JPH0761631A - 磁性薄板搬送装置 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 【目的】交番磁場によって分離された磁性薄板の残留磁
気を消去し、磁気によるトラブルを防止して磁性薄板を
円滑に搬送する。 【構成】収納部２に積層格納された複数枚のリードフレ
ームＰの両側に交番磁場を付与して前記リードフレーム
Ｐを１枚ずつ分離、浮上させる電磁石１１を備えた交番
磁場付与装置３と、該交番磁場付与装置３によって分
離、浮上された最上位置のリードフレームＰを保持して
前記収納部２から取り出す取出装置４と、該取出装置４
によって取り出された前記リードフレームＰを所定の位
置に送り出す搬送レール５とを備えた磁性薄板搬送装置
１において、前記交番磁場付与装置３の電磁石１１の電
源を、時間的に減衰する交流電流を供給する電源１３と
する、または、前記搬送レール５に該搬送レール５を囲
むコイル２５と該コイル２５に交流電流を供給する電源
２４とを設ける。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【産業上の利用分野】本発明は、外部から磁場を付与す
ることによって磁化されるリードフレーム等の磁性薄板
搬送装置に関する。

【０００２】

【従来の技術】例えば半導体製造工程では、予め複数枚
積層収納されたリードフレームを真空チャック等で１枚
ずつ取り出して所定の位置に送り出す工程がある。この
場合、リードフレームは非常に薄い板なので、真空チャ
ックで取り出す時に、２枚以上が接合した状態で取り出
されることがある。

【０００３】そこで、本願出願人は、リードフレームの
両側に交番磁場を付与してリードフレームの両側にＮ極
とＳ極とを交番して生じさせることにより、リードフレ
ームを分離、浮上させて１枚ずつ確実に取り出すことの
できる装置を提案した（特開平２−２３１３３４号公
報）。

【０００４】

【発明が解決しようとする課題】しかしながら、リード
フレームに交番磁場を付与する前記提案に係る従来の磁
性薄板搬送装置を用いると、取り出された後のリードフ
レームが搬送路の所定の位置に正しく送り出せないこと
があった。本発明者はこのような事情に鑑み、種々考究
した結果、リードフレームを正確に搬送できないのは、
リードフレームに残留する残留磁気が原因であることを
つきとめた。そこで、本発明は、リードフレーム等の磁
性薄板に残留する残留磁気を消去して磁性薄板を円滑に
搬送することができる磁性薄板搬送装置を提供すること
を目的とする。

【０００５】

【課題を解決する為の手段】本発明は、前記目的を達成
する為に、格納部に積層格納された複数枚の磁性薄板の
両側に交番磁場を付与して前記磁性薄板を１枚ずつ分
離、浮上させる電磁石を備えた交番磁場付与装置と、該
交番磁場付与装置によって分離、浮上された最上位置の
磁性薄板を保持して前記格納部から取り出す取出手段
と、該取出手段によって取り出された前記磁性薄板を所
定の位置に送り出す搬送路とを備えた磁性薄板搬送装置
において、第１の発明は、前記交番磁場付与装置の電磁
石の電源を、時間的に減衰する交流電流を供給する電源
としたことを特徴とし、第２の発明は、前記搬送路に該
搬送路を囲むコイルと該コイルに交流電流を供給する電
源とを設けたことを特徴とする。

【０００６】

【作用】本発明の第１の発明によれば、交番磁場付与装
置の電磁石の電源を、時間的に減衰する交流電流を供給
する電源としたので、例えば、交番磁場付与装置によっ
て分離された最上位置の磁性薄板を取出手段で保持した
まま、前記電源からの交流電流が減衰してゼロになるま
で維持すると、磁性薄板の両側には交互にＮ極とＳ極と
が生じ、しかも磁力自体は徐々に低減し、交番磁場が減
衰してゼロになると磁力自体もゼロとなり、取出手段で
保持された磁性薄板の残留磁気は消去される。

【０００７】また、本発明の第２の発明によれば、搬送
路を囲むコイルに電源から交流電流を供給すると、残留
磁気を帯びた磁性薄板は、コイル中を通過する間はコイ
ルからの磁場で磁化されるが、コイルを通過するとコイ
ルから離れるに従って、コイルからの磁場が減衰するこ
とにより、前記残留磁気は徐々に低減し、そして、前記
コイルからの磁場がゼロになる位置まで離れた時に、残
留磁気は消去される。これらは、発明者が種々考究して
得た知見に基づくものである。

