JPH06790Y2

JPH06790Y2 - Ｅｄｓ検出器冷却用液化ガス蒸発防止装置

Info

Publication number: JPH06790Y2
Application number: JP7460891U
Authority: JP
Inventors: 正誼柳井; 悦治川口
Original assignee: Iwatani Corp
Current assignee: Iwatani Corp
Priority date: 1991-08-23
Filing date: 1991-08-23
Publication date: 1994-01-05
Anticipated expiration: 2004-01-05
Also published as: JPH0517584U

Description

【考案の詳細な説明】

【０００１】

【産業上の利用分野】本考案は、電子顕微鏡に元素分析
機能を持たせるためのエネルギー分散型Ｘ線検出器(Ｅ
ＤＳ検出器)を液化ガスで冷却するために使用される低
温発生装置での液化ガスの蒸発防止装置に関する。

【０００２】

【従来技術】一般に、ＥＤＳ検出器ではその測定精度を
高めるために、ＥＤＳ検出器を液体窒素等の液化ガスで
冷却するようにしているが、従来では液化ガスを貯蔵し
ている貯蔵容器の底壁からコールドフィンガーを連出
し、このコールドフィンガーにＥＤＳ検出器を装着し、
液化ガスを利用してＥＤＳ検出器を超低温状態に維持す
るようにしている。そしてこの場合ＥＤＳ検出器は、一
度冷却するとその冷却温度を維持しておかなければなら
ないという制約がある。一方、電子顕微鏡本体は床面に
スプリング等の振動吸収体を介して支持されており、液
化ガス貯蔵容器は検出作業時にＥＤＳ検出器をリトラク
ト移動できる状態で電子顕微鏡本体に固定されている。

【０００３】ＥＤＳ検出器を冷却するために使用する液
化ガスは蒸発により容器外に飛散することになるから、
長時間にわたって冷却温度を一定範囲内に維持するに
は、この飛散したガス分を補わなければならず、そのた
めにオペレータは頻繁に液化ガスを液化ガス貯蔵容器に
補給しなければならなかった。ところが、ＥＤＳ検出器
を使用する電子顕微鏡では、ＥＤＳ検出器冷却用の液化
ガス貯蔵容器を配設する床面からの高さがその照射軸と
の関係で規制されることになる。そして、従来では、こ
の液化ガス貯蔵容器の上部に開口している液化ガス補給
口は床面から例えば１.５ｍという高い位置に開口して
いたことから、このデュワー瓶等の補給容器を用いて液
化ガス貯蔵容器に液化ガスを補給する作業が面倒になる
という問題があった。

【０００４】このため、本出願人は先に、液化ガス貯蔵
容器の上端開口部に極低温冷凍機のコールドヘッドを装
着して、液化ガス貯蔵容器内で気化したガスを極低温冷
凍機で凝縮させることにより、液化ガスの消費を減少さ
せるようにしたものを提案した(特開平２−２７９９７
７号)。

【０００５】

【考案が解決しようとする課題】ところが、この極低温
冷凍機のコールドヘッドを液化ガス貯蔵容器の上端開口
部に装着した従来のものでは、液化ガスを貯蔵している
液化ガス貯蔵容器にコールドヘッドの重量が加わると７
Kg以上にもなる。このため、電子顕微鏡のリトラクトレ
ールに液化ガス貯蔵容器を支持させていた従来のもので
は、リトラクトレールが液化ガス貯蔵容器の重量を十分
に支持しきれない。このため、電子顕微鏡のリトラクト
レールの支持を補強することも考えられるが、精密・高
価な電子顕微鏡本体の改造・施工は困難を極める。

【０００６】さらに、電子顕微鏡はスプリング等でフロ
ーティング支持されることが普通であることから、電子
顕微鏡本体に取り付けられているリトラクトレールの構
造を変更することは、重量バランスを崩すことになり、
設置条件の調整を必要とするという問題があった。ま
た、リトラクトレールを傾斜状に配置した場合には、電
子顕微鏡と液化ガス貯蔵容器とが相対移動する際での移
動抵抗が、上昇移動時と下降移動時とで異なることにな
り、円滑な追随運動ができないという問題があった。本
考案は、このような点に着目してなされたもので、コー
ルドヘッド配置した液化ガス貯蔵容器の重量がリトラク
トレールに作用しない状態で支持することにより、液化
ガス貯蔵容器が電子顕微鏡のあらゆる動きに追随移動で
きる液化ガス蒸発防止装置を提供することを目的とする
ものである。

