JPH05232689A - ペリクル接着方法、ペリクル及びマスク - Google Patents
ペリクル接着方法、ペリクル及びマスクInfo
- Publication number
- JPH05232689A JPH05232689A JP3365592A JP3365592A JPH05232689A JP H05232689 A JPH05232689 A JP H05232689A JP 3365592 A JP3365592 A JP 3365592A JP 3365592 A JP3365592 A JP 3365592A JP H05232689 A JPH05232689 A JP H05232689A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- pellicle
- mask
- adhesive member
- solvent
- frame member
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Withdrawn
Links
Landscapes
- Preparing Plates And Mask In Photomechanical Process (AREA)
Abstract
(57)【要約】
【目的】 本発明は、ペリクル接着方法、ペリクル及び
マスクに関し、ペリクルやマスクに汚染やダメージを与
えることなくペリクルをマスクから容易に剥がすことが
でき、半導体デバイスの歩留まりを良くすることができ
るペリクルを提供することを目的とする。 【構成】 ペリクル膜１が貼り付けられている側とは反
対側のペリクルの枠部材２上に溶剤で溶解される接着部
材３を塗布した後、少なくともマスクパターンが形成さ
れている側のマスク表面がペリクルによって覆われるよ
うに該枠部材２の該接着部材３によりマスクとペリクル
を接着するように構成する。
マスクに関し、ペリクルやマスクに汚染やダメージを与
えることなくペリクルをマスクから容易に剥がすことが
でき、半導体デバイスの歩留まりを良くすることができ
るペリクルを提供することを目的とする。 【構成】 ペリクル膜１が貼り付けられている側とは反
対側のペリクルの枠部材２上に溶剤で溶解される接着部
材３を塗布した後、少なくともマスクパターンが形成さ
れている側のマスク表面がペリクルによって覆われるよ
うに該枠部材２の該接着部材３によりマスクとペリクル
を接着するように構成する。
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明は、ペリクル接着方法、ペ
リクル及びマスクに係り、詳しくは、半導体製造で使用
されるマスクや液晶表示装置製造で使用されるマスクに
異物（ゴミ等）付着を防止するためにマスクに貼り付け
られたペリクルの改良に関する。ペリクルは、一般に光
学的に安定したニトロセルロースからなるペリクル膜が
Ａｌ枠部材に貼り付けられるとともに、この枠部材下に
両面テープからなる接着部材が設けられ、更に、この接
着部材を保護するようにシール部材が貼り付けられて構
成されている。
リクル及びマスクに係り、詳しくは、半導体製造で使用
されるマスクや液晶表示装置製造で使用されるマスクに
異物（ゴミ等）付着を防止するためにマスクに貼り付け
られたペリクルの改良に関する。ペリクルは、一般に光
学的に安定したニトロセルロースからなるペリクル膜が
Ａｌ枠部材に貼り付けられるとともに、この枠部材下に
両面テープからなる接着部材が設けられ、更に、この接
着部材を保護するようにシール部材が貼り付けられて構
成されている。
【０００２】このペリクルは一般に、半導体製造等に使
用されるマスクに異物付着を防止するためにマスクに貼
り付けられて使用されているが、後述の如く、ペリクル
をマスクから剥がす際、ペリクルやマスクに汚染やダメ
ージが生じ易く、半導体デバイスの歩留まりを悪くする
という欠点を有する。このため、ペリクルやマスクにダ
メージを与えることなくペリクルをマスクから容易に剥
がすことができ、半導体デバイスの歩留まりを良くする
ことができるペリクルが要求されている。
用されるマスクに異物付着を防止するためにマスクに貼
り付けられて使用されているが、後述の如く、ペリクル
をマスクから剥がす際、ペリクルやマスクに汚染やダメ
ージが生じ易く、半導体デバイスの歩留まりを悪くする
という欠点を有する。このため、ペリクルやマスクにダ
メージを与えることなくペリクルをマスクから容易に剥
がすことができ、半導体デバイスの歩留まりを良くする
