JP2014063878A - 研磨装置及びsoiウェーハの研磨方法 - Google Patents
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- 238000005498 polishing Methods 0.000 title claims abstract description 144
- 238000000034 method Methods 0.000 title claims abstract description 17
- 229920005989 resin Polymers 0.000 claims abstract description 34
- 239000011347 resin Substances 0.000 claims abstract description 34
- 239000000463 material Substances 0.000 claims abstract description 30
- 239000004744 fabric Substances 0.000 claims abstract description 13
- 230000002093 peripheral effect Effects 0.000 claims abstract description 13
- 230000002209 hydrophobic effect Effects 0.000 claims description 4
- 238000009826 distribution Methods 0.000 abstract description 25
- 239000006260 foam Substances 0.000 abstract 4
- 235000012431 wafers Nutrition 0.000 description 63
- 239000010408 film Substances 0.000 description 25
- 230000015572 biosynthetic process Effects 0.000 description 5
- 238000005468 ion implantation Methods 0.000 description 5
- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 description 5
- XUIMIQQOPSSXEZ-UHFFFAOYSA-N Silicon Chemical compound [Si] XUIMIQQOPSSXEZ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 4
- 239000003795 chemical substances by application Substances 0.000 description 4
- 230000000052 comparative effect Effects 0.000 description 4
- 230000006866 deterioration Effects 0.000 description 4
- 230000007246 mechanism Effects 0.000 description 4
- 238000003825 pressing Methods 0.000 description 4
- 229910052710 silicon Inorganic materials 0.000 description 4
- 239000010703 silicon Substances 0.000 description 4
- XLYOFNOQVPJJNP-UHFFFAOYSA-N water Substances O XLYOFNOQVPJJNP-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 4
- 238000004140 cleaning Methods 0.000 description 3
- 238000006073 displacement reaction Methods 0.000 description 3
- 238000000926 separation method Methods 0.000 description 3
- 239000010409 thin film Substances 0.000 description 3
- 239000007864 aqueous solution Substances 0.000 description 2
- 230000008901 benefit Effects 0.000 description 2
- -1 hydrogen ions Chemical class 0.000 description 2
- 229920000139 polyethylene terephthalate Polymers 0.000 description 2
- 239000005020 polyethylene terephthalate Substances 0.000 description 2
- 239000004065 semiconductor Substances 0.000 description 2
- 239000000758 substrate Substances 0.000 description 2
- 229920002799 BoPET Polymers 0.000 description 1
- JOYRKODLDBILNP-UHFFFAOYSA-N Ethyl urethane Chemical compound CCOC(N)=O JOYRKODLDBILNP-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 230000008859 change Effects 0.000 description 1
