JPH077141U - 液槽の開閉装置 - Google Patents

液槽の開閉装置

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JPH077141U
JPH077141U JP3993793U JP3993793U JPH077141U JP H077141 U JPH077141 U JP H077141U JP 3993793 U JP3993793 U JP 3993793U JP 3993793 U JP3993793 U JP 3993793U JP H077141 U JPH077141 U JP H077141U
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JP
Japan
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lid
liquid tank
closing device
tank
opening
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Application number
JP3993793U
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English (en)
Inventor
公二 長谷川
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Screen Holdings Co Ltd
Dainippon Screen Manufacturing Co Ltd
Original Assignee
Screen Holdings Co Ltd
Dainippon Screen Manufacturing Co Ltd
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Publication date
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Abstract

(57)【要約】 【目的】 蓋の開閉のために必要なクリアランスの縮小
と、液槽外への蓋からの滴の落下防止を図る。 【構成】 処理槽11の周囲に設けられたオーバフロー
槽13の上面の一端側に回動自在に2枚の開き戸23,
25が取り付けられている。両開き戸23,25は、駆
動機構により、開き戸23,25から離れた位置を回動
中心として取り付け側の端部23b,25bを下方に沈
ませつつ回動する。開き戸23,25は、その内側の面
23a,25aに、取り付け側にゆくほど下方に傾斜し
たこう配を備える。また、その取り付け側の端部23
b,25bに、内側に突出する断面L字形の樋部27,
29を備える。この樋部27,29が開き戸23,25
を開いた時の受皿として働く。

