JPH076356A - 磁気記録装置、磁気記録媒体及び磁気記録媒体の製造方法 - Google Patents
磁気記録装置、磁気記録媒体及び磁気記録媒体の製造方法Info
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- JPH076356A JPH076356A JP14204093A JP14204093A JPH076356A JP H076356 A JPH076356 A JP H076356A JP 14204093 A JP14204093 A JP 14204093A JP 14204093 A JP14204093 A JP 14204093A JP H076356 A JPH076356 A JP H076356A
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Abstract
(57)【要約】
【目的】 高密度な情報の記録再生が可能で信頼性の高
い磁気記憶装置を提供する。 【構成】 記録トラック内の保磁力とガ−ドバンド部の
保磁力が２０％以上異なるように設定し、また記録トラ
ックの磁化容易軸方向をトラック方向から２０〜７０°
傾斜させる。 【効果】 狭トラック幅で高い媒体Ｓ／Ｎが得られる。
すなわち、記録トラック内のヘッド走行方向の保磁力の
分散を小さくできるので媒体雑音を低減できると共に、
オーバーライト特性を改善することができる。また、ガ
ードバンドへの書きにじみを低減することができるの
で、高いトラック密度を実現することができる。
い磁気記憶装置を提供する。 【構成】 記録トラック内の保磁力とガ−ドバンド部の
保磁力が２０％以上異なるように設定し、また記録トラ
ックの磁化容易軸方向をトラック方向から２０〜７０°
傾斜させる。 【効果】 狭トラック幅で高い媒体Ｓ／Ｎが得られる。
すなわち、記録トラック内のヘッド走行方向の保磁力の
分散を小さくできるので媒体雑音を低減できると共に、
オーバーライト特性を改善することができる。また、ガ
ードバンドへの書きにじみを低減することができるの
で、高いトラック密度を実現することができる。
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明は、コンピュータの補助記
憶装置等に用いる磁気記憶装置及びそれに用いる磁気記
録媒体に関し、さらに詳しくは１平方インチ当たり６０
０メガビット以上の高い記録密度を有する磁気記憶装
置、並びにこの高い記録密度を実現するのに好適な薄膜
磁気記録媒体及びその製造方法に関する。
憶装置等に用いる磁気記憶装置及びそれに用いる磁気記
録媒体に関し、さらに詳しくは１平方インチ当たり６０
０メガビット以上の高い記録密度を有する磁気記憶装
置、並びにこの高い記録密度を実現するのに好適な薄膜
磁気記録媒体及びその製造方法に関する。
【０００２】
【従来の技術】情報化社会の進行により、日常的に扱う
情報量は増加の一途を辿っている。これに伴って、磁気
記憶装置に対する高記録密度・大記憶容量化の要求が強
くなっている。磁気ディスク装置を高記録密度化してい
った場合、記録ビットの当たりの媒体面積が小さくなる
ため、再生出力が低下し、再生が困難になる。このよう
な問題を解決するため、従来は１つの電磁誘導型磁気ヘ
ッドで記録と再生を行なっていたのに対し、記録と再生
とを別々の磁気ヘッドで行ない、再生用の磁気ヘッドと
して特開昭５１−４４９１７号公報、特開昭６２−４０
６１０号公報、特開昭６３−１１７３０９号公報に記載
されているような磁気抵抗効果を利用した磁気ヘッドを
用いることが検討されている。この磁気抵抗効果型再生
ヘッドは高い感度を持つため、高記録密度化に適してい
る。
情報量は増加の一途を辿っている。これに伴って、磁気
記憶装置に対する高記録密度・大記憶容量化の要求が強
くなっている。磁気ディスク装置を高記録密度化してい
った場合、記録ビットの当たりの媒体面積が小さくなる
ため、再生出力が低下し、再生が困難になる。このよう
な問題を解決するため、従来は１つの電磁誘導型磁気ヘ
ッドで記録と再生を行なっていたのに対し、記録と再生
とを別々の磁気ヘッドで行ない、再生用の磁気ヘッドと
して特開昭５１−４４９１７号公報、特開昭６２−４０
６１０号公報、特開昭６３−１１７３０９号公報に記載
されているような磁気抵抗効果を利用した磁気ヘッドを
用いることが検討されている。この磁気抵抗効果型再生
ヘッドは高い感度を持つため、高記録密度化に適してい
る。
【０００３】磁気ディスク装置に用いられる記録媒体と
しては、当初、酸化物磁性体の粉末を基板上に塗布した
塗布型媒体が用いられていたが、近年、金属磁性体の薄
膜を基板上にスパッタ蒸着した薄膜媒体が開発されてい
る。この薄膜媒体は、例えば特開昭５８−７８０６号公
報や特開昭６０−１１１３２３号公報に示されるよう
に、塗布型の媒体に比べて磁気記録層に含まれる磁性体
の密度が高いため、高密度の記録再生に適している。
しては、当初、酸化物磁性体の粉末を基板上に塗布した
塗布型媒体が用いられていたが、近年、金属磁性体の薄
膜を基板上にスパッタ蒸着した薄膜媒体が開発されてい
る。この薄膜媒体は、例えば特開昭５８−７８０６号公
報や特開昭６０−１１１３２３号公報に示されるよう
に、塗布型の媒体に比べて磁気記録層に含まれる磁性体
の密度が高いため、高密度の記録再生に適している。
【０００４】薄膜媒体の基板にはアルミ合金、ガラス、
セラミックス、あるいは有機樹脂が用いられる。また、
ディスク基板の表面には硬度、平滑度等の加工成形性あ
るいは磁気特性向上の目的で、例えば厚さ約１０μｍの
Ｎｉ−Ｐメッキ層や陽極酸化膜が形成される。このよう
な基板表面上にスパッタ蒸着法等の手段により磁性膜を
形成すると、磁性膜中の結晶粒の磁化容易軸は種々の方
向を向き、一般に記録トラック方向に磁界を印加して測
定した磁気特性とトラック幅方向に磁界を印加して測定
した磁気特性の違いが小さい。このような記録媒体の出
力は小さく雑音は大きい。
セラミックス、あるいは有機樹脂が用いられる。また、
ディスク基板の表面には硬度、平滑度等の加工成形性あ
るいは磁気特性向上の目的で、例えば厚さ約１０μｍの
Ｎｉ−Ｐメッキ層や陽極酸化膜が形成される。このよう
な基板表面上にスパッタ蒸着法等の手段により磁性膜を
形成すると、磁性膜中の結晶粒の磁化容易軸は種々の方
向を向き、一般に記録トラック方向に磁界を印加して測
定した磁気特性とトラック幅方向に磁界を印加して測定
した磁気特性の違いが小さい。このような記録媒体の出
力は小さく雑音は大きい。
【０００５】これを改善することを一つの目的として、
先に述べた基板表面に、特許第４７３５８４０号、特開
昭６１−２９４１８号公報、特開昭６２−１４６４３４
号公報、特開昭６３−１２１１２３号公報、「アイ・イ
ー・イー・イー トランザクション オン マグネティ
クス」エム・エー・ジー２２巻（１９８６年）、第５７
９頁〔IEEE Trans. Magn., vol.MAG-22, p.579(198
6)〕、又は「アイ・イー・イー・イー トランザクショ
ン オン マグネティクス」エム・エー・ジー２３巻