【０００７】

【課題を解決するための手段】上記目的を達成するため
に、本考案は、液化ガス貯蔵容器の上端開口部に極低温
冷凍機のコールドヘッドを支持板を介して装着し、この
コールドヘッドと圧縮機ユニットとを接続する冷媒給排
管及びコールドヘッド内に配置した給排切換弁の切換制
御用電線を金属撓み管の内部に配置し、この金属撓み管
を上向きの弾性力を持つ状態に配置し、金属撓み管の上
部先端をコールドヘッド支持板に固定したことを特徴と
している。

【０００８】

【作用】本考案では、液化ガス貯蔵容器の上端開口部に
極低温冷凍機のコールドヘッドを支持板を介して装着
し、このコールドヘッドと圧縮機ユニットとを接続する
冷媒給排管及びコールドヘッド内に配置した給排切換弁
の切換制御用電線を金属撓み管の内部に配置し、この金
属撓み管を上向きの弾性力を持つ状態に配置し、金属撓
み管の上部先端をコールドヘッド支持板に固定している
ので、コールドヘッドを装備した液化ガス貯蔵容器は金
属撓み管の上向き弾性力で支持することになるから、リ
トラクトレールに作用する液化ガス貯蔵容器の重量を軽
減でき、移動時の負荷を一定にすることができる。これ
により、電子顕微鏡本体に取り付けるリトラクトレール
の構造を簡素化することができる。

【０００９】

【実施例】

図面は本考案の実施例を示し、図１は電子顕微鏡への液
化ガス貯蔵容器の取付け状態を示す概略構成図である。
図において符号(１)は本体部分(２)を床面にスプリング
等の振動吸収体を介して支持させた電子顕微鏡、(３)は
底壁からコールドフィンガーを導出したＥＤＳ冷却用液
化ガス貯蔵容器であり、この液化ガス貯蔵容器(３)は電
子顕微鏡(１)の本体部分(２)に相対移動可能な状態で取
り付けられている。

【００１０】すなわち、電子顕微鏡(１)の本体部分(２)
からリトラクトレール(４)を上向き傾斜状に突設し、こ
のリトラクトレール(４)に走行台(５)をネジ式移動装置
等の移動機構でリトラクトレール(４)に沿って走行移動
可能な状態で配置し、この走行台(５)に液化ガス貯蔵容
器(３)を載置固定することにより、液化ガス貯蔵容器
(３)を電子顕微鏡(１)の本体部分(２)に対してリトラク
ト移動可能に構成してある。

【００１１】符号(６)は液化ガス貯蔵容器(３)の上端開
口部(７)に極低温冷凍機(８)のコールドヘッド(９)を配
置するための支持板であり、この支持板(６)には極低温
冷凍機(８)のコールドヘッド(９)がそのコールドエンド
部分(10)を下側に突出させた状態で固定してある。そし
て、このコールドエンド部分(10)を液化ガス貯蔵容器
(３)の容器内部に突入させる状態で支持板(６)を液化ガ
ス貯蔵容器(３)の上端開口部(７)に装着し、支持板(６)
と液化ガス貯蔵容器(３)との間を連結固定具(11)で固定
している。

【００１２】連結固定具(11)は、液化ガス貯蔵容器(３)
の胴部に巻き付いている帯板リング(12)と、この帯板リ
ング(12)と支持板(６)とを連結する複数のコイルスプリ
ング(13)とで構成してある。帯板リング(12)は液化ガス
貯蔵容器(３)の胴部で周方向に形成されている溶接ビー
ドの下側部分に嵌着しており、コイルスプリング(13)は
支持板(６)を液化ガス貯蔵容器(３)側に牽引固定するよ
うに作用している。

【００１３】したがって、コイルスプリング(13)の弾性
力で帯板リング(12)が溶接ビードの下周縁に受け止めら
れ、支持板(６)が液化ガス貯蔵容器(３)に押し付けられ
ることになるから、支持板(６)は液化ガス貯蔵容器(３)
の開口部(７)に圧着固定されることになる。なお、この
コイルスプリング(13)の弾性力は極低温冷凍機(８)を運
転停止することにより、液化ガス貯蔵容器(３)内の内圧
が上昇した際にでも支持板(６)を液化ガス貯蔵容器(３)
に所定の接当力以上の力で押し付けることのできる大き
さに設定してある。

