JPH04109298U - 機器冷却用液化ガス貯蔵容器への液化ガス自動供給装置 - Google Patents

機器冷却用液化ガス貯蔵容器への液化ガス自動供給装置

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JPH04109298U
JPH04109298U JP2087791U JP2087791U JPH04109298U JP H04109298 U JPH04109298 U JP H04109298U JP 2087791 U JP2087791 U JP 2087791U JP 2087791 U JP2087791 U JP 2087791U JP H04109298 U JPH04109298 U JP H04109298U
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正誼 柳井
正人 足立
悦治 川口
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Abstract

(57)【要約】 【目的】 電子顕微鏡等の理科学機器を冷却する液化ガ
ス貯蔵容器に液化ガスを自動補給する。 【構成】 機器冷却用液化ガス貯蔵容器(３)の上側に配
置した補給用液化ガス貯蔵容器(７)から導出した断熱チ
ューブ(８)を機器冷却用液化ガス貯蔵容器(３)に連通接
続し、補給用液化ガス貯蔵容器(７)の上端開口部に極低
温冷凍機のコールドヘッド(18)を配置し、補給用液化ガ
ス貯蔵容器(７)に供給した原料ガスをコールドヘッド(1
8)で冷却することにより凝縮液化させ、この凝縮液化し
た液化ガスを機器冷却用液化ガス貯蔵容器(３)に断熱チ
ューブ(８)を介して自動補給するように構成する。 【効果】 理科学機器を冷却するために消費された液化
ガスが補給用液化ガス貯蔵容器から自動的に順次供給さ
れることになり、オペレータの液化ガス管理での負担が
軽減される。

