JPH0758066A - ウェーハの研磨方法 - Google Patents
ウェーハの研磨方法Info
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- JPH0758066A JPH0758066A JP20409893A JP20409893A JPH0758066A JP H0758066 A JPH0758066 A JP H0758066A JP 20409893 A JP20409893 A JP 20409893A JP 20409893 A JP20409893 A JP 20409893A JP H0758066 A JPH0758066 A JP H0758066A
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Classifications
-
- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B24—GRINDING; POLISHING
- B24B—MACHINES, DEVICES, OR PROCESSES FOR GRINDING OR POLISHING; DRESSING OR CONDITIONING OF ABRADING SURFACES; FEEDING OF GRINDING, POLISHING, OR LAPPING AGENTS
- B24B37/00—Lapping machines or devices; Accessories
- B24B37/27—Work carriers
- B24B37/30—Work carriers for single side lapping of plane surfaces
Landscapes
- Engineering & Computer Science (AREA)
- Mechanical Engineering (AREA)
- Finish Polishing, Edge Sharpening, And Grinding By Specific Grinding Devices (AREA)
- Container, Conveyance, Adherence, Positioning, Of Wafer (AREA)
- Grinding And Polishing Of Tertiary Curved Surfaces And Surfaces With Complex Shapes (AREA)
- Mechanical Treatment Of Semiconductor (AREA)
Abstract
(57)【要約】
【目的】 テンプレート方式研磨において、ウェーハの
外周部にかかる集中応力に起因するとみられる外周ダレ
のようなウェーハの変形を防止し、ウェーハを極めて平
坦に研磨できるようにする。 【構成】 テンプレートブランクの嵌合穴にウェーハを
嵌合し、バッキングパッドによって該ウェーハの背面側
を保持して該ウェーハを研磨する方法であり、該テンプ
レートブランクに隣接するバッキングパッド面に該テン
プレートブランクの嵌合穴の内周に沿ってリング状の溝
を穿設したバッキングパッドを用いて研磨する。
外周部にかかる集中応力に起因するとみられる外周ダレ
のようなウェーハの変形を防止し、ウェーハを極めて平
坦に研磨できるようにする。 【構成】 テンプレートブランクの嵌合穴にウェーハを
嵌合し、バッキングパッドによって該ウェーハの背面側
を保持して該ウェーハを研磨する方法であり、該テンプ
レートブランクに隣接するバッキングパッド面に該テン
プレートブランクの嵌合穴の内周に沿ってリング状の溝
を穿設したバッキングパッドを用いて研磨する。
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明は、半導体ウェーハ、石英
やセラミック材料のウェーハ等（以下単にウェーハとい
