JPH0772615A - ペリクル - Google Patents
ペリクルInfo
- Publication number
- JPH0772615A JPH0772615A JP21840893A JP21840893A JPH0772615A JP H0772615 A JPH0772615 A JP H0772615A JP 21840893 A JP21840893 A JP 21840893A JP 21840893 A JP21840893 A JP 21840893A JP H0772615 A JPH0772615 A JP H0772615A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- adhesive
- pellicle
- vibration
- mask
- damping effect
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
Landscapes
- Adhesive Tapes (AREA)
- Preparing Plates And Mask In Photomechanical Process (AREA)
Abstract
(57)【要約】
【目的】 振動により発生する異物の少ない、高品質な
ペリクルを提供する。 【構成】 ペリクルをマスクに接着するための接着剤が
制振作用を有するペリクル。
ペリクルを提供する。 【構成】 ペリクルをマスクに接着するための接着剤が
制振作用を有するペリクル。
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明はＬＳＩや超ＬＳＩなどの
半導体装置の製造に際し、リソグラフィー工程で使用さ
れるフォトマスクやレチクル（以下単にマスクと略記す
る）の保護、防塵の目的で装着されるペリクルに関する
ものである。
半導体装置の製造に際し、リソグラフィー工程で使用さ
れるフォトマスクやレチクル（以下単にマスクと略記す
る）の保護、防塵の目的で装着されるペリクルに関する
ものである。
【０００２】
【従来の技術】ペリクルは、一般的にアルミ製等の支持
枠の一端面に透明な薄膜が張設されており、他端面には
接着剤、両面粘着テープ又は粘着剤が設けられているも
のである。このようなペリクルは、当該接着剤等により
マスク上に装着され、マスクの保護、防塵の目的で装着
される。このため、本来ペリクル自身が発塵するもので
あってはならない。
枠の一端面に透明な薄膜が張設されており、他端面には
接着剤、両面粘着テープ又は粘着剤が設けられているも
のである。このようなペリクルは、当該接着剤等により
マスク上に装着され、マスクの保護、防塵の目的で装着
される。このため、本来ペリクル自身が発塵するもので
あってはならない。
【０００３】
【発明が解決しようとする課題】しかしながら、ペリク
ルはマスクに装着された状態で長距離を移送されたり、
長い期間保管されたりすることがあり、この間にペリク
ルに与えられた振動によってペリクル自身から発塵する
場合があった。
ルはマスクに装着された状態で長距離を移送されたり、
長い期間保管されたりすることがあり、この間にペリク
ルに与えられた振動によってペリクル自身から発塵する
場合があった。
【０００４】この場合には、マスクは異物によって汚染
されるため、その都度、ペリクルをマスクから剥がしと
り、マスクを洗浄し、その後改めて新しいペリクルを貼
り直すことが必要となり、大変な労力を必要としてい
た。
されるため、その都度、ペリクルをマスクから剥がしと
り、マスクを洗浄し、その後改めて新しいペリクルを貼
り直すことが必要となり、大変な労力を必要としてい
た。
【０００５】本発明は以上の問題点に鑑みてなされたも
のであり、その目的は、振動により発生する異物の少な
い、高品質なペリクルを提供することにある。
のであり、その目的は、振動により発生する異物の少な
い、高品質なペリクルを提供することにある。
【０００６】
【課題を解決するための手段】本発明者らは、上記した
課題を解決すべく鋭意研究を重ねた結果、ペリクルをマ
スクに接着するための接着剤に制振作用を有するものを
使用すると、振動による異物の発生の少ない、高品質な
ペリクルが得られることを見出し本発明を完成するに至
ったものである。すなわち、本発明は、ペリクルをマス
クに接着するための接着剤が制振作用を有することを特
徴とするペリクルである。
課題を解決すべく鋭意研究を重ねた結果、ペリクルをマ
スクに接着するための接着剤に制振作用を有するものを
使用すると、振動による異物の発生の少ない、高品質な
ペリクルが得られることを見出し本発明を完成するに至
ったものである。すなわち、本発明は、ペリクルをマス
クに接着するための接着剤が制振作用を有することを特
徴とするペリクルである。
【０００７】以下、本発明についてさらに詳細に説明す
る。
る。
【０００８】本発明のペリクルはマスクに接着するため
の接着剤が制振作用を有することを特徴としている。こ
こに、制振作用とは、振動を吸収する効果をいうが、具
体的には、制振作用としては２００Ｈｚの振動の損失係
数が２０℃において０．１〜０．４の範囲にあるものが