ことができるペリクルが要求されている。
【０００３】
【従来の技術】図２は従来のペリクルの構造を示す斜視
図であり、、図３は図２に示すペリクルの構造を示す断
面図である。図２、３において、31はＡｌ等の枠部材32
に貼り付けられたニトロセルロース等の高分子薄膜から
なるペリクル膜であり、33は枠部材32下に設けられた両
面テープからなる接着部材であり、34は両面テープから
なる接着部材33を保護するためのシール部材である。
図であり、、図３は図２に示すペリクルの構造を示す断
面図である。図２、３において、31はＡｌ等の枠部材32
に貼り付けられたニトロセルロース等の高分子薄膜から
なるペリクル膜であり、33は枠部材32下に設けられた両
面テープからなる接着部材であり、34は両面テープから
なる接着部材33を保護するためのシール部材である。
【０００４】このように、従来のペリクルは、光学的に
安定したニトロセルロース等の高分子薄膜からなるペリ
クル膜31がＡｌ等の枠部材32に貼り付けられるととも
に、この枠部材32下に両面テープからなる接着部材33が
設けられ、更に、この接着部材33を保護するようにシー
ル部材34が貼り付けられて構成されている。次に、図４
は図２、３に示すペリクルをマスクへ貼り付けた時の構
造を示す断面図である。図４において、図２、３と同一
符号は同一または相当部分を示し、41はマスクパターン
42が形成された石英ガラス等のマスクである。
安定したニトロセルロース等の高分子薄膜からなるペリ
クル膜31がＡｌ等の枠部材32に貼り付けられるととも
に、この枠部材32下に両面テープからなる接着部材33が
設けられ、更に、この接着部材33を保護するようにシー
ル部材34が貼り付けられて構成されている。次に、図４
は図２、３に示すペリクルをマスクへ貼り付けた時の構
造を示す断面図である。図４において、図２、３と同一
符号は同一または相当部分を示し、41はマスクパターン
42が形成された石英ガラス等のマスクである。
【０００５】この図４に示す如くここでは、２個のペリ
クルをマスク41の防塵対策としてマスク41両面からマス
ク41へ貼り付けており、具体的には、２個のペリクルの
シール部材34を剥がし、マスク41を挟み込むように２個
のペリクルの両面テープからなる接着部材33をマスク41
に押圧してマスク41とペリクルを接着している。このよ
うに、マスク41へ貼り付けられたペリクルは使用中にマ
スク41から落下しないようにするため、両面テープから
なる接着部材33により強固にマスク41へ接着している。
このペリクルをマスク41から剥がす場合は、アセトン等
の溶剤を使用して両面テープからなる接着部材33の一部
を溶解または膨潤させることにより剥がしたり、あるい
はその他の方法としては強引に引張り剥がしたりしてい
た。
クルをマスク41の防塵対策としてマスク41両面からマス
ク41へ貼り付けており、具体的には、２個のペリクルの
シール部材34を剥がし、マスク41を挟み込むように２個
のペリクルの両面テープからなる接着部材33をマスク41
に押圧してマスク41とペリクルを接着している。このよ
うに、マスク41へ貼り付けられたペリクルは使用中にマ
スク41から落下しないようにするため、両面テープから
なる接着部材33により強固にマスク41へ接着している。
このペリクルをマスク41から剥がす場合は、アセトン等
の溶剤を使用して両面テープからなる接着部材33の一部
を溶解または膨潤させることにより剥がしたり、あるい
はその他の方法としては強引に引張り剥がしたりしてい
た。
【０００６】次に、図５は図２〜４に示すペリクルの両
面テープからなる接着部材の構造を示す断面拡大図であ
る。この図５に示す如く、従来の両面テープからなる接
着部材33の基材33ａはスポンジ状の発泡体（材質はポリ
エチレン等）であり、この基材33ａ両面にアクリル系の
粘着部材33ｂが設けられている。
面テープからなる接着部材の構造を示す断面拡大図であ
る。この図５に示す如く、従来の両面テープからなる接
着部材33の基材33ａはスポンジ状の発泡体（材質はポリ
エチレン等）であり、この基材33ａ両面にアクリル系の
粘着部材33ｂが設けられている。
【０００７】
【発明が解決しようとする課題】従来のペリクルの問題
について以下具体的に説明する。まず、ペリクルはマス
ク41へのゴミ付着防止が目的で使用しているが、ペリク
ルをマスク41へ貼り付ける作業中にその内側へゴミが混
入してしまった場合には、マスク41表面にゴミが付着し
てしまうという恐れがあるため、このような場合、ペリ
クルを剥がしてマスク41を洗浄後、再度ペリクルをマス