Description

【考案の詳細な説明】
【０００１】
【産業上の利用分野】
本考案は、電子顕微鏡や温度画像診断装置等の理科学機器での検出部を冷却す るために付設されている液化ガス貯蔵容器に液化ガスを補給するための装置に関 する。
【０００２】
【従来技術】
電子顕微鏡や温度画像診断装置等の理科学機器では、検出精度を高めるために 、その検出部を液体窒素等の液化ガスで冷却するようにしている。そして、一般 的には液化ガスを貯蔵している貯蔵容器の底壁から連出したコールドフィンガー で冷熱を伝達するようにしている。
【０００３】
【考案が解決しようとする課題】
上述のような精密な検出精度を必要とする理科学機器では、その測定中に振動 が伝達されると、検出精度に大きな影響がでることから、その検出作業中は振動 を発生させることなく超低温状態を維持しておかなければならない。このため、 液化ガス貯蔵容器を放置した状態で使用していたことから、理科学機器の検出部 を冷却するために使用する液化ガスは蒸発により液化ガス貯蔵容器外に飛散する ことになる。この結果、長時間にわたって冷却温度を一定範囲内に維持するには 、この飛散したガス分を補わなければならず、そのためにオペレータは頻繁に液 化ガスを液化ガス貯蔵容器に補給しなければならなかった。ところが、デュワー 瓶等の補給容器を用いて液化ガス貯蔵容器に液化ガスを補給する作業は面倒でオ ペレータの負担が大きいという問題があった。 本考案はこのような点に着目してなされたもので、液化ガスの補給を簡単に行 える自動補給装置を提供することを目的とするものである。
【０００４】
【課題を解決するための手段】
上記目的を達成するために、本考案は、機器冷却用液化ガス貯蔵容器の近傍に 補給用液化ガス貯蔵容器を配置し、機器冷却用液化ガス貯蔵容器と補給用液化ガ ス貯蔵容器とを断熱チューブで連通接続し、この補給用液化ガス貯蔵容器の上端 開口部に極低温冷凍機のコールドヘッドを配置するとともに、補給用液化ガス貯 蔵容器に原料ガス供給路を接続し、補給用液化ガス貯蔵容器内で原料ガスをコー ルドヘッドで冷却することにより凝縮液化させた液化ガスを機器冷却用液化ガス 貯蔵容器に断熱チューブを介して自動補給するように構成したことを特徴として いる。
【０００５】
【作用】
本考案では、機器冷却用液化ガス貯蔵容器の近傍に補給用液化ガス貯蔵容器を 配置し、機器冷却用液化ガス貯蔵容器と補給用液化ガス貯蔵容器とを断熱チュー ブで連通接続し、この補給用液化ガス貯蔵容器の上端開口部に極低温冷凍機のコ ールドヘッドを配置するとともに、補給用液化ガス貯蔵容器に原料ガス供給路を 接続し、この補給用液化ガス貯蔵容器内で原料ガスをコールドヘッドで冷却する ことにより凝縮液化させた液化ガスを機器冷却用液化ガス貯蔵容器に断熱チュー ブを介して自動補給するように構成していることから、理科学機器を冷却するた めに消費された液化ガスは補給用液化ガス貯蔵容器から自動的に供給されること になる。
【０００６】 また、補給用液化ガス貯蔵容器では、ガス体が極低温冷凍機のコールドヘッド で冷却されて順次液化されることから、オペレータは補給用液化ガス貯蔵容器に 原料ガス供給路の弁を開閉するだけでよく、オペレータの液化ガス量管理作業で の負担が軽減される。
【０００７】
【実施例】
図面は本考案の実施例を示し、図１は電子顕微鏡のＥＤＳ検出器冷却用液化ガ ス貯蔵容器に液化ガスを自動補給する場合の概略構成図、図２は補給用液化ガス 貯蔵容器の要部断面図である。
【０００８】 図において符号(１)は本体部分(２)を床面にスプリング等の振動吸収体を介し て支持させた電子顕微鏡であり、(３)は底壁からコールドフィンガーを導出した ＥＤＳ冷却用液化ガス貯蔵容器であり、このＥＤＳ冷却用液化ガス貯蔵容器(３) は電子顕微鏡(１)の本体部分(２)に相対移動可能な状態で固定されている。すな わち、電子顕微鏡(１)の本体部分(２)から突設した補強サポート(４)にリトラク トレール(５)を支持させ、このリトラクトレール(５)に走行台(６)をネジ式移動 装置等の移動機構でリトラクトレール(５)に沿って走行移動可能な状態で配置し 、走行台(６)に冷却用液化ガス貯蔵容器(３)を載置固定することにより、冷却用 液化ガス貯蔵容器(３)を電子顕微鏡(１)の本体部分(２)に対してリトラクト移動 可能に構成してある。
【０００９】 そして、冷却用液化ガス貯蔵容器(３)の上側に補給用液化ガス貯蔵容器(７)が 電子顕微鏡(１)とは別の支持機構により固定してあり、補給用液化ガス貯蔵容器 (７)と冷却用液化ガス貯蔵容器(３)とは、フッ化エチレン樹脂等の低温特性に優 れた材質製の連結チューブ(８)で接続してある。
【００１０】 この補給用液化ガス貯蔵容器(７)は図２に示すように、真空断熱構造に形成し た２重容器で形成してあり、この補給用液化ガス貯蔵容器(７)は床面(９)を移動 可能な支持枠(10)の上面に防振機構(11)を介して固定支持してある。そして、内 側容器(12)の底壁部分(13)に前記連結チューブ(８)が低温電磁弁(14)、ベローズ (15)、排気兼安全弁(16)を介して接続してある。なお、この連結チューブ(８)は 断熱被覆してある。
【００１１】 また、補給用液化ガス貯蔵容器(７)の上端開口部(17)には、極低温冷凍機のコ ールドヘッド(18)をそのコールドエンド(19)が補給用液化ガス貯蔵容器(７)内に 突入する状態で配置されるとともに、補給用液化ガス貯蔵容器(７)に窒素や乾燥 空気等の原料ガスを供給するガス供給路(20)がガス供給弁(21)を介して接続して ある。
【００１２】 補給用液化ガス貯蔵容器(７)の上端開口部(17)にコールドヘッド(18)を配置し ている極低温冷凍機は、被冷却機器の検出作業停止時に補給用液化ガス貯蔵容器 (７)内に貯溜されている液化ガス温度及び補給用液化ガス貯蔵容器(７)内の内圧 に基づき自動運転されるように構成してある。図中符号(22)は容器内の液面高さ を表示する液面計、(23)は容器内圧を表示する圧力計、(24)は液化ガス温度を表 示する温度計、(25)は安全弁である。
【００１３】 このように構成した液化ガス自動補給装置では、冷却用液化ガス貯蔵容器(３) に配置した液面計での液化ガス液面検出作動に基づき、連結チューブ(８)と補給 用液化ガス貯蔵容器(７)との間に配置した低温電磁弁(14)を開閉制御して補給用 液化ガス貯蔵容器(７)内の液化ガスを冷却用液化ガス貯蔵容器(３)に自動補給す るように形成してある。
【００１４】 図３は本考案の別実施例を示し、これは、補給用液化ガス貯蔵容器(７)の上端 開口部(17)から液化ガス導出管(26)を内側容器(12)の底部まで突入させ、この液 化ガス導出管(26)の上端部に前記連結チューブ(８)が電磁弁(27)を介して連結し 、補給用液化ガス貯蔵容器(７)と冷却用液化ガス貯蔵容器(３)とをサイホン状連 結チューブ(８)で配管したものである。なお、図３中符号(28)は面積式流量計で ある。
【００１５】
【考案の効果】
本考案は、機器冷却用液化ガス貯蔵容器の近傍に補給用液化ガス貯蔵容器を配 置し、機器冷却用液化ガス貯蔵容器と補給用液化ガス貯蔵容器とを断熱チューブ で連通接続し、この補給用液化ガス貯蔵容器の上端開口部に極低温冷凍機のコー ルドヘッドを配置するとともに、補給用液化ガス貯蔵容器に原料ガス供給路を接 続し、この補給用液化ガス貯蔵容器内で原料ガスをコールドヘッドで冷却するこ とにより凝縮液化させた液化ガスを機器冷却用液化ガス貯蔵容器に断熱チューブ を介して自動補給するように構成していることから、理科学機器を冷却するため に消費された液化ガスは補給用液化ガス貯蔵容器から自動的に順次供給されるこ とになり、オペレータの液化ガス管理での負担が軽減される。
【図面の簡単な説明】
【図１】電子顕微鏡のＥＤＳ検出器冷却用液化ガス貯蔵
容器に液化ガスを自動補給する場合の概略構成図であ
る。
【図２】補給用液化ガス貯蔵容器の要部断面図である。
【図３】別実施例の補給用液化ガス貯蔵容器の要部断面
図である。
【符号の説明】
３…機器冷却用液化ガス貯蔵容器、 ７…補給用液化
ガス貯蔵容器８…断熱チューブ、 13
…補給用液化ガス貯蔵容器の底壁、18…コールドヘッ
ド、 20…原料ガス供給路。
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (72)考案者 川口 悦治 滋賀県守山市勝部町1095番地 イワタニプ ランテツク株式会社滋賀工場内