（１９８７年）、第３４０５頁〔IEEE Trans. Magn., v
ol.MAG-23, p.3405(1987)〕に記載されるように、微細
な溝を略磁気ヘッド走行方向（磁気ディスクの円周方
向）に形成することが考えられている。この溝はテクス
チャと称され、砥粒を用いて磁気ディスク表面を円周方
向に切削して形成され、溝の中心線平均粗さＲａは従
来、約３〜１０ｎｍの範囲であった。このようなテクス
チャを形成すると、磁気ヘッド走行方向に磁界を印加し
て測定した磁性層の磁気特性、例えば保磁力Ｈｃ、残留
磁束密度Ｂｒ、あるいは、保磁力角形比Ｓ＊が、テクス
チャを形成しない場合の値に対して変化し、一般に記録
再生時のＳ／Ｎや分解能が向上する。これはテクスチャ
を形成することにより、磁化容易軸がヘッド走行方向を
向く磁性層中の結晶粒の割合が、磁化容易軸がトラック
幅方向を向く結晶粒の割合よりも多いためと考えられ
る。
先に述べた基板表面に、特許第４７３５８４０号、特開
昭６１−２９４１８号公報、特開昭６２−１４６４３４
号公報、特開昭６３−１２１１２３号公報、「アイ・イ
ー・イー・イー トランザクション オン マグネティ
クス」エム・エー・ジー２２巻（１９８６年）、第５７
９頁〔IEEE Trans. Magn., vol.MAG-22, p.579(198
6)〕、又は「アイ・イー・イー・イー トランザクショ
ン オン マグネティクス」エム・エー・ジー２３巻
（１９８７年）、第３４０５頁〔IEEE Trans. Magn., v
ol.MAG-23, p.3405(1987)〕に記載されるように、微細
な溝を略磁気ヘッド走行方向（磁気ディスクの円周方
向）に形成することが考えられている。この溝はテクス
チャと称され、砥粒を用いて磁気ディスク表面を円周方
向に切削して形成され、溝の中心線平均粗さＲａは従
来、約３〜１０ｎｍの範囲であった。このようなテクス
チャを形成すると、磁気ヘッド走行方向に磁界を印加し
て測定した磁性層の磁気特性、例えば保磁力Ｈｃ、残留
磁束密度Ｂｒ、あるいは、保磁力角形比Ｓ＊が、テクス
チャを形成しない場合の値に対して変化し、一般に記録
再生時のＳ／Ｎや分解能が向上する。これはテクスチャ
を形成することにより、磁化容易軸がヘッド走行方向を
向く磁性層中の結晶粒の割合が、磁化容易軸がトラック
幅方向を向く結晶粒の割合よりも多いためと考えられ
る。
【０００６】しかしながら、テクスチャリングにより傷
をつけられた位置、あるいは傷のついていない位置と記
録トラック位置とは必ずしも対応していない。このた
め、同一トラック内でも、場所によりヘッド走行方向に
対する結晶粒の磁化容易軸の方向が異なると考えられ
る。
をつけられた位置、あるいは傷のついていない位置と記
録トラック位置とは必ずしも対応していない。このた
め、同一トラック内でも、場所によりヘッド走行方向に
対する結晶粒の磁化容易軸の方向が異なると考えられ
る。
【０００７】
【発明が解決しようとする課題】前記のように、磁気記
録の高記録密度化に適した記録媒体及び高感度な磁気抵
抗効果型の再生ヘッドが開発されている。この磁気抵抗
効果型の磁気ヘッドは再生感度が高く、かつ、ヘッドの
抵抗が低いため発生する熱雑音が小さい。このため、従
来は電磁誘導型磁気ヘッドから発生する大きなノイズに
隠れていた磁気記録媒体に起因するノイズ（媒体ノイ
ズ）が、装置全体のノイズに対して大きな割合を占める
ようになる。従って、磁気抵抗効果型の磁気ヘッドを用
いて高記録密度化を実現するためには、媒体ノイズを低
減する必要がある。特に、ヘッド走行方向の記録密度、
すなわち線記録密度を高くするためには磁化遷移領域か
ら発生するノイズを低減することが必要である。
録の高記録密度化に適した記録媒体及び高感度な磁気抵
抗効果型の再生ヘッドが開発されている。この磁気抵抗
効果型の磁気ヘッドは再生感度が高く、かつ、ヘッドの
抵抗が低いため発生する熱雑音が小さい。このため、従
来は電磁誘導型磁気ヘッドから発生する大きなノイズに
隠れていた磁気記録媒体に起因するノイズ（媒体ノイ
ズ）が、装置全体のノイズに対して大きな割合を占める
ようになる。従って、磁気抵抗効果型の磁気ヘッドを用
いて高記録密度化を実現するためには、媒体ノイズを低
減する必要がある。特に、ヘッド走行方向の記録密度、
すなわち線記録密度を高くするためには磁化遷移領域か
ら発生するノイズを低減することが必要である。
【０００８】一方、記録密度を向上させるには線記録密
度を向上させることの他に、記録トラック幅方向の記録
密度を向上させることが有効である。しかし、記録トラ
ック幅方向の記録密度を向上させるには、記録ヘッドに
より記録媒体に記録を行なう際、記録トラック以外の領
域、すなわちガ−ドバンドへの書きにじみを少なくする
必要がある。
度を向上させることの他に、記録トラック幅方向の記録
密度を向上させることが有効である。しかし、記録トラ
ック幅方向の記録密度を向上させるには、記録ヘッドに
より記録媒体に記録を行なう際、記録トラック以外の領
域、すなわちガ−ドバンドへの書きにじみを少なくする
必要がある。
【０００９】また、これまでの磁気記録媒体では、記録
トラック内の結晶粒の磁化容易軸の方向を記録トラック
方向としていた。これは、記録トラック内における磁化
容易軸の方向を記録トラック方向とすると、記録トラッ
ク内で高い保磁力が得られ、高密度記録が達成できるか
らである。しかし、この方式にはオーバーライト特性が
悪いという問題があった。
トラック内の結晶粒の磁化容易軸の方向を記録トラック
方向としていた。これは、記録トラック内における磁化
容易軸の方向を記録トラック方向とすると、記録トラッ
ク内で高い保磁力が得られ、高密度記録が達成できるか
らである。しかし、この方式にはオーバーライト特性が
悪いという問題があった。
【００１０】本発明の第１の目的は、磁気記録媒体の同
一トラック内のヘッド走行方向に対する結晶粒の磁化容
易軸の方向を選択することにより、ヘッド走行方向に測
定した保磁力を同一とし、媒体雑音を減少させ高線記録
密度の達成を可能にすると共に、オーバーライト特性を
改善することにある。本発明の第２の目的は、ガ−ドバ
ンドへの書きにじみを少なくすることにより、高トラッ
ク密度の達成を可能にし、また、書きにじみによるノイ
ズを低減することにある。
一トラック内のヘッド走行方向に対する結晶粒の磁化容
易軸の方向を選択することにより、ヘッド走行方向に測
定した保磁力を同一とし、媒体雑音を減少させ高線記録
密度の達成を可能にすると共に、オーバーライト特性を
改善することにある。本発明の第２の目的は、ガ−ドバ
ンドへの書きにじみを少なくすることにより、高トラッ
ク密度の達成を可能にし、また、書きにじみによるノイ
ズを低減することにある。
【００１１】
【課題を解決するための手段】本発明の前記第１の目的
は、磁気記録媒体の磁性層中に形成される記録トラック
内の結晶粒の磁化容易軸方向を記録トラック方向に対し
て２０°〜７０°、典型的には４５°傾斜させることに
より達成される。 また、本発明の第２の目的は、磁気
記録媒体の磁性層中に形成されるガ−ドバンド内の結晶
粒の保磁力と記録トラック内の保磁力を２０％以上異な
