JPH0775668A - 血液透析装置の透析器の透析セクションにおける構成部品の操作性を決定するための方法、およびこの方法を実施するための装置 - Google Patents
血液透析装置の透析器の透析セクションにおける構成部品の操作性を決定するための方法、およびこの方法を実施するための装置Info
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Abstract
なく、圧力維持試験により透析処置中の限外ろ過率につ
いての制御システムの操作性を決定することを容易にす
る方法を提供する。 【構成】血液透析装置の透析器の透析物セクション構成
の部品の操作性を透析液回路(II)における透析器
(1)の圧力の進展を透析器(1)の遮断状態で圧力ト
ランスデューサー(22)の信号の検出により決定す
る。すなわち、密な状態において平均透析物が安定であ
る短時間の間、透析液回路(II)から透析器(1)を
分離し、この分離された透析器の透析液の圧力の進展を
それ自体既知の圧力維持試験により監視する。
Description
量(volumetrical)限外ろ過装置および透析器弁の下流
側で圧力トランスデューサーに接続するとともに膜横断
圧力を監視することによる安全装置に接続した限外ろ過
率の制御装置を備えた血液透析装置の透析器の透析物セ
クション構成の部品の操作性を決定するための方法に係
わり、特には、透析液回路における透析器の圧力の進展
を透析器が遮断状態で圧力トランスデューサーの信号の
検出により測定して操作性を決定するための方法、およ
びこの方法を実施するための装置に関する。
えた血液透析装置は、広い用途を有する。この種の装置
は、例えば本出願人により製造され、販売されている
(2008C、C、Eシリーズの血液透析装置)。これ
ら装置のUF制御系により、特定の限外ろ過率または限
外ろ過量を予め決定することが可能となる。こうして、
処理すべき血液の粘度および血液透析器の性質とは独立
に、血液透析処置中に所定の限外ろ過率または量を引き
出すことが確保される。
率の正確な制御能力を失い得ることが知られている。例
えば、そのような欠陥により引き起こされる限外ろ過率
の劇的な増加は患者に危険を及ぼすので、制定された安
全基準(IEC601第16節)は、限外ろ過が患者に
危険とならないようにする安全システム(装置)が存在
しなければならないと規定している。そのような安全シ
ステムとして、膜横断圧力(transmembrane pressure)
(TMP)の監視が認められている。
析器(いわゆる高束密度透析器)の開発は、TMPセン
サーの制限された分解能故に、TMP監視が充分な分解
率で危険的に高いか低い限外ろ過率を決定できないとい
う結果となった。
システム(装置)をもって開始されることを確保するた
めに、透析処置前に制御システムの完全性を手動または
自動で検査できる機構が販売されるようになった。この
検査は、透析装置の透析物セクションにおける圧力維持
または保持試験によって行われる。
って、遮断状態においてではないことが経験により示さ
れている。
記問題から出発し、圧力変動に対し付加的な装置を必要
とすることなく、圧力維持試験により透析処置中の限外
ろ過率についての制御システムの操作性を決定すること
を容易にする方法を提供することを課題としている。
ら出発して、平均透析物操作圧力が密な状態で安定であ
る短時間の間隔で透析中に透析器を定期的に透析液回路
から分離し、分離された透析器の透析液回路中の圧力の
進展をそれ自体公知の圧力維持試験により安定状態から
の変動について監視することによって解決される。
なり得る欠陥限外ろ過を簡単な手法で検出する。
は、圧力維持試験が行われる時間間隔が典型的に20秒
の範囲内にあるように行われることが有用である。
した透析器の限外ろ過係数(ultrafiltration coeffici
ent )に依存して異なって到達されるので、本方法は、
本発明のさらなる展開により、2つの圧力維持試験間隔
間の期間が使用した透析器の限外ろ過係数に基づいて以
下の式に従って決定されるように実施される。
ー、p=膜横断圧力(transmembrane pressure)、UF
C=限外ろ過係数)。
ることができる。本発明の方法を自動的に実施するため
の装置は、所定の時間透析液回路から透析器を分離する