う）を研磨するにあたり、接着剤による固定方式とは異
なるテンプレート方式を採用する場合に適用され、ウェ
ーハの外周ダレをなくし、極めて平坦性の高いウェーハ
を得ることができる研磨方法に関する。また、本発明
は、上記研磨方法に好適に用いられる新規なバッキング
パッド、及びそのバッキングパッドを形成する方法に関
する。
やセラミック材料のウェーハ等（以下単にウェーハとい
う）を研磨するにあたり、接着剤による固定方式とは異
なるテンプレート方式を採用する場合に適用され、ウェ
ーハの外周ダレをなくし、極めて平坦性の高いウェーハ
を得ることができる研磨方法に関する。また、本発明
は、上記研磨方法に好適に用いられる新規なバッキング
パッド、及びそのバッキングパッドを形成する方法に関
する。
【０００２】
【従来の技術】一般に、テンプレートブランクの嵌合穴
にウェーハを嵌合し、バッキングパッドによって該ウェ
ーハの背面側を保持して該ウェーハを研磨する、いわゆ
るテンプレート方式研磨を実施する場合、図６に示す構
成を採用している。図６において、２は定盤、４は研磨
パッド、６は嵌合穴８を有するテンプレートブランク、
１０はバッキングパッド、１２は研磨プレート、１４は
研磨荷重である。ウェーハＷはテンプレートブランク６
の嵌合穴８に嵌合された状態で研磨される。該テンプレ
ートブランク６とバッキングパッド１０、及びバッキン
グパッド１０と研磨プレート１２とはそれぞれ接着剤に
よって接着固定され、研磨するウェーハを装着するため
の治具、即ちテンプレートＴを構成する。なお、上記接
着剤は図面上省略されている。
にウェーハを嵌合し、バッキングパッドによって該ウェ
ーハの背面側を保持して該ウェーハを研磨する、いわゆ
るテンプレート方式研磨を実施する場合、図６に示す構
成を採用している。図６において、２は定盤、４は研磨
パッド、６は嵌合穴８を有するテンプレートブランク、
１０はバッキングパッド、１２は研磨プレート、１４は
研磨荷重である。ウェーハＷはテンプレートブランク６
の嵌合穴８に嵌合された状態で研磨される。該テンプレ
ートブランク６とバッキングパッド１０、及びバッキン
グパッド１０と研磨プレート１２とはそれぞれ接着剤に
よって接着固定され、研磨するウェーハを装着するため
の治具、即ちテンプレートＴを構成する。なお、上記接
着剤は図面上省略されている。
【０００３】このテンプレート方式研磨によれば、研
磨荷重１４によるウェーハＷの研磨パッド４への沈み込
み、研磨荷重１４によるウェーハＷへの研磨プレート
１２のたわみ、によって、ウェーハＷの外周部に集中応
力がかかるため、このウェーハＷの外周部が、ウェーハ
Ｗの中央部に比較して研磨速度が上昇する。この結果、
研磨後のウェーハＷは、外周部が中央部よりも研磨代が
多く、いわゆる外周ダレとなった形状に仕上がるという
問題があった。
磨荷重１４によるウェーハＷの研磨パッド４への沈み込
み、研磨荷重１４によるウェーハＷへの研磨プレート
１２のたわみ、によって、ウェーハＷの外周部に集中応
力がかかるため、このウェーハＷの外周部が、ウェーハ
Ｗの中央部に比較して研磨速度が上昇する。この結果、
研磨後のウェーハＷは、外周部が中央部よりも研磨代が
多く、いわゆる外周ダレとなった形状に仕上がるという
問題があった。
【０００４】上記したウェーハＷの外周ダレを防止する
ために、例えば次のような手段が取られている。 （１）研磨パッド４への沈み込みを減らすために、硬質
の研磨パッド４を使用するか、研磨荷重を低減させる。
しかし、この手段では、スクラッチの増加と研磨速度低
下による生産性の低下という弊害があった。 （２）研磨プレート１２のたわみを減少させるために、
より剛性の高いセラミック製のプレートを使用するか、
より厚い研磨プレート１２を使用するという手段がある
が、高価な材料を採用するために実用性に乏しい。
ために、例えば次のような手段が取られている。 （１）研磨パッド４への沈み込みを減らすために、硬質
の研磨パッド４を使用するか、研磨荷重を低減させる。