好ましく、さらに２〜１０ＫＨｚの範囲の振動を特に良
好に吸収できるものが好ましい。
の接着剤が制振作用を有することを特徴としている。こ
こに、制振作用とは、振動を吸収する効果をいうが、具
体的には、制振作用としては２００Ｈｚの振動の損失係
数が２０℃において０．１〜０．４の範囲にあるものが
好ましく、さらに２〜１０ＫＨｚの範囲の振動を特に良
好に吸収できるものが好ましい。
【０００９】本発明のペリクルに用いられる、制振作用
を有する接着剤の構造としては、特に限定するものでは
ないが、接着剤が１層よりなることが好ましい。２層以
上の構成よりなるものは、上記した特定の制振作用が得
にくい場合があることや、接着剤の構造が複雑となるこ
とから、１層よりなるものより異物の発生を防止する効
果が得られにくい。
を有する接着剤の構造としては、特に限定するものでは
ないが、接着剤が１層よりなることが好ましい。２層以
上の構成よりなるものは、上記した特定の制振作用が得
にくい場合があることや、接着剤の構造が複雑となるこ
とから、１層よりなるものより異物の発生を防止する効
果が得られにくい。
【００１０】本発明において、１層よりなる接着剤層の
成型方法としては特に限定するものではないが、未硬化
状態の紫外線硬化型樹脂（液状硬化型粘着剤）を枠に直
接塗布した後、これに紫外線を照射して樹脂を硬化さ
せ、接着剤層を得る方法が好ましい。この方法を用いる
場合、接着剤が液状の状態で塗布でき、その後硬化され
るため、接着剤の表面が極めて平滑で切れ目なく枠上に
形成でき、接着剤からの異物の発生をより抑えることが
できる。また、接着剤を枠上に直接塗布し、この後これ
を硬化させるため、接着剤と枠との接着強度を高めるこ
とができ、この結果ペリクルをマスクから剥がしとる際
に、接着剤が時として枠から剥がれ落ち、マスク側に残
る問題も併せて解決することができる。
成型方法としては特に限定するものではないが、未硬化
状態の紫外線硬化型樹脂（液状硬化型粘着剤）を枠に直
接塗布した後、これに紫外線を照射して樹脂を硬化さ
せ、接着剤層を得る方法が好ましい。この方法を用いる
場合、接着剤が液状の状態で塗布でき、その後硬化され
るため、接着剤の表面が極めて平滑で切れ目なく枠上に
形成でき、接着剤からの異物の発生をより抑えることが
できる。また、接着剤を枠上に直接塗布し、この後これ
を硬化させるため、接着剤と枠との接着強度を高めるこ
とができ、この結果ペリクルをマスクから剥がしとる際
に、接着剤が時として枠から剥がれ落ち、マスク側に残
る問題も併せて解決することができる。
【００１１】また、１層よりなる接着剤層の成型方法の
他の方法として、未硬化状態の紫外線硬化型樹脂を予め
硬化させてシート状としておき、これを枠にはりつけ、
その後枠からはみ出した部分を切除する方法を用いても
よい。
他の方法として、未硬化状態の紫外線硬化型樹脂を予め
硬化させてシート状としておき、これを枠にはりつけ、
その後枠からはみ出した部分を切除する方法を用いても
よい。
【００１２】本発明のペリクルに用いられる、制振作用
を有し１層よりなる接着剤としては、例えば、硬化後に
粘着性と制振性を有する紫外線硬化型の樹脂を好ましく
用いることができる。このような紫外線硬化型の樹脂
は、硬化後の樹脂の粘性抵抗を調整することで、前記し
た振動を吸収することが可能となる。
を有し１層よりなる接着剤としては、例えば、硬化後に
粘着性と制振性を有する紫外線硬化型の樹脂を好ましく
用いることができる。このような紫外線硬化型の樹脂
は、硬化後の樹脂の粘性抵抗を調整することで、前記し
た振動を吸収することが可能となる。
【００１３】このような紫外線硬化型の樹脂としては、
具体的に、「ワールドロック（商標）Ｗ−８９００−
Ｔ、共立化学産業製」等をあげることができる。
具体的に、「ワールドロック（商標）Ｗ−８９００−
Ｔ、共立化学産業製」等をあげることができる。
【００１４】また、紫外線硬化型の樹脂を予め硬化さ
せ、制振作用を有する粘着シート状とした接着剤として
は、具体的に、「ＨＤＤヘッドサスペンション用制振
材、ＡＶＭ（商標）−８０００、日東電工製」等をあげ
ることができる。
せ、制振作用を有する粘着シート状とした接着剤として
は、具体的に、「ＨＤＤヘッドサスペンション用制振
材、ＡＶＭ（商標）−８０００、日東電工製」等をあげ
ることができる。
【００１５】
【実施例】以下、実施例をあげて本発明をさらに詳細に
説明するが、本発明はこれらに限定されるものではな
い。
説明するが、本発明はこれらに限定されるものではな
い。
【００１６】実施例１ 紫外線硬化型樹脂（ワールドロック（商標）Ｗ−８９０
０−Ｔ、共立化学産業製）を、接着剤塗布装置（オート
マチックシステムディスペンサーシステムＬＢ、岩下エ
ンジニアリング製）を用いて、ペリクル枠に直接塗布し
た。塗布後、１０分間静置して液状の樹脂を十分に平坦
化させ、これを紫外線硬化装置（装置：ユニキュア（商
標）ＵＶＣ−２５３９、ウシオ電機製、光源：ＵＣＬ−
４０００−Ｏ、ウシオ電機製）を用いて、照度１００ｍ
Ｗ／ｃｍ2、積算光量１５００ｍＪ／ｃｍ2の条件で硬化
させた。その後、このペリクル枠を用いてペリクルを作
成した。
０−Ｔ、共立化学産業製）を、接着剤塗布装置（オート
