JPH077141U - 液槽の開閉装置 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 【目的】 蓋の開閉のために必要なクリアランスの縮小
と、液槽外への蓋からの滴の落下防止を図る。 【構成】 処理槽１１の周囲に設けられたオーバフロー
槽１３の上面の一端側に回動自在に２枚の開き戸２３，
２５が取り付けられている。両開き戸２３，２５は、駆
動機構により、開き戸２３，２５から離れた位置を回動
中心として取り付け側の端部２３ｂ，２５ｂを下方に沈
ませつつ回動する。開き戸２３，２５は、その内側の面
２３ａ，２５ａに、取り付け側にゆくほど下方に傾斜し
たこう配を備える。また、その取り付け側の端部２３
ｂ，２５ｂに、内側に突出する断面Ｌ字形の樋部２７，
２９を備える。この樋部２７，２９が開き戸２３，２５
を開いた時の受皿として働く。

Description

【考案の詳細な説明】

【０００１】

【産業上の利用分野】

本考案は、液体を収容する液槽の上面を開閉する液槽の開閉装置に関する。

【０００２】

【従来の技術】

例えば、基板処理装置においては、各種薬液や純水等を収容する処理槽が用意 されており、この処理槽内に半導体ウェハ等の基板を浸している。この処理槽は 、その上面を蓋により覆っており、必要に応じてその蓋は自動開閉される。

【０００３】 この種の開閉装置としては、図７に示すように、処理槽１の上面の一端側に回 動自在に蓋２を設け、いわゆる開き戸のように蓋２を回転させて開閉するものが よく知られている（実開昭６２−９８２２９号公報）。この開閉装置は、蓋２を 回転させて開閉することから、上部に開閉のためのクリアランスｔを必要とする 不具合を備えている。そこで、この不具合を低減するものとして、図８に示すよ うに、蓋２を処理槽１の上面に沿ってスライドさせつつ下方に沈めながら回動さ せるものが提案されている。

【０００４】

【考案が解決しようとする課題】

ところで、処理槽に収容された薬液は蒸発して蓋の下面に付着し、やがて滴と なって落下することになるが、前記後者の従来技術では、蓋を開けた際、その滴 が処理槽外に落ちてしまう問題が生じた。蓋を開けた際に、蓋が処理槽の上部か ら横方向にずれるためであり、この結果、処理槽外が汚れてしまい、また、処理 槽内の薬液の容量が減ってしまった。

【０００５】 この考案の液槽の開閉装置は、従来技術における前述した課題を解決するため になされたもので、開閉のために必要なクリアランスの縮小と、液槽外への滴の 落下防止等を図ることを目的とする。

【０００６】

【課題を解決するための手段】

このような目的を達成するため、前記課題を解決するための手段として、この 考案の液槽の開閉装置は、 液体を収容する液槽の上面の一端側に回動自在に取り付けられ該液槽の上面を 開閉する蓋体と、 該蓋体から離れた位置を回動中心として、該蓋体の前記取り付け側の端部を下 方に沈めつつ該蓋体を回動させる駆動機構と を備えるとともに、 前記蓋体の前記取り付け側の端部に、 前記液槽側に突出し当該蓋体と平行な方向に深さを持つ樋部 を設けたことを要旨としている。

【０００７】 こうした構成の液槽の開閉装置において、好ましくは、前記樋部を断面Ｌ字形 のものとし、前記蓋体の液槽側の面に、前記取り付け側にゆくほど下方に傾斜し たこう配を設けた構成とすればよい。

【０００８】

【作用】

以上のように構成されたこの考案の液槽の開閉装置によれば、駆動機構により 、蓋体は下方に沈みつつ回動される。しかも、蓋体の開時には、蓋体の端部に取 り付けられた樋部により、蓋体の液槽側の面に付着していた滴を貯留する。その 後、蓋体が閉じられると、樋部に貯留された液体は液槽内に戻される。

【０００９】

【実施例】

以上説明したこの考案の構成・作用を一層明らかにするために、以下この考案 の好適な実施例について説明する。図１はこの考案の一実施例である液槽の開閉 装置の概略構成を示す縦断面図、図２はその平面図である。