ために所定の間隔で切り替え信号を定期的に発生するマ
イクロプロセッサーシステムが血液透析装置に設けられ
ていることを特徴とし、このマイクロプロセッサーには
全ての必要な値が供給され、このマイクロプロセッサー
は、該時間間隔中に圧力の進展に応じて指示/アラーム
/切り替え信号を発生する。
御装置に接続された血液透析装置の構成部品の操作性の
決定に関する特徴は、以下の図面を参照した実施例の記
載に示されている。
する。
ス社の装置A 2008C)の概略図であり、本発明の
方法および装置が好ましく使用されるものである。透析
器1は、図示の装置の中心部品であり、体外循環回路I
および透析液回路IIを備えている。
血液流キャピラリー透析器が好ましく用いられる。
すなわち血液チューブ系(方向を矢印Aで示す)におい
て、まず、動脈圧の測定が行なわれる。この動脈圧の測
定は、圧抵抗性圧力トランスデューサー2により行わ
れ、ここには上記血液チューブ系の圧力測定ダクト2a
が接続され、疎水性膜フィルター(図示せず)が汚染防
止部材として介在している。
を矢印Bで示す)において、圧力測定ダクト3aを介し
て圧力トランスデューサー3により静脈還流圧が測定さ
れる。
の形態にある血液ポンプ4により体外循環回路Iの血液
流が確保される。
を連続的に供給するためのヘパリンポンプ5が設けられ
ている。
けられ、体外循環回路Iに入った血液泡または空気が患
者に導入されることを防止している。これは、血液チュ
ーブ系の静脈点滴チャンバ6aを収容する点滴チャンバ
支持体を備えている。空気検出器6は、超音波パルスに
より、点滴チャンバ6a中に気泡または微小泡が存在す
るかどうかを検出する。
ンプ7が、血液ポンプ4を停止することによって患者へ
の静脈還流を閉塞する。
にはさらに光学系8が設けられており、チューブ中に血
液が存在するか、または正常な食塩液(または恐らく空
気も)が存在するかどうかを検出する。
4:1の水(矢印C)および濃縮液から製造され、脱気
され、体温まで熱せられる。
液容器9から濃縮液が取り出され、混合点11に供給さ
れ、そこで水との混合が行われる。脱気は、減圧を発生
するギアポンプ12によって行われる。空気分離チャン
バ12aに気泡として導入されたガスは、ダクト13を
介して再び供給される。
ing chamber )14の下部から流入し、そこで透析器1
へ流れる新鮮な透析液が透析器からの使用済み液の正確
に等しい量と交換される。平衡化チャンバは、平衡化に
加えて、混合システムの一部としても機能する。平衡化
チャンバの各充填後、膜ポンプが正確な量の濃縮液を上
記混合ポイントに搬送する。透析器1への供給ライン中
には温度センサー15と導電率センサー16が設けられ
ており、透析液の状態を監視する。加えて、弁すなわち
第1の透析器弁17aがこの供給ライン中に設けられて
いる。もう一つの弁すなわち第2の透析器弁17bが透
析器1の出口側に設けられている。第1の透析器弁17
aの前方にはラインすなわちバイパスライン19が枝分
れしており、第2の透析器弁17bの下流側で透析物系
に接続している。このライン19には、バイパス弁17
cが設けられている。この弁17cと、弁17a,17
bとは交互に動作される。弁17a,17bが閉じら
れ、弁17cが開放されている場合、透析器1は、遮断
され、バイパスライン19により橋絡される。また、弁
17a,17bが開放され、弁17cが閉じられている
場合、透析液は透析器1を通って流れる。
IIの排出ラインに設けられたポンプ18すなわち透析
液ポンプにより行われる。ついで、使用済み液は平衡化
チャンバ14の上部を通りドレイン系に送られる(矢印
D)。
スの助けにより血液漏れ検出器20により検出され、血
液アラームとして指示される。このプロセスは透析器中
の膜破損または少量の血液漏れを検出する。
しくは容積計量膜ポンプにより所定の速度で液が系から
導出される。その結果、用いた透析器に依存して0ない
し−540mmHgの負圧(膜横断圧)が発生する。膜
ポンプにより引き出された液は、血液から限外ろ過物
(UF)として流れ、ドレイン系(矢印D)または別の
収集容器へ至る。
ー22により測定され、センサー3での静脈還流圧から
差し引かれ、膜横断圧(UF)として記録される。
り定義される。
{(Pdi+Pdo)/2} (ここで、Pbi=透析器の入口側血液圧 Pbo=透析器の出口側血液圧 Pdi=透析器の入口側透析液圧 Pdo=透析器の出口側透析液圧)。
