JPH1124237A - ペリクル - Google Patents
ペリクルInfo
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- JPH1124237A JPH1124237A JP18758197A JP18758197A JPH1124237A JP H1124237 A JPH1124237 A JP H1124237A JP 18758197 A JP18758197 A JP 18758197A JP 18758197 A JP18758197 A JP 18758197A JP H1124237 A JPH1124237 A JP H1124237A
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- pellicle
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- pellicle film
- film
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- G—PHYSICS
- G03—PHOTOGRAPHY; CINEMATOGRAPHY; ANALOGOUS TECHNIQUES USING WAVES OTHER THAN OPTICAL WAVES; ELECTROGRAPHY; HOLOGRAPHY
- G03F—PHOTOMECHANICAL PRODUCTION OF TEXTURED OR PATTERNED SURFACES, e.g. FOR PRINTING, FOR PROCESSING OF SEMICONDUCTOR DEVICES; MATERIALS THEREFOR; ORIGINALS THEREFOR; APPARATUS SPECIALLY ADAPTED THEREFOR
- G03F1/00—Originals for photomechanical production of textured or patterned surfaces, e.g., masks, photo-masks, reticles; Mask blanks or pellicles therefor; Containers specially adapted therefor; Preparation thereof
- G03F1/68—Preparation processes not covered by groups G03F1/20 - G03F1/50
- G03F1/82—Auxiliary processes, e.g. cleaning or inspecting
- G03F1/84—Inspecting
Landscapes
- Physics & Mathematics (AREA)
- General Physics & Mathematics (AREA)
- Prevention Of Fouling (AREA)
- Preparing Plates And Mask In Photomechanical Process (AREA)
Abstract
(57)【要約】
【解決手段】 ペリクル枠の上端面にペリクル膜貼着用
接着剤層を介してペリクル膜を張設したペリクルにおい
て、上記ペリクル膜貼着用接着剤層の硬度がビッカース
硬度で１．５〜２０であることを特徴とするペリクル。 【効果】 本発明によれば、ペリクル膜貼着用接着剤層
の硬度（ビッカース硬度）を１．５〜２０に制御するこ
とによって、ペリクル膜の張力を長期間一定に保つこと
ができ、ペリクル膜の経時的な緩みや膨らみ及びエッジ
部分での破れを防止することができる。
接着剤層を介してペリクル膜を張設したペリクルにおい
て、上記ペリクル膜貼着用接着剤層の硬度がビッカース
硬度で１．５〜２０であることを特徴とするペリクル。 【効果】 本発明によれば、ペリクル膜貼着用接着剤層
の硬度（ビッカース硬度）を１．５〜２０に制御するこ
とによって、ペリクル膜の張力を長期間一定に保つこと
ができ、ペリクル膜の経時的な緩みや膨らみ及びエッジ
