JP4503928B2 - 基板用研削装置 - Google Patents
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Description
【発明の属する技術分野】
本発明は、結晶シリコンインゴットやゲルマニウムインゴットをスライスして得られた基板の片面または両面を研削し、スライスされた基板の反り、うねり、テ−パ−を無くした平坦な基板を与える研削装置に関する。
【0002】
【従来の技術】
インゴットをスライスして得られた基板の反り、うねり、テ−パ−を有するので基板の両面を片面づつ研削してこれら反り、うねり、テ−パ−を無くすことが行われている。研削された基板は次いで、ラップ加工またはポリシング加工あるいはエッチング加工され、更に平坦化される。
かかる基板の両面を片面づつ研削する方法として、研削された基板に吸着跡が残らないように、ポ−ラスセラミック製吸着チャックの表面に孔を穿った弾性シ−トを貼着し、この弾性シ−ト上にスライスされた基板を載せ、基板上面側よりスピンドルに軸承されたカップホイ−ル型研削砥石を押し圧し、前記吸着チャックとカップホイ−ル型研削砥石を摺動させて基板表面を研削する装置が知られている(例えば、特許文献1参照)。
【0003】
また、結晶インゴットをスライシングした基板をホルダの支持体上に固定した状態で基板両面とエッヂ部を研削する方法において、基板の第一面の研削中はホルダの支持体上にショアA硬度が5〜99、特に好ましくは80〜90のポリウレタン弾性材を糊付けし、この弾性材上に基板を固定し、基板の第二面研削時は固い支持体を有する基板ホルダ上に固定して行なうことも提案されている。基板の第二面研削時は、第一面が平坦な基準面に研削されているのでもはや弾性的に変形することがないとの推測からである(例えば、特許文献2参照)。
【0004】
【特許文献1】
米国特許第5964646号公報(第4欄23行から第5欄18行および図2、図3)。
【特許文献2】
特許第3097846号公報(特許請求の範囲の請求項1および図1)。
【0005】
前記片面づつ粗研削された300mm径の基板(ウエハ)としては、ウエハ9点の位置で厚みを測定した平坦度(TV9)が平均値で1.0μm以下、基板の反りの変化率(Warp Best Fit)が2.0μm以下、ウエハに吸着孔マ−クが無いこと、ウエハに研削焼けが見受けられ無いことなどが要求される。
【0006】
【発明が解決しようとする課題】
この弾性支持体と硬質支持体を用いる研削方法は、300mm径基板の研削・平坦化においては中央部にへっこみが生じ、充分でないことが判明した。
【0007】
次に、本発明者等は、ポ−ラスセラミックチャックと基板との間に弾性回復率が大きい弾性シ−ト基層と、この基層よりも大きい硬度を有し、かつ、低い弾性回復率を有する弾性シ−ト表面層との積層体を介在させることにより、基板直径が300mm、400mmのインゴットスライス基板であっても、インゴットをスライスして得られた基板を研削して得られた基板の反りの変化率(Warp Best Fit)が2.0μm以下で、基板をチップ状に切断して得られたチップ厚みのバラツキ(SBIR)が2.0μm以下である研削基板を与えることを見出した。しかし、ナノトポグラフィで研削ウエハ表面を観察したところ、図6に示す研削ウエハの表面高さ分布のように研削ウエハ外周縁部が他場所よりリング状に盛り上がっている(いわゆる肩ダレ現象)ことが判明した。
本発明は、この研削ウエハ外周縁部リング状の盛り上りをより小さくすることができる基板用研削装置を提供することを目的とする。
【0008】
【課題を解決するための手段】
請求項1の発明は、インゴットをスライシングして得た基板を吸着チャック上に保持し、該基板上面側よりスピンドルに軸承されたカップホイ−ル型研削砥石を押し圧し、前記吸着チャックとカップホイ−ル型研削砥石を摺動させて基板表面を研削する装置であって、
