JPH0738284A - 異物除去装置 - Google Patents

異物除去装置

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Publication number
JPH0738284A
JPH0738284A JP5182342A JP18234293A JPH0738284A JP H0738284 A JPH0738284 A JP H0738284A JP 5182342 A JP5182342 A JP 5182342A JP 18234293 A JP18234293 A JP 18234293A JP H0738284 A JPH0738284 A JP H0738284A
Authority
JP
Japan
Prior art keywords
foreign matter
stage
electronic components
electronic component
vacuum
Prior art date
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Withdrawn
Application number
JP5182342A
Other languages
English (en)
Inventor
Hiroyuki Tsukui
博之 津久井
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
NEC Ibaraki Ltd
Original Assignee
NEC Ibaraki Ltd
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Filing date
Publication date
Application filed by NEC Ibaraki Ltd filed Critical NEC Ibaraki Ltd
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Publication of JPH0738284A publication Critical patent/JPH0738284A/ja
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Abstract

(57)【要約】 【構成】 異物が付着した電子部品をスーテージ上に搭
載し、バキュームブロックの下部に設けた空間部に電子
部品収容して吸引用ホースを介してバキュームブロック
の空間部の空気を吸引する。 【効果】 目視によって電子部品に異物が付着している
か否かを検査する必要がなくなるとともに、確実に異物
を除去することが可能になる。また、粘着性テープや粘
着性ローラから粘着剤の一部が脱落して電子部品に付着
することがなくなるため、電子部品の信頼性を向上させ
ることができる。

Description

【発明の詳細な説明】
【0001】
【産業上の利用分野】本発明は、電子部品に付着した異
物を電子部品から除去するための異物除去装置に関す
る。
【0002】
【従来の技術】電子部品に付着した異物を電子部品から
除去するための従来の手段は、電子部品に異物が付着し
ているか否かを目視によって検査し、異物が付着してい
るのを発見したとき、粘着性テープによってそれを除去
するか、または、電子部品の上を粘着性ローラを転動さ
せて除去している。
【0003】
【発明が解決しようとする課題】上述したような従来の
電子部品から異物の除去手段は、目視によって電子部品
に異物が付着しているか否かを検査することが基本とな
っていいるため、異物の発見は検査員の集中力に負うと
ころが大きく、長時間検査を継続すると、電子部品に付
着している異物を見逃がす危険性が増大するという欠点
を有している。また、粘着性テープや粘着性ローラから
粘着剤の一部が脱落して電子部品に付着するという問題
点も有している。更に、粘着性ローラを使用する場合
は、粘着性ローラの大きさをあまり小さいものとするこ
とができないという制限があるため、小型の電子部品や
凹凸のある電子部品には使用できないという欠点も有し
ている。
【0004】
【課題を解決するための手段】本発明の異物除去装置
は、搭載するスーテージと、下部に設けた前記電子部品
を収容する空間部と前記空間部に空気を流通させる少な
くとも1個の流通孔とを有し前記スーテージ上に搭載さ
れるバキュームブロックとを備え、前記流通孔に吸引用
ホースを接続するか、または前記流通孔が2個以上の場
合において、前記2個以上の流通孔のうちの一部の流通
孔に吸引用ホースを接続し、前記2個以上の流通孔のう
ちの残余の流通孔に送風用ホースを接続したものであ
り、更に、前記バキュームブロックを前記スーテージに
搭載したときに前記空間部を密封するカバーを設けたも
のである。
【0005】
【実施例】次に、本発明の実施例について図面を参照し
て説明する。
【0006】図1は本発明の第一の実施例を示す断面図
である。
【0007】図1の実施例は、異物3が付着した電子部
品2を搭載するスーテージ1と、下部に電子部品2を収
容する空間部を有し、この空間部に空気を流通させる流
通孔とを中央部に有するバキュームブロック5aと、こ
の流通孔に接続した吸引用ホース8bとを備えている。
バキュームブロック5aは、スーテージ1の上に載置さ
れ、吸引用ホース8bから電子部品2の上部の空気がバ
キュームエアー7として吸引される。
【0008】図2は本発明の第二の実施例を示す断面図
である。
【0009】図2の実施例は、図1の実施例と同様の構
成となっているが、バキュームブロック5bは2個の流
通孔を有しており、右側の流通孔には送風用ホース8a
が接続されており、左側の流通孔には吸引用ホース8b
が接続されている。送風用ホース8aからは圧縮エアー
6が電子部品2に対して送られる。吸引用ホース8bか
らは電子部品2の上部の空気がバキュームエアー7とし
て吸引される。
【0010】図3は本発明の第三の実施例を示す断面図
である。
【0011】図3の実施例は、図2の実施例のバキュー
ムブロック5bの外側にカバー4aを設けたものであ
る。カバー4aは、バキュームブロック5bをスーテー
ジ1に搭載したとき、電子部品2を収容しているバキュ
ームブロック5bの空間部を密封する。その他の構成は
図2の実施例と同じである。
【0012】図4本発明の第四の実施例を示す断面図で
ある。
【0013】図4の実施例は、図3の実施例と同様の構
成となっているが、バキュームブロック5cには3個の
流通孔が設けられており、中央の流通孔には送風用ホー
ス8aが接続されており、左側および右側の流通孔には
吸引用ホース8bが接続されている。送風用ホース8a
からは圧縮エアー6が電子部品2に対して送られる。吸
引用ホース8bからは電子部品2の上部の空気がバキュ
ームエアー7として吸引される。カバー4bの構成およ
び作用も図3の実施例のカバー4aと同じである。
【0014】図5は本発明の第五の実施例を示す断面
図、図6は図5の実施例の動作状態を示す断面図であ
る。
【0015】図5の実施例は、図4の実施例と同様の構
成となっているが、バキュームブロック5dには4個の
流通孔が設けられており、内側の2個の流通孔には送風
用ホース8aが接続されており、外側の2個の流通孔に
は吸引用ホース8bが接続されている。送風用ホース8
aからは圧縮エアー6が電子部品2に対して送られる。
吸引用ホース8bからは電子部品2の上部の空気がバキ
ュームエアー7として吸引される。
【0016】次に、上述のように構成した異物除去装置
の動作について、図5の実施例を代表例として図6を参
照して説明する。
【0017】異物3が付着した電子部品2から異物3を
除去しようとするときは、まず電子部品2をスーテージ
1の上に搭載する。次に、バキュームブロック5dを下
降させ、カバー4cをスーテージ1に密着させる。これ
により、電子部品2は、バキュームブロック5dの下部
の空間部に収容された状態で密封される。この状態で送
風用ホース8aを介して圧縮エアー6をバキュームブロ
ック5dの空間部に送り、同時に吸引用ホース8bを介
してバキュームブロック5dの空間部の空気をバキュー
ムエアー7として吸引する。これにより、異物3が圧縮
エアー6によって吹飛ばされてバキュームエアー7と共
に排除される。
【0018】図1の実施例の場合は、バキュームエアー
7の吸引力が弱いために完全に異物3を除去できない場
合があるが、図2の実施例の場合は、圧縮エアー6によ
ってそれを補うことができる。図3の実施例の場合は、
バキュームブロックの空間部を密封することにより、バ
キュームエアー7の吸引力を更に高めることができる。
図4および図5の実施例の場合は、空気の流れを一層強
くするものである。
【0019】
【発明の効果】以上説明したように、本発明の異物除去
装置は、異物が付着した電子部品をスーテージ上に搭載
し、バキュームブロックの下部に設けた空間部に電子部
品収容して吸引用ホースを介してバキュームブロックの
空間部の空気を吸引することにより、目視によって電子
部品に異物が付着しているか否かを検査する必要がなく
なるとともに、確実に異物を除去することが可能になる
という効果がある。また、粘着性テープや粘着性ローラ
から粘着剤の一部が脱落して電子部品に付着することが
なくなるため、電子部品の信頼性を向上させることがで
きるという効果もある。
【図面の簡単な説明】
【図1】本発明の第一の実施例を示す断面図である。
【図2】本発明の第二の実施例を示す断面図である。
【図3】本発明の第三の実施例を示す断面図である。
【図4】本発明の第四の実施例を示す断面図である。
【図5】本発明の第五の実施例を示す断面図である。
【図6】図5の実施例の動作状態を示す断面図である。
【符号の説明】
1 スーテージ 2 電子部品 3 異物 4a〜4c カバー 5a〜5d バキュームブロック 6 圧縮エアー 7 バキュームエアー 8a 送風用ホース 8b 吸引用ホース