部分での破れを防止することができる。
Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】本発明は、ＬＳＩ、超ＬＳＩ
などの半導体装置或いは液晶表示板を製造する際のリソ
グラフィ用マスクのゴミよけとして使用される、リソグ
ラフィ用として好適なペリクルに関する。
などの半導体装置或いは液晶表示板を製造する際のリソ
グラフィ用マスクのゴミよけとして使用される、リソグ
ラフィ用として好適なペリクルに関する。
【０００２】
【従来の技術及び発明が解決しようとする課題】ＬＳ
Ｉ、超ＬＳＩなどの半導体装置或いは液晶表示板などの
製造においては、半導体ウエハー或いは液晶用原板に光
を照射してパターニングを作製するが、この場合に用い
る露光原板（リソグラフィ用マスク：以下、レチクルと
いう）にゴミが付着していると、このゴミが光を吸収し
たり、光を曲げてしまうために、転写したパターンが変
形したり、エッジががさついたものとなったり、下地が
黒く汚れたりして、寸法、品質、外観などが損なわれる
という問題があった。
Ｉ、超ＬＳＩなどの半導体装置或いは液晶表示板などの
製造においては、半導体ウエハー或いは液晶用原板に光
を照射してパターニングを作製するが、この場合に用い
る露光原板（リソグラフィ用マスク：以下、レチクルと
いう）にゴミが付着していると、このゴミが光を吸収し
たり、光を曲げてしまうために、転写したパターンが変
形したり、エッジががさついたものとなったり、下地が
黒く汚れたりして、寸法、品質、外観などが損なわれる
という問題があった。
【０００３】このため、これらの作業は通常クリーンル
ームで行われているが、このクリーンルーム内でも露光
原板を常に清浄に保つことが難しいので、露光原板の表
面にゴミよけのための露光用の光をよく通過させるペリ
クルを貼着する方法が採用されている。この方法を採用
した場合、ゴミは露光原板の表面上には直接付着せず、
ペリクル膜上に付着するため、リソグラフィ時に焦点を
露光原板のパターン上に合わせておけば、ペリクル膜上
のゴミは転写に無関係となる。
ームで行われているが、このクリーンルーム内でも露光
原板を常に清浄に保つことが難しいので、露光原板の表
面にゴミよけのための露光用の光をよく通過させるペリ
クルを貼着する方法が採用されている。この方法を採用
した場合、ゴミは露光原板の表面上には直接付着せず、
ペリクル膜上に付着するため、リソグラフィ時に焦点を
露光原板のパターン上に合わせておけば、ペリクル膜上
のゴミは転写に無関係となる。
【０００４】ペリクルの基本的な構成は、ペリクル枠の
上端面にペリクル膜貼着用接着剤層を介してペリクル膜
を張設すると共に、下端面にレチクル貼着用接着剤層が
形成され、該レチクル貼着用接着剤層の下端面に離型層
が剥離可能に貼着してなるもので、具体的には露光に用
いる光を良く透過させるニトロセルロース、酢酸セルロ
ースなどからなる透明なペリクル膜をアルミニウム、ス
テンレス、ポリエチレンなどからなるペリクル枠の上端
部にペリクル膜の良溶媒を塗布した後、風乾して接着す
る（特開昭５８−２１９０２３号公報参照）か、アクリ
ル樹脂やエポキシ樹脂などの接着剤で接着し（米国特許
第４８６１４０２号公報、特公昭６３−２７７０７号公
報参照）、更に、ペリクル枠の下端部には露光原板が装
着されるために、ポリブテン樹脂、ポリ酢酸ビニル樹
脂、アクリル樹脂等からなるペリクル膜貼着用粘着剤
層、及びこの粘着剤層の保護を目的とした離型層（セパ
レーター）が貼着されている。
上端面にペリクル膜貼着用接着剤層を介してペリクル膜
を張設すると共に、下端面にレチクル貼着用接着剤層が
形成され、該レチクル貼着用接着剤層の下端面に離型層
が剥離可能に貼着してなるもので、具体的には露光に用
いる光を良く透過させるニトロセルロース、酢酸セルロ
ースなどからなる透明なペリクル膜をアルミニウム、ス
テンレス、ポリエチレンなどからなるペリクル枠の上端
部にペリクル膜の良溶媒を塗布した後、風乾して接着す
る（特開昭５８−２１９０２３号公報参照）か、アクリ
ル樹脂やエポキシ樹脂などの接着剤で接着し（米国特許
第４８６１４０２号公報、特公昭６３−２７７０７号公