ク41に貼り付ける必要がある。また、ペリクル膜31には
寿命があるため、所定期間使用した後ペリクルを貼り直
す必要が発生してくる。
について以下具体的に説明する。まず、ペリクルはマス
ク41へのゴミ付着防止が目的で使用しているが、ペリク
ルをマスク41へ貼り付ける作業中にその内側へゴミが混
入してしまった場合には、マスク41表面にゴミが付着し
てしまうという恐れがあるため、このような場合、ペリ
クルを剥がしてマスク41を洗浄後、再度ペリクルをマス
ク41に貼り付ける必要がある。また、ペリクル膜31には
寿命があるため、所定期間使用した後ペリクルを貼り直
す必要が発生してくる。
【０００８】一方、マスク41の方もマスク41上のマスク
パターン42を使用しなくなったら、マスク41の基板であ
る石英ガラスを再利用するためにマスク41からペリクル
を剥がす必要がある。このように、マスク41使用中はマ
スク41からペリクルが落下しては困るが、ペリクルを剥
がすことも必ず発生している。そして、上記した従来の
如く溶剤を使用してペリクルをマスク41から剥がす方法
では、アセトン等の溶剤を使用してもペリクルの両面テ
ープからなる接着部材33が完全に溶解するわけではない
ため、マスク41上に半分溶けた両面テープからなる接着
部材33が残り、マスク41表面を汚染していた。この汚染
物はマスク41の洗浄でも完全に落とすことができないた
め、時には半導体デバイスの歩留まりが激減することが
発生していた。このように、半導体デバイスで使用して
いるマスクの基板である石英ガラスは再生して数回使用
しているが、この汚染物で再生できないことも発生して
いた。
パターン42を使用しなくなったら、マスク41の基板であ
る石英ガラスを再利用するためにマスク41からペリクル
を剥がす必要がある。このように、マスク41使用中はマ
スク41からペリクルが落下しては困るが、ペリクルを剥
がすことも必ず発生している。そして、上記した従来の
如く溶剤を使用してペリクルをマスク41から剥がす方法
では、アセトン等の溶剤を使用してもペリクルの両面テ
ープからなる接着部材33が完全に溶解するわけではない
ため、マスク41上に半分溶けた両面テープからなる接着
部材33が残り、マスク41表面を汚染していた。この汚染
物はマスク41の洗浄でも完全に落とすことができないた
め、時には半導体デバイスの歩留まりが激減することが
発生していた。このように、半導体デバイスで使用して
いるマスクの基板である石英ガラスは再生して数回使用
しているが、この汚染物で再生できないことも発生して
いた。
【０００９】また、ペリクルを強引に引張ってペリクル
をマスク41から剥がす方法では、マスク41へキズを付け
たり、最悪の場合はマスク41が割れたりしていた。そし
て、ペリクルのＡ１枠部材32にもキズが発生したり、歪
んだりしてこれも再利用できない状態になっていた。ま
た、上記した従来の両面テープからなる接着部材33を用
いた方法では、発泡体を使用していたため、その内部を
洗浄することができず発塵源になってしまい、そこから
発生したゴミがマスク41上へ移動して半導体デバイスの
歩留まりが激減することも発生していた。
をマスク41から剥がす方法では、マスク41へキズを付け
たり、最悪の場合はマスク41が割れたりしていた。そし
て、ペリクルのＡ１枠部材32にもキズが発生したり、歪
んだりしてこれも再利用できない状態になっていた。ま
た、上記した従来の両面テープからなる接着部材33を用
いた方法では、発泡体を使用していたため、その内部を
洗浄することができず発塵源になってしまい、そこから
発生したゴミがマスク41上へ移動して半導体デバイスの
歩留まりが激減することも発生していた。
【００１０】そこで本発明は、ペリクルやマスクに汚染
やダメージを与えることなくペリクルをマスクから容易
に剥がすことができ、半導体デバイスの歩留まりを良く
することができるペリクルを提供することを目的として
いる。
やダメージを与えることなくペリクルをマスクから容易
に剥がすことができ、半導体デバイスの歩留まりを良く
することができるペリクルを提供することを目的として
いる。
【００１１】
【課題を解決するための手段】本発明によるペリクル接
着方法は上記目的達成のため、ペリクル膜が貼り付けら
れている側とは反対側のペリクルの枠部材上に溶剤で溶
解される接着部材を塗布した後、少なくともマスクパタ
ーンが形式されている側のマスク表面がペリクルによっ
て覆われるように該枠部材の該接着部材によりマスクと
ペリクルを接着するものである。
着方法は上記目的達成のため、ペリクル膜が貼り付けら