前記吸着チャックの基板を吸着する面が、剛体製吸着板の表面に直径0.5〜2mmの孔を穿った厚み2.0〜5mmの弾性シ−トを貼着した構造となっており、この弾性シ−ト表面には基板の外周に似せて基板の外周から0.05〜2mm幅大きい環状溝幅で深さが0.5〜3.0mmの環状溝が設けられており、基板は該弾性シ−ト表面層上の前記環状溝内に載せられることを特徴とする、基板用研削装置を提供するものである。
【0009】
弾性シ−トに溝が無いと、第1研削時に、吸着チャックにウエハを押し圧し、吸着させた際にウエハ外周辺の弾性シ−トの高さはウエハが押圧されている弾性シ−ト部分の高さより高いのでウエハ外周縁部がリング状に押し上げられた状態で研削されるため、研削ウエハの外周縁部にリング状の盛り上がりが見受けられる。本発明では、弾性シ−ト表面に基板の外周に似せて基板の外周よりは0.05〜2mm幅大きく、深さが0.5〜3.0mmの環状溝を設けることにより、ウエハの外周辺にかかる弾性シ−トの抗圧力を低減し、研削ウエハの外周縁部のリング状の盛り上がり高さを小さくすることができる。
【0010】
請求項2の発明は、前記基板用研削装置において、基板を載せる弾性シ−トが、アスカ−C硬度50〜70、圧縮率5〜15%、弾性回復率80〜92%、厚み1〜3mmの弾性シ−ト基層(a)と、アスカ−C硬度80〜95、圧縮率0.1〜3%、弾性回復率55〜75%、厚み0.5〜2mmの弾性シ−ト表面層(b)を含む厚み2.0〜5mmの積層体に直径0.5〜2mmの孔を穿った積層弾性シ−トであって、かつ、基板の外周に似せて弾性シ−ト表面層(b)には基板の外周から0.05〜2mm幅大きい環状溝幅で深さが1.0〜3.0mmの環状溝が設けられていることを特徴とする。
【0011】
弾性シ−トを積層構造とすることにより、単層構造の弾性シ−トと比較してスライスうねりをより低減でき、研削ウエハの面内バラツキSBIRが小さい。
【0012】
【発明の実施の形態】
以下、図面を用いて本発明を詳細に説明する。
図1は、本発明の研削装置の平面図、図2は図1における研削装置の研削砥石ユニットとインデックステ−ブルの関係を示す正面図、図3aはウエハを載置した吸着チャック部分の斜視図、図3bはその吸着チャックの部分断面図、図4は弾性シ−トの斜視図、および図5は研削ウエハの表面高さ分布図である。
【0013】
図1に示す研削装置1において、2は基台、3はコラムで、左右に一対の研削砥石ユニット4,4を備える。該コラムは基台上の後列中央部に位置する。
該一対の研削砥石ユニット4,4に相対向してそれぞれ2基のチャック機構51,52を備える第1インデックステ−ブル5と第2インデックステ−ブル5が前記コラムの左右に配置され、研削装置の後列を形成している。
第1インデックステ−ブル5と第2インデックステ−ブル5は、基台2を刳り貫いて基台の略同一水平面上に設けられる。
【0014】
2基のチャック機構を備える第1インデックステ−ブルと第2インデックステ−ブル5,5は、それぞれ手前側にチャック機構洗浄機器53を、後側に基板の厚みを測定する2点式インプロセスゲ−ジ54を備える。2点式インプロセスゲ−ジ54の触針子はチャック機構の表面と基板の表面に接触させ、両者の高さの差から基板の厚みを算出し、逐次制御装置に伝達する。
【0015】
チャック機構洗浄機器53は、環状のセラミック製リング53aと該セラミック製リングを回転駆動させるモ−タ53bと洗浄水供給管53cを備える。
インデックステ−ブル5,5の二基の吸着チャック機構51,52間は壁55,56で遮られている。
【0016】
各々の吸着チャック機構51,52は、図2に示すようにモ−タM1で180度づつ回転される回転軸57に軸承されている。
【0017】
吸着チャック機構51と52は、図3aおよび図3bに示すようにポ−ラスセラミック板、穿孔アルミニウム板等の剛体製吸着板51aの表面に厚み2.0〜5mmの積層弾性シ−トに直径0.5〜2mmの孔51eを穿ち、表面に基板の外周に似せて基板の外周よりは0.05〜2mm幅大きく、深さが0.5〜3.0mmの環状溝51fを設けた穿孔積層弾性シ−ト51bを貼着した積層構造となっており、基板はこの穿孔積層弾性シ−ト51b上の環状溝51f内に載せられる。
【0018】