らしめることにより達成される。
は、磁気記録媒体の磁性層中に形成される記録トラック
内の結晶粒の磁化容易軸方向を記録トラック方向に対し
て２０°〜７０°、典型的には４５°傾斜させることに
より達成される。 また、本発明の第２の目的は、磁気
記録媒体の磁性層中に形成されるガ−ドバンド内の結晶
粒の保磁力と記録トラック内の保磁力を２０％以上異な
らしめることにより達成される。
【００１２】ガ−ドバンドにおける結晶粒の反転磁界を
記録トラック内の結晶粒の反転磁界とは異なるようにす
るには、ガ−ドバンド内の結晶粒の磁化容易軸の方向を
記録トラック内の結晶粒の磁化容易軸方向と異ならせ
て、トラック方向かあるいはトラック幅方向とすればよ
い。このうち、ガ−ドバンド内の結晶粒の磁化容易軸を
記録トラック方向に向けた場合のほうが雑音を小さくで
きる。ただし、磁気記録を行う前に、媒体全面あるいは
ガ−ドバンド全体を一方向に磁化しておく必要がある。
ガ−ドバンド内の結晶粒の磁化容易軸を記録トラック幅
方向に向けた場合には、磁気記録を行う前に、媒体全面
あるいはガ−ドバンド全体を一方向に磁化しておく必要
が無い。
記録トラック内の結晶粒の反転磁界とは異なるようにす
るには、ガ−ドバンド内の結晶粒の磁化容易軸の方向を
記録トラック内の結晶粒の磁化容易軸方向と異ならせ
て、トラック方向かあるいはトラック幅方向とすればよ
い。このうち、ガ−ドバンド内の結晶粒の磁化容易軸を
記録トラック方向に向けた場合のほうが雑音を小さくで
きる。ただし、磁気記録を行う前に、媒体全面あるいは
ガ−ドバンド全体を一方向に磁化しておく必要がある。
ガ−ドバンド内の結晶粒の磁化容易軸を記録トラック幅
方向に向けた場合には、磁気記録を行う前に、媒体全面
あるいはガ−ドバンド全体を一方向に磁化しておく必要
が無い。
【００１３】前記ガ−ドバンド内の結晶粒の保磁力と記
録トラック内の保磁力を異ならしめることによりガード
バンドへの書きにじみを少なくする手段は、前記本発明
の第１の目的に沿う結晶粒の磁化容易軸方向をトラック
方向に対して２０°〜７０°、典型的には４５°傾斜さ
せた方式だけでなく、磁化容易軸方向を略トラック方向
にした方式にも同様に適用することができる。いずれの
方式を用いるかは、記録ヘッドの特性により定める。記
録ヘッド用磁性材料として高飽和磁化材料を用いる場合
には、磁化容易軸方向を略トラック方向に向ければよ
い。記録ヘッド用材料としてＮｉ−Ｆｅ合金のようにそ
れほど飽和磁化の高くない材料を用いる場合には、結晶
粒の磁化容易軸方向をトラック方向からほぼ４５°傾け
た方向に向けるのが好都合である。
録トラック内の保磁力を異ならしめることによりガード
バンドへの書きにじみを少なくする手段は、前記本発明
の第１の目的に沿う結晶粒の磁化容易軸方向をトラック
方向に対して２０°〜７０°、典型的には４５°傾斜さ
せた方式だけでなく、磁化容易軸方向を略トラック方向
にした方式にも同様に適用することができる。いずれの
方式を用いるかは、記録ヘッドの特性により定める。記
録ヘッド用磁性材料として高飽和磁化材料を用いる場合
には、磁化容易軸方向を略トラック方向に向ければよ
い。記録ヘッド用材料としてＮｉ−Ｆｅ合金のようにそ
れほど飽和磁化の高くない材料を用いる場合には、結晶
粒の磁化容易軸方向をトラック方向からほぼ４５°傾け
た方向に向けるのが好都合である。
【００１４】記録トラック内又はガードバンドの結晶粒
の磁化容易軸を記録トラック方向に対して所望の角度に
調整することは、一旦作製された磁性層の所望の位置を
加熱しながら所定の方向に磁界を印加することによって
行うことができる。加熱の方法としては、例えば電子線
照射法や光照射法がある。
の磁化容易軸を記録トラック方向に対して所望の角度に
調整することは、一旦作製された磁性層の所望の位置を
加熱しながら所定の方向に磁界を印加することによって
行うことができる。加熱の方法としては、例えば電子線
照射法や光照射法がある。
【００１５】
【作用】図１に、カ−効果により測定した、同一トラッ
ク内のヘッド走行方向の保磁力の１００点の測定値の分
散と媒体雑音の関係を示す。媒体雑音は低密度の出力で
規格化した。なお、各点はほぼ同一の保磁力１．５ｋＯ
ｅの媒体に関するものである。図１から、保磁力の分散
が小さくなるにつれて媒体雑音が小さくなることがわか
る。
ク内のヘッド走行方向の保磁力の１００点の測定値の分
散と媒体雑音の関係を示す。媒体雑音は低密度の出力で
規格化した。なお、各点はほぼ同一の保磁力１．５ｋＯ
ｅの媒体に関するものである。図１から、保磁力の分散
が小さくなるにつれて媒体雑音が小さくなることがわか
る。
【００１６】記録トラック内の結晶粒の磁化容易軸方向
をトラック方向からほぼ４５°傾けることで個々の結晶
粒の保磁力をほぼ均一化でき、ヘッド走行方向に測定し
た保磁力が同一となるので、磁化遷移領域から発生する
ノイズを大幅に低減することができ、線記録密度を高め
ることができると共に、オ−バライト特性の優れた媒体
を得ることができる。
をトラック方向からほぼ４５°傾けることで個々の結晶
粒の保磁力をほぼ均一化でき、ヘッド走行方向に測定し
た保磁力が同一となるので、磁化遷移領域から発生する
ノイズを大幅に低減することができ、線記録密度を高め
ることができると共に、オ−バライト特性の優れた媒体
を得ることができる。
【００１７】すなわち、従来のように記録トラック内の
結晶粒の磁界容易軸の方向が記録トラック方向であると
すると、磁化容易軸方向の記録トラック方向からの傾き
を０°とするつもりで例えば１５°傾けてしまったとす
ると、双方の場合の反転磁界の違いは４０％にも達す
る。この結果、トラック方向から傾いた方向に磁化容易
軸を有する結晶粒が他の結晶粒よりも弱い磁界で反転
し、この反転した結晶粒との相互作用によりその近傍の
結晶粒の反転が困難となる。すなわち、オ−バ−ライト
特性が悪くなる。
結晶粒の磁界容易軸の方向が記録トラック方向であると
すると、磁化容易軸方向の記録トラック方向からの傾き
を０°とするつもりで例えば１５°傾けてしまったとす
ると、双方の場合の反転磁界の違いは４０％にも達す
る。この結果、トラック方向から傾いた方向に磁化容易
軸を有する結晶粒が他の結晶粒よりも弱い磁界で反転
し、この反転した結晶粒との相互作用によりその近傍の
結晶粒の反転が困難となる。すなわち、オ−バ−ライト
特性が悪くなる。
【００１８】これに対して、記録トラック内の個々の結
晶粒の磁化容易軸の方向をトラック方向に対して約４５
°傾斜させた場合には、４５°傾けるつもりで２０°し
か傾かない場合、あるいは７０°も傾いてしまった場合
の反転磁界と、４５°傾いた場合の反転磁界の違いはた
かだか１５％であるので、オーバーライト特性がよい。
晶粒の磁化容易軸の方向をトラック方向に対して約４５
°傾斜させた場合には、４５°傾けるつもりで２０°し
か傾かない場合、あるいは７０°も傾いてしまった場合
の反転磁界と、４５°傾いた場合の反転磁界の違いはた
かだか１５％であるので、オーバーライト特性がよい。
【００１９】ただし、記録トラック内の磁化容易軸の方
向をトラック方向から略４５°傾斜した方向に設定する