しかし、この手段では、スクラッチの増加と研磨速度低
下による生産性の低下という弊害があった。 （２）研磨プレート１２のたわみを減少させるために、
より剛性の高いセラミック製のプレートを使用するか、
より厚い研磨プレート１２を使用するという手段がある
が、高価な材料を採用するために実用性に乏しい。
【０００５】
【発明が解決しようとする課題】本発明は、上記した従
来技術の問題点に鑑みてなされたもので、テンプレート
方式研磨において、ウェーハの外周部にかかる集中応力
に起因するとみられる外周ダレのようなウェーハの変形
を防止し、ウェーハを極めて平坦に研磨できるウェーハ
の研磨方法を提供すること、また、当該ウェーハの研磨
方法に好適に用いられる新規なバッキングパッド、及び
そのバッキングパッドを形成する方法を提供することを
目的としている。
来技術の問題点に鑑みてなされたもので、テンプレート
方式研磨において、ウェーハの外周部にかかる集中応力
に起因するとみられる外周ダレのようなウェーハの変形
を防止し、ウェーハを極めて平坦に研磨できるウェーハ
の研磨方法を提供すること、また、当該ウェーハの研磨
方法に好適に用いられる新規なバッキングパッド、及び
そのバッキングパッドを形成する方法を提供することを
目的としている。
【０００６】
【課題を解決するための手段】上記した課題を解決する
ために、本発明は、テンプレートブランクの嵌合穴にウ
ェーハを嵌合し、バッキングパッドによって該ウェーハ
の背面側を保持して該ウェーハを研磨する方法であり、
該テンプレートブランクに隣接する該バッキングパッド
面に該テンプレートブランクの嵌合穴の内周に沿ってリ
ング状の溝を穿設したバッキングパッドを用いて研磨す
るようにしたものである。
ために、本発明は、テンプレートブランクの嵌合穴にウ
ェーハを嵌合し、バッキングパッドによって該ウェーハ
の背面側を保持して該ウェーハを研磨する方法であり、
該テンプレートブランクに隣接する該バッキングパッド
面に該テンプレートブランクの嵌合穴の内周に沿ってリ
ング状の溝を穿設したバッキングパッドを用いて研磨す
るようにしたものである。
【０００７】即ち、本発明の最大の特徴は、研磨される
ウェーハを装着する治具となるテンプレートにおいて、
テンプレートブランクに隣接するバッキングパッド面
に、該テンプレートブランクの嵌合穴の内周に沿って、
リング状の溝を穿設したバッキングパッドの形状にあ
る。
ウェーハを装着する治具となるテンプレートにおいて、
テンプレートブランクに隣接するバッキングパッド面
に、該テンプレートブランクの嵌合穴の内周に沿って、
リング状の溝を穿設したバッキングパッドの形状にあ
る。
【０００８】該バッキングパッド面に形成される該リン
グ状溝の形状は、該ウェーハの外周部にかかる集中応力
を逃がすことができればどのような形状でもよい。しか
し、該リング状溝の好ましい形状は、垂直外周壁及び傾
斜内周壁を有し、該内周壁の該バッキングパッド面から
の傾斜角度が３０〜８０度、好ましくは４５〜６０度で
あり、該溝の幅が該ウェーハの面取り幅の３〜５倍、そ
の深さが該バッキングパッドの厚さの５０％以上である
ものがよい。
グ状溝の形状は、該ウェーハの外周部にかかる集中応力
を逃がすことができればどのような形状でもよい。しか
し、該リング状溝の好ましい形状は、垂直外周壁及び傾
斜内周壁を有し、該内周壁の該バッキングパッド面から
の傾斜角度が３０〜８０度、好ましくは４５〜６０度で
あり、該溝の幅が該ウェーハの面取り幅の３〜５倍、そ
の深さが該バッキングパッドの厚さの５０％以上である
ものがよい。
【０００９】また、該バッキングパッドの該リング状溝
の幅は、上記ウェーハの面取り幅との関係を併せて、該
ウェーハ直径の１％程度が好適である。このリング状溝
の幅の変動により、ウェーハを研磨する時の外周部の形
状が変化する。
の幅は、上記ウェーハの面取り幅との関係を併せて、該
ウェーハ直径の１％程度が好適である。このリング状溝
の幅の変動により、ウェーハを研磨する時の外周部の形