れている側とは反対側のペリクルの枠部材上に溶剤で溶
解される接着部材を塗布した後、少なくともマスクパタ
ーンが形式されている側のマスク表面がペリクルによっ
て覆われるように該枠部材の該接着部材によりマスクと
ペリクルを接着するものである。
【００１２】本発明によるペリクル接着方法は上記目的
達成のため、少なくともマスクパターンが形成されてい
る側のマスク表面に溶剤で溶解される接着部材を塗布し
た後、少なくともマスクパターンが形成されている側の
マスク表面がペリクルによって覆われるように該マスク
表面の該接着部材によりマスクとペリクルを接着するも
のである。
達成のため、少なくともマスクパターンが形成されてい
る側のマスク表面に溶剤で溶解される接着部材を塗布し
た後、少なくともマスクパターンが形成されている側の
マスク表面がペリクルによって覆われるように該マスク
表面の該接着部材によりマスクとペリクルを接着するも
のである。
【００１３】本発明によるペリクルは上記目的達成のた
め、枠部材上にペリクル膜が貼り付けられ、該枠部材下
に溶剤で溶解される接着部材が設けられてなるものであ
る。本発明によるマスクは上記目的達成のため、少なく
ともマスクパターンが形成されている側のマスク表面に
溶剤で溶解されるペリクル接着用接着部材が設けられて
なるものである。
め、枠部材上にペリクル膜が貼り付けられ、該枠部材下
に溶剤で溶解される接着部材が設けられてなるものであ
る。本発明によるマスクは上記目的達成のため、少なく
ともマスクパターンが形成されている側のマスク表面に
溶剤で溶解されるペリクル接着用接着部材が設けられて
なるものである。
【００１４】本発明に係る溶剤には、水、水溶液、シン
ナー等が挙げられる。
ナー等が挙げられる。
【００１５】
【作用】本発明では、ペリクルをマスクへ接着するの
を、従来の発泡体の両面テープではなく水溶液等の溶剤
で完全に溶解する接着部材を用いて行うようにしたた
め、ペリクルやマスクに汚染やダメージを与えることな
く非常に容易にペリクルをマスクから剥がすことができ
るうえ、発塵を生じないようにすることができ、半導体
デバイスの歩留まりを良くすることができる。
を、従来の発泡体の両面テープではなく水溶液等の溶剤
で完全に溶解する接着部材を用いて行うようにしたた
め、ペリクルやマスクに汚染やダメージを与えることな
く非常に容易にペリクルをマスクから剥がすことができ
るうえ、発塵を生じないようにすることができ、半導体
デバイスの歩留まりを良くすることができる。
【００１６】
【実施例】以下、本発明を図面に基づいて説明する。図
１は本発明の一実施例に則したペリクル接着方法におけ
るＰＶＡ接着部材をペリクルに塗布する方法を説明する
図である。図１において、１はＡｌ等の枠部材２に貼り
付けられたニトロセルロース等の高分子薄膜からなるペ
リクル膜であり、３はＰＶＡからなる接着部材である。
そして、４は接着剤塗布装置であり、この接着剤塗布装
置４は容器５内の接着部材３をポンプ６によってフィル
ター７及びノズル８を介してペリクルの枠部材２に塗布
するものである。
１は本発明の一実施例に則したペリクル接着方法におけ
るＰＶＡ接着部材をペリクルに塗布する方法を説明する
図である。図１において、１はＡｌ等の枠部材２に貼り
付けられたニトロセルロース等の高分子薄膜からなるペ
リクル膜であり、３はＰＶＡからなる接着部材である。
そして、４は接着剤塗布装置であり、この接着剤塗布装
置４は容器５内の接着部材３をポンプ６によってフィル
ター７及びノズル８を介してペリクルの枠部材２に塗布
するものである。
【００１７】従来では、ペリクルをマスクへ接着する接
着部材には発泡体の両面テープを使用していたが、本実
施例では、ペリクルとマスクの接着にポリビニールアル
コール（ＰＶＡ）〔 150cp程度の粘度〕からなる接着部
材３を使用する。ＰＶＡ接着部材３は乾燥すると硬い固
体になるが、水により完全に溶解することができるた
め、ペリクルを剥がす時には水に漬けることにより容易
に剥がすことができるうえ、マスク上にＰＶＡ接着部材
３を残留しないようにすることができる。
着部材には発泡体の両面テープを使用していたが、本実
施例では、ペリクルとマスクの接着にポリビニールアル
コール（ＰＶＡ）〔 150cp程度の粘度〕からなる接着部
材３を使用する。ＰＶＡ接着部材３は乾燥すると硬い固
体になるが、水により完全に溶解することができるた
め、ペリクルを剥がす時には水に漬けることにより容易
に剥がすことができるうえ、マスク上にＰＶＡ接着部材
３を残留しないようにすることができる。
【００１８】具体的には、まず、液状になっているＰＶ