【００１０】 これら図に示すように、この実施例では、薬液を収容する処理槽１１と、処理 槽１１の外周に設けられ処理槽１１から溢れ出た薬液を受けるオーバフロー槽１ ３とが備えられており、これら槽１１，１３の上部に、液槽の開閉装置２１が設 けられている。液槽の開閉装置２１は、オーバフロー槽１３の上面の一端側に回 動自在に取り付けられた２枚の開き戸２３，２５と、これら開き戸２３，２５を 回動させる駆動機構３１（図３）とを備える。

【００１１】 開き戸２３，２５は、その内側の面２３ａ，２５ａに、取り付け側にゆくほど 下方に傾斜したこう配を備える。また、その取り付け側の端部２３ｂ，２５ｂに 、内側に突出する断面Ｌ字形の樋部２７，２９を備える。なお、樋部２７，２９ は開き戸２３，２５とそれぞれ一体成形されている。

【００１２】 さらに、一方の開き戸２３の取り付け側と反対側の端部には突出部２３ｃが設 けられ、他方の開き戸２５の取り付け側と反対側の端部には切欠き部２５ｃが設 けられている。両開き戸２３，２５が閉じたときに開き戸２３の突出部２３ｃと 開き戸２５の切欠き部２５ｃとが嵌合して、両開き戸２３，２５による閉鎖性が 高められる。

【００１３】 一方、図３に示すように、駆動機構３１は２つのエアシリンダ３３，３５から 構成されている。エアシリンダ３３，３５のロッド３３ａ，３５ａの先端にはＬ 字形の連結具３７，３９が接続されており、このＬ字形の連結具３７，３９は軸 ４１，４３に回転自在に固定されている。エアシリンダ３３，３５が往復動する と、連結具３７，３９は軸４１，４３の回りに回転（回動）運動する。なお、連 結具３７，３９にはそれぞれ接続棒４５，４７が固定されており、その接続棒４ ５，４７の先端に開き戸２３，２５が固定されている。

【００１４】 こうした構成の駆動機構３１では、エアシリンダ３３，３５が往復動すると、 連結具３７，３９は軸４１，４３の回りに回動運動し、その結果、連結具３７， ３９に接続棒４５，４７を介して接続された開き戸２３，２５が図中、実線で示 したポジションと破線で示したポジションとの間を回動する。

【００１５】 なお、この実施例においては、処理槽１１に収容された薬液は循環するように 構成されているが、次にこの循環経路について図４を用いて説明する。処理槽１ １に供給された薬液は処理槽１１より溢れ出てオーバフロー槽１３に貯留される 。図４に示すように、循環経路は、このオーバフロー槽１３から処理槽１１へ循 環させるもので、オーバフロー槽１３の底壁に設けられた薬液の流出口１３ａを 始点とし、処理槽１１の内部に設けられたアップフロー管５１，５３を終点とす る管路５５から構成される。

【００１６】 循環経路の管路５５の途中には、オーバフロー槽１３側から順にポンプ６１， フィルタ６３およびヒータ６５が設けられている。この循環経路の構成により、 処理槽内の薬液を所定の経路で循環させてその経路の途中で加熱することができ 、処理槽内の薬液が均一に加熱されることになる。

【００１７】 次に、開き戸２３，２５を開閉した際のこの液槽の開閉装置２１の作用を説明 する。開き戸２５（開き戸２３についても同様）が閉じた状態においては、図５ に示すように、処理槽１１内から蒸発して開き戸２５の内側に付着した薬液の滴 ｄｐは、その内側のこう配を伝って取り付け側の端部２５ｂ方向に移動し、その 後、樋部２９を経て落下し、オーバフロー槽１３に至る。一方、開き戸２５（開 き戸２３についても同様）が開いた状態においては、図６に示すように、開き戸 ２５の内側に付着していた薬液の滴ｄｐが樋部２９で受けとめられ貯留される。 その後、両開き戸２５を閉じると、樋部２９に貯留された薬液はオーバフロー槽 １３に流れ落ち、薬液の循環経路内に戻される。