状が変化する。
【００１０】該バッキングパッドの該リング状溝を形成
する方法としては、該テンプレートブランクの該嵌合穴
に挿通するリング状の突条を設けた加熱可能な加工治具
を用い、予め該研磨プレートに貼着された該バッキング
パッドの上面に該テンプレートブランクを接合して所定
位置に設置し、該テンプレートブランクの嵌合穴を介し
て所定温度に加熱された該加工治具を該バッキングパッ
ド面に押圧することによりリング状の均一な焼き溝を形
成することができる。
する方法としては、該テンプレートブランクの該嵌合穴
に挿通するリング状の突条を設けた加熱可能な加工治具
を用い、予め該研磨プレートに貼着された該バッキング
パッドの上面に該テンプレートブランクを接合して所定
位置に設置し、該テンプレートブランクの嵌合穴を介し
て所定温度に加熱された該加工治具を該バッキングパッ
ド面に押圧することによりリング状の均一な焼き溝を形
成することができる。
【００１１】
【作用】本発明研磨方法においては、研磨荷重によるウ
ェーハの研磨パッドへの沈み込み及び研磨プレートのた
わみによって発生するウェーハ外周部の集中応力は、ウ
ェーハがその集中応力の大きさに比例してバッキングパ
ッドの溝に向かって、弾性変形を引き起こすように作用
するため、局部的に研磨速度が上昇することがなくな
り、従って、ウェーハ平坦性を悪くしている外周ダレを
なくして、極めて平坦性の高いウェーハを得ることがで
きる。また、本発明研磨方法に好適に用いられる新規な
バッキングパッド、及びこの新規なバッキングパッドを
効果的に形成することができる。
ェーハの研磨パッドへの沈み込み及び研磨プレートのた
わみによって発生するウェーハ外周部の集中応力は、ウ
ェーハがその集中応力の大きさに比例してバッキングパ
ッドの溝に向かって、弾性変形を引き起こすように作用
するため、局部的に研磨速度が上昇することがなくな
り、従って、ウェーハ平坦性を悪くしている外周ダレを
なくして、極めて平坦性の高いウェーハを得ることがで
きる。また、本発明研磨方法に好適に用いられる新規な
バッキングパッド、及びこの新規なバッキングパッドを
効果的に形成することができる。
【００１２】
【実施例】以下に、本発明の研磨方法の一実施例を添付
図面中、図１〜図４に基づいて説明する。なお、図１〜
図４において、図６と同一又は類似部材は同一符号を用
いて説明する。
図面中、図１〜図４に基づいて説明する。なお、図１〜
図４において、図６と同一又は類似部材は同一符号を用
いて説明する。
【００１３】図１及び図２において、２は定盤、４は研
磨パッド、６は嵌合穴８を有するテンプレートブラン
ク、１０はバッキングパッド、１２は研磨プレート、１
４は研磨荷重である。ウェーハＷはテンプレートブラン
ク６の嵌合穴８に嵌合された状態で研磨される。Ａは第
一接着剤で、テンプレートブランク６とバッキングパッ
ド１０とを接着固定するものである。Ｂは第二接着剤
で、バッキングパッド１０を研磨プレート１２に接着固
定するものである。ＴはウェーハＷを装着する治具とし
てのテンプレートであり、テンプレートブランク６、バ
ッキングパッド１０、研磨プレート１２、及び接着剤Ａ
及びＢとから構成される。
磨パッド、６は嵌合穴８を有するテンプレートブラン
ク、１０はバッキングパッド、１２は研磨プレート、１
４は研磨荷重である。ウェーハＷはテンプレートブラン
ク６の嵌合穴８に嵌合された状態で研磨される。Ａは第
一接着剤で、テンプレートブランク６とバッキングパッ
ド１０とを接着固定するものである。Ｂは第二接着剤
で、バッキングパッド１０を研磨プレート１２に接着固
定するものである。ＴはウェーハＷを装着する治具とし
てのテンプレートであり、テンプレートブランク６、バ
ッキングパッド１０、研磨プレート１２、及び接着剤Ａ
及びＢとから構成される。
【００１４】而して、図３のように上記テンプレートブ
ランク６に隣接するバッキングパッド１０面には、該テ
ンプレートブランク６の嵌合穴８の内周に沿ってリング