Ａ接着部材３を注射針のような細いノズル８でペリクル
のＡｌ枠部材２（またはマスクでもよい）に塗布した
後、ペリクルとマスクを貼り合わせる。この状態でＰＶ
Ａ接着部材３を乾燥させるため、約 100℃のベーキング
炉に約５分間入れる。これによりＰＶＡ接着部材３が乾
燥してペリクルとマスクが固着される。そして、ペリク
ルが付いたマスクを自然冷却後使用する。
Ａ接着部材３を注射針のような細いノズル８でペリクル
のＡｌ枠部材２（またはマスクでもよい）に塗布した
後、ペリクルとマスクを貼り合わせる。この状態でＰＶ
Ａ接着部材３を乾燥させるため、約 100℃のベーキング
炉に約５分間入れる。これによりＰＶＡ接着部材３が乾
燥してペリクルとマスクが固着される。そして、ペリク
ルが付いたマスクを自然冷却後使用する。
【００１９】なお、上記実施例では、ペリクル膜１が貼
り付けられている側とは反対側のペリクルの枠部材２上
に溶剤で溶解される接着部材３を塗布した後、少なくと
もマスクパターンが形式されている側のマスク表面がペ
リクルによって覆われるように枠部材２の接着部材３に
よりマスクとペリクルを接着する場合について説明した
が、本発明においては、少なくともマスクパターンが形
成されている側のマスク表面に溶剤で溶解される接着部
材を塗布した後、少なくともマスクパターンが形成され
ている側のマスク表面がペリクルによって覆われるよう
にマスク表面の接着部材によりマスクとペリクルを接着
する場合であってもよい。また、枠部材２上にペリクル
膜１が貼り付けられ、枠部材２下に溶剤で溶解されるマ
スク接着用接着部材３が設けられてなるペリクルを用い
てもよく、この場合、硬化されたペリクルの接着部材表
面を溶剤で溶融した後、マスクへ接着すればよい。更に
は、少なくともマスクパターンが形成されている側のマ
スク表面に溶剤で溶解されるペリクル接着用接着部材が
設けられてなるマスクを用いてもよく、この場合、硬化
されたマスクの接着部材表面を溶剤で溶融した後、ペリ
クルへ接着すればよい。
り付けられている側とは反対側のペリクルの枠部材２上
に溶剤で溶解される接着部材３を塗布した後、少なくと
もマスクパターンが形式されている側のマスク表面がペ
リクルによって覆われるように枠部材２の接着部材３に
よりマスクとペリクルを接着する場合について説明した
が、本発明においては、少なくともマスクパターンが形
成されている側のマスク表面に溶剤で溶解される接着部
材を塗布した後、少なくともマスクパターンが形成され
ている側のマスク表面がペリクルによって覆われるよう
にマスク表面の接着部材によりマスクとペリクルを接着
する場合であってもよい。また、枠部材２上にペリクル
膜１が貼り付けられ、枠部材２下に溶剤で溶解されるマ
スク接着用接着部材３が設けられてなるペリクルを用い
てもよく、この場合、硬化されたペリクルの接着部材表
面を溶剤で溶融した後、マスクへ接着すればよい。更に
は、少なくともマスクパターンが形成されている側のマ
スク表面に溶剤で溶解されるペリクル接着用接着部材が
設けられてなるマスクを用いてもよく、この場合、硬化
されたマスクの接着部材表面を溶剤で溶融した後、ペリ
クルへ接着すればよい。
【００２０】上記実施例では、取り扱いが容易な点で好
ましい水で溶解するＰＶＡからなる接着部材３を用いる
場合について説明したが、本発明はこれに限定されるも
のではなく、水等の溶剤で溶解することが可能で、しか
も乾燥すれば粘着性がある接着部材であればよく、例え
ば接着部材に感光材料であるレジストを用いる場合であ
ってもよく、この場合も上記実施例と同様の効果を得る
ことができる。但し、このレジスト接着部材を用いる場
合は剥離する際にはシンナー等の溶剤が必要である。
ましい水で溶解するＰＶＡからなる接着部材３を用いる
場合について説明したが、本発明はこれに限定されるも
のではなく、水等の溶剤で溶解することが可能で、しか
も乾燥すれば粘着性がある接着部材であればよく、例え
ば接着部材に感光材料であるレジストを用いる場合であ
ってもよく、この場合も上記実施例と同様の効果を得る
ことができる。但し、このレジスト接着部材を用いる場
合は剥離する際にはシンナー等の溶剤が必要である。
【００２１】
【発明の効果】本発明によれば、ペリクルやマスクに汚
染やダメージを与えることなくペリクルをマスクから容
易に剥がすことができ、半導体デバイスの歩留まりを良
くすることができるという効果がある。
染やダメージを与えることなくペリクルをマスクから容
易に剥がすことができ、半導体デバイスの歩留まりを良
くすることができるという効果がある。