装置により互いに接続されている。点滴チャンバ6aに
おける血液レベルが減少すると、空気検出器6により血
液ポンプが遮断され、チューブスロットルクランプ7が
閉じられる。同様のことが、生じ得る全ての血液アラー
ムに適用されている(センサー20による血液漏れアラ
ーム、センサー2、3および20による、アラーム限界
の上または下となる動脈、静脈またはUF圧の増加また
は減少)。さらに、個々の測定用信号のための表示装置
(図示せず)も設けられている。
に透析液1へ供給されまたは導出されることを確保す
る。
のチャンバセクションは膜により分離されている。両チ
ャンバセクションは、それにより、同じ容積を持つ。
動作サイクル1の間、平衡化チャンバの下側は新鮮な透
析液で満たされる。圧力が膜に作用し、使用済み透析液
はドレイン系へ流れる。
liquid volume)VAはチャンバ容積に相当する。
の上側は使用済み透析液で満たされる。新鮮な透析液は
透析器に押圧される。膜の最大膨脹の間、排斥液体積V
Aはチャンバ容積に相当する。
クションから排出された液の体積は、チャンバの総容積
に等しい: VF=チャンバ容積=VA VF=VA。
透析液流が不連続となる。透析液の連続流を達成するた
めに、いま一つの平衡化チャンバ(図示せず)が第1の
チャンバと並行に切り換えられ、反対の順序で操作され
る。この平衡化システムのさらなる詳細は、DE−A−
2838414に示されている。
り、透析器1において血液側と透析物側との間の容積シ
フトは一方または他方の方向において生じない。
る。
まれた液回路部分は、閉鎖定容システムのように挙動す
る。この系から液を引き出すためにポンプ21が設けら
れている。平衡化チャンバ系の上記性質により、このポ
ンプにより系から引き出された液の量は、透析器1の血
液側Iから透析物側IIへ流れる等しく多量の液により
置き換えられなければならない。かくして、ポンプ21
により引き出される液の量は、透析器1の膜を通過する
液すなわち限外ろ過物の量に相当する。
めの制御装置21aがポンプ21に付設されている。こ
の限外ろ過(UF)制御装置21aにより特定の限外ろ
過率または量を予め決定できる。
器においても正確な限外ろ過が容易となる。かくして、
透析中に引き出される液体の量は、もはや、血液圧、透
析液の性質、または手作業により調節された負圧に依存
することがない。
結果UF率を正確に制御する能力を失い得る。かなり高
まりまたはかなり低下したUF率は、患者に危険であ
る。従って、制御装置21aは、UF率が患者に危険と
ならないようにする安全装置を備えている。この安全装
置は、制御/安全装置21aからセンサー22および3
への動作ラインにより図1に概略的に示されているよう
に、膜横断圧TMPを監視することに基づいている。こ
の膜横断圧は、典型的に、エラー(例えば、UF制御系
における漏れ)の場合に変動する。
析器(いわゆる高束密度透析器)の開発は、TMP制御
が充分な分解率で危険的に高い限外ろ過率を検出できな
いという結果となった。このことは、以下の計算により
証明される。
mmHgの限外ろ過係数(UFC)を有する。通常のT
MPセンサーは、20mmHgの分解能を有する。従っ
て、20のUFCで変動が1 l/hに達し、60のU
FCでは1/3 l/hに達するにもかかわらず、TM
Pの公称値20mmHgからの変動は、アラームに至ら
ない。しかしながら、0.5 lを越える変動は、既
に、患者に不快なまたは危険な血液圧降下を引き起こ
す。このオーダーの逆限外ろ過も、患者に過剰の水分補
給をもたらすので、同様に危険である。
装置をもって開始されることを少なくとも確保するため
に、限外ろ過制御装置の完全性を手動または自動で検査
するシステムが知られている。この検査は、いわゆる圧
力保持または維持試験により行われる。記述したUF制
御装置は、閉鎖系である。この装置において、負圧また
は過圧は、付加的なポンプにより発生され、このポンプ
を遮断した後、圧力トランスデューサー22の信号によ
り圧力の進展が監視される。この圧力に変化がないか、
最小であるならば、系は漏れ止め性(密)であり、従っ
て完全である。圧力を確立することが不可能であるか圧
力が素早く変化する場合、これにより系中の漏れの信号
が与えられる。従って、系は欠陥があり、血液透析装置
は透析処置に使用できない。