状の溝１６が穿設されている。該溝１６は、ウェーハＷ
の研磨時に該ウェーハＷの外周部にかかる集中応力を逃
がすために設けられるものである。従って、該溝１６が
浅過ぎたり、狭すぎたりした場合には、集中応力の逃げ
が充分でなくなるので、好ましくない。
ランク６に隣接するバッキングパッド１０面には、該テ
ンプレートブランク６の嵌合穴８の内周に沿ってリング
状の溝１６が穿設されている。該溝１６は、ウェーハＷ
の研磨時に該ウェーハＷの外周部にかかる集中応力を逃
がすために設けられるものである。従って、該溝１６が
浅過ぎたり、狭すぎたりした場合には、集中応力の逃げ
が充分でなくなるので、好ましくない。
【００１５】上記リング状の溝１６の形状は、図４のテ
ンプレートＴの部分拡大断面図で示されるように、垂直
外周壁１８及び傾斜内周壁２０を有し、該内周壁２０の
バッキングパッド面１０ａからの傾斜角度αが３０〜８
０度、好ましくは４５〜６０度であり、該溝１６の幅Ｃ
が該ウェーハの面取り幅の３〜５倍、その深さＤが該バ
ッキングパッド１０の厚さＥの５０％以上であるのが好
ましい。なお、面取り幅とは、ウェーハ面取り部の、ウ
ェーハ径方向に相当する部分の長さを指す。
ンプレートＴの部分拡大断面図で示されるように、垂直
外周壁１８及び傾斜内周壁２０を有し、該内周壁２０の
バッキングパッド面１０ａからの傾斜角度αが３０〜８
０度、好ましくは４５〜６０度であり、該溝１６の幅Ｃ
が該ウェーハの面取り幅の３〜５倍、その深さＤが該バ
ッキングパッド１０の厚さＥの５０％以上であるのが好
ましい。なお、面取り幅とは、ウェーハ面取り部の、ウ
ェーハ径方向に相当する部分の長さを指す。
【００１６】また、該バッキングパッド１０のリング状
溝１６の幅Ｃは、ウェーハ直径の１％程度とするのが好
適である。このリング状溝１６の幅Ｃが変動することに
より、ウェーハを研磨する時の外周部の形状が変化す
る。
溝１６の幅Ｃは、ウェーハ直径の１％程度とするのが好
適である。このリング状溝１６の幅Ｃが変動することに
より、ウェーハを研磨する時の外周部の形状が変化す
る。
【００１７】上記の構成とすることにより、研磨荷重１
４によるウェーハＷの研磨パッド４への沈み込み及び研
磨プレート１２のたわみによって発生するウェーハＷの
外周部への集中応力は、ウェーハＷがその集中応力の大
きさに比例してバッキングパッド１０の上記溝１６に向
かって、弾性変形を引き起こすように作用する。
４によるウェーハＷの研磨パッド４への沈み込み及び研
磨プレート１２のたわみによって発生するウェーハＷの
外周部への集中応力は、ウェーハＷがその集中応力の大
きさに比例してバッキングパッド１０の上記溝１６に向
かって、弾性変形を引き起こすように作用する。
【００１８】そのため、ウェーハＷに対して局部的に研
磨速度が上昇することがなく、従って、ウェーハ平坦性
を悪くしている外周ダレもなくなり、極めて平坦性の高
いウェーハを得ることが可能となった。
磨速度が上昇することがなく、従って、ウェーハ平坦性
を悪くしている外周ダレもなくなり、極めて平坦性の高
いウェーハを得ることが可能となった。
【００１９】次に、本発明のバッキングパッドの形成方
法の一実施例を添付図面中、図５に基づいて説明する。
図５において、図１〜４及び図６と同一又は類似部材は
同一符号を用いて説明する。
法の一実施例を添付図面中、図５に基づいて説明する。
図５において、図１〜４及び図６と同一又は類似部材は
同一符号を用いて説明する。
【００２０】図５は上記バッキングパッド１０にリング
状溝１６を形成させる方法の一実施態様を示すものであ
る。同図において、２２はバッキングパッド１０のリン
グ状溝１６を形成するために用いられる加熱可能な加工
治具である。該加工治具２２の下面中央部は平坦面２４
となり、その下面周縁部には、テンプレートブランク６
の嵌合穴８に挿通するリング状の突条２６が設けられて
いる。接着剤Ｂにより研磨プレート１２に貼着されたバ