ようにした場合にも、高い線記録密度を得るためには、
ヘッド走行方向の保磁力をある程度以上の大きな値、望
ましくは１４００ Ｏｅ以上、より望ましくは１８００
Ｏｅ以上とすることが必要である。次に、ヘッド走行方
向に測定した記録トラック部とガ−ドバンド部の保磁力
を異ならしめることは、ガ−ドバンドへの書きにじみを
少なくする手段として有効である。図２に、記録トラッ
ク部とガ−ドバンド部の保磁力の比とビッタ法により測
定した書きにじみ量の関係を示す。双方の保磁力の違い
が大きくなるほど書きにじみ量が少なくなるが、違いが
２０％程度になれば書きにじみ量はほぼ半分になり、書
きにじみ量低減の効果が大きいことがわかる。なお、図
２は記録トラック部の保磁力の方がガ−ドバンド部の保
磁力よりも大きい場合であるが、逆の場合でもほぼ同様
の結果が得られる。
向をトラック方向から略４５°傾斜した方向に設定する
ようにした場合にも、高い線記録密度を得るためには、
ヘッド走行方向の保磁力をある程度以上の大きな値、望
ましくは１４００ Ｏｅ以上、より望ましくは１８００
Ｏｅ以上とすることが必要である。次に、ヘッド走行方
向に測定した記録トラック部とガ−ドバンド部の保磁力
を異ならしめることは、ガ−ドバンドへの書きにじみを
少なくする手段として有効である。図２に、記録トラッ
ク部とガ−ドバンド部の保磁力の比とビッタ法により測
定した書きにじみ量の関係を示す。双方の保磁力の違い
が大きくなるほど書きにじみ量が少なくなるが、違いが
２０％程度になれば書きにじみ量はほぼ半分になり、書
きにじみ量低減の効果が大きいことがわかる。なお、図
２は記録トラック部の保磁力の方がガ−ドバンド部の保
磁力よりも大きい場合であるが、逆の場合でもほぼ同様
の結果が得られる。
【００２０】
【実施例】本発明で用いた装置構成を図３〜図６により
説明する。図３ａ及び図３ｂは、磁気記録装置の平面図
及び断面図である。この周知の磁気記録装置は、磁気記
録媒体３１、これを回転駆動する駆動部３２、磁気ヘッ
ド３３及びその駆動手段３４、磁気ヘッドの記録再生信
号処理手段３５を有する。
説明する。図３ａ及び図３ｂは、磁気記録装置の平面図
及び断面図である。この周知の磁気記録装置は、磁気記
録媒体３１、これを回転駆動する駆動部３２、磁気ヘッ
ド３３及びその駆動手段３４、磁気ヘッドの記録再生信
号処理手段３５を有する。
【００２１】この磁気記録装置に用いた磁気ヘッドの構
造を図４に示す。磁気ヘッドは、基体４８の上に形成さ
れた記録用の電磁誘導型磁気ヘッドと、再生用の磁気抵
抗効果型ヘッドを組み合わせた記録再生分離型ヘッドで
ある。磁気抵抗センサ４１を下部シールド層４２と上部
シールド層４３で挟んだ部分が再生ヘッドとして働き、
コイル４４を挟む下部記録磁極４５と上部記録磁極４６
が記録ヘッドとして働く。磁気抵抗センサ４１からの出
力信号は、電極パタン４７を介して外部に取り出され
る。
造を図４に示す。磁気ヘッドは、基体４８の上に形成さ
れた記録用の電磁誘導型磁気ヘッドと、再生用の磁気抵
抗効果型ヘッドを組み合わせた記録再生分離型ヘッドで
ある。磁気抵抗センサ４１を下部シールド層４２と上部
シールド層４３で挟んだ部分が再生ヘッドとして働き、
コイル４４を挟む下部記録磁極４５と上部記録磁極４６
が記録ヘッドとして働く。磁気抵抗センサ４１からの出
力信号は、電極パタン４７を介して外部に取り出され
る。
【００２２】磁気抵抗センサ４１の断面構造を図５に示
す。この磁気抵抗センサは、シールド層と磁気抵抗セン
サの間のギャップ層５１の上に形成された強磁性材料の
薄膜磁気抵抗性導電層５３、この薄膜磁気抵抗性導電層
を単一磁区とするための反強磁性磁区制御層５２、上記
薄膜磁気抵抗性導電層の感磁部５４における薄膜磁気抵
抗性導電層と反強磁性磁区制御層の間の交換相互作用を
絶ち切るための非磁性層５５、感磁部に対するバイアス
磁界を発生できる手段として軟磁性層もしくは永久磁石
膜バイアス層５７、軟磁性層もしくは永久磁石膜バイア
ス層と薄膜磁気抵抗性導電層の間の電流分流比を調節す
るための高抵抗層５６を含む。
す。この磁気抵抗センサは、シールド層と磁気抵抗セン
サの間のギャップ層５１の上に形成された強磁性材料の
薄膜磁気抵抗性導電層５３、この薄膜磁気抵抗性導電層
を単一磁区とするための反強磁性磁区制御層５２、上記
薄膜磁気抵抗性導電層の感磁部５４における薄膜磁気抵
抗性導電層と反強磁性磁区制御層の間の交換相互作用を
絶ち切るための非磁性層５５、感磁部に対するバイアス
磁界を発生できる手段として軟磁性層もしくは永久磁石
膜バイアス層５７、軟磁性層もしくは永久磁石膜バイア
ス層と薄膜磁気抵抗性導電層の間の電流分流比を調節す
るための高抵抗層５６を含む。
【００２３】磁気記録媒体としては、図６に模式的に示
すような断面構造を持つ磁気記録媒体を用いた。この磁
気記録媒体はＡｌ−Ｍｇ合金、化学強化ガラス、Ｔｉ、
Ｓｉ、Ｓｉ−Ｃ、カーボン、結晶化ガラスあるいはセラ
ミックス等からなる基板６１、Ａｌ−Ｍｇ合金を基板と
して用いた場合にその両面に形成されたＮｉ−Ｐ、Ｎｉ
−Ｗ−Ｐ等からなる非磁性メッキ層６２、Ｃｒ、Ｍｏ、
Ｗ又はこれらのいずれかを主な成分とする合金からなる
下地層６３、Ｃｏ−Ｎｉ、Ｃｏ−Ｃｒ、Ｃｏ−Ｒｅ、Ｃ
ｏ−Ｐｔ、Ｃｏ−Ｐ、Ｃｏ−Ｆｅ、Ｃｏ−Ｎｉ−Ｚｒ、
Ｃｏ−Ｃｒ−Ｐｔ−Ｂ、Ｃｏ−Ｃｒ−Ａｌ、Ｃｏ−Ｃｒ
−Ｔａ、Ｃｏ−Ｃｒ−Ｐｔ、Ｃｏ−Ｎｉ−Ｃｒ、Ｃｏ−
Ｃｒ−Ｎｂ、Ｃｏ−Ｎｉ−Ｐ、Ｃｏ−Ｎｉ−Ｐｔ、Ｃｏ
−Ｃｒ−Ｓｉ等からなる磁性層６４、カーボン、ボロ
ン、炭化シリコン、窒化シリコン、二酸化シリコン、タ
ングステン・カーバイト、（Ｗ−Ｍｏ）−Ｃ、（Ｗ−Ｚ
ｒ）−Ｃ等からなる保護層６５、及びパーフロルオロア
ルキルポリエーテル等の潤滑層６６を含む。
すような断面構造を持つ磁気記録媒体を用いた。この磁
気記録媒体はＡｌ−Ｍｇ合金、化学強化ガラス、Ｔｉ、
Ｓｉ、Ｓｉ−Ｃ、カーボン、結晶化ガラスあるいはセラ
ミックス等からなる基板６１、Ａｌ−Ｍｇ合金を基板と
して用いた場合にその両面に形成されたＮｉ−Ｐ、Ｎｉ
−Ｗ−Ｐ等からなる非磁性メッキ層６２、Ｃｒ、Ｍｏ、
Ｗ又はこれらのいずれかを主な成分とする合金からなる
下地層６３、Ｃｏ−Ｎｉ、Ｃｏ−Ｃｒ、Ｃｏ−Ｒｅ、Ｃ
ｏ−Ｐｔ、Ｃｏ−Ｐ、Ｃｏ−Ｆｅ、Ｃｏ−Ｎｉ−Ｚｒ、
Ｃｏ−Ｃｒ−Ｐｔ−Ｂ、Ｃｏ−Ｃｒ−Ａｌ、Ｃｏ−Ｃｒ
−Ｔａ、Ｃｏ−Ｃｒ−Ｐｔ、Ｃｏ−Ｎｉ−Ｃｒ、Ｃｏ−
Ｃｒ−Ｎｂ、Ｃｏ−Ｎｉ−Ｐ、Ｃｏ−Ｎｉ−Ｐｔ、Ｃｏ
−Ｃｒ−Ｓｉ等からなる磁性層６４、カーボン、ボロ
ン、炭化シリコン、窒化シリコン、二酸化シリコン、タ
ングステン・カーバイト、（Ｗ−Ｍｏ）−Ｃ、（Ｗ−Ｚ
ｒ）−Ｃ等からなる保護層６５、及びパーフロルオロア
ルキルポリエーテル等の潤滑層６６を含む。
【００２４】以下に、本発明の実施例を説明する。 〔実施例１〕本発明の一実施例による磁気記録媒体の作
製方法を説明する。外径９５ｍｍ、内径２５ｍｍ、厚さ
０．４ｍｍのＡｌ―４ｗｔ％Ｍｇ（原子記号の前に付し
た数字は当該素材の含有量を示す）からなるディスク基
板の両面にＮｉ―１２ｗｔ％Ｐからなるメッキ層を厚さ
が１３μｍとなるよう形成した。この非磁性基板の表面
