開閉するだけで
よく、オペレータの液化ガス量管理作業での負担を軽減
することができる。
【００１６】しかも、原料ガスの液化時に振動源となる
極低温冷凍機の圧縮機部分と原料ガスを生成する圧力振
動式ガス分離生成装置を理科学機器設置室とは別の部屋
に配置してあることから、ガス液化時での振動影響が理
科学機器に現れることがなく、検出精度に悪影響を与え
ることはない。
極低温冷凍機の圧縮機部分と原料ガスを生成する圧力振
動式ガス分離生成装置を理科学機器設置室とは別の部屋
に配置してあることから、ガス液化時での振動影響が理
科学機器に現れることがなく、検出精度に悪影響を与え
ることはない。
【図１】電子顕微鏡のＥＤＳ検出器冷却用液化ガス貯蔵
容器に液化ガスを自動補給する場合の概略構成図であ
る。
容器に液化ガスを自動補給する場合の概略構成図であ
る。
１…理科学機器(電子顕微鏡)、 ５…機器冷却用液化
ガス貯蔵容器、 ８…補給用液化ガス貯蔵容器、 ９…断熱チューブ、 10…理科学機器設置室、 14…極低温冷凍機、 15…コールドヘッド、 16…原料ガスの供給路、 18…極低温冷凍機の圧縮機部分、 19…圧力振動式ガス
分離生成装置。
ガス貯蔵容器、 ８…補給用液化ガス貯蔵容器、 ９…断熱チューブ、 10…理科学機器設置室、 14…極低温冷凍機、 15…コールドヘッド、 16…原料ガスの供給路、 18…極低温冷凍機の圧縮機部分、 19…圧力振動式ガス
分離生成装置。
Claims (1)
- 【請求項１】 理科学機器(１)に接続する状態で配置し
た機器冷却用液化ガス貯蔵容器(５)の上側に補給用液化
ガス貯蔵容器(８)を配置し、機器冷却用液化ガス貯蔵容
器(５)と補給用液化ガス貯蔵容器(８)とを断熱チューブ
(９)で連通接続し、この補給用液化ガス貯蔵容器(８)の
上端開口部に極低温冷凍機(14)のコールドヘッド(15)を
配置するとともに、補給用液化ガス貯蔵容器(８)に原料
ガスの供給路(16)を接続し、補給用液化ガス貯蔵容器
(８)内で原料ガスがコールドヘッド(15)と接触すること
により凝縮液化した液化ガスを機器冷却用液化ガス貯蔵
容器(５)に断熱チューブ(９)を介して自動補給するよう
に構成し、極低温冷凍機(14)の圧縮機部分(18)と原料ガ
スを生成する圧力振動式ガス分離生成装置(19)とを理科
学機器設置室(10)とは別室に配置した機器冷却用液化ガ
ス貯蔵容器への液化ガス自動供給装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP1991023218U JPH0634818Y2 (ja) | 1991-03-15 | 1991-03-15 | 機器冷却用液化ガス貯蔵容器への液化ガス自動供給装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP1991023218U JPH0634818Y2 (ja) | 1991-03-15 | 1991-03-15 | 機器冷却用液化ガス貯蔵容器への液化ガス自動供給装置 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH04114429U JPH04114429U (ja) | 1992-10-08 |
| JPH0634818Y2 true JPH0634818Y2 (ja) | 1994-09-14 |
Family
ID=31908516
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP1991023218U Expired - Lifetime JPH0634818Y2 (ja) | 1991-03-15 | 1991-03-15 | 機器冷却用液化ガス貯蔵容器への液化ガス自動供給装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH0634818Y2 (ja) |
Family Cites Families (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS55173066U (ja) * | 1979-05-31 | 1980-12-11 | ||
| JPS625630Y2 (ja) * | 1980-10-25 | 1987-02-09 | ||
| JPH0271085U (ja) * | 1988-11-19 | 1990-05-30 | ||
| JPH0533911Y2 (ja) * | 1989-03-31 | 1993-08-27 |
-
1991
- 1991-03-15 JP JP1991023218U patent/JPH0634818Y2/ja not_active Expired - Lifetime
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPH04114429U (ja) | 1992-10-08 |
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