報参照）、更に、ペリクル枠の下端部には露光原板が装
着されるために、ポリブテン樹脂、ポリ酢酸ビニル樹
脂、アクリル樹脂等からなるペリクル膜貼着用粘着剤
層、及びこの粘着剤層の保護を目的とした離型層（セパ
レーター）が貼着されている。
【０００５】一方、近年、光リソグラフィ技術の進歩に
よって、その露光波長が従来の４３６ｎｍのｇ線、３６
５ｎｍのｉ線からＫｒＦエキシマレーザーに変わろうと
している。これに対応して、ペリクル膜がフッ素系ポリ
マー等で形成され、またその膜厚も２４８ｎｍの波長の
光を十分透過するために薄くなってきている。
よって、その露光波長が従来の４３６ｎｍのｇ線、３６
５ｎｍのｉ線からＫｒＦエキシマレーザーに変わろうと
している。これに対応して、ペリクル膜がフッ素系ポリ
マー等で形成され、またその膜厚も２４８ｎｍの波長の
光を十分透過するために薄くなってきている。
【０００６】しかしながら従来、環境の気圧変化によっ
てペリクル膜が著しく膨らんだり、逆に垂れ下がったり
する場合があり、またペリクル膜を張設する場合などに
ペリクル膜がペリクル枠のエッジ部分で破れることがあ
り、これらの問題の解決が望まれた。
てペリクル膜が著しく膨らんだり、逆に垂れ下がったり
する場合があり、またペリクル膜を張設する場合などに
ペリクル膜がペリクル枠のエッジ部分で破れることがあ
り、これらの問題の解決が望まれた。
【０００７】本発明は、上記事情に鑑みなされたもの
で、ペリクル膜の張力を長期間一定に保持し得、膜の緩
みや膨らみ、エッジでの膜の破れを防止することができ
るペリクルを提供することを目的とする。
で、ペリクル膜の張力を長期間一定に保持し得、膜の緩
みや膨らみ、エッジでの膜の破れを防止することができ
るペリクルを提供することを目的とする。
【０００８】
【課題を解決するための手段及び発明の実施の形態】本
発明者は、上記目的を達成するため鋭意検討を重ねた結
果、ペリクル枠の上端面にペリクル膜を張設する際に、
ペリクル枠とペリクル膜とを接着する接着剤層の硬度を
ビッカース硬度で１．５〜２０の範囲とすることで、ペ
リクル膜の張力を長期間一定に保つことができ、このた
めペリクル膜の経時的な緩みや膨らみ、更にはエアブロ
ーなどによる膜の破れやペリクルフレームエッジでの切
断を防止することができ、半導体リソグラフィ用として
好適なペリクルが得られることを知見した。
発明者は、上記目的を達成するため鋭意検討を重ねた結
果、ペリクル枠の上端面にペリクル膜を張設する際に、
ペリクル枠とペリクル膜とを接着する接着剤層の硬度を
ビッカース硬度で１．５〜２０の範囲とすることで、ペ
リクル膜の張力を長期間一定に保つことができ、このた
めペリクル膜の経時的な緩みや膨らみ、更にはエアブロ
ーなどによる膜の破れやペリクルフレームエッジでの切
断を防止することができ、半導体リソグラフィ用として
好適なペリクルが得られることを知見した。
【０００９】即ち、ペリクル膜をペリクルフレームに固
定するためのペリクル膜貼着用接着剤としては、上述の
ような種々の接着剤が用いられてきているが、本発明者
の検討によれば、接着剤層の硬度が低いと経時的に膜の
張力が緩和されて緩み、環境の気圧変化によってペリク
ル膜が著しく膨らんだり、逆に垂れ下がったりする。そ
ればかりではなく、ペリクル膜面に付いた異物の検査を
再度行おうと思っても、膜面位置が変化してしまい測定
不可能になることがあった。
定するためのペリクル膜貼着用接着剤としては、上述の
ような種々の接着剤が用いられてきているが、本発明者
の検討によれば、接着剤層の硬度が低いと経時的に膜の
張力が緩和されて緩み、環境の気圧変化によってペリク
ル膜が著しく膨らんだり、逆に垂れ下がったりする。そ
ればかりではなく、ペリクル膜面に付いた異物の検査を
再度行おうと思っても、膜面位置が変化してしまい測定
不可能になることがあった。
【００１０】一方、ペリクル膜貼着用接着剤層の硬さが
硬いと、長期にわたって膜張力を維持できる半面、前記
のように薄くなっているペリクル膜を貼着した際にエッ
ジ部分で膜が破れる場合が起きる。この現象は、例えば
ペリクル膜上に付着した異物を除去するためにエアブロ