を、ラッピングマシンを用いて表面中心線平均粗さＲａ
が１ｎｍ以下となるまで平滑に研磨し、洗浄、さらに乾
燥した。このように形成されたディスク基板を、マグネ
トロンスパッタリング装置内で２５０℃まで真空中で昇
温し、２ｍＴｏｒｒのアルゴン圧の条件のもとで厚さ５
０ｎｍのＣｒ下地層を形成した。下地層の上にＣｏ―１
６ａｔ％Ｃｒ―４ａｔ％Ｔａからなる厚さ１２ｎｍの磁
性層を積層した。
製方法を説明する。外径９５ｍｍ、内径２５ｍｍ、厚さ
０．４ｍｍのＡｌ―４ｗｔ％Ｍｇ（原子記号の前に付し
た数字は当該素材の含有量を示す）からなるディスク基
板の両面にＮｉ―１２ｗｔ％Ｐからなるメッキ層を厚さ
が１３μｍとなるよう形成した。この非磁性基板の表面
を、ラッピングマシンを用いて表面中心線平均粗さＲａ
が１ｎｍ以下となるまで平滑に研磨し、洗浄、さらに乾
燥した。このように形成されたディスク基板を、マグネ
トロンスパッタリング装置内で２５０℃まで真空中で昇
温し、２ｍＴｏｒｒのアルゴン圧の条件のもとで厚さ５
０ｎｍのＣｒ下地層を形成した。下地層の上にＣｏ―１
６ａｔ％Ｃｒ―４ａｔ％Ｔａからなる厚さ１２ｎｍの磁
性層を積層した。
【００２５】引き続き、ディスクを１０ｒｐｍの回転速
度で回転させながらガ−ドバンドに相当する部分に幅
０．２５μｍ、長さ０．７μｍの矩形形状の電子線を照
射しつつ、この部分の半径方向に５ｋＯｅの磁界を印加
した。磁界は電磁石により印加するため、ディスク全面
に印加される。この状態でディスクを１０回転させた。
なお、電子線の幅方向とガ−ドバンドの幅方向は一致す
るようにした。次に電子線照射位置を次のガ−ドバンド
に移動させ、この位置でまたディスクを１０回転させ
た。このようにしてすべてのガ−ドバンドに電子線を照
射した。
度で回転させながらガ−ドバンドに相当する部分に幅
０．２５μｍ、長さ０．７μｍの矩形形状の電子線を照
射しつつ、この部分の半径方向に５ｋＯｅの磁界を印加
した。磁界は電磁石により印加するため、ディスク全面
に印加される。この状態でディスクを１０回転させた。
なお、電子線の幅方向とガ−ドバンドの幅方向は一致す
るようにした。次に電子線照射位置を次のガ−ドバンド
に移動させ、この位置でまたディスクを１０回転させ
た。このようにしてすべてのガ−ドバンドに電子線を照
射した。
【００２６】次に、ディスクを１０ｒｐｍの回転速度で
回転させながら記録トラックに相当する部分に幅１．０
μｍ長さ１．０μｍの電子線を照射しつつ、この部分の
円周方向に５ｋＯｅの磁界を印加した。この状態でディ
スクを１０回転させた後、電子線照射位置を次々に移動
し全ての記録トラックに電子線を照射した。その後、磁
性層上に厚さ３０ｎｍのカーボン保護層を形成し、最後
に当該保護層上に吸着性のパーフルオロアルキルポリエ
ーテルの潤滑層を形成した。
回転させながら記録トラックに相当する部分に幅１．０
μｍ長さ１．０μｍの電子線を照射しつつ、この部分の
円周方向に５ｋＯｅの磁界を印加した。この状態でディ
スクを１０回転させた後、電子線照射位置を次々に移動
し全ての記録トラックに電子線を照射した。その後、磁
性層上に厚さ３０ｎｍのカーボン保護層を形成し、最後
に当該保護層上に吸着性のパーフルオロアルキルポリエ
ーテルの潤滑層を形成した。
【００２７】こうして形成された磁気記録媒体をＸ線回
折により分析した結果、Ｃｒ下地層では（１００）ある
いは（１１０）結晶面が基板と略並行となるように結晶
が配向成長し、磁性層は（１１０）面が基板と略並行と
なるよう配向成長していた。カ−効果を用いて、この磁
気記録媒体のディスク円周方向に磁界を印加して測定し
た保磁力Ｈｃ（θ）は、記録トラック部では１９７０
Ｏｅ、ガ−ドバンド部では６５０ Ｏｅ、残留磁束密度・
総磁性層厚積（Ｂｒ×ｔ）は１３２Ｇ・μｍであった。
測定位置による保磁力の相違は１５０ Ｏｅであった。
また、同じくカ−効果を用いて、ディスク半径方向に磁
界を印加して測定した保磁力Ｈｃ（θ）は、記録トラッ
ク部では６８０ Ｏｅ、ガ−ドバンド部では１９５０ Ｏ
ｅであった。媒体表面の磁気ヘッド走行方向に測定した
中心線平均粗さＲａ（θ）は０．２ｎｍであった。
折により分析した結果、Ｃｒ下地層では（１００）ある
いは（１１０）結晶面が基板と略並行となるように結晶
が配向成長し、磁性層は（１１０）面が基板と略並行と
なるよう配向成長していた。カ−効果を用いて、この磁
気記録媒体のディスク円周方向に磁界を印加して測定し
た保磁力Ｈｃ（θ）は、記録トラック部では１９７０
Ｏｅ、ガ−ドバンド部では６５０ Ｏｅ、残留磁束密度・
総磁性層厚積（Ｂｒ×ｔ）は１３２Ｇ・μｍであった。
測定位置による保磁力の相違は１５０ Ｏｅであった。
また、同じくカ−効果を用いて、ディスク半径方向に磁
界を印加して測定した保磁力Ｈｃ（θ）は、記録トラッ
ク部では６８０ Ｏｅ、ガ−ドバンド部では１９５０ Ｏ
ｅであった。媒体表面の磁気ヘッド走行方向に測定した
中心線平均粗さＲａ（θ）は０．２ｎｍであった。
【００２８】本実施例の磁気記録装置を用い、磁気ヘッ
ドスライダのヘッド浮上量７０ｎｍ、線記録密度１２０
ｋＢＰＩ、トラック密度１０ｋＴＰＩの条件で記録再生
特性を評価したところ、１．２の装置Ｓ／Ｎ（振幅比）
が得られた。オ−バライト特性は−２８ｄＢであった。
また、磁気ヘッドの入出力信号に信号処理を施すことに
より、ヘッド浮上量７０ｎｍで１平方インチ当たり１２
００メガビットの情報を記録再生することができた。し
かも、内周から外周までのヘッドシーク試験５万回後の
ビットエラー数は１０ビット／面以下であり、平均故障
間隔（ＭＴＢＦ）で１５万時間が達成できた。記録密度
を１平方インチ当たり６００メガビットとした場合に
は、ヘッド浮上量１１０ｎｍで記録再生することがで
き、ＭＴＢＦで３０万時間が達成できた。
ドスライダのヘッド浮上量７０ｎｍ、線記録密度１２０
ｋＢＰＩ、トラック密度１０ｋＴＰＩの条件で記録再生
特性を評価したところ、１．２の装置Ｓ／Ｎ（振幅比）
が得られた。オ−バライト特性は−２８ｄＢであった。
また、磁気ヘッドの入出力信号に信号処理を施すことに
より、ヘッド浮上量７０ｎｍで１平方インチ当たり１２
００メガビットの情報を記録再生することができた。し
かも、内周から外周までのヘッドシーク試験５万回後の
ビットエラー数は１０ビット／面以下であり、平均故障
間隔（ＭＴＢＦ）で１５万時間が達成できた。記録密度
を１平方インチ当たり６００メガビットとした場合に
は、ヘッド浮上量１１０ｎｍで記録再生することがで
き、ＭＴＢＦで３０万時間が達成できた。
【００２９】〔実施例２〕実施例１と同様の構成を持つ
磁気記録装置において、磁気ヘッドの記録磁極にスパッ
タ法により作成したＮｉ−Ｆｅ合金膜を用いた。媒体用
基板として、直径２．５インチ、厚さ０．４ｍｍのガラ
ス基板を用いた。その上に、基板側の下地層として、２
ｍＴｏｒｒのアルゴン圧の条件のもとで厚さ１５０ｎｍ
のＺｒ層を形成した。さらに、その上に、実施例１と同
様のＣｒ下地層及び磁性層を形成した。
磁気記録装置において、磁気ヘッドの記録磁極にスパッ
タ法により作成したＮｉ−Ｆｅ合金膜を用いた。媒体用