- 239000013078 crystal Substances 0.000 description 1
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 1
- 239000003822 epoxy resin Substances 0.000 description 1
- 239000012530 fluid Substances 0.000 description 1
- 239000007789 gas Substances 0.000 description 1
- 239000011521 glass Substances 0.000 description 1
- 238000010438 heat treatment Methods 0.000 description 1
- 239000001257 hydrogen Substances 0.000 description 1
- 229910052739 hydrogen Inorganic materials 0.000 description 1
- 230000005660 hydrophilic surface Effects 0.000 description 1
- 230000005661 hydrophobic surface Effects 0.000 description 1
- 230000006872 improvement Effects 0.000 description 1
- 230000010354 integration Effects 0.000 description 1
- 150000002500 ions Chemical class 0.000 description 1
- 230000009191 jumping Effects 0.000 description 1
- 238000012423 maintenance Methods 0.000 description 1
- 229920000647 polyepoxide Polymers 0.000 description 1
- 229920002635 polyurethane Polymers 0.000 description 1
- 239000004814 polyurethane Substances 0.000 description 1
- 230000008569 process Effects 0.000 description 1
- 239000000243 solution Substances 0.000 description 1
- 239000000126 substance Substances 0.000 description 1
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Abstract
【解決手段】定盤上に貼り付けられた研磨布と、ワークを保持するための研磨ヘッドを有し、該研磨ヘッドは、円盤状のプレートと、該プレートの下面部に貼着され、かつワークの裏面が当接する発泡樹脂層を有するバッキング材と、該バッキング材の発泡樹脂層の下面の周辺部に設けられワークのエッジ部を保持するリング状のテンプレートを含むものであり、ワークの表面を研磨布に摺接させて研磨する研磨装置であって、バッキング材の発泡樹脂層の下面における保持するワークの外周部が当接する位置に、発泡樹脂層の厚さ方向の深さを有するリング状溝がテンプレートと同心円状に形成されたものであることを特徴とする研磨装置。
【選択図】 図1
Description
SOIウェーハの代表的な製造方法として、2枚のウェーハを貼り合せた後、一方のウェーハの薄膜化を研削・研磨で行う方法とイオン注入剥離法(スマートカット(登録商標)法ともいう)で行う方法が知られているが、シリコン薄膜が500nm以下の貼り合わせウェーハの製造に限定すればイオン注入剥離法が主流となっている。
その他、テンプレートを具備した研磨装置として、特許文献2、特許文献3、特許文献4などが知られている。
このようなものであれば、ワークの保持力をより高めることができるとともに、研磨によって研磨面に転写される可能性がある溝パターンを例えばSOIウェーハのデバイス作製領域外に形成できる。
このように溝幅が0.5mm以上であれば、ワークの保持力を確保でき、テンプレート内でのワークのずれを確実に抑制できる。また、溝幅が2mm以下であれば、研磨面に転写される溝パターンによって平坦度が悪化するのを抑制できるとともに、溝部におけるバッキング材の劣化を抑制できる。
このような研磨方法であれば、研磨中にテンプレート内でのSOIウェーハのずれを抑制でき、研磨面がテーパ状の膜厚分布を形成してしまうのを抑制できる。
SOI層の膜厚が1000nm以下の薄膜SOIを研磨する際、研磨代が100nm以下の微量研磨の場合には、僅かなSOIウェーハの位置ずれが、面内膜厚分布の均一性に対し大きく影響するので、SOIウェーハの位置ずれを抑制できる本発明が極めて有効に機能する。
このようにすれば、ワークの保持力をより高めることができる。
本発明者等は、SOI層表面の微量研磨を行う際、上記のように特定の方向にテーパ状となった膜厚分布が形成されてしまう原因について鋭意検討した結果、次のような知見を得た。
すなわち、テンプレートの内径は、通常、研磨を行うウェーハの直径よりも1〜2mm程度大きく形成されており、研磨前にウェーハをテンプレートの中央に配置した段階では、ウェーハはテンプレートに接触しない状態でバッキング材(バッキングパッド)に保持される。
そこで、テンプレートの中央からウェーハが位置ずれしていない状態で研磨を行えば、上記問題を解決できることに想到し、本発明を完成させた。
定盤3の下部には駆動軸6が垂直に連結され、その駆動軸6の下部に連結された定盤回転モータ(不図示)によって定盤3が回転できるようになっている。
研磨するワークWは、その裏面が発泡樹脂層24に当接して保持される。ワークWを保持する際にはバッキング材22に水を含ませ、水の表面張力によりワークWを保持することができる。