穿孔積層弾性シ−ト51b,52bは、アスカ−C硬度(JISK−6301)50〜70、圧縮率(JIS L−1021)5〜15%、弾性回復率(JIS L−1021)80〜92%、厚み(JIS K−6505)1〜3mmの弾性シ−ト基層(a)51cと、アスカ−C硬度80〜95、圧縮率0.1〜3%、弾性回復率55〜75%、厚み0.5〜2mmの弾性シ−ト表面層(b)51dを含む厚み2.0〜5mmの積層体に直径0.5〜2mmの孔51eを穿ったものである。孔51eは、穿孔積層弾性シ−トの全体に分散させて設けてもよいが、ワ−ク(ウエハ)の外周縁より2〜10mmの内側となる穿孔積層弾性シ−ト部分に設けるのが好ましい(図4参照)。孔51eは、同心円上に複数穿つのが好ましい。穿孔積層弾性シ−トに設けられる吸着用孔51eの数は、100cm2当り12〜50個である。孔51eは、2つの同心円上に設けてもよい。
【0019】
穿孔積層弾性シ−トの弾性シ−ト基層(a)としては、ポリエステル・ポリイソシアネ−トウレタン、ポリエ−テル・ポリイソシアネ−トウレタン、アクリルウレタン等のポリウレタン樹脂発泡体製シ−ト、エチレン・プロピレン・エチリデンノルボルネン共重合ラバ−、水添化スチレン・ブタジエン・スチレンブロック共重合ゴム、水添化スチレン・イソプレン・スチレンブロック共重合ゴム、低密度ポリエチレン、ポリプロピレン等の発泡体シ−トが用いられる。
例えば、かかるポリウレタン樹脂発泡体製シ−トは、ロデ−ル・ニッタ株式会社よりSUBA400の商品名、富士紡績株式会社よりPOLYPAS(登録商標)#194、#210、#7000のグレ−ド名で入手できる。
【0020】
また、穿孔積層弾性シ−トの弾性シ−ト表面層(b)としては、ポリエステル・ポリイソシアネ−トウレタン、ポリエ−テル・ポリイソシアネ−トウレタン、アクリルウレタン等のポリウレタン樹脂発泡体製シ−ト、ポリシリコン弾性シ−ト等が用いられる。
例えば、かかるポリウレタン樹脂発泡体製シ−トは、ロデ−ル・ニッタ株式会社よりIC−1000、SUBA800の商品名で入手できる。
【0021】
弾性シ−ト基層(a)と弾性シ−ト表面層(b)との接着、穿孔積層弾性シ−ト51b,52bと剛体製吸着板との接着は、ホットメルト接着剤、液状接着剤もしくは粘着剤を用いて行なわれる。なお、弾性シ−ト基層(a)と弾性シ−ト表面層(b)との積層体は、ロデ−ル・ニッタ株式会社よりIC−1400の商品名で入手できる。
また、弾性シ−ト基層(a)51cと弾性シ−ト表面層(b)51dとの積層を、2層型射出成形金型を用い、2層射出ウレタン発泡成形して発泡積層体を得てもよい。
ホットメルト接着剤としては、エチレン・酢酸ビニル共重合体、ポリエチレンワックス、マレイン酸グラフト低密度ポリエチレンなどが、液状接着剤としては、溶剤型ポリウレタン接着剤、エポキシ樹脂接着剤、酢酸ビニル樹脂接着剤などが、粘着剤としては液状ブタジエン、石油樹脂、クマロインデン樹脂、アビエチン酸ロジン、テルペン・フェノ−ル共重合体などが挙げられる。ホットメルト接着剤と粘着剤は混合して使用されることもある。
【0022】
剛体製吸着板51aの孔は、基部58で直径2〜8mmで、穿孔積層弾性シ−ト51bと接する上方部で直径1〜2mmで、穿孔積層弾性シ−トの孔51eの径と同じか、それよりも大きい径である。
剛体製吸着板51a,52aの孔の中心線は、穿孔積層弾性シ−トの孔51eの中心線と略一致する。
【0023】
剛体製吸着板51a,52aの厚みは、10〜50mmで十分である。剛体製吸着板51a,52aは、ポ−ラスセラミック板に置き換えてもよく、ポ−ラスセラミック板の場合は、基部58への穿孔は不要である。
【0024】
弾性シ−ト基層(a)および弾性シ−ト表面層(b)がそれぞれ発泡成形して得られた発泡ブロックを所望厚さにスライスして得られたものであるときは、穿孔積層弾性シ−トあるいは穿孔される前の積層弾性シ−トの平面を平滑にするために基板を研削する砥石を使用して研削するのが好ましい。
【0025】