基板として、直径２．５インチ、厚さ０．４ｍｍのガラ
ス基板を用いた。その上に、基板側の下地層として、２
ｍＴｏｒｒのアルゴン圧の条件のもとで厚さ１５０ｎｍ
のＺｒ層を形成した。さらに、その上に、実施例１と同
様のＣｒ下地層及び磁性層を形成した。
【００３０】引き続き、ディスクを１０ｒｐｍの回転速
度で回転させながらガ−ドバンドに相当する部分に幅
０．２５μｍ長さ０．７μｍの矩形形状の電子線を照射
しつつ、この部分の半径方向に５ｋＯｅの磁界を印加し
た。磁界は電磁石により印加するため、ディスク全面に
印加される。この状態でディスクを１０回転させた。な
お、電子線の幅方向とガ−ドバンドの幅方向は一致する
ようにした。次に電子線照射位置を次のガ−ドバンドに
移動させ、この位置でまたディスクを１０回転させた。
このようにして全てのガ−ドバンドに電子線を照射し
た。
度で回転させながらガ−ドバンドに相当する部分に幅
０．２５μｍ長さ０．７μｍの矩形形状の電子線を照射
しつつ、この部分の半径方向に５ｋＯｅの磁界を印加し
た。磁界は電磁石により印加するため、ディスク全面に
印加される。この状態でディスクを１０回転させた。な
お、電子線の幅方向とガ−ドバンドの幅方向は一致する
ようにした。次に電子線照射位置を次のガ−ドバンドに
移動させ、この位置でまたディスクを１０回転させた。
このようにして全てのガ−ドバンドに電子線を照射し
た。
【００３１】次に、ディスクを１０ｒｐｍの回転速度で
回転させながら記録トラックに相当する部分に幅１．０
μｍ、長さ１．０μｍの電子線を照射しつつ、この部分
の円周方向から半径方向に４５°傾いた方向に５ｋＯｅ
の磁界を印加した。この状態でディスクを１０回転させ
た後、電子線照射位置を次々に移動し全ての記録トラッ
クに電子線を照射した。引き続き、カーボン保護層、及
び、潤滑層を順次形成した。
回転させながら記録トラックに相当する部分に幅１．０
μｍ、長さ１．０μｍの電子線を照射しつつ、この部分
の円周方向から半径方向に４５°傾いた方向に５ｋＯｅ
の磁界を印加した。この状態でディスクを１０回転させ
た後、電子線照射位置を次々に移動し全ての記録トラッ
クに電子線を照射した。引き続き、カーボン保護層、及
び、潤滑層を順次形成した。
【００３２】こうして形成された磁気記録媒体をＸ線回
折により分析した結果、Ｃｒ下地層では（１００）ある
いは（１１０）結晶面が基板と略並行となるように結晶
が配向成長し、磁性層は（１１０）面が基板と略並行と
なるよう配向成長していた。カ−効果によって、この磁
気記録媒体のディスク円周方向に磁界を印加して測定し
た記録トラック部のＨｃ（θ）は１４５０ Ｏｅ、ガ−
ドバンド部のＨｃは６５０ Ｏｅ、残留磁束密度・総磁性
層厚積（Ｂｒ×ｔ）は１２９Ｇ・μｍであった。測定位
置による保磁力の相違は２０ Ｏｅであった。また、同
じくカ−効果を用いて、ディスク半径方向に磁界を印加
して測定した保磁力Ｈｃ（θ）は、記録トラック部では
１４３０ Ｏｅ、ガ−ドバンド部では１９５０ Ｏｅであ
った。媒体表面の磁気ヘッド走行方向に測定した中心線
平均粗さＲａ（θ）は０．２ｎｍであった。
折により分析した結果、Ｃｒ下地層では（１００）ある
いは（１１０）結晶面が基板と略並行となるように結晶
が配向成長し、磁性層は（１１０）面が基板と略並行と
なるよう配向成長していた。カ−効果によって、この磁
気記録媒体のディスク円周方向に磁界を印加して測定し
た記録トラック部のＨｃ（θ）は１４５０ Ｏｅ、ガ−
ドバンド部のＨｃは６５０ Ｏｅ、残留磁束密度・総磁性
層厚積（Ｂｒ×ｔ）は１２９Ｇ・μｍであった。測定位
置による保磁力の相違は２０ Ｏｅであった。また、同
じくカ−効果を用いて、ディスク半径方向に磁界を印加
して測定した保磁力Ｈｃ（θ）は、記録トラック部では
１４３０ Ｏｅ、ガ−ドバンド部では１９５０ Ｏｅであ
った。媒体表面の磁気ヘッド走行方向に測定した中心線
平均粗さＲａ（θ）は０．２ｎｍであった。
【００３３】本実施例の磁気記録装置を用い、磁気ヘッ
ドスライダのヘッド浮上量７０ｎｍ、線記録密度１００
ｋＢＰＩ、トラック密度１０ｋＴＰＩの条件で記録再生
特性を評価したところ、１．６の装置Ｓ／Ｎ（振幅比）
が得られた。オ−バライト特性は−３５ｄＢであった。
また、磁気ヘッドの入出力信号に信号処理を施すことに
より、ヘッド浮上量７０ｎｍで１平方インチ当たり１０
００メガビットの情報を記録再生することができた。し
かも、内周から外周までのヘッドシーク試験５万回後の
ビットエラー数は１０ビット／面以下であり、ＭＴＢＦ
で１５万時間が達成できた。記録密度を１平方インチ当
たり３００メガビットとした場合には、ヘッド浮上量１
１０ｎｍで記録再生することができ、ＭＴＢＦで３０万
時間が達成できた。
ドスライダのヘッド浮上量７０ｎｍ、線記録密度１００
ｋＢＰＩ、トラック密度１０ｋＴＰＩの条件で記録再生
特性を評価したところ、１．６の装置Ｓ／Ｎ（振幅比）
が得られた。オ−バライト特性は−３５ｄＢであった。
また、磁気ヘッドの入出力信号に信号処理を施すことに
より、ヘッド浮上量７０ｎｍで１平方インチ当たり１０
００メガビットの情報を記録再生することができた。し
かも、内周から外周までのヘッドシーク試験５万回後の
ビットエラー数は１０ビット／面以下であり、ＭＴＢＦ
で１５万時間が達成できた。記録密度を１平方インチ当
たり３００メガビットとした場合には、ヘッド浮上量１
１０ｎｍで記録再生することができ、ＭＴＢＦで３０万
時間が達成できた。
【００３４】〔実施例３〕実施例２と同様の構成を持つ
磁気記録装置において、基板として直径２．５インチ、
厚さ０．４ｍｍのＳｉ−Ｃ基板を用いた。その上に、２
ｍＴｏｒｒのアルゴン圧の条件のもとで厚さ５０ｎｍの
Ｃｒ下地層、磁性層として厚さ１３ｎｍのＣｏ―１６ａ
ｔ％Ｃｒ―４ａｔ％Ｔａ層を順次積層した。
磁気記録装置において、基板として直径２．５インチ、
厚さ０．４ｍｍのＳｉ−Ｃ基板を用いた。その上に、２
ｍＴｏｒｒのアルゴン圧の条件のもとで厚さ５０ｎｍの
Ｃｒ下地層、磁性層として厚さ１３ｎｍのＣｏ―１６ａ
ｔ％Ｃｒ―４ａｔ％Ｔａ層を順次積層した。
【００３５】引き続き、ディスクを１０ｒｐｍの回転速
度で回転させながら、ガ−ドバンドに相当する部分に幅
０．２５μｍ長さ０．７μｍの長方形状の電子線を照射
しつつ、この部分の円周方向に５ｋＯｅの磁界を印加し
た。磁界は電磁石により印加するため、ディスク全面に
印加される。この状態でディスクを１０回転させた。な
お、電子線の幅方向とガ−ドバンドの幅方向は一致する
ようにした。次に電子線照射位置を次のガ−ドバンドに
移動させ、この位置でまたディスクを１０回転させた。
このようにしてすべてのガ−ドバンドに電子線を照射し
た。
度で回転させながら、ガ−ドバンドに相当する部分に幅
０．２５μｍ長さ０．７μｍの長方形状の電子線を照射
しつつ、この部分の円周方向に５ｋＯｅの磁界を印加し
た。磁界は電磁石により印加するため、ディスク全面に
印加される。この状態でディスクを１０回転させた。な
お、電子線の幅方向とガ−ドバンドの幅方向は一致する
ようにした。次に電子線照射位置を次のガ−ドバンドに
移動させ、この位置でまたディスクを１０回転させた。