【図面の簡単な説明】
【図１】本発明の一実施例に則したペリクル接着方法に
おけるＰＶＡ接着部材をペリクルに塗布する方法を示す
図である。
おけるＰＶＡ接着部材をペリクルに塗布する方法を示す
図である。
【図２】従来例のペリクルの構造を示す斜視図である。
【図３】図２に示すペリクルの構造を示す断面図であ
る。
る。
【図４】図２、３に示すペリクルをマスクへ貼り付けた
時の構造を示す断面図である。
時の構造を示す断面図である。
【図５】図２〜４に示すペリクルの接着部材の構造を示
す断面拡大図である。
す断面拡大図である。
１ ペリクル膜 ２ 枠部材 ３ 接着部材 ４ 接着剤塗布装置 ５ 容器 ６ ポンプ ７ フィルター ８ ノズル
Claims (4)
- 【請求項１】 ペリクル膜（１）が貼り付けられている
側とは反対側のペリクルの枠部材（２）上に溶剤で溶解
される接着部材（３）を塗布した後、少なくともマスク
パターンが形式されている側のマスク表面がペリクルに
よって覆われるように該枠部材（２）の該接着部材
（３）によりマスクとペリクルを接着することを特徴と
するペリクル接着方法。 - 【請求項２】 少なくともマスクパターンが形成されて
いる側のマスク表面に溶剤で溶解される接着部材を塗布
した後、少なくともマスクパターンが形成されている側
のマスク表面がペリクルによって覆われるように該マス
ク表面の該接着部材によりマスクとペリクルを接着する
ことを特徴とするペリクル接着方法。 - 【請求項３】 枠部材上にペリクル膜が貼り付けられ、
該ペリクル膜が貼り付けられている側とは反対側の該枠
部材下に溶剤で溶解されるマスク接着用接着部材が設け
られてなることを特徴とするペリクル。 - 【請求項４】 少なくともマスクパターンが形成されて
いる側のマスク表面に溶剤で溶解されるペリクル接着用
接着部材が設けられてなることを特徴とするマスク。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP3365592A JPH05232689A (ja) | 1992-02-20 | 1992-02-20 | ペリクル接着方法、ペリクル及びマスク |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP3365592A JPH05232689A (ja) | 1992-02-20 | 1992-02-20 | ペリクル接着方法、ペリクル及びマスク |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH05232689A true JPH05232689A (ja) | 1993-09-10 |
Family
ID=12392465
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP3365592A Withdrawn JPH05232689A (ja) | 1992-02-20 | 1992-02-20 | ペリクル接着方法、ペリクル及びマスク |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH05232689A (ja) |
Cited By (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US4871927A (en) * | 1987-03-03 | 1989-10-03 | Sgs-Thomson Microelectronics S.P.A. | Latch-up prevention in a two-power-supply CMOS integrated circuit by means of a single integrated MOS transistor |
| EP0759576A2 (en) * | 1995-07-27 | 1997-02-26 | Micro Lithography, Inc. | Method for making an optical pellicle |
| US7351503B2 (en) | 2001-01-22 | 2008-04-01 | Photronics, Inc. | Fused silica pellicle in intimate contact with the surface of a photomask |
| CN112305854A (zh) * | 2019-07-31 | 2021-02-02 | 台湾积体电路制造股份有限公司 | 微影装置、安装光罩保护膜的方法及晶圆的制造方法 |