マチックシステムディスペンサーシステムＬＢ、岩下エ
ンジニアリング製）を用いて、ペリクル枠に直接塗布し
た。塗布後、１０分間静置して液状の樹脂を十分に平坦
化させ、これを紫外線硬化装置（装置：ユニキュア（商
標）ＵＶＣ−２５３９、ウシオ電機製、光源：ＵＣＬ−
４０００−Ｏ、ウシオ電機製）を用いて、照度１００ｍ
Ｗ／ｃｍ2、積算光量１５００ｍＪ／ｃｍ2の条件で硬化
させた。その後、このペリクル枠を用いてペリクルを作
成した。
【００１７】このペリクルに投光機（ＹＰ−１５０Ｉ、
ヤマダ光学工業製）を用いて、２０万ルクスの照度の光
をあてて観察し、膜上の異物数を予め計測しておいた。
このペリクルを異物のないペリクル移送用のケースに入
れて密封した。このケースを圧電素子を用いて５ＫＨｚ
の振動数で１０分間、続けて５００Ｈｚの振動数で１０
分間、さらに手作業による振騰を１０分間、合計３０分
間振動を与えた。この後ケースからペリクルを取り出
し、投光機を用いて同様にして膜上の異物を計測し、振
動の前後で増加した異物数について観測した。この結
果、膜上の異物の増加は認められなかった。
ヤマダ光学工業製）を用いて、２０万ルクスの照度の光
をあてて観察し、膜上の異物数を予め計測しておいた。
このペリクルを異物のないペリクル移送用のケースに入
れて密封した。このケースを圧電素子を用いて５ＫＨｚ
の振動数で１０分間、続けて５００Ｈｚの振動数で１０
分間、さらに手作業による振騰を１０分間、合計３０分
間振動を与えた。この後ケースからペリクルを取り出
し、投光機を用いて同様にして膜上の異物を計測し、振
動の前後で増加した異物数について観測した。この結
果、膜上の異物の増加は認められなかった。
【００１８】実施例２ 紫外線硬化型樹脂を硬化させて形成した粘着シート状接
着剤（ＨＤＤヘッドサスペンション用制振材、ＡＶＭ
（商標）−８０００、日東電工製）をペリクル枠にはり
つけ、５ｋｇ／ｃｍ2の圧力で１０分間圧着した。次い
で、ペリクル枠から余分にはみ出した粘着剤をカッター
ナイフを用いて切除した。粘着剤を切除した際発生した
切り屑などの異物は、ペリクル枠を水洗浄することで完
全に除去した。その後、このペリクル枠を用いてペリク
ルを作成した。
着剤（ＨＤＤヘッドサスペンション用制振材、ＡＶＭ
（商標）−８０００、日東電工製）をペリクル枠にはり
つけ、５ｋｇ／ｃｍ2の圧力で１０分間圧着した。次い
で、ペリクル枠から余分にはみ出した粘着剤をカッター
ナイフを用いて切除した。粘着剤を切除した際発生した
切り屑などの異物は、ペリクル枠を水洗浄することで完
全に除去した。その後、このペリクル枠を用いてペリク
ルを作成した。
【００１９】このペリクルを実施例１と同様にして振動
させ、その前後の異物の増加数を観測した。この結果、
膜上の異物の増加は認められなかった。
させ、その前後の異物の増加数を観測した。この結果、
膜上の異物の増加は認められなかった。
【００２０】比較例 ホットメルト粘着剤を接着剤とする、従来のペリクルを
実施例１と同様にして振動させ、その前後の異物の増加
数を観測した。
実施例１と同様にして振動させ、その前後の異物の増加
数を観測した。
【００２１】この結果、膜上に増加した異物は、サイズ
５μｍ未満の異物が１３個、サイズ５μｍ以上２０μｍ
未満の異物が５個、サイズ２０μｍ以上の異物が３個認
められ、ペリクルの異物品質に問題が発生した。
５μｍ未満の異物が１３個、サイズ５μｍ以上２０μｍ
未満の異物が５個、サイズ２０μｍ以上の異物が３個認
められ、ペリクルの異物品質に問題が発生した。
【００２２】
【発明の効果】以上説明したように、本発明によれば、
従来のペリクルで振動により生じていた異物の発生を抑
えることができるので、高品質なペリクルを提供するこ
とができる効果を有するものである。
従来のペリクルで振動により生じていた異物の発生を抑
えることができるので、高品質なペリクルを提供するこ
とができる効果を有するものである。
Claims (3)
- 【請求項１】 ペリクルをマスクに接着するための接着
剤が制振作用を有することを特徴とするペリクル。 - 【請求項２】 ペリクルをマスクに接着するための接着
剤が１層よりなることを特徴とする請求項１に記載のペ
リクル。 - 【請求項３】 ペリクルをマスクに接着するための接着
剤が紫外線硬化型の樹脂であり、かつ、該紫外線硬化型
の樹脂が紫外線硬化後に粘着性を有するものであること
を特徴とする請求項１又は請求項２に記載のペリクル。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP21840893A JPH0772615A (ja) | 1993-09-02 | 1993-09-02 | ペリクル |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP21840893A JPH0772615A (ja) | 1993-09-02 | 1993-09-02 | ペリクル |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH0772615A true JPH0772615A (ja) | 1995-03-17 |