このようにしてすべてのガ−ドバンドに電子線を照射し
た。
【００３６】次に、ディスクを１０ｒｐｍの回転速度で
回転させながら記録トラックに相当する部分に幅１．０
μｍ、長さ１．０μｍの電子線を照射しつつ、この部分
の円周方向から半径方向に４５°傾いた方向に５ｋＯｅ
の磁界を印加した。この状態でディスクを１０回転させ
た後、電子線照射位置を次々に移動し全ての記録トラッ
クに電子線を照射した。さらに、その上に、実施例１と
同様のカーボン保護層と潤滑層を順次形成した。
回転させながら記録トラックに相当する部分に幅１．０
μｍ、長さ１．０μｍの電子線を照射しつつ、この部分
の円周方向から半径方向に４５°傾いた方向に５ｋＯｅ
の磁界を印加した。この状態でディスクを１０回転させ
た後、電子線照射位置を次々に移動し全ての記録トラッ
クに電子線を照射した。さらに、その上に、実施例１と
同様のカーボン保護層と潤滑層を順次形成した。
【００３７】こうして形成された磁気記録媒体をＸ線回
折により分析した結果、Ｃｒ下地層では（１００）ある
いは（１１０）結晶面が基板と略並行となるように結晶
が配向成長し、磁性層は（１１０）面が基板と略並行と
なるよう配向成長していた。カ−効果を用いて、この磁
気記録媒体のディスク円周方向に磁界を印加して測定し
た記録トラック部のＨｃ（θ）は１４５０ Ｏｅ、ガ−
ドバンド部のＨｃは１９８０ Ｏｅ、残留磁束密度・総磁
性層厚積（Ｂｒ×ｔ）は１２９Ｇ・μｍであった。測定
位置による保磁力の相違は２０ Ｏｅであった。また、
同じくカ−効果を用いて、ディスク半径方向に磁界を印
加して測定した保磁力Ｈｃ（θ）は、記録トラック部で
は１４３０ Ｏｅ、ガ−ドバンド部では６７０ Ｏｅであ
った。媒体表面の磁気ヘッド走行方向に測定した中心線
平均粗さＲａ（θ）は０．２ｎｍであった。
折により分析した結果、Ｃｒ下地層では（１００）ある
いは（１１０）結晶面が基板と略並行となるように結晶
が配向成長し、磁性層は（１１０）面が基板と略並行と
なるよう配向成長していた。カ−効果を用いて、この磁
気記録媒体のディスク円周方向に磁界を印加して測定し
た記録トラック部のＨｃ（θ）は１４５０ Ｏｅ、ガ−
ドバンド部のＨｃは１９８０ Ｏｅ、残留磁束密度・総磁
性層厚積（Ｂｒ×ｔ）は１２９Ｇ・μｍであった。測定
位置による保磁力の相違は２０ Ｏｅであった。また、
同じくカ−効果を用いて、ディスク半径方向に磁界を印
加して測定した保磁力Ｈｃ（θ）は、記録トラック部で
は１４３０ Ｏｅ、ガ−ドバンド部では６７０ Ｏｅであ
った。媒体表面の磁気ヘッド走行方向に測定した中心線
平均粗さＲａ（θ）は０．２ｎｍであった。
【００３８】本実施例の磁気記録装置を用い、磁気ヘッ
ドスライダのヘッド浮上量７０ｎｍ、線記録密度１００
ｋＢＰＩ、トラック密度１０ｋＴＰＩの条件で記録再生
特性を評価したところ、装置Ｓ／Ｎ（振幅比）は１．１
であった。オ−バライト特性は−３４ｄＢであった。ま
た、磁気ヘッドの入出力信号に信号処理を施すことによ
り、ヘッド浮上量７０ｎｍで１平方インチ当たり１００
０メガビットの情報を記録再生することができた。しか
も、内周から外周までのヘッドシーク試験５万回後のビ
ットエラー数は１０ビット／面以下であり、ＭＴＢＦで
１５万時間が達成できた。記録密度を１平方インチ当た
り６００メガビットとした場合には、ヘッド浮上量１１
０ｎｍで記録再生することができ、ＭＴＢＦで３０万時
間が達成できた。
ドスライダのヘッド浮上量７０ｎｍ、線記録密度１００
ｋＢＰＩ、トラック密度１０ｋＴＰＩの条件で記録再生
特性を評価したところ、装置Ｓ／Ｎ（振幅比）は１．１
であった。オ−バライト特性は−３４ｄＢであった。ま
た、磁気ヘッドの入出力信号に信号処理を施すことによ
り、ヘッド浮上量７０ｎｍで１平方インチ当たり１００
０メガビットの情報を記録再生することができた。しか
も、内周から外周までのヘッドシーク試験５万回後のビ
ットエラー数は１０ビット／面以下であり、ＭＴＢＦで
１５万時間が達成できた。記録密度を１平方インチ当た
り６００メガビットとした場合には、ヘッド浮上量１１
０ｎｍで記録再生することができ、ＭＴＢＦで３０万時
間が達成できた。
【００３９】前記実施例においては、熱処理に用いる熱
源として電子線を用いたが、電子線の代わりに光線を用
いても同様の効果が得られる。
源として電子線を用いたが、電子線の代わりに光線を用
いても同様の効果が得られる。
【００４０】
【発明の効果】本発明によれば、狭トラック幅で高い媒
体Ｓ／Ｎが得られる。すなわち、記録トラック内のヘッ
ド走行方向の保磁力の分散を小さくできるので媒体雑音
を低減できると共に、オーバーライト特性を改善するこ
とができる。また、ガードバンドへの書きにじみを低減
することができるので、高いトラック密度を実現するこ
とができる。
体Ｓ／Ｎが得られる。すなわち、記録トラック内のヘッ
ド走行方向の保磁力の分散を小さくできるので媒体雑音
を低減できると共に、オーバーライト特性を改善するこ
とができる。また、ガードバンドへの書きにじみを低減
することができるので、高いトラック密度を実現するこ
とができる。
【００４１】さらに、本発明ではテクスチャを用いない
ため、磁気記録媒体表面の凹凸が小さいので、安定した
ヘッドの浮上特性が得られ、また、高品位なヘッド位置
決め用サーボ信号が得られるので、１平方インチ当たり
６００メガビットの高い記録密度で、１５万時間以上の
平均故障間隔を実現できる。また、記録密度を１平方イ
ンチ当たり３００メガビットとした場合には３０万時間
以上の平均故障間隔を実現できる。さらに、ディスク基
板と磁気ヘッドスライダを高密度に実装できるので、小
型大容量の磁気記録装置を提供できる。
ため、磁気記録媒体表面の凹凸が小さいので、安定した
ヘッドの浮上特性が得られ、また、高品位なヘッド位置
決め用サーボ信号が得られるので、１平方インチ当たり
６００メガビットの高い記録密度で、１５万時間以上の
平均故障間隔を実現できる。また、記録密度を１平方イ
ンチ当たり３００メガビットとした場合には３０万時間
以上の平均故障間隔を実現できる。さらに、ディスク基
板と磁気ヘッドスライダを高密度に実装できるので、小
型大容量の磁気記録装置を提供できる。
【図１】保磁力の分散と媒体雑音の関係を示す図。
【図２】記録トラック部の保磁力とガ−ドバンド部の保
磁力の比と、書きにじみ量の関係を示す図。
磁力の比と、書きにじみ量の関係を示す図。
【図３】（ａ）は磁気記録装置の平面模式図、（ｂ）は
そのＡ−Ａ’断面図。
そのＡ−Ａ’断面図。
【図４】磁気ヘッドの断面構造の一例を示す斜視図。
【図５】磁気ヘッドの磁気抵抗センサ部の断面構造の一
例を示す模式図。
例を示す模式図。
【図６】磁気記録媒体の断面構造の一例を示す斜視図。
３１…磁気記録媒体、３２…磁気記録媒体駆動部、３３
…磁気ヘッド、３４…磁気ヘッド駆動部、３５…記録再
生信号処理系、４１…磁気抵抗センサ、４２…下部シー
ルド層、４３…上部シールド層、４４…コイル、４５…
下部記録磁極、４６…上部記録磁極、４７…導体層、４
８…基体、５１…ギャップ層、５２…反強磁性磁区制御
層、５３…薄膜磁気抵抗性導電層、５４…感磁部、５５