-
1992
- 1992-02-20 JP JP3365592A patent/JPH05232689A/ja not_active Withdrawn
Cited By (5)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US4871927A (en) * | 1987-03-03 | 1989-10-03 | Sgs-Thomson Microelectronics S.P.A. | Latch-up prevention in a two-power-supply CMOS integrated circuit by means of a single integrated MOS transistor |
| EP0759576A2 (en) * | 1995-07-27 | 1997-02-26 | Micro Lithography, Inc. | Method for making an optical pellicle |
| EP0759576A3 (en) * | 1995-07-27 | 1998-04-29 | Micro Lithography, Inc. | Method for making an optical pellicle |
| US7351503B2 (en) | 2001-01-22 | 2008-04-01 | Photronics, Inc. | Fused silica pellicle in intimate contact with the surface of a photomask |
| CN112305854A (zh) * | 2019-07-31 | 2021-02-02 | 台湾积体电路制造股份有限公司 | 微影装置、安装光罩保护膜的方法及晶圆的制造方法 |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| US7488560B2 (en) | Large pellicle | |
| KR20060047206A (ko) | 페리클 프레임 및 그것을 이용한 포토리소그래피용 페리클 | |
| JPH05232689A (ja) | ペリクル接着方法、ペリクル及びマスク | |
| JP4202554B2 (ja) | 半導体リソグラフィ用ペリクル | |
| JPH0619124A (ja) | ペリクルフレーム及び半導体装置の製造方法 | |
| JPH095982A (ja) | マスク保護装置の剥離方法 | |
| JPH05341502A (ja) | ペリクル枠 | |
| JP4100813B2 (ja) | ペリクルフレームおよびこれを用いたリソグラフィー用ペリクル | |
| JPH068145A (ja) | 薄板ガラスの加工法 | |
| JP3611623B2 (ja) | 液晶表示ガラス基板に付着した異物の除去方法 | |
| JP2658297B2 (ja) | 防塵膜の取付け方法 | |
| JPH0264540A (ja) | 発塵の防止されたペリクル | |
| JPH06175356A (ja) | ペリクル剥離装置 | |
| JPH0812418B2 (ja) | ペリクルの製造方法 | |
| JPH07175206A (ja) | ペリクル | |
| JPH0772615A (ja) | ペリクル | |
| JPH1039491A (ja) | マスク保護装置の製造方法 | |
| JP2742367B2 (ja) | ペレット分離方法 | |
| JPH0452751Y2 (ja) | ||
| JP3209095B2 (ja) | フォトマスクからのペリクル脱着方法 | |
| JPH09204038A (ja) | マスクの製造方法 | |
| JPH02304439A (ja) | ペクリルの剥離方法 | |
| JPH0449628Y2 (ja) | ||
| JPH0519452A (ja) | ペリクル及びその装着方法 | |
| JPH0756325A (ja) | ペリクルとその製造方法 |
Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| A300 | Withdrawal of application because of no request for examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A300 Effective date: 19990518 |