て、遮断状態においてではないことが経験により示され
ている。透析処置前に行われる上記圧力保持試験は、患
者が欠陥装置により繰り返し処置されないことを確保す
るが、透析処置中に欠陥によって生じる危険な限外ろ過
を防止するものではない。
を検出するために、透析を短期間中断して定期的に圧力
保持試験を行うこともできる。この目的のために、透析
器1の上流および下流に配設された透析器弁(17a,
17b)により透析器1を分離する。同時にバイパス弁
17cを開放する。ついで、上に述べた通りの圧力保持
試験を行う。この試験により完全性が確認された後、バ
イパス弁を閉じ、透析器弁を開放して透析処置を続行す
る。
めに、系中に既に設けられている限外ろ過ポンプ21が
通常使用される。正圧を発生させるためには、付加的な
ポンプが必要である。これは、例えば、逆方向すなわち
空気を空気分離器に搬送するように動作する第2の空気
分離器12aに付設された空気ポンプにより提供するこ
とができる。
試験において初めに必要である。この時点では、1つの
圧力範囲でのみ有効な漏れがあるので、透析液圧力がど
のような値で実行されるか不明であるからである。
置に対して追加のポンプが必要であり、時間が掛かり、
また限外ろ過エラーをもたらす。加えて、これは実施さ
れている操作圧では有効でないので、実際には危険でな
い漏れが検出され得る。こうして、透析処置は不必要に
中断されることとなる。
生させるために付加的な補助手段を必要としない方法を
提供するものである。本発明では、圧力保持試験は、操
作圧での透析中に定期的に行われる。この目的のため
に、上記のように透析器1を透析液回路から分離し、バ
イパス弁17cを開放し、操作圧の進展を圧力トランス
デューサー22の信号の進展により観察する。この方法
は、より簡単であるばかりでなく、実施されている操作
条件が危険となり得る限外ろ過エラーのみを検出できる
のである。圧力の進展の比較的短時間の観察により、ほ
ぼ0.125 l/hの漏れを容易に検出できる。
照して説明する。これらの図は、試験期間T=15秒で
の透析物圧力p(mmHg)の一時的な進展をそれぞれ
示している。図5は、密な制御装置における圧力の進展
を示し、図6は、2.7ml/分の漏れの場合の対応す
る圧力の進展を示している。各図の左側は、2つの操作
サイクルAおよびBについて平衡化チャンバ14の操作
に基づく圧力の進展をそれぞれ示している。圧力ピーク
は、操作サイクルの切り替えにより生じたものである。
曲線のこの部分は、以下、図3および図4を参照して説
明する。t0 の間、透析器1は、試験期間Tだけ透析液
回路から分離されており、このとき透析器弁は閉じら
れ、バイパス弁17cが開放されている。圧力は、最初
上昇し、平衡化し、系が密であれば安定化する(図
5)。漏れの場合は、安定化しない。図6に明瞭に示さ
れているように、この圧力低下は、UF制御装置がもは
や密でないことの明白なしるしである。
定時間の間だけであり、操作圧に関する状況は充分に現
実的である。圧力保持試験は、典型的には、最大20秒
間で行われる。
生じ得るので、試験は定期的に行わなければならない。
その期間は、透析器のUFCに依存する。従って、本発
明のさらなる展開において、2つの圧力保持試験の間の
間隔を透析器のUFCに依存させることが有用である。
高いUFCの場合、限外ろ過エラーのために設定された
限界0.5 lは迅速に到達され、他方低いUFCの場
合、期間は透析処置期間と同じであり得る、すなわち、
圧力保持試験は全く行ってはならない。膜圧力の監視に
基づいて安全装置が応答するからである。
外ろ過エラーについての域値を0.5 lとし、膜横断
圧力監視装置の分解能を20mmHgとして、公称値か
ら20mmHgを越える変動の場合、該監視装置が血液
透析装置を安全状態に切り換えるとする。
l/h)と時間t(分)の積に等しい: UF=UFR*t/60 (1) 限外ろ過率UFRは、限外ろ過係数UFC(ml/h・
mmHg)と圧力p(mmHg)の積に等しい: UFR=UFC*p (2) 式(2)を式(1)に代入すると、UF量について以下
の式が得られる: UF=UFC*p*t/60 (2a) 期間Δtは、最大エラーΔUFに関しUFCに基づいて
計算できる。
り、以下の式が得られる。
l、pが20mmHgであるとき、これら値を式(3)
に導入することによって、期間Δt25分が得られる。