積層弾性シ−ト表面の環状溝51fは、基板の外周に似せて基板の外周よりは0.05〜2mm幅大きく、深さは0.5〜3.0mmである。環状溝51fは表面層51dの途中の深さであっても、基層51cの深さまで食い込んでいてもよい。また、環状溝51fを2〜5本の複数としてもよい。
ワ−クの半径よりは3〜8mm小さい半径で前記環状溝51fの内側近傍に1〜3本の環状スリット(切り目)51gを設ける(図4参照)と、得られる加工ワ−クの肩ダレをより小さくすることができる。環状スリットは切り目が連続した円状でも、切り目が不連続なミシン目状であってもよい。
更に、積層弾性シ−ト51bの表面には、加工基板の剥離を容易とするため、中心点を通る溝51hを放射状に設けるのが好ましい。溝51hは、幅0.01〜0.5mm、深さ0.05〜1mmでよい。
【0026】
吸着チャック機構51,52の弾性シ−ト表面層(b)51d上、環状溝51f内に基板が載置されると、吸引孔51eを真空ポンプ59で吸引し、基板を吸着チャック機構の上に固定する。
各チャック機構51,52はモ−タM2で水平方向に回転される。
【0027】
基台1上の中列には、前記コラム3の手前の中央部に基板の第2洗浄機構7を配置し、かつ、中列左側より第1インデックステ−ブル5の手前に第1洗浄機構6および第1ダブルア−ム搬送ロボット9を配置、および中列右側より第2インデックステ−ブル5手前に第3基板洗浄機構8、第2ダブルア−ム搬送ロボット10を配置している。
【0028】
各基板洗浄機構6,7,8は、仮置台61,71,81、エア−シリンダ63,73,83により前後に進退可能およびモ−タにより回転可能なブラシ62,72,82を有する。各基板洗浄機構6,7,8は、必要により基板のセンタリング機構64,74,84が付属される。
【0029】
基台上の前列には、第1ダブルア−ム搬送ロボット9の手前に一対の基板収納カセット11a,11bおよび第2ダブルア−ム搬送ロボット10の手前に一対の基板収納カセット12a,12bを配置してある。
【0030】
研削砥石ユニット4,4は、図2に示されるようにカップホイ−ル型研削砥石41をエア−スピンドル42で軸承し、エア−スピンドルはビルトインモ−タ43で回転される。44はスピンドルケ−シング、45は軸受、46はX軸(左右)方向の傾斜調整ボルト、46’はY軸(前後)方向の傾斜調整ボルト、Mはモ−タで傾斜ボルト46を締めたり、緩めたりする。
47はケ−シング44を昇降機構48に据え付ける取付部、49は昇降機構を垂直方向に昇降可能とする凹状溝を有するレ−ルである。取付部下部には半球状凹部47aが設けられ、昇降機構48の下部には前記半球状凹部47aに嵌合する半球状凸部48aが設けられ、半球状凹部47aと半球状凸部48a間には0.05〜0.1mmの隙間が形成されている。
【0031】
カップホイ−ル型研削砥石41の砥石素材としては、ビトリファイドダイヤモンド砥石、レジンボンドダイヤモンド砥石、ビトリファイドCBN砥石などが使用される。吸着チャック51,52上でのウエハ第1研削では、砥石目番が600〜1000番の粗い目のカップホイ−ル型研削砥石が、吸着チャック51’,52’上でのウエハ第2研削では、砥石目番が1200〜2400番の細かい目のカップホイ−ル型研削砥石が用いられる。
【0032】
傾斜調整ボルト46,46’をモ−タM、M’の駆動力で締めたり緩めたりすることにより昇降機構48の下部の半球状凸部48aを中心に取付部下部の半球状凹部47a前に設けた前記隙間を利用してスピンドル42が傾斜する。48bはボ−ルネジ、48cは螺合体でACサ−ボモ−タM3の駆動で昇降機構を上下させる。
【0033】
かかる研削装置1を用いてインゴットをスライシングして得られた基板wの両面を研削する工程は次ぎのように行われる。
▲1▼収納カセット11a内の基板を第1ダブルア−ム搬送ロボット9のクリ−ンなア−ムで把持し、第1洗浄機構6の仮置台61上に基板を搬送し、センタリング機構64で中央合わせし、ついで基板のチャックされる面を0.19〜0.49MPaの純水を吹き付けながらブラシスクラブ洗浄する。
この間、第1インデックステ−ブル5は、回転軸57を時計廻り方向に180度回転され、第1インデックステ−ブル手前側の吸着チャック機構51はその吸着板をチャック洗浄機構53により洗浄される。