ッキングパッド１０の上面にはテンプレートブランク６
が接着剤Ａを介して接合され、テンプレートＴを構成す
る。
状溝１６を形成させる方法の一実施態様を示すものであ
る。同図において、２２はバッキングパッド１０のリン
グ状溝１６を形成するために用いられる加熱可能な加工
治具である。該加工治具２２の下面中央部は平坦面２４
となり、その下面周縁部には、テンプレートブランク６
の嵌合穴８に挿通するリング状の突条２６が設けられて
いる。接着剤Ｂにより研磨プレート１２に貼着されたバ
ッキングパッド１０の上面にはテンプレートブランク６
が接着剤Ａを介して接合され、テンプレートＴを構成す
る。
【００２１】該テンプレートブランク６の嵌合穴８を介
して所定温度に加熱された該加工治具２２を該バッキン
グパッド１０面に押圧することによりリング状の均一な
焼き溝１６を形成することができる。この場合、該バッ
キングパッド１０は、熱によって焼き溝１６が形成され
る合成樹脂等の材質であることが必要である。例えば、
該バッキングパッド１０をポリウレタンシートで構成
し、該加工治具２２はステンレススチールのような金属
材料であって、これを１２０〜１４０℃に加熱し、該バ
ッキングパッド１０面に押圧すれば、焼き溝１６を好適
に形成することができる。
して所定温度に加熱された該加工治具２２を該バッキン
グパッド１０面に押圧することによりリング状の均一な
焼き溝１６を形成することができる。この場合、該バッ
キングパッド１０は、熱によって焼き溝１６が形成され
る合成樹脂等の材質であることが必要である。例えば、
該バッキングパッド１０をポリウレタンシートで構成
し、該加工治具２２はステンレススチールのような金属
材料であって、これを１２０〜１４０℃に加熱し、該バ
ッキングパッド１０面に押圧すれば、焼き溝１６を好適
に形成することができる。
【００２２】該加工治具２２に設けられたリング状の突
条２６は、前記したリング状溝１６をバッキングパッド
１０面に形成するものであるから、該リング状溝１６に
対応した形状を有することが必要である。即ち、該突条
２６の外周壁２８は垂直に形成されるが、その内周は外
方に傾斜する傾斜壁３０となっている。該傾斜壁３０と
平坦面２４とのなす角度βは、前記したリング状溝１６
の傾斜角度αと互いに補角をなし、即ちβ＝１８０度−
αの関係を有している。換言すれば、角度βは１５０〜
１００度、好ましくは１３５〜１２０度である。そし
て、該加工治具２２を該バッキングパッド１０に押圧す
る際に、該バッキングパッド１０の上面と該加工治具２
２の平坦面２４との間には常に間隙Ｓが存在することが
必要である。
条２６は、前記したリング状溝１６をバッキングパッド
１０面に形成するものであるから、該リング状溝１６に
対応した形状を有することが必要である。即ち、該突条
２６の外周壁２８は垂直に形成されるが、その内周は外
方に傾斜する傾斜壁３０となっている。該傾斜壁３０と
平坦面２４とのなす角度βは、前記したリング状溝１６
の傾斜角度αと互いに補角をなし、即ちβ＝１８０度−
αの関係を有している。換言すれば、角度βは１５０〜
１００度、好ましくは１３５〜１２０度である。そし
て、該加工治具２２を該バッキングパッド１０に押圧す
る際に、該バッキングパッド１０の上面と該加工治具２
２の平坦面２４との間には常に間隙Ｓが存在することが
必要である。
【００２３】図５において、３２はプレス台板で、テン
プレートブランク６、バッキングパッド１０、研磨プレ
ート１２が一体化されたテンプレートＴが載置される。
３４は図示しない加熱機構を備えた加圧板で、その下面
にはセラミックプレート３６が接合されている。３８は
該加圧板３４と加工治具２２の間に介在せしめられる耐
熱シートである。
プレートブランク６、バッキングパッド１０、研磨プレ
ート１２が一体化されたテンプレートＴが載置される。
３４は図示しない加熱機構を備えた加圧板で、その下面
にはセラミックプレート３６が接合されている。３８は
該加圧板３４と加工治具２２の間に介在せしめられる耐