ーなどをした場合に起こり易く、ひどい場合にはペリク
ル膜が破れレチクル面に垂れ下がったりする場合もあっ
た。このような場合には、レチクルを使用することがで
きなくなり再洗浄を余儀なくされるばかりではなく、レ
チクル表面を傷め高価なレチクルを使用不可能にしてし
まうおそれもあった。
硬いと、長期にわたって膜張力を維持できる半面、前記
のように薄くなっているペリクル膜を貼着した際にエッ
ジ部分で膜が破れる場合が起きる。この現象は、例えば
ペリクル膜上に付着した異物を除去するためにエアブロ
ーなどをした場合に起こり易く、ひどい場合にはペリク
ル膜が破れレチクル面に垂れ下がったりする場合もあっ
た。このような場合には、レチクルを使用することがで
きなくなり再洗浄を余儀なくされるばかりではなく、レ
チクル表面を傷め高価なレチクルを使用不可能にしてし
まうおそれもあった。
【００１１】これに対し、ペリクル膜貼着用接着剤層の
ビッカース硬度を１．５〜２０の範囲とすることによ
り、上記問題が解決され、ペリクル膜の張力を長期間に
わたって一定に保持できると共に、ペリクルフレームエ
ッジでのペリクル膜の切断を防止することができ、エア
ブローなどによる膜の破れも防止されることを見出し、
本発明をなすに至った。
ビッカース硬度を１．５〜２０の範囲とすることによ
り、上記問題が解決され、ペリクル膜の張力を長期間に
わたって一定に保持できると共に、ペリクルフレームエ
ッジでのペリクル膜の切断を防止することができ、エア
ブローなどによる膜の破れも防止されることを見出し、
本発明をなすに至った。
【００１２】従って、本発明は、ペリクル枠の上端面に
ペリクル膜貼着用接着剤層を介してペリクル膜を張設し
たペリクルにおいて、上記ペリクル膜貼着用接着剤層の
硬度がビッカース硬度で１．５〜２０であることを特徴
とするペリクルを提供する。
ペリクル膜貼着用接着剤層を介してペリクル膜を張設し
たペリクルにおいて、上記ペリクル膜貼着用接着剤層の
硬度がビッカース硬度で１．５〜２０であることを特徴
とするペリクルを提供する。
【００１３】以下、本発明につき更に詳細に説明する
と、本発明のペリクルは、図１に示したように、ペリク
ル枠１の上端面にペリクル膜貼着用接着剤層を介してペ
リクル膜２を張設したもので、この場合、通常下端面に
レチクル貼着用接着剤層３が形成され、該レチクル貼着
用接着剤層３の下端面に離型層４が剥離可能に貼着して
なるものである。
と、本発明のペリクルは、図１に示したように、ペリク
ル枠１の上端面にペリクル膜貼着用接着剤層を介してペ
リクル膜２を張設したもので、この場合、通常下端面に
レチクル貼着用接着剤層３が形成され、該レチクル貼着
用接着剤層３の下端面に離型層４が剥離可能に貼着して
なるものである。
【００１４】この場合、これらペリクル構成部材の大き
さは通常のペリクルと同様であり、また、その材質も上
述したような公知の材質とすることができる。この点を
更に詳述するとペリクル膜の種類については特に制限は
なく、例えば従来使用されているニトロセルロース、酢
酸セルロース、プロピオン酸セルロース、非晶質フッ素
ポリマー等が用いられる。非晶質フッ素ポリマーの例と
しては、サイトップ（旭硝子（株）製商品名）、テフロ
ンＡＦ（デュポン（株）製商品名）などが挙げられ、こ
れらポリマーは、そのペリクル膜作製時に必要に応じて
溶媒に溶解して使用してもよく、例えばフッ素系溶媒な
どで適宜溶解し得る。
さは通常のペリクルと同様であり、また、その材質も上
述したような公知の材質とすることができる。この点を
更に詳述するとペリクル膜の種類については特に制限は
なく、例えば従来使用されているニトロセルロース、酢
酸セルロース、プロピオン酸セルロース、非晶質フッ素
ポリマー等が用いられる。非晶質フッ素ポリマーの例と
しては、サイトップ（旭硝子（株）製商品名）、テフロ
ンＡＦ（デュポン（株）製商品名）などが挙げられ、こ
れらポリマーは、そのペリクル膜作製時に必要に応じて
溶媒に溶解して使用してもよく、例えばフッ素系溶媒な
どで適宜溶解し得る。
【００１５】本発明において使用されるペリクルフレー
ムについても特に制限はなく、その材質としては、従来