【００１４】極低温冷凍機(８)の圧縮機ユニット(14)は
電子顕微鏡本体(２)とは別に設置してあり、この圧縮機
ユニット(14)とコールドヘッド(９)の支持板(６)とは金
属撓み管(15)で接続されており、この金属撓み管(15)の
内部にコールドヘッド(９)への冷媒給排用フレキシブル
ホース(図示略)と、コールドヘッド(９)内に組み込んだ
給排切換弁を切換制御するための制御用ケーブル(図示
略)とが収容されている。

【００１５】金属撓み管(15)はベローズ型撓み管で構成
してあり、この金属撓み管(15)を略「つ」字状に配置す
ることにより、金属撓み管(15)の先端部分に上向きの弾
性力が作用するようにしてある。したがって、液化ガス
貯蔵容器(３)及びコールドヘッド(９)の重量は金属撓み
管(15)の弾性力で受け止められることになるから、リト
ラクトレール(４)に作用する液化ガス貯蔵容器(３)の重
量が軽減され、液化ガス貯蔵容器(３)を抵抗なく追随移
動させることができる。

【００１６】なお、上記実施例の極低温冷凍機は、電子
顕微鏡(１)の操作時には極低温冷凍機運転に伴う振動が
ＥＤＳ検出器や電子顕微鏡(１)に伝達されることがない
ように運転を停止し、電子顕微鏡(１)の非操作時に極低
温冷凍機を運転して、気化ガスを凝縮できるようにその
運転モードを制御している。

【００１７】上記実施例では圧縮機ユニット(14)とコー
ルドヘッド(９)の支持板(６)との間に金属撓み管(15)を
配置したが、電子顕微鏡(１)の近傍にスタンドを立設
し、このスタンドとコールドヘッド(９)の支持板(６)と
の間に金属撓み管(15)を弾性力が上向きに作用する状態
で配置するようにしてもよい。また、金属撓み管(15)と
しては、ベローズ型撓み管に換えて、インターロック型
撓み管や、側壁部分に縦溝を刻設した板バネ製溝条材を
使用してもよい。

【００１８】

【考案の効果】本考案では、液化ガス貯蔵容器の上端開
口部に支持板を介して極低温冷凍機のコールドヘッドを
装着し、このコールドヘッドと圧縮機ユニットとを接続
する冷媒給排管及びコールドヘッド内に配置した給排弁
の切換制御用電線を金属撓み管の内部に配置し、この金
属撓み管を上向きの弾性力を持つ状態に配置し、金属撓
み管の上部先端をコールドヘッド支持板に固定している
ので、コールドヘッドを装備した液化ガス貯蔵容器は金
属撓み管の上向き弾性力で支持することになるから、リ
トラクトレールに作用する液化ガス貯蔵容器の重量を軽
減でき、移動時の負荷を一定にすることができる。これ
により、電子顕微鏡本体に取り付けるリトラクトレール
の構造を簡素化することができる。

【図面の簡単な説明】

【図１】電子顕微鏡への液化ガス貯蔵容器の取付け状態
を示す概略構成図である。

【符号の説明】

１…電子顕微鏡、２…電子顕微鏡
の本体部分、３…液化ガス貯蔵容器、４
…リトラクトレール、６…支持板、７…液
化ガス貯蔵容器の上端開口部、８…極低温冷凍機、
９…コールドヘッド、14…圧縮機ユニッ
ト、 15…金属撓み管。

Claims

【実用新案登録請求の範囲】

【請求項１】電子顕微鏡(１)の本体部分(２)にリトラ
クトレール(４)を介してＥＤＳ検出器冷却用液化ガス貯
蔵容器(３)を支持させ、この液化ガス貯蔵容器(３)の上
端開口部(７)に極低温冷凍機(８)のコールドヘッド(９)
を装着したＥＤＳ検出器冷却用液化ガス蒸発防止装置に
おいて、液化ガス貯蔵容器(３)の上端開口部(７)に極低温冷凍機
(８)のコールドヘッド(９)を支持板(６)を介して装着
し、このコールドヘッド(９)と圧縮機ユニット(14)とを
接続する冷媒給排管及びコールドヘッド(９)内に配置し
た給排切換弁の切換制御用電線を金属撓み管(15)の内部
に配置し、この金属撓み管(15)を上向きの弾性力を持つ
状態に配置し、金属撓み管(15)の上部先端をコールドヘ
ッド支持板(６)に固定したことを特徴とするＥＤＳ検出
器冷却用液化ガス蒸発防止装置。