…非磁性層、５６…高抵抗層、５７..軟磁性層もしくは
永久磁石膜バイアス層、６１…基板、６２…非磁性メッ
キ層、６３…下地層、６４…磁性層、６５…保護層、６
６…潤滑層。
…磁気ヘッド、３４…磁気ヘッド駆動部、３５…記録再
生信号処理系、４１…磁気抵抗センサ、４２…下部シー
ルド層、４３…上部シールド層、４４…コイル、４５…
下部記録磁極、４６…上部記録磁極、４７…導体層、４
８…基体、５１…ギャップ層、５２…反強磁性磁区制御
層、５３…薄膜磁気抵抗性導電層、５４…感磁部、５５
…非磁性層、５６…高抵抗層、５７..軟磁性層もしくは
永久磁石膜バイアス層、６１…基板、６２…非磁性メッ
キ層、６３…下地層、６４…磁性層、６５…保護層、６
６…潤滑層。
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (72)発明者 石川 晃 東京都国分寺市東恋ケ窪一丁目280番地 株式会社日立製作所中央研究所内 (72)発明者 城石 芳博 東京都国分寺市東恋ケ窪一丁目280番地 株式会社日立製作所中央研究所内 (72)発明者 細江 譲 東京都国分寺市東恋ケ窪一丁目280番地 株式会社日立製作所中央研究所内
Claims (14)
- 【請求項１】 少なくとも磁性層を含む磁気記録媒体に
おいて、磁性層中の記録トラックの磁化容易軸方向がト
ラック方向からトラック幅方向に対して２０°〜７０°
傾斜していることを特徴とする磁気記録媒体。 - 【請求項２】 少なくとも磁性層を含み、該磁性層中に
ガードバンド部を間に介在させて複数の記録トラックを
配列した磁気記録媒体において、 記録トラックの磁化容易軸方向がトラック方向からトラ
ック幅方向に対して２０°〜７０°傾斜していることを
特徴とする磁気記録媒体。 - 【請求項３】 前記磁化容易軸方向がトラック方向から
トラック幅方向に対して略４５°傾斜していることを特
徴とする請求項１又は２記載の磁気記録媒体。 - 【請求項４】 少なくとも磁性層を含み、該磁性層中に
ガードバンド部を間に介在させて複数の記録トラックが
配列された磁気記録媒体において、 記録トラック内のトラック方向の保磁力とガードバンド
部のトラック方向の保磁力が２０％以上異なっているこ
とを特徴とする磁気記録媒体。 - 【請求項５】 記録トラック内とガードバンド部とで磁
化容易軸方向が異なっていることを特徴とする請求項４
記載の磁気記録媒体。 - 【請求項６】 記録トラック内の磁化容易軸方向が略ト
ラック方向であり、ガ−ドバンド部の磁化容易軸が略ト
ラック幅方向であることを特徴とする請求項５記載の磁
気記録媒体。 - 【請求項７】 記録トラック内の磁化容易軸方向がトラ
ック方向からトラック幅方向に対して２０°〜７０°傾
斜し、ガ−ドバンド部の磁化容易軸方向が略トラック幅
方向であることを特徴とする請求項５記載の磁気記録媒
体。 - 【請求項８】 記録トラック内の磁化容易軸方向がトラ
ック方向からトラック幅方向に対して２０〜７０°傾斜
し、ガ−ドバンド部の磁化容易軸方向が略トラック方向
であることを特徴とする請求項５記載の磁気記録媒体。 - 【請求項９】 記録トラック内の磁化容易軸方向がトラ
ック方向からトラック幅方向に対して略４５°傾斜して
いることを特徴とする請求項７又は８記載の磁気記録媒
体。 - 【請求項１０】 線記録密度が１００ｋＢＰＩ以上及び
／又は記録トラック密度が５ｋＴＰＩ以上であることを
特徴とする請求項１〜９のいずれか１項記載の磁気記録
媒体。 - 【請求項１１】 記録トラック方向に磁界を印加して測
定した記録トラック部の保磁力Ｈｃ（θ）が１４００エ
ルステッド以上であることを特徴とする請求項１〜１０
のいずれか１項記載の磁気記録媒体。 - 【請求項１２】 請求項１〜１１のいずれか１項記載の
磁気記録媒体と、前記磁気記録媒体を駆動する駆動部
と、記録部及び磁気抵抗効果型磁気ヘッドで構成された
再生部を含む磁気ヘッドと、前記磁気ヘッドを前記記録
媒体に対して相対的に運動させる手段と、前記磁気ヘッ
ドに接続された記録再生信号処理手段とを有する磁気記
録装置。 - 【請求項１３】 記録トラック部又はガ−ドバンド部を
局所的に加熱しながら該加熱部に所定の方向の磁界を印
加することによって磁化容易軸方向を前記磁界の印加方
向に設定する工程を含むことを特徴とする請求項１〜１
１のいずれか１項記載の磁気記録媒体の製造方法。 - 【請求項１４】 前記加熱は電子線照射又は光照射によ
って行うことを特徴とする請求項１３記載の磁気記録媒
体の製造方法。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP14204093A JPH076356A (ja) | 1993-06-14 | 1993-06-14 | 磁気記録装置、磁気記録媒体及び磁気記録媒体の製造方法 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP14204093A JPH076356A (ja) | 1993-06-14 | 1993-06-14 | 磁気記録装置、磁気記録媒体及び磁気記録媒体の製造方法 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH076356A true JPH076356A (ja) | 1995-01-10 |
Family
ID=15305990
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP14204093A Pending JPH076356A (ja) | 1993-06-14 | 1993-06-14 | 磁気記録装置、磁気記録媒体及び磁気記録媒体の製造方法 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH076356A (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US20090310254A1 (en) * | 2008-06-17 | 2009-12-17 | Kabushiki Kaisha Toshiba | Magnetic recording medium and magnetic recording/reproduction apparatus using the same |
-
1993
- 1993-06-14 JP JP14204093A patent/JPH076356A/ja active Pending
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US20090310254A1 (en) * | 2008-06-17 | 2009-12-17 | Kabushiki Kaisha Toshiba | Magnetic recording medium and magnetic recording/reproduction apparatus using the same |
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