くことにより、どのUFCからもはや試験が必要でない
かが容易にわかる。この目的のために、透析治療期間を
Δtについての式に導入する。
約6のUFCが得られる。
合、本発明の方法は、従って、個々のUFCに適合して
定期的間隔で行われる。
使用する透析器の個々のUFCにより予め決定された時
間間隔において、操作者は、透析器をバイパスする切り
替え操作を個々に行い、圧力トランスデューサー22の
圧力信号の表示を監視することによって圧力の進展を目
で観察する。漏れが検出された場合、透析器1を安全状
態に切り換える。そうでない場合、透析器1を再び動作
させる。この手動試験において、透析装置の変更は必要
でない。すなわち、本方法は、現存の装置で行うことが
できる。
ロセッサーシステム23を用いることによって自動で行
うことができる。
置特異値ΔUF、UFCおよび膜横断圧力を記録するこ
とに基づいて式(3)の助けにより必要な試験期間Δt
を計算し、必要な切り替え操作、表示、およびアラーム
信号を出口Aを介して(デジタル化された)圧力信号の
過程に基づいて開始させる。
値を越える限外ろ過エラーを生じさせる限外ろ過システ
ム中の全ての欠陥を周期的に検出する。
ろ過物を引き出すことは、平衡化チャンバ14の操作方
法に密接に関連する。
F制御構成)中には信号エラーのみが生じるということ
が医療装置に関する安全技術において考えられている
が、透析を中断することなく平衡化チャンバシステム1
4中の欠陥を検出する方法は、安全性を向上させる。
は、2つの同様の部品系(セクション)からなってお
り、これらは同一流量を得るために所定の操作サイクル
をもって交互に動作される。平衡化システムの正確さに
ついては、非常に高い基準が要求されなければならな
い。一方の部品系に欠陥が生じたとき、そのシステムの
操作サイクル中に平衡化がくずれる。その結果、透析液
圧の小さな変動が生じる。しかしながら、この圧力は血
液ポンプ4およびUFポンプ21の影響みならず、切り
替え操作自体によっても変動するので、この小さな変動
は検出されない。この小さな変動を検出可能とするため
に、1つのサイクル期間それぞれについて圧力を決定し
記録する。こうして1つの平衡化チャンバセクションに
ついて集められた値を平均化し、変動を決定する。要求
される分解能で変動が比較可能な範囲となったらすぐ
に、2つの平衡化チャンバの平均値を比較し、変動が所
定量(透析器のUFCが40の場合典型的には4mmH
g)よりも大きい場合には、アラーム信号が発生され
る。今やこの域値は透析器のUFCに依存させることが
できる。低いUFCの場合には、いうまでもなく、同じ
漏れ率は、より高い圧力差をもたらす。
びBについての密な平衡化システムにおける透析物の圧
力p(mmHg)の一時的な進展を示す。圧力ピークは
平衡化チャンバの切り替えによるものである。両方の間
隔で圧力がフラットであることが分かる。
を示すものであるが、一方の平衡化チャンバが漏れを有
し、約2ml/分の限外ろ過エラーとなった場合のもの
である。一方では圧力が上昇しており、他方ではフラッ
トであることが分かる。
特に電気および電子装置は、当業者に入手可能である。
する回路を示している。対応する回路構成は第2の平衡
化チャンバにも適用される。図7の回路構成は、2つの
ユニットまたはステージ24および25を有し、その内
のステージ24は、操作サイクル1すなわち平衡化チャ
ンバのチャンバの半分に関係し、ステージ25は、操作
サイクル2すなわち他方の半分のチャンバに関係する。
これらのステージは、それぞれ、圧力トランスデューサ
ーからの適切に準備された圧力信号p(操作サイクル毎
に平均される)を記録する。平均値を記録するためのこ
れらのステージのための個々の電子スイッチは当業者に
知られている。
ての値が後のステージ26で記録され、平均され、それ
によりそのステージにおける平均値が相互に比較され
る。変動がステージ26で予め設定された値を越えると
すぐに、アラーム信号が出口Aで発生され、適切な場合
には、切り替え操作が開始される。好適な場合には、表
示も同時に動作される。ステージ26に関しても、記
録、平均および比較信号のための構成特にデジタル式の
ものは当業者に入手可能である。さらに、全てのステー
ジは、マイクロプロセッサーによりシミュレートでき
る。
既知の血液透析装置のブロック図。