使用されているアルミ材に陽極酸化処理を行ったもの、
ステンレス、ポリアセタール、ポリカーボネート、ＰＭ
ＭＡ、アクリル樹脂等の樹脂、青板ガラスなどが挙げら
れる。
ムについても特に制限はなく、その材質としては、従来
使用されているアルミ材に陽極酸化処理を行ったもの、
ステンレス、ポリアセタール、ポリカーボネート、ＰＭ
ＭＡ、アクリル樹脂等の樹脂、青板ガラスなどが挙げら
れる。
【００１６】レチクル貼着用接着剤層の下端面に貼着さ
れる離型層（セパレーター）としても公知のものでよ
い。
れる離型層（セパレーター）としても公知のものでよ
い。
【００１７】本発明のペリクルは、ペリクル膜貼着用接
着剤層の硬度がビッカース硬度で１．５〜２０、好まし
くは１．５〜１５のものである。
着剤層の硬度がビッカース硬度で１．５〜２０、好まし
くは１．５〜１５のものである。
【００１８】ペリクル膜貼着用接着剤層は、硬度が上記
範囲内であれば、この層を形成する接着剤の種類に特に
制限はなく、種々の接着剤を使用して形成することがで
き、また、接着剤層は接着剤のみで形成しても、接着剤
にこれを溶解し得る溶媒を含んだものであってもよい。
即ち、接着剤層は接着剤の固有の硬化硬度がビッカース
硬度で１．５〜２０の範囲に入るものであってもよい
し、また接着剤がこのものを溶解する溶媒に希釈又はこ
の溶媒を含んだものであって、その硬化後の硬度がビッ
カース硬度で１．５〜２０の範囲にあるものであっても
構わない。
範囲内であれば、この層を形成する接着剤の種類に特に
制限はなく、種々の接着剤を使用して形成することがで
き、また、接着剤層は接着剤のみで形成しても、接着剤
にこれを溶解し得る溶媒を含んだものであってもよい。
即ち、接着剤層は接着剤の固有の硬化硬度がビッカース
硬度で１．５〜２０の範囲に入るものであってもよい
し、また接着剤がこのものを溶解する溶媒に希釈又はこ
の溶媒を含んだものであって、その硬化後の硬度がビッ
カース硬度で１．５〜２０の範囲にあるものであっても
構わない。
【００１９】ペリクル膜貼着用接着剤としては、従来よ
り使用されているものを使用でき、例えばアクリル樹脂
接着剤、エポキシ樹脂接着剤、シリコーン樹脂接着剤、
含フッ素シリコーン接着剤等のフッ素系ポリマーなどを
挙げることができるが、中でもフッ素系ポリマーが好適
である。フッ素系ポリマーとして具体的には、フッ素系
ポリマーＣＴ６９（旭硝子（株）製商品名）が挙げられ
る。
り使用されているものを使用でき、例えばアクリル樹脂
接着剤、エポキシ樹脂接着剤、シリコーン樹脂接着剤、
含フッ素シリコーン接着剤等のフッ素系ポリマーなどを
挙げることができるが、中でもフッ素系ポリマーが好適
である。フッ素系ポリマーとして具体的には、フッ素系
ポリマーＣＴ６９（旭硝子（株）製商品名）が挙げられ
る。
【００２０】また、上記溶媒は上記接着剤（接着剤を形
成するポリマー）を溶解し得るものであればよく、例え
ばフッ素系溶媒ＣＴ−ＳＯＬＶ．１８０（旭硝子（株）
製商品名）、フロリナートＦＣ７５（３Ｍ社製商品名）
等の有機溶媒が挙げられる。なお、溶媒の含有量は特に
制限されるものではなく、接着剤層をビッカース硬度
１．５〜２０にする量である。
成するポリマー）を溶解し得るものであればよく、例え
ばフッ素系溶媒ＣＴ−ＳＯＬＶ．１８０（旭硝子（株）
製商品名）、フロリナートＦＣ７５（３Ｍ社製商品名）
等の有機溶媒が挙げられる。なお、溶媒の含有量は特に
制限されるものではなく、接着剤層をビッカース硬度
１．５〜２０にする量である。
【００２１】本発明のペリクルは、通常の方法でペリク
ル枠の上端面にペリクル膜貼着用接着剤層を介してペリ
クル膜を張設し、また通常、下端面にレチクル貼着用接
着剤層を形成し、このレチクル貼着用接着剤層の下端面
に離型層を剥離可能に貼着することで製造することがで
きる。
ル枠の上端面にペリクル膜貼着用接着剤層を介してペリ
クル膜を張設し、また通常、下端面にレチクル貼着用接
着剤層を形成し、このレチクル貼着用接着剤層の下端面
に離型層を剥離可能に貼着することで製造することがで
きる。
【００２２】ここで、ペリクル枠上端面に形成されるペ