Claims (3)

    【実用新案登録請求の範囲】
  1. 【請求項１】 機器冷却用液化ガス貯蔵容器(３)の近傍
    に補給用液化ガス貯蔵容器(７)を配置し、機器冷却用液
    化ガス貯蔵容器(３)と補給用液化ガス貯蔵容器(７)とを
    断熱チューブ(８)で連通接続し、この補給用液化ガス貯
    蔵容器(７)の上端開口部に極低温冷凍機のコールドヘッ
    ド(18)を配置するとともに、補給用液化ガス貯蔵容器
    (７)に原料ガスの供給路(20)を接続し、補給用液化ガス
    貯蔵容器(７)内で原料ガスをコールドヘッド(18)で冷却
    することにより凝縮液化させた液化ガスを機器冷却用液
    化ガス貯蔵容器(３)に断熱チューブ(８)を介して自動補
    給するように構成した機器冷却用液化ガス貯蔵容器への
    液化ガス自動供給装置。
  2. 【請求項２】 断熱チューブ(８)を補給用液化ガス貯蔵
    容器(７)の底壁(13)から導出し、断熱チューブ(８)内を
    流下させて液化ガスを補給するように構成した請求項１
    に記載の機器冷却用液化ガス貯蔵容器への液化ガス自動
    供給装置。
  3. 【請求項３】 断熱チューブ(８)をサイホン状に配置し
    た請求項１に記載の機器冷却用液化ガス貯蔵容器への液
    化ガス自動供給装置。
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Cited By (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2002071453A (ja) * 2000-08-30 2002-03-08 Hioki Ee Corp 冷却装置および光検出装置
JP2013195031A (ja) * 2012-03-22 2013-09-30 Aisin Seiki Co Ltd 予冷型冷却装置

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