【0034】
▲2▼第1洗浄された基板を第1ダブルア−ム搬送ロボット9のクリ−ンなア−ムで把持し、第1インデックステ−ブル5の手前側の吸着チャック機構52上に基板を載せた後、回転軸57を時計廻り方向に180度回転する。ついで、第1インデックステ−ブル手前側の吸着チャック機構51はその吸着板をチャック洗浄機構53により洗浄される。
この間に収納カセット11a内より新たな基板が第1ダブルア−ム搬送ロボット9のクリ−ンなア−ムで把持され、第1洗浄機構6の仮置台61上に基板を搬送し、センタリング機構64で中央合わせし、ついで基板のチャックされる面を0.19〜0.49MPaの純水を吹き付けながらブラシスクラブ洗浄する。
【0035】
▲3▼回転軸57を時計逆廻り方向に180度回転した後、第1インデックステ−ブル手前側の吸着チャック機構52はその吸着板をチャック洗浄機構53により洗浄され、第1洗浄された基板を第1ダブルア−ム搬送ロボット9のクリ−ンなア−ムで把持し、第1インデックステ−ブル5の手前側の吸着チャック機構52上に載せる。
一方のチャック機構51上の基板はモ−タM2により200〜4000rpmで回転せられ、ついで第1研削砥石ユニットのビルドインモ−タ43によりカップホイ−ル型砥石を400〜6000rpmで回転させつつ昇降機構48により第1研削砥石ユニットを下降させ、基板に当接させ、お互いに摺動させて基板の片面(A面)を研削し、研削が終了したら第1研削砥石ユニットを上昇させる。この間に収納カセット11a内より新たな基板が第1ダブルア−ム搬送ロボット9のクリ−ンなア−ムで把持され、第1洗浄機構6の仮置台61上に基板を搬送し、センタリング機構64で中央合わせし、ついで基板のチャックされる面に純水を吹き付けながらブラシスクラブ洗浄する。
【0036】
▲4▼第1インデックステ−ブルおよび第2インデックステ−ブルの回転軸57を時計廻り方向に180度回転した後、第1インデックステ−ブル手前側の吸着チャック機構52上の研削基板は第1ダブルア−ム搬送ロボット9のダ−ティなア−ムで把持され、第2洗浄機構の仮置台71上に移送され、センタリング機構で中心位置合わせされた後、チャックされる面を第2ブラシスクラブ洗浄される。ついで手前側にきた吸着チャック機構52はその吸着板をチャック洗浄機構53により洗浄され、第1洗浄された基板が第1ダブルア−ム搬送ロボット9のクリ−ンなア−ムで把持し、第1インデックステ−ブル5の手前側の吸着チャック機構52上に載せられる。
他方の第2インデックステブル5手前側の吸着チャック機構51はその吸着板をチャック洗浄機構53により洗浄される。
一方、第1インデックステ−ブルの吸着チャック機構51上の基板はモ−タM2により回転せられ、ついで第1研削砥石ユニットのカップホイ−ル型砥石を回転させつつ、昇降機構48を下降させて砥石を基板に当接させ両者を摺合させて基板の片面(A面)を研削した後、第1研削砥石ユニットを上昇させる。
この間に収納カセット11a内より新たな基板が第1ダブルア−ム搬送ロボット9のクリ−ンなア−ムで把持され、第1洗浄機構6の仮置台61上に基板を搬送し、センタリング機構64で中央合わせし、ついで基板のチャックされる面に純水を吹き付けながらブラシスクラブ洗浄する。
【0037】
▲5▼第1インデックステ−ブル5および第2インデックステ−ブル5を180度時計逆廻り方向に回転させる。
第2洗浄機構の研削基板を第2ダブルア−ム搬送ロボット10のダ−ティなア−ムで把持し、第2インデックステ−ブル5上の吸着チャック機構52’上に研削面(A面)が下向きに未研削面(B面)が砥石に対向するよう移送する。
一方、第1インデックステ−ブル手前側の吸着チャック機構51上の研削基板は第1ダブルア−ム搬送ロボット9のダ−ティなア−ムで把持され、第2洗浄機構の仮置台71上に移送され、センタリングされた後、チャックされる面を第2ブラシスクラブ洗浄される。