リクル膜貼着用接着剤層は、上記したようにペリクル膜
貼着用接着剤を必要により溶媒で希釈してペリクル枠上
端面に塗布し、加熱して乾燥、硬化させることにより形
成することができる。この場合、接着剤の塗布方法とし
ては、刷毛塗り、スプレー、自動ディスペンサーによる
方法などが採用される。
リクル膜貼着用接着剤層は、上記したようにペリクル膜
貼着用接着剤を必要により溶媒で希釈してペリクル枠上
端面に塗布し、加熱して乾燥、硬化させることにより形
成することができる。この場合、接着剤の塗布方法とし
ては、刷毛塗り、スプレー、自動ディスペンサーによる
方法などが採用される。
【００２３】なお、ペリクル膜貼着用接着剤の塗布後の
加熱・乾燥条件は、硬化後の硬度がビッカース硬度で
１．５〜２０となる範囲で調整する。
加熱・乾燥条件は、硬化後の硬度がビッカース硬度で
１．５〜２０となる範囲で調整する。
【００２４】
【実施例】以下、実施例を示し本発明を具体的に説明す
るが、本発明は下記の実施例に制限されるものではな
い。
るが、本発明は下記の実施例に制限されるものではな
い。
【００２５】〔実施例、比較例〕サイトップＣＴＸ８０
９ＳＰ２（フッ素系ポリマー、旭硝子（株）製商品名）
をフッ素系溶媒ＣＴ−ＳＯＬＶ．１８０（旭硝子（株）
製商品名）に溶解させて濃度３％の溶液を調製した。こ
の溶液を用いて、直径２００ｍｍ、厚さ６００μｍの鏡
面研磨したシリコン基板面に、スピンコーターを用いて
膜の厚みが０．８μｍの透明膜を形成させた。
９ＳＰ２（フッ素系ポリマー、旭硝子（株）製商品名）
をフッ素系溶媒ＣＴ−ＳＯＬＶ．１８０（旭硝子（株）
製商品名）に溶解させて濃度３％の溶液を調製した。こ
の溶液を用いて、直径２００ｍｍ、厚さ６００μｍの鏡
面研磨したシリコン基板面に、スピンコーターを用いて
膜の厚みが０．８μｍの透明膜を形成させた。
【００２６】次に、上記膜上に外寸２００ｍｍ×２００
ｍｍ×５ｍｍ幅、厚さ５ｍｍの枠を、エポキシ系接着剤
アラルダイトラピッド（昭和高分子（株）製商品名）を
用いて接着し、水中で上記膜をシリコン基板から剥離し
た。
ｍｍ×５ｍｍ幅、厚さ５ｍｍの枠を、エポキシ系接着剤
アラルダイトラピッド（昭和高分子（株）製商品名）を
用いて接着し、水中で上記膜をシリコン基板から剥離し
た。
【００２７】また、フレーム外寸１００ｍｍ×１００ｍ
ｍ×５ｍｍ、フレーム厚さ４ｍｍのアルミニウム合金製
フレーム上に接着剤としてフッ素系溶媒ＣＴ−ＳＯＬ
Ｖ．１８０（旭硝子（株）製商品名）に希釈したフッ素
系高分子ポリマーＣＴ６９（旭硝子（株）製商品名）を
塗布し、表１に示す条件で１０分加熱し、乾燥して、接
着剤層を形成した。この接着剤層中にフッ素系溶媒が表
１に示す重量％で含有されていることをＧＰＣ装置にて
確認した。
ｍ×５ｍｍ、フレーム厚さ４ｍｍのアルミニウム合金製
フレーム上に接着剤としてフッ素系溶媒ＣＴ−ＳＯＬ
Ｖ．１８０（旭硝子（株）製商品名）に希釈したフッ素
系高分子ポリマーＣＴ６９（旭硝子（株）製商品名）を
塗布し、表１に示す条件で１０分加熱し、乾燥して、接
着剤層を形成した。この接着剤層中にフッ素系溶媒が表
１に示す重量％で含有されていることをＧＰＣ装置にて
確認した。
【００２８】更に、各溶媒含有量の場合の接着剤のビッ
カース硬度をマイクロビッカース硬度計（明石製作所製
商品名ＭＶＫ−ＥＩＩ）を使用し、１０ｇｆ×５ｓｅｃ
で測定した。
カース硬度をマイクロビッカース硬度計（明石製作所製
商品名ＭＶＫ−ＥＩＩ）を使用し、１０ｇｆ×５ｓｅｃ
で測定した。
【００２９】次いで、このものを上記の成膜したサイト
ップのペリクル膜表面に接着した。二つのフレームはペ
リクルフレームの接着面を上向きにして固定用の治具に
取り付けて相対的に位置がずれないように固定した。次
に、ペリクルフレーム外側の枠を引き上げて固定し、ペ
リクルフレーム外側の膜部に０．５ｇ／ｃｍの張力を与
えた。
ップのペリクル膜表面に接着した。二つのフレームはペ
リクルフレームの接着面を上向きにして固定用の治具に
取り付けて相対的に位置がずれないように固定した。次
に、ペリクルフレーム外側の枠を引き上げて固定し、ペ
リクルフレーム外側の膜部に０．５ｇ／ｃｍの張力を与