Description

【考案の詳細な説明】
【0001】
【産業上の利用分野】
本考案は、液体を収容する液槽の上面を開閉する液槽の開閉装置に関する。
【0002】
【従来の技術】
例えば、基板処理装置においては、各種薬液や純水等を収容する処理槽が用意 されており、この処理槽内に半導体ウェハ等の基板を浸している。この処理槽は 、その上面を蓋により覆っており、必要に応じてその蓋は自動開閉される。
【0003】 この種の開閉装置としては、図7に示すように、処理槽1の上面の一端側に回 動自在に蓋2を設け、いわゆる開き戸のように蓋2を回転させて開閉するものが よく知られている(実開昭62−98229号公報)。この開閉装置は、蓋2を 回転させて開閉することから、上部に開閉のためのクリアランスtを必要とする 不具合を備えている。そこで、この不具合を低減するものとして、図8に示すよ うに、蓋2を処理槽1の上面に沿ってスライドさせつつ下方に沈めながら回動さ せるものが提案されている。
【0004】
【考案が解決しようとする課題】
ところで、処理槽に収容された薬液は蒸発して蓋の下面に付着し、やがて滴と なって落下することになるが、前記後者の従来技術では、蓋を開けた際、その滴 が処理槽外に落ちてしまう問題が生じた。蓋を開けた際に、蓋が処理槽の上部か ら横方向にずれるためであり、この結果、処理槽外が汚れてしまい、また、処理 槽内の薬液の容量が減ってしまった。
【0005】 この考案の液槽の開閉装置は、従来技術における前述した課題を解決するため になされたもので、開閉のために必要なクリアランスの縮小と、液槽外への滴の 落下防止等を図ることを目的とする。
【0006】
【課題を解決するための手段】
このような目的を達成するため、前記課題を解決するための手段として、この 考案の液槽の開閉装置は、 液体を収容する液槽の上面の一端側に回動自在に取り付けられ該液槽の上面を 開閉する蓋体と、 該蓋体から離れた位置を回動中心として、該蓋体の前記取り付け側の端部を下 方に沈めつつ該蓋体を回動させる駆動機構と を備えるとともに、 前記蓋体の前記取り付け側の端部に、 前記液槽側に突出し当該蓋体と平行な方向に深さを持つ樋部 を設けたことを要旨としている。
【0007】 こうした構成の液槽の開閉装置において、好ましくは、前記樋部を断面L字形 のものとし、前記蓋体の液槽側の面に、前記取り付け側にゆくほど下方に傾斜し たこう配を設けた構成とすればよい。
【0008】
【作用】
以上のように構成されたこの考案の液槽の開閉装置によれば、駆動機構により 、蓋体は下方に沈みつつ回動される。しかも、蓋体の開時には、蓋体の端部に取 り付けられた樋部により、蓋体の液槽側の面に付着していた滴を貯留する。その 後、蓋体が閉じられると、樋部に貯留された液体は液槽内に戻される。
【0009】
【実施例】
以上説明したこの考案の構成・作用を一層明らかにするために、以下この考案 の好適な実施例について説明する。図1はこの考案の一実施例である液槽の開閉 装置の概略構成を示す縦断面図、図2はその平面図である。
【0010】 これら図に示すように、この実施例では、薬液を収容する処理槽11と、処理 槽11の外周に設けられ処理槽11から溢れ出た薬液を受けるオーバフロー槽1 3とが備えられており、これら槽11,13の上部に、液槽の開閉装置21が設 けられている。液槽の開閉装置21は、オーバフロー槽13の上面の一端側に回 動自在に取り付けられた2枚の開き戸23,25と、これら開き戸23,25を 回動させる駆動機構31(図3)とを備える。
【0011】 開き戸23,25は、その内側の面23a,25aに、取り付け側にゆくほど 下方に傾斜したこう配を備える。また、その取り付け側の端部23b,25bに 、内側に突出する断面L字形の樋部27,29を備える。なお、樋部27,29 は開き戸23,25とそれぞれ一体成形されている。
【0012】 さらに、一方の開き戸23の取り付け側と反対側の端部には突出部23cが設 けられ、他方の開き戸25の取り付け側と反対側の端部には切欠き部25cが設 けられている。両開き戸23,25が閉じたときに開き戸23の突出部23cと 開き戸25の切欠き部25cとが嵌合して、両開き戸23,25による閉鎖性が 高められる。
【0013】 一方、図3に示すように、駆動機構31は2つのエアシリンダ33,35から 構成されている。エアシリンダ33,35のロッド33a,35aの先端にはL 字形の連結具37,39が接続されており、このL字形の連結具37,39は軸 41,43に回転自在に固定されている。エアシリンダ33,35が往復動する と、連結具37,39は軸41,43の回りに回転(回動)運動する。なお、連 結具37,39にはそれぞれ接続棒45,47が固定されており、その接続棒4 5,47の先端に開き戸23,25が固定されている。
【0014】 こうした構成の駆動機構31では、エアシリンダ33,35が往復動すると、 連結具37,39は軸41,43の回りに回動運動し、その結果、連結具37, 39に接続棒45,47を介して接続された開き戸23,25が図中、実線で示 したポジションと破線で示したポジションとの間を回動する。
【0015】 なお、この実施例においては、処理槽11に収容された薬液は循環するように 構成されているが、次にこの循環経路について図4を用いて説明する。処理槽1 1に供給された薬液は処理槽11より溢れ出てオーバフロー槽13に貯留される 。図4に示すように、循環経路は、このオーバフロー槽13から処理槽11へ循 環させるもので、オーバフロー槽13の底壁に設けられた薬液の流出口13aを 始点とし、処理槽11の内部に設けられたアップフロー管51,53を終点とす る管路55から構成される。
【0016】 循環経路の管路55の途中には、オーバフロー槽13側から順にポンプ61, フィルタ63およびヒータ65が設けられている。この循環経路の構成により、 処理槽内の薬液を所定の経路で循環させてその経路の途中で加熱することができ 、処理槽内の薬液が均一に加熱されることになる。
【0017】 次に、開き戸23,25を開閉した際のこの液槽の開閉装置21の作用を説明 する。開き戸25(開き戸23についても同様)が閉じた状態においては、図5 に示すように、処理槽11内から蒸発して開き戸25の内側に付着した薬液の滴 dpは、その内側のこう配を伝って取り付け側の端部25b方向に移動し、その 後、樋部29を経て落下し、オーバフロー槽13に至る。一方、開き戸25(開 き戸23についても同様)が開いた状態においては、図6に示すように、開き戸 25の内側に付着していた薬液の滴dpが樋部29で受けとめられ貯留される。 その後、両開き戸25を閉じると、樋部29に貯留された薬液はオーバフロー槽 13に流れ落ち、薬液の循環経路内に戻される。
【0018】 従って、この実施例の液槽の開閉装置21では、開き戸23,25を開けた際 に、薬液の滴は樋部27,29で貯留され落下することがないことから、オーバ フロー槽13の外側を汚してしまうこともない。また、その薬液の滴は薬液の循 環経路内に戻されることから、薬液減少の低下を図ることができる。
【0019】 また、この液槽の開閉装置21では、回動する連結具37,39と開き戸23 ,25との間に接続棒45,47が介在していることから、開き戸23,25の 回動中心が開き戸23,25から離れた位置となる。このため、図1に示すよう に開き戸23,25はその取り付け側の端部23b,25bを下方に沈めつつ回 動する。従って、この液槽の開閉装置21では、開き戸23,25の開閉に必要 な処理槽11上部のクリアランスを縮小することができる。
【0020】 なお、この実施例においては、開き戸23,25の取り付け部をオーバフロー 槽13の上面の一端側としていたが、これに換えて、処理槽11の上面の一端側 としてもよい。この構成により開き戸23,25を閉じたときに、樋部27,2 9から落下する滴を循環経路を介してではなく処理槽11内に直接戻すことがで きる。
【0021】 また、この実施例では樋部27,29を断面L字形のものとしていたが、必ず しもこの形状に限るものではなく、開き戸23,25と平行な方向に深さを持つ 形状のものであれば、どのようなものでもよい。例えば、円筒を中心線を含む面 で切断した半円筒形状のものでもよい。
【0022】 以上、本考案のいくつかの実施例を詳述してきたが、本考案はこうした実施例 に何等限定されるものではなく、本考案の要旨を逸脱しない範囲において種々な る態様にて実施し得ることは勿論である。
【0023】
【考案の効果】
以上説明したようにこの考案の液槽の開閉装置では、駆動機構により、蓋体は 下方に沈みつつ回動されることから、蓋体の開閉のために必要なクリアランスを 短くすますことができる。また、液槽外への蓋体からの滴の落下防止を図ること ができるため、液槽外を汚したりすることもなく、さらに、その滴は液槽内に戻 されることから、液体の減少の低下を図ることもできる。
【図面の簡単な説明】
【図1】この考案の一実施例である液槽の開閉装置の両
開き戸周辺を示す縦断面図である。
【図2】この両開き戸の平面図である。
【図3】この液槽の開閉装置の駆動機構の概略構成図で
ある。
【図4】処理槽内に収容される薬液の循環経路の概略構
成図である。
【図5】開き戸を閉じた状態の作用を表す説明図であ
る。
【図6】開き戸を開いた状態の作用を表す説明図であ
る。
【図7】従来例の概略構成図である。
【図8】他の従来例の概略構成図である。
【符号の説明】
11…処理槽 13…オーバフロー槽 13a…流出口 21…液槽の開閉装置 23,25…開き戸 23b,25b…取り付け側端部 27,29…樋部 31…駆動機構 33,35…エアシリンダ 33a,35a…ロッド 37,39…連結具 41,43…軸 45,47…接続棒