【０００８】

【実施例】以下添付図面に従って本発明に係る磁性薄板
搬送装置の好ましい実施例について詳説する。図１乃至
図４は本発明の第１の発明に係る磁性薄板搬送装置の説
明図、図１は正面図、図２は要部斜視図で、磁性薄板搬
送装置１は収納部（格納部）２、交番磁場付与装置３、
取出装置４、及び搬送レール５から構成される。

【０００９】前記収納部２は、ベース板６上に立設され
た非磁性部材から成る枠板７、７と、これらの枠板７、
７間に積層される複数枚のリードフレームＰ、Ｐ…を載
置する支持板８とから構成され、支持板８はロッド９を
介して油圧シリンダ１０に連接されて昇降可能になって
いる。前記交番磁場付与装置３は図２に示すように、電
磁石１１と電源１３とから構成され、電磁石１１は、前
記電源１３と電気的に接続されるソレノイドコイル１４
と、該コイル１４内に挿入されて電磁石１１の磁束を高
める鉄芯１５と、鉄製の極板１２Ａ、１２Ｂ等により構
成されている。前記極板１２Ａ、１２Ｂは、鉄芯１５の
両端から側方に向けて配設され、端部が枠板７、７に固
着されると共に、鉄芯１５に対してスライド自在に設け
られ、前記枠板７、７と共にリードフレームＰのサイズ
に対応してその間隔を変えることができるようになって
いる。

【００１０】前記電源１３は図３に示すように、発振器
１６、動作信号作成器１７、積分回路１８、乗算器１９
から構成される。発振器１６は、図４（Ａ）に示す波形
信号を乗算器１９に出力することができ、前記積分回路
１８は、動作信号作成器１７から図４（Ｂ）に示す開始
信号、終了信号が出力されると、その信号に基づいて図
４（Ｃ）に示す信号を乗算器１８に出力することができ
る。また、この積分回路１８は、動作信号作成器１７か
ら終了信号が出力されても、コンデンサ２０からの自然
放電電流によって減衰する信号を所定時間出力すること
ができる。前記乗算器１９は、図４（Ａ）の波形信号
と、図４（Ｃ）の信号とを乗算し、図４（Ｄ）に示す波
形信号（終了信号の出力後に減衰する波形信号）を作成
し、この波形信号をソレノイドコイル１４に駆動信号
（交流電流）として供給することができる。

【００１１】これにより、乗算器１９からソレノイドコ
イル１４に交流電流を供給すると、極板１２ＡがＳ極、
Ｎ極、Ｓ極…と交互に磁化されると共に、極板１２Ｂが
Ｎ極、Ｓ極、Ｎ極…と交互に磁化されるので、電磁誘導
によってリードフレームＰの両側に交番磁場が発生し、
リードフレームＰの両端側部をＮ極とＳ極とに交互に磁
化することができる。また、リードフレームＰに残留し
た磁気は、前記コンデンサ２０からソレノイドコイル１
４に供給される減衰交流電流によって減衰して消去され
る。

【００１２】一方、前記取出装置４は図１に示すよう
に、収納部２の上方に配置された支軸２１を支点として
回動する搬送アーム２２と、この搬送アーム２２の先端
に形成された真空チャック２３とからなり、真空チャッ
ク２３には図示しないエアコンプレッサが接続されて、
このエアコンプレッサを駆動することにより、前記収納
部２内の最上位置にあるリードフレームＰを吸着保持し
た後、前記搬送アーム２２が支軸２１を支点として二点
鎖線で示さている位置まで回動することにより、真空チ
ャック２３で保持されたリードフレームＰが搬送レール
５に載置されるようになっている。

【００１３】次に、前記の如く構成された磁性薄板搬送
装置の作用について説明する。先ず、リードフレーム
Ｐ、Ｐ…を枠板７、７間に積層状に収納する。次に、交
番磁場付与装置３の電源１３の動作信号作成器１７から
積分回路１８に開始信号を出力してソレノイドコイル１
４に交流電流を供給し、極板１２Ａ、１２ＢをＳ極、Ｎ
極に交番して磁化する。これにより、リードフレーム
Ｐ、Ｐ…は、図２上で両端部がＳ極、Ｎ極に周期的に磁
化され、そして、Ｎ極同士とＳ極同士が反発するように
なるので、積層されたリードフレームＰ、Ｐ…は各々浮
上して１枚づつ分離される。

【００１４】次いで、真空チャック２３で最上位置のリ
ードフレームＰを吸着した後、動作信号作成器１７から
積分回路１８に終了信号を出力して前記交流電流を減衰
させる。これにより、前記リードフレームＰの残留磁気
は、交番磁場が減衰することにより減衰し、そして、前
記交番磁場がゼロになった時に消去する。次いで、搬送
アーム２２を駆動して前記リードフレームＰを搬送レー
ル５に載置し、この搬送レール５を介してリードフレー
ムＰを半導体部品との接合位置まで搬送する。