えた。
【００３０】また、別の膜切断用の器具として、スカラ
ーロボットにステンレス製カッター（厚さ０．２５ｍ
ｍ）を取り付けた。このカッターにチューブ式ディスペ
ンサを用いて、ＣＴ−ＳＯＬＶ．１００（旭硝子（株）
製商品名）を毎分１０マイクロリットル滴下しながら、
前記ペリクルフレームの接着剤部分の周辺部に沿ってカ
ッターを移動させ、ペリクルフレーム外側の不要膜部分
を切断除去した。
ーロボットにステンレス製カッター（厚さ０．２５ｍ
ｍ）を取り付けた。このカッターにチューブ式ディスペ
ンサを用いて、ＣＴ−ＳＯＬＶ．１００（旭硝子（株）
製商品名）を毎分１０マイクロリットル滴下しながら、
前記ペリクルフレームの接着剤部分の周辺部に沿ってカ
ッターを移動させ、ペリクルフレーム外側の不要膜部分
を切断除去した。
【００３１】得られたペリクルについて、４０℃で３ヶ
月間放置し、放置前後において膜の緩みがないかを調べ
た。またエアブローを行った際にフレームのエッジ部分
で膜の破れがないかを確認した。エアブローは、ノズル
内径１．０ｍｍ、エア圧２．０ｋｇ／ｃｍ2、ペリクル
膜とノズルの距離１０ｃｍで４５度の角度で、ペリクル
フレームエッジより５ｍｍの位置にエアを吹き付けた。
以上の結果を表１に示す。
月間放置し、放置前後において膜の緩みがないかを調べ
た。またエアブローを行った際にフレームのエッジ部分
で膜の破れがないかを確認した。エアブローは、ノズル
内径１．０ｍｍ、エア圧２．０ｋｇ／ｃｍ2、ペリクル
膜とノズルの距離１０ｃｍで４５度の角度で、ペリクル
フレームエッジより５ｍｍの位置にエアを吹き付けた。
以上の結果を表１に示す。
【００３２】
【表１】
【００３３】表１の結果より、本発明のペリクル膜貼着
用接着剤層のビッカース硬度が１．５〜２０のペリクル
（実施例１〜５）は、ペリクル膜の張力が長期間一定
で、緩みやエアブローによる破れなどが生じることがな
いことが確認された。
用接着剤層のビッカース硬度が１．５〜２０のペリクル
（実施例１〜５）は、ペリクル膜の張力が長期間一定
で、緩みやエアブローによる破れなどが生じることがな
いことが確認された。
【００３４】
【発明の効果】本発明によれば、ペリクル膜貼着用接着
剤層の硬度（ビッカース硬度）を１．５〜２０に制御す
ることによって、ペリクル膜の張力を長期間一定に保つ
ことができ、ペリクル膜の経時的な緩みや膨らみ及びエ
ッジ部分での破れを防止することができる。従って、本
発明のペリクルは、半導体リソグラフィ用として好適に
使用することができる。
剤層の硬度（ビッカース硬度）を１．５〜２０に制御す
ることによって、ペリクル膜の張力を長期間一定に保つ
ことができ、ペリクル膜の経時的な緩みや膨らみ及びエ
ッジ部分での破れを防止することができる。従って、本
発明のペリクルは、半導体リソグラフィ用として好適に
使用することができる。
【図１】本発明の一実施例を示すペリクルの斜視図であ
る。
る。
１ ペリクル枠 ２ ペリクル膜 ３ 接着剤層 ４ 離型層
Claims (3)
- 【請求項１】 ペリクル枠の上端面にペリクル膜貼着用
接着剤層を介してペリクル膜を張設したペリクルにおい
て、上記ペリクル膜貼着用接着剤層の硬度がビッカース
硬度で１．５〜２０であることを特徴とするペリクル。 - 【請求項２】 ペリクル膜貼着用接着剤層がフッ素系ポ
リマーからなる接着剤で形成された請求項１記載のペリ
クル。 - 【請求項３】 ペリクル膜貼着用接着剤層が溶媒を含ん
だものである請求項１又は２記載のペリクル。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP18758197A JP3449180B2 (ja) | 1997-06-27 | 1997-06-27 | ペリクル |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP18758197A JP3449180B2 (ja) | 1997-06-27 | 1997-06-27 | ペリクル |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH1124237A true JPH1124237A (ja) | 1999-01-29 |