Family
ID=16719448
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP21840893A Pending JPH0772615A (ja) | 1993-09-02 | 1993-09-02 | ペリクル |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH0772615A (ja) |
Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH1096515A (ja) * | 1996-09-24 | 1998-04-14 | Tokai:Kk | ガス燃焼器具用の炎色材担持部材 |
| US6013903A (en) * | 1996-09-24 | 2000-01-11 | Mifune; Hideo | Flame reaction material carrier and method of manufacturing flame reaction member |
| US20220171280A1 (en) * | 2019-03-28 | 2022-06-02 | Mitsui Chemicals, Inc. | Pellicle |
-
1993
- 1993-09-02 JP JP21840893A patent/JPH0772615A/ja active Pending
Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH1096515A (ja) * | 1996-09-24 | 1998-04-14 | Tokai:Kk | ガス燃焼器具用の炎色材担持部材 |
| US6013903A (en) * | 1996-09-24 | 2000-01-11 | Mifune; Hideo | Flame reaction material carrier and method of manufacturing flame reaction member |
| US20220171280A1 (en) * | 2019-03-28 | 2022-06-02 | Mitsui Chemicals, Inc. | Pellicle |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| US5616927A (en) | Frame-supported pellicle for dustproof protection of photomask | |
| JP5189614B2 (ja) | ペリクル及びその取り付け方法、並びにペリクル付マスク及びマスク | |
| JPH0922111A (ja) | ペリクル | |
| JP2011076042A (ja) | ペリクル | |
| DE69129525D1 (de) | Filmabdeckung, Struktur und Verfahren zu dessen Herstellung | |
| JP4007752B2 (ja) | 大型ペリクル用枠体及び大型ペリクル | |
| JPH0772615A (ja) | ペリクル | |
| JP2000227653A (ja) | リソグラフィー用ペリクル | |
| JP2005338722A (ja) | ペリクルフレーム及びフォトリソグラフィー用ペリクル | |
| JPH05341502A (ja) | ペリクル枠 | |
| JP4100813B2 (ja) | ペリクルフレームおよびこれを用いたリソグラフィー用ペリクル | |
| JP3206417B2 (ja) | ペリクル | |
| TWI607075B (zh) | Adhesive suitable for pellicle for EUV lithography and pellicle using the same | |
| KR100771409B1 (ko) | 포토리소그래피용 펠리클 | |
| US5656342A (en) | End surface-protected frame-supported pellicle for photolithography | |
| JPH1124237A (ja) | ペリクル | |
| JP3429897B2 (ja) | ペリクルの製造方法 | |
| JPH0264540A (ja) | 発塵の防止されたペリクル | |
| JPH05232689A (ja) | ペリクル接着方法、ペリクル及びマスク | |
| JP4319757B2 (ja) | ペリクルの製造方法 | |
| JPH0519452A (ja) | ペリクル及びその装着方法 | |
| JPH07175206A (ja) | ペリクル | |
| JPH09204038A (ja) | マスクの製造方法 | |
| TW366438B (en) | Process for manufacturing pellicle and jig for manufacturing pellicle | |
| JP2000194122A (ja) | ペリクル |