ついで手前側にきた第1インデックステ−ブルの吸着チャック機構51はその吸着板をチャック洗浄機構53により洗浄され、第1洗浄された基板が第1ダブルア−ム搬送ロボット9のクリ−ンなア−ムで把持し、第1インデックステ−ブル5の手前側の吸着チャック機構51上に載せられる。
その間、第1インデックステ−ブルの吸着チャック機構52上の基板はモ−タM2により回転せられ、ついで第1研削砥石ユニットのカップホイ−ル型砥石を回転させつつ、昇降機構48を下降させて砥石を基板に当接させ両者を摺合させて基板の片面(A面)を研削した後、第1研削砥石ユニットを上昇させる。
また、この間に収納カセット11a内より新たな基板が第1ダブルア−ム搬送ロボット9のクリ−ンなア−ムで把持され、第1洗浄機構6の仮置台61上に基板を搬送し、センタリング機構64で中央合わせし、ついで基板のチャックされる面に純水を吹き付けながらブラシスクラブ洗浄する。
【0038】
▲6▼第1インデックステ−ブル5および第2インデックステ−ブル5を180度時計廻り方向に回転させる。
第2洗浄機構7の研削基板を第2ダブルア−ム搬送ロボット10のダ−ティなア−ムで把持し、第2インデックステ−ブル5上の吸着チャック機構51上に未研削面(B面)が上向くように移送する。一方、第2インデックステ−ブル5上の吸着チャック機構52上の基板はモ−タM2により回転せられ、ついで第2研削砥石ユニットのカップホイ−ル型砥石を回転させつつ、昇降機構48を下降させて砥石を基板に当接させ両者を摺合させて基板の片面(B面)を研削した後、第2研削砥石ユニットを上昇させる。
一方、第1インデックステ−ブル手前側の吸着チャック機構52上の研削基板は第1ダブルア−ム搬送ロボット9のダ−ティなア−ムで把持され、第2洗浄機構の仮置台71上に移送され、チャックされる面を第2ブラシスクラブ洗浄される。
ついで手前側にきた第1インデックステ−ブルの吸着チャック機構52はその吸着板をチャック洗浄機構53により洗浄され、第1洗浄された基板が第1ダブルア−ム搬送ロボット9のクリ−ンなア−ムで把持し、第1インデックステ−ブル5の手前側の吸着チャック機構52上に載せられる。
その間、第1インデックステ−ブルの吸着チャック機構51上の基板はモ−タM2により回転せられ、ついで第1研削砥石ユニットのカップホイ−ル型砥石を回転させつつ、昇降機構48を下降させて砥石を基板に当接させ両者を摺合させて基板の片面(A面)を研削した後、第1研削砥石ユニットを上昇させる。
また、この間に収納カセット11a内より新たな基板が第1ダブルア−ム搬送ロボット9のクリ−ンなア−ムで把持され、第1洗浄機構6の仮置台61上に基板を搬送し、センタリング機構64で中央合わせし、ついで基板のチャックされる面に純水を吹き付けながらブラシスクラブ洗浄する。
【0039】
▲7▼第1インデックステ−ブル5および第2インデックステ−ブル5を180度時計逆廻り方向に回転させる。
第2インデックステ−ブル5上の吸着チャック機構52’上の研削基板は、第2ダブルア−ム搬送ロボット10のダ−ティなア−ムで把持され、第3洗浄機構8の仮置台81に移送され、両面(A面、B面)をブラシスクラブ洗浄され、ついでスピン乾燥後、第2ダブルア−ム搬送ロボット10のクリ−ンなア−ムで把持され、第3洗浄機構8からアンロ−デヂィングカセット12bに搬送・収納される。
ついで、第2インデックステ−ブル5上の吸着チャック機構52’はチャック洗浄機構53により洗浄され、第2洗浄機構7の研削基板を第2ダブルア−ム搬送ロボット10のダ−ティなア−ムで把持し、第2インデックステ−ブル5上の吸着チャック機構52上に未研削面(B面)が上向くように移送する。
【0040】
一方、第2インデックステ−ブル5上のチャック機構51’上の基板はモ−タM2により回転せられ、ついで第2研削砥石ユニットのカップホイ−ル型砥石を回転させつつ、昇降機構48を下降させて砥石を基板に当接させ両者を摺り合させて基板の片面(B面)を研削した後、第2研削砥石ユニットを上昇させる。
その間、第1インデックステ−ブル手前側の吸着チャック機構51上の研削基板は第1ダブルア−ム搬送ロボット9のダ−ティなア−ムで把持され、第2洗浄機構の仮置台71上に移送され、チャックされる面を第2ブラシスクラブ洗浄される。