【００１５】従って、搬送中のリードフレームＰは、残
留磁気が消去されているので、所定の位置に正確に、且
つ、円滑に搬送される。尚、本実施例では、リードフレ
ームＰを分離浮上させた後に、真空チャック２３で最上
位置のリードフレームＰを保持するとしたが、真空チャ
ック２３で最上位置のリードフレームＰを吸着保持した
のち、前記電源１３を駆動しても良い。これにより、バ
リ等が原因で２枚以上接合した状態で真空チャック２３
に保持されたリードフレームＰ、Ｐ…を分離することが
できると共に、最上位置のリードフレームＰの残留磁気
を消去することができる。

【００１６】図５は本発明の第２の発明に係る実施例を
示すもので、薄板搬送装置の搬送レール５近傍を示す斜
視図である。本発明では、一定の交流電流を供給する交
流電源２４に接続されたコイル２５を搬送レール５を囲
むように設け、リードフレームＰがコイル２５のなかを
通過した後にリードフレームＰの残留磁気を消去するも
のである。

【００１７】第２の発明によれば、リードフレームＰを
単にコイル２５中を通過させるだけで、リードフレーム
Ｐの残留磁気を消去することができるので、交番磁場付
与装置から取り出されたリードフレームＰには残留磁気
が残っていても良い。

【００１８】なお、本実施例では、磁性薄板としてリー
ドフレームを用いて説明したが、これに限られるもので
はなく、磁場を付与して分離する磁性薄板であれば適用
できる。

【００１９】

【発明の効果】以上説明したように本発明の第１の発明
に係る薄板搬送装置によれば、交番磁場付与装置の電磁
石の電源を、時間的に減衰する交流電流を供給する電源
とすることにより、磁性薄板の残留磁気を減衰させて消
去するようにしたので、磁性薄板を所定の位置に正確
に、且つ、円滑に搬送できる。

【００２０】また、本発明の第２の発明に係る薄板搬送
装置によれば、搬送路を囲むコイルに電源から交流電流
を供給し、このコイル中に磁性薄板を通過させることで
磁性薄板の残留磁気を減衰させて消去するようにしたの
で、磁性薄板を所定の位置に正確に、且つ、円滑に搬送
できる。

【図面の簡単な説明】

【図１】本発明の第１の発明に係る磁性薄板搬送装置の
実施例を示す正面図

【図２】本発明に係る磁性薄板搬送装置の実施例を示す
斜視図

【図３】本発明に係る磁性薄板搬送装置に適用された交
番磁場付与装置の電源のブロック図

【図４】図３に示した電源で作成される信号のタイミン
グチャート

【図５】本発明の第２の発明に係る磁性薄板搬送装置の
要部説明図

【符号の説明】

１…薄板搬送装置 ２…収納部 ３…交番磁場付与装置 ４…取出装置 ５…搬送レール ７…枠板 １４…ソレノイドコイル １６…発振器 １７…動作信号作成器 １８…積分回路 １９…乗算器 ２０…コンデンサ ２４…交流電源 ２５…コイル Ｐ…リードフレーム

Claims (2)

【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】 格納部に積層格納された複数枚の磁性薄
   板の両側に交番磁場を付与して前記磁性薄板を１枚ずつ
   分離、浮上させる電磁石を備えた交番磁場付与装置と、
   該交番磁場付与装置によって分離、浮上された最上位置
   の磁性薄板を保持して前記格納部から取り出す取出手段
   と、該取出手段によって取り出された前記磁性薄板を所
   定の位置に送り出す搬送路とを備えた磁性薄板搬送装置
   において、 前記交番磁場付与装置の電磁石の電源を、時間的に減衰
   する交流電流を供給する電源としたことを特徴とする磁
   性薄板搬送装置。
2. 【請求項２】 格納部に積層格納された複数枚の磁性薄
   板の両側に交番磁場を付与して前記磁性薄板を１枚ずつ
   分離、浮上させる電磁石を備えた交番磁場付与装置と、
   該交番磁場付与装置によって分離、浮上された最上位置
   の磁性薄板を保持して前記格納部から取り出す取出手段
   と、該取出手段によって取り出された前記磁性薄板を所
   定の位置に送り出す搬送路とを備えた磁性薄板搬送装置
   において、 前記搬送路に該搬送路を囲むコイルと該コイルに交流電
   流を供給する電源とを設けたことを特徴とする磁性薄板
   搬送装置。