ムについての透析物圧力の進展を示すグラフ図。
システムについての透析物圧力の進展を示すグラフ図。
力維持試験における透析物圧力の経時進展を示すグラフ
図。
本発明の圧力維持試験における透析物圧力の経時進展を
示すグラフ図。
ける欠陥を検出するための制御装置のブロック図。
透析器弁、19…バイパスライン、22…圧力トランス
デューサー、23…マイクロプロセッサー、I…体外循
環回路、II…透析液回路。
Claims (10)
- 【請求項1】 透析液回路(II)中の容積計量限外ろ
過装置および透析器弁(17b)の下流側で圧力トラン
スデューサー(22)に接続するとともに膜横断圧力を
監視することによる安全装置に接続した限外ろ過率の制
御装置(21a)を備えた血液透析装置の透析器の透析
物セクション構成の部品の操作性を透析液回路(II)
における透析器(1)の圧力の進展を透析器(1)の遮
断状態で圧力トランスデューサー(22)の信号の検出
により決定するための方法において、密な状態において
平均透析物が安定である短時間の間(T)透析液回路
(II)から透析器(1)を分離し、該分離された透析
器の透析液の圧力の進展をそれ自体既知の圧力維持試験
により監視することを特徴とする方法。 - 【請求項2】 該圧力維持試験が行われる時間が20秒
以内である請求項1記載の方法 - 【請求項3】 2つの圧力維持試験の間の期間が、限外
ろ過係数に依存して下記式 Δt=(ΔUF/p)*(60/UFC) (ここで、Δt=期間、ΔUF=限外ろ過の最大エラ
ー、p=膜横断圧、UFC=限外ろ過係数)に従う請求
項1または2記載の方法。 - 【請求項4】 手動で実施され、該圧力の進展を目で観
察する請求項1ないし3のいずれか1項記載の方法。 - 【請求項5】 該血液透析装置により自動で実施される
請求項1ないし3のいずれか1項記載の方法。 - 【請求項6】 請求項5の方法を実施するための装置で
あって、該血液透析装置中にマイクロプロセッサーシス
テム(23)が設けられ、該マイクロプロセッサーシス
テムは、所定の時間透析液回路(II)から透析器
(1)を分離するために所定の間隔で切り替え信号を定
期的に発生し、さらに圧力トランスデューサーの信号
(p)に加えて全ての必要な値が該マイクロプロセッサ
ーに供給され、該マイクロプロセッサーは、該時間間隔
(T)中の圧力の進展に応じて指示/アラーム/切り替
え信号を発生することを特徴とする装置。 - 【請求項7】 それぞれ同量の透析液が透析器(1)へ
供給されおよび透析液(1)から引き出され、2つの連
続した動作サイクルで交互に動作される2つのセクショ
ンに分けられた平衡化チャンバ(14)および透析器弁
(17b)の下流側で透析器(1)の出口側に設けられ
た圧力トランスデューサーを備えた血液透析装置の透析
器(1)の透析物セクションの構成部品の操作性を決定
する方法において、各チャンバセクションについて圧力
トランスデューサー(22)における圧力の進展を1つ
の動作サイクルに関してそれぞれ平均し、別のメモリー
に記録し、関係するチャンバセクションの記録された圧
力値を平均し相互に比較し、それにより、所定の差を越
えたとき、表示/切り替え操作/アラーム信号を発生さ
せることを特徴とする方法。 - 【請求項8】 透析器(1)の限外ろ過係数に依存して
域値が予め決定されている請求項7記載の方法。 - 【請求項9】 請求項7または8記載の方法を実施する
ための装置であって、2つの入力ステージ(24、2
5)を備えた電子制御装置が各平衡化チャンバセクショ
ンに設けられ、各ステージはそれぞれ一方のチャンバセ
クションに県連枝、圧力トランスデューサー(22)の
圧力信号を入力信号として受け取り、各入力ステージ
は、個々の動作サイクル中の圧力の進展を平均しおよび
記録するように配置され、かつ該電子制御装置は、該入
力ステージ(24、25)に後続して出力ステージ(2
6)を備え、各チャンバセクションについてのいくつか
の動作サイクルに関し個々の関連する動作サイクルにつ
いて圧力信号を平均し、その平均値を相互に比較し、差
が所定の域値を越えたときに信号を発生するように配置
されていることを特徴とする装置。 - 【請求項10】 電子制御装置がマイクロプロセッサー
である請求項9記載の装置。
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