【００１８】 従って、この実施例の液槽の開閉装置２１では、開き戸２３，２５を開けた際 に、薬液の滴は樋部２７，２９で貯留され落下することがないことから、オーバ フロー槽１３の外側を汚してしまうこともない。また、その薬液の滴は薬液の循 環経路内に戻されることから、薬液減少の低下を図ることができる。

【００１９】 また、この液槽の開閉装置２１では、回動する連結具３７，３９と開き戸２３ ，２５との間に接続棒４５，４７が介在していることから、開き戸２３，２５の 回動中心が開き戸２３，２５から離れた位置となる。このため、図１に示すよう に開き戸２３，２５はその取り付け側の端部２３ｂ，２５ｂを下方に沈めつつ回 動する。従って、この液槽の開閉装置２１では、開き戸２３，２５の開閉に必要 な処理槽１１上部のクリアランスを縮小することができる。

【００２０】 なお、この実施例においては、開き戸２３，２５の取り付け部をオーバフロー 槽１３の上面の一端側としていたが、これに換えて、処理槽１１の上面の一端側 としてもよい。この構成により開き戸２３，２５を閉じたときに、樋部２７，２ ９から落下する滴を循環経路を介してではなく処理槽１１内に直接戻すことがで きる。

【００２１】 また、この実施例では樋部２７，２９を断面Ｌ字形のものとしていたが、必ず しもこの形状に限るものではなく、開き戸２３，２５と平行な方向に深さを持つ 形状のものであれば、どのようなものでもよい。例えば、円筒を中心線を含む面 で切断した半円筒形状のものでもよい。

【００２２】 以上、本考案のいくつかの実施例を詳述してきたが、本考案はこうした実施例 に何等限定されるものではなく、本考案の要旨を逸脱しない範囲において種々な る態様にて実施し得ることは勿論である。

【００２３】

【考案の効果】

以上説明したようにこの考案の液槽の開閉装置では、駆動機構により、蓋体は 下方に沈みつつ回動されることから、蓋体の開閉のために必要なクリアランスを 短くすますことができる。また、液槽外への蓋体からの滴の落下防止を図ること ができるため、液槽外を汚したりすることもなく、さらに、その滴は液槽内に戻 されることから、液体の減少の低下を図ることもできる。

【図面の簡単な説明】

【図１】この考案の一実施例である液槽の開閉装置の両
開き戸周辺を示す縦断面図である。

【図２】この両開き戸の平面図である。

【図３】この液槽の開閉装置の駆動機構の概略構成図で
ある。

【図４】処理槽内に収容される薬液の循環経路の概略構
成図である。

【図５】開き戸を閉じた状態の作用を表す説明図であ
る。

【図６】開き戸を開いた状態の作用を表す説明図であ
る。

【図７】従来例の概略構成図である。

【図８】他の従来例の概略構成図である。

【符号の説明】

１１…処理槽 １３…オーバフロー槽 １３ａ…流出口 ２１…液槽の開閉装置 ２３，２５…開き戸 ２３ｂ，２５ｂ…取り付け側端部 ２７，２９…樋部 ３１…駆動機構 ３３，３５…エアシリンダ ３３ａ，３５ａ…ロッド ３７，３９…連結具 ４１，４３…軸 ４５，４７…接続棒

Claims (2)

【実用新案登録請求の範囲】
1. 【請求項１】 液体を収容する液槽の上面の一端側に回
   動自在に取り付けられ該液槽の上面を開閉する蓋体と、 該蓋体から離れた位置を回動中心として、該蓋体の前記
   取り付け側の端部を下方に沈めつつ該蓋体を回動させる
   駆動機構とを備えるとともに、 前記蓋体の前記取り付け側の端部に、 前記液槽側に突出し当該蓋体と平行な方向に深さを持つ
   樋部を設けた液槽の開閉装置。
2. 【請求項２】 請求項１記載の開閉装置であって、 前記樋部を断面Ｌ字形のものとし、 前記蓋体の液槽側の面に、前記取り付け側にゆくほど下
   方に傾斜したこう配を設けた液槽の開閉装置。