ついで、手前側にきた第1インデックステ−ブルの吸着チャック機構51はその吸着板をチャック洗浄機構53により洗浄され、第1洗浄された基板が第1ダブルア−ム搬送ロボット9のクリ−ンなア−ムで把持し、第1インデックステ−ブル5の手前側の吸着チャック機構51上に載せられる。
その間、第1インデックステ−ブルの吸着チャック機構52上の基板はモ−タM2により回転せられ、ついで第1研削砥石ユニットのカップホイ−ル型砥石を回転させつつ、昇降機構48を下降させて砥石を基板に当接させ両者を摺合させて基板の片面(A面)を研削した後、第1研削砥石ユニットを上昇させる。
また、この間に収納カセット11a内より新たな基板が第1ダブルア−ム搬送ロボット9のクリ−ンなア−ムで把持され、第1洗浄機構6の仮置台61上に基板を搬送し、センタリング機構64で中央合わせし、ついで基板のチャックされる面に純水を吹き付けながらブラシスクラブ洗浄する。
【0041】
以降、上記▲7▼の工程を連続して繰返し、基板の表裏面が研削された基板を連続生産する。
【0042】
上記態様において、インデックステ−ブル5,5は、時計廻り方向に180度、ついで時計逆廻り方向に180度と交互に回転する方向を変えたが、インデックステ−ブル5,5を時計廻り方向に180度、180度と同一方向に回転するようにしてもよい。
また、第2インデックステ−ブル側の吸着チャック機構51’,52’の吸着板は、すでに片面が研削された基板を反転して研削するのであるから、弾性積層シ−トは無くても有ってもよい。
【0043】
【実施例】
実施例1
積層弾性シ−トの弾性シ−ト基層(a)としてロデ−ル・ニッタ株式会社のポリウレタン発泡シ−ト SUBA400(商品名:アスカC硬度61、圧縮率8.0%、弾性回復率88%、厚み1.27mm)を、および弾性シ−ト表面層(b)としてロデ−ル・ニッタ株式会社のポリウレタン発泡シ−ト IC−1000(商品名:アスカC硬度95、圧縮率1.0%、弾性回復率61%、密度0.73g/cm3、厚み1.27mm)を用い、溶剤型ポリエステル・ポリイソシアネ−トウレタン接着剤を用いて両者を積層接着し、ついで、得た積層体を打ち抜きプレス金型で直径310mmに切り抜いた。さらに、内径300mm、外径302mm、深さ1.5mmの環状溝を積層体の弾性シ−ト表面層側から彫刻した。この積層体に1.0mm径の孔を中心より半径148mmと142mmの円周上に2列に多数穿孔した。
【0044】
図1から図3に示される研削装置(第2インデックステ−ブル側の吸着チャック機構51’,52’の吸着板は、穿孔した積層弾性シ−トは無く、ポ−ラスセラミックチャック)を用い、第1インデックステ−ブル側の吸着チャック機構51,52の吸着板上に穿孔した弾性積層シ−トを載せ、吸着板をバキュ−ム吸引して穿孔弾性積層シ−トを固定し、ついで、吸着板を回転させつつ、回転しているカップホイ−ル型砥石を下降させ、穿孔弾性積層シ−トの弾性シ−ト基層(a)を15μm研削し、表面を平坦化した。
【0045】
次いで、カップホイ−ル型砥石を上昇させ、バキュ−ムを止めて穿孔弾性積層シ−トを取り出し、洗浄した後、穿孔弾性積層シ−トを前とは上下逆にして吸着板上に穿孔した弾性積層シ−トを載せ、吸着板を再びバキュ−ム吸引して穿孔弾性積層シ−トを固定し、ついで、吸着板を回転させつつ、回転しているカップホイ−ル型砥石を下降させ、穿孔弾性積層シ−トの弾性シ−ト表面層(b)を15μm研削し、表面を平坦化し、ついでカップホイ−ル型砥石を上昇させ、バキュ−ムを止めて穿孔弾性積層シ−トを取り出し、洗浄し、厚み2.54mm、両面が平坦化された穿孔弾性積層シ−トを得た。
【0046】
図1から図3に示される研削装置(第1インデックステ−ブル側の吸着チャック機構51,52の吸着板は、上記穿孔した積層弾性シ−トが弾性シ−ト表面層(b)が上向きにポ−ラスセラミック板に接着され、第2インデックステ−ブル側の吸着チャック機構51’,52’の吸着板は、穿孔した積層弾性シ−トは無く、ポ−ラスセラミック板を用いた。シリコンインゴットをワイヤ−ソウでスライスした厚み約750μm、直径約300mmのシリコンウエハを吸着チャック上に載せ、片面づつ研削を行い、両面が研削された厚み600μmの加工シリコン基板を得た。