Claims (2)

    【実用新案登録請求の範囲】
  1. 【請求項1】 液体を収容する液槽の上面の一端側に回
    動自在に取り付けられ該液槽の上面を開閉する蓋体と、 該蓋体から離れた位置を回動中心として、該蓋体の前記
    取り付け側の端部を下方に沈めつつ該蓋体を回動させる
    駆動機構とを備えるとともに、 前記蓋体の前記取り付け側の端部に、 前記液槽側に突出し当該蓋体と平行な方向に深さを持つ
    樋部を設けた液槽の開閉装置。
  2. 【請求項2】 請求項1記載の開閉装置であって、 前記樋部を断面L字形のものとし、 前記蓋体の液槽側の面に、前記取り付け側にゆくほど下
    方に傾斜したこう配を設けた液槽の開閉装置。
JP3993793U 1993-06-25 1993-06-25 液槽の開閉装置 Pending JPH077141U (ja)

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JP3993793U JPH077141U (ja) 1993-06-25 1993-06-25 液槽の開閉装置

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Cited By (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
KR100344092B1 (ko) * 1998-12-29 2002-11-23 주식회사 에스아이테크 반도체 장비의 덮개 구조
KR100460729B1 (ko) * 1996-10-09 2005-06-16 가부시키 가이샤 에바라 세이사꾸쇼 반전장치 및 연마장치
KR100508078B1 (ko) * 1998-10-26 2005-10-26 삼성전자주식회사 습식 식각 설비

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