熱シートである。
【００２４】
【発明の効果】以上のように、本発明研磨方法によれ
ば、テンプレート方式研磨においてウェーハを保持して
いるバッキングパッドの一部に溝を形成することによ
り、ウェーハの外周部にかかる集中応力を逃がすことが
でき、外周ダレを防止しウェーハを極めて平坦に研磨で
きるという効果を奏する。また、本発明研磨方法に好適
に用いられる新規なバッキングパッドの形状、及びこの
新規なバッキングパッドを効果的に形成する方法が得ら
れる。
ば、テンプレート方式研磨においてウェーハを保持して
いるバッキングパッドの一部に溝を形成することによ
り、ウェーハの外周部にかかる集中応力を逃がすことが
でき、外周ダレを防止しウェーハを極めて平坦に研磨で
きるという効果を奏する。また、本発明研磨方法に好適
に用いられる新規なバッキングパッドの形状、及びこの
新規なバッキングパッドを効果的に形成する方法が得ら
れる。
【図１】本発明研磨方法の一実施例を示す断面的説明図
である。
である。
【図２】図１の要部をなすテンプレートの構成部材の分
解斜視図である。
解斜視図である。
【図３】本発明に用いられるテンプレートブランクとバ
ッキングパッドの接合体の上面図である。
ッキングパッドの接合体の上面図である。
【図４】本発明に用いられるテンプレートの部分拡大断
面図である。
面図である。
【図５】本発明のバッキングパッドのリング状溝の形成
方法の一実施例を示す断面的説明図である。
方法の一実施例を示す断面的説明図である。
【図６】従来のテンプレート方式研磨の一例を示す断面
的説明図である。
的説明図である。
２ 定盤 ４ 研磨パッド ６ テンプレートブランク ８ 嵌合穴 １０ バッキングパッド １２ 研磨プレート １４ 研磨荷重 １６ リング状の溝 Ｔ テンプレート Ｗ ウェーハ Ａ 第一接着剤 Ｂ 第二接着剤 ２２ 加工治具 ２４ リング状突条
Claims (4)
- 【請求項１】 テンプレートブランクの嵌合穴にウェー
ハを嵌合し、バッキングパッドによって該ウェーハの背
面側を保持して該ウェーハを研磨する方法であり、該テ
ンプレートブランクに隣接するバッキングパッド面に該
テンプレートブランクの嵌合穴の内周に沿ってリング状
の溝を穿設したバッキングパッドを用いて研磨すること
を特徴とするウェーハの研磨方法。 - 【請求項２】 該バッキングパッド面に形成されたリン
グ状溝が、垂直外周壁及び傾斜内周壁を有し、該内周壁
のバッキングパッド面からの傾斜角度が３０〜８０度、
好ましくは４５〜６０度であり、該溝の幅が該ウェーハ
の面取り幅の３〜５倍、その深さが該バッキングパッド
の厚さの５０％以上であることを特徴とする請求項１記
載のウェーハの研磨方法。 - 【請求項３】 請求項１記載の方法を実施するにあた
り、ウェーハを装着する治具となるテンプレートにおい
て、該テンプレートブランクに隣接するバッキングパッ
ド面に、該テンプレートブランクの嵌合穴の内周に沿っ
て、リング状の溝を穿設したことを特徴とするバッキン
グパッド。 - 【請求項４】 テンプレートブランクの嵌合穴に挿通す
るリング状の突条を設けた加熱可能な加工治具を用い、
予め研磨プレートに貼着されたバッキングパッドの上面
にテンプレートブランクを接合して所定位置に設置し、
該テンプレートブランクの嵌合穴を介して所定温度に加
熱された該加工治具を該バッキングパッド面に押圧する
ことを特徴とする請求項３に記載のバッキングパッドの
リング状溝を形成する方法。
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| JP2849533B2 JP2849533B2 (ja) | 1999-01-20 |
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ID=16484766
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