| JP3449180B2 JP3449180B2 (ja) | 2003-09-22 |
Family
ID=16208619
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP18758197A Expired - Lifetime JP3449180B2 (ja) | 1997-06-27 | 1997-06-27 | ペリクル |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP3449180B2 (ja) |
Cited By (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2011100016A (ja) * | 2009-11-06 | 2011-05-19 | Shin-Etsu Chemical Co Ltd | リソグラフィー用ペリクル |
| JP2011107230A (ja) * | 2009-11-13 | 2011-06-02 | Shin-Etsu Chemical Co Ltd | ペリクルおよびその製造方法 |
| EP3165964A1 (en) * | 2015-10-29 | 2017-05-10 | Shin-Etsu Chemical Co., Ltd. | An adhesive suitable for a pellicle for euv lithography and a pellicle using the same adhesive |
| JP2017083806A (ja) * | 2015-10-29 | 2017-05-18 | 信越化学工業株式会社 | Ｅｕｖリソグラフィー用ペリクルに適した接着剤とこれを用いたペリクル |
-
1997
- 1997-06-27 JP JP18758197A patent/JP3449180B2/ja not_active Expired - Lifetime
Cited By (5)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2011100016A (ja) * | 2009-11-06 | 2011-05-19 | Shin-Etsu Chemical Co Ltd | リソグラフィー用ペリクル |
| JP2011107230A (ja) * | 2009-11-13 | 2011-06-02 | Shin-Etsu Chemical Co Ltd | ペリクルおよびその製造方法 |
| EP3165964A1 (en) * | 2015-10-29 | 2017-05-10 | Shin-Etsu Chemical Co., Ltd. | An adhesive suitable for a pellicle for euv lithography and a pellicle using the same adhesive |
| JP2017083806A (ja) * | 2015-10-29 | 2017-05-18 | 信越化学工業株式会社 | Ｅｕｖリソグラフィー用ペリクルに適した接着剤とこれを用いたペリクル |
| US10126645B2 (en) | 2015-10-29 | 2018-11-13 | Shin-Etsu Chemical Co., Ltd. | Adhesive suitable for a pellicle for EUV lithography and a pellicle using the same adhesive |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JP3449180B2 (ja) | 2003-09-22 |
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Legal Events
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