このように溝幅が0.5mm以上であれば、ワークの保持力を確保でき、テンプレート内でのワークのずれを確実に抑制できる。また、溝幅が2mm以下であれば、研磨面に転写される溝パターンによって平坦度が悪化するのを抑制できるとともに、溝部におけるバッキング材の劣化を抑制できる。
このような研磨装置であれば、上記したように、研磨中にテンプレート内でワークがずれるのを抑制できるので、研磨面がテーパ状に形成されるのを抑制でき、特にSOIウェーハのSOI層の微量研磨においても、テーパ状の膜厚分布の形成を抑制でき、研磨前の面内膜厚分布の均一性を維持できる。
図1に示すような本発明の研磨装置を用いてSOIウェーハを研磨し、SOI膜厚分布を評価した。
研磨したSOIウェーハは、直径が300mm、SOI膜厚が88nm、BOX層厚が146nmのものを用いた。研磨前の洗浄工程でHF水溶液を用いて洗浄し、発泡樹脂層の下面に当接するSOIウェーハの裏面を疎水性にした。
バッキング材は、PETフィルムからなる樹脂シート層及び発泡ウレタンからなる発泡樹脂層を有するものを用い、リング状溝の溝幅を1mm、リング径を294mmとした。
研磨前にSOI膜厚分布を測定したところ、平均88.2nm、P−V(Peak to Valley)値は1.2nmであった。
このようにして本発明の研磨装置は、SOIウェーハのSOI層の研磨において研磨面がテーパ状の膜厚分布を形成してしまうのを抑制できるものであることが確認できた。
リング状溝が形成されていないバッキング材を用いた以外、実施例と同様な条件でSOIウェーハを研磨し、実施例と同様な方法で評価した。
研磨前のSOI膜厚分布は平均87.9nm、P−V値は1.8nmであったのに対し、研磨後のSOI膜厚分布は平均54.2nm、P−V値は3.9nmであり、P−V値の増加が2.1nmで実施例より大きく、研磨代の面内分布は平均33.4nm、P−V値3.9nmであり、P−V値が実施例より劣っていた。また、図3に示すように、膜厚分布の形状も研磨前後で異なっており、研磨前の膜厚が薄い部分と厚い部分が、研磨後の薄い部分と厚い部分にそれぞれ対応していない箇所が見られた。これは、研磨によって特定の方向にテーパ形状の膜厚分布が新たに形成されたことに起因する。
5…研磨剤供給機構、 6…駆動軸、
21…プレート、 22…バッキング材、 23…樹脂シート層、
24…発泡樹脂層、 25…テンプレート、 26…リング状溝。
Claims (6)
- 定盤上に貼り付けられた研磨布と、ワークを保持するための研磨ヘッドを有し、該研磨ヘッドは、円盤状のプレートと、該プレートの下面部に貼着され、かつ前記ワークの裏面が当接する発泡樹脂層を有するバッキング材と、該バッキング材の発泡樹脂層の下面の周辺部に設けられ、前記ワークのエッジ部を保持するリング状のテンプレートを含むものであり、前記ワークの表面を前記研磨布に摺接させて研磨する研磨装置であって、
前記バッキング材の発泡樹脂層の下面における前記保持するワークの外周部が当接する位置に、前記発泡樹脂層の厚さ方向の深さを有するリング状溝が前記テンプレートと同心円状に形成されたものであることを特徴とする研磨装置。 - 前記バッキング材の発泡樹脂層の下面における前記リング状溝の位置は、前記保持するワークの外周端が当接する位置から内側に10mmまでの範囲内であることを特徴とする請求項1に記載の研磨装置。
- 前記リング状溝の溝幅は0.5〜2mmであることを特徴とする請求項1又は請求項2に記載の研磨装置。
- 請求項1乃至請求項3のいずれか1項に記載の研磨装置を用い、前記ワークとしてSOIウェーハを用い、該SOIウェーハのSOI層を研磨することを特徴とするSOIウェーハの研磨方法。
- 前記研磨するSOIウェーハのSOI層の膜厚が1000nm以下であり、研磨代を100nm以下として研磨することを特徴とする請求項4に記載のSOIウェーハの研磨方法。
- 前記研磨するSOIウェーハの前記発泡樹脂層の下面に当接する面を疎水性とすることを特徴とする請求項4又は請求項5に記載のSOIウェーハの研磨方法。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2012208088A JP6056318B2 (ja) | 2012-09-21 | 2012-09-21 | Soiウェーハの研磨方法 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2012208088A JP6056318B2 (ja) | 2012-09-21 | 2012-09-21 | Soiウェーハの研磨方法 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2014063878A true JP2014063878A (ja) | 2014-04-10 |
JP6056318B2 JP6056318B2 (ja) | 2017-01-11 |
Family
ID=50618852
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2012208088A Active JP6056318B2 (ja) | 2012-09-21 | 2012-09-21 | Soiウェーハの研磨方法 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP6056318B2 (ja) |
Citations (5)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
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-
2012
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A977 | Report on retrieval |
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