【0047】
得た研削基板は、吸着マ−クおよび研削焼けはなく、第1研削面のWarp Best Fitは、7.24μmから7.56μmへとうねりが若干大きくなった。また、TV9の平均値は、1.0μm、SBIR(面内バラツキ)は、0.38μmであった。図5に研削基板の第1研削面の表面高さ分布を示す。
第2研削面のTV9の平均値は0.70μm、平坦度GBIRは43点測定で0.56μm、表面粗さRmax 68nm、表面粗さRa平均 30nmであり、研削焼けは無かった。
【0048】
比較例1
第1研削の吸着気孔として、ポ−ラスセラミックチャック上に載せる弾性積層シ−トとして、環状溝を設けないものを用いる他は実施例1と同様にしてウエハの第1研削および第2研削を行った。
図4に研削基板の第1研削面の表面高さ分布を示す。
【0049】
実施例2
穿孔積層弾性シ−トとして、半径148mmの円周上に設けられた穿孔と、半径142mmの円周上に設けられた穿孔との間に、深さが1.0mm、半径が144mmの環状スリットと半径が146mmの環状スリットを設けた穿孔積層弾性シ−トを用いる外は実施例1と同様にして300mm径のワ−クの研削を行った。得られた加工ワ−クは実施例1で得たものよりも肩ダレの高さが4割減少していた。
【0050】
【発明の効果】
図5と図6を比較して理解できるように、本発明の環状溝を有する弾性積層シ−トを載せた吸着チャックを用いて研削した基板は、環状溝を有しない弾性積層シ−トを載せた吸着チャックを用いて研削した基板と比較してスライスうねりがより減少するとともに、研削基板の外周縁部に形成されるリング状の突起高さも低くなる。
【図面の簡単な説明】
【図1】 本発明の研削装置の平面図である。
【図2】 図1に示す研削装置の研削砥石ユニットと吸着チャック機構の関係を示す正面図である。
【図3】 図3aは吸着チャック機構の斜視図であり、図3bは吸着チャック機構の部分断面図である。
【図4】 穿孔積層弾性シ−トの斜視図である。
【図5】 本発明の研削装置を用いて研削された基板の第1研削面の表面高さの分布図である。
【図6】 比較例1で得た研削基板の第1研削面の表面高さの分布図である。
【符号の説明】
1 研削装置
4 カップホイ−ル型砥石
5,5 インデックステ−ブル
51,52 吸着チャック機構
51b,52b 穿孔した積層弾性シ−ト
51c 弾性シ−ト基層(a)
51d 弾性シ−ト表面層(b)
51e 穿孔
51f 環状溝
51g 環状スリット
Claims (2)
- インゴットをスライシングして得た基板を吸着チャック上に保持し、該基板上面側よりスピンドルに軸承されたカップホイ−ル型研削砥石を押し圧し、前記吸着チャックとカップホイ−ル型研削砥石を摺動させて基板表面を研削する装置であって、
前記吸着チャックの基板を吸着する面が、剛体製吸着板の表面に直径0.5〜2mmの孔を穿った厚み2.0〜5mmの弾性シ−トを貼着した構造となっており、この弾性シ−ト表面には基板の外周に似せて基板の外周から0.05〜2mm幅大きい環状溝幅で深さが0.5〜3.0mmの環状溝が設けられており、基板は該弾性シ−ト表面層上の前記環状溝内側に載せられることを特徴とする、基板用研削装置。 - 基板を載せる弾性シ−トが、アスカ−C硬度50〜70、圧縮率5〜15%、弾性回復率80〜92%、厚み1〜3mmの弾性シ−ト基層(a)と、アスカ−C硬度80〜95、圧縮率0.1〜3%、弾性回復率55〜75%、厚み0.5〜2mmの弾性シ−ト表面層(b)を含む厚み2.0〜5mmの積層体に直径0.5〜2mmの孔を穿った積層弾性シ−トであって、かつ、基板の外周に似せて弾性シ−ト表面層(b)には基板の外周から0.05〜2mm幅大きい環状溝幅で深さが0.5〜3.0mmの環状溝が設けられていることを特徴とする、請求項1に記載の基板用研削装置。
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