Claims (3)

    【特許請求の範囲】
  1. 【請求項1】 異物が付着した電子部品を搭載するスー
    テージと、下部に設けた前記電子部品を収容する空間部
    と前記空間部に空気を流通させる少なくとも1個の流通
    孔とを有し前記スーテージ上に搭載されるバキュームブ
    ロックと、前記流通孔に接続した吸引用ホースとを備え
    ることを特徴とする異物除去装置。
  2. 【請求項2】 異物が付着した電子部品を搭載するスー
    テージと、下部に設けた前記電子部品を収容する空間部
    と前記空間部に空気を流通させる2個以上の流通孔とを
    有し前記スーテージ上に搭載されるバキュームブロック
    と、前記2個以上の流通孔のうちの一部の流通孔に接続
    した吸引用ホースと、前記2個以上の流通孔のうちの残
    余の流通孔に接続した送風用ホースとを備えることを特
    徴とする異物除去装置。
  3. 【請求項3】 バキュームブロックをスーテージに搭載
    したとき空間部を密封するカバーを備えることを特徴と
    する請求項1または請求項2記載の異物除去装置。
JP5182342A 1993-07-23 1993-07-23 異物除去装置 Withdrawn JPH0738284A (ja)

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JP5182342A JPH0738284A (ja) 1993-07-23 1993-07-23 異物除去装置

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JPH0738284A true JPH0738284A (ja) 1995-02-07

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ID=16116636

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Cited By (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2008000659A (ja) * 2006-06-21 2008-01-10 Hugle Electronics Inc クリーニングヘッド
CN102213898A (zh) * 2010-04-08 2011-10-12 三星电机株式会社 用于清洁照相机模块的设备和方法
US10638650B2 (en) 2013-09-30 2020-04-28 Hanwha Precision Machinery Co., Ltd. Apparatus and method of loading components

Cited By (4)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2008000659A (ja) * 2006-06-21 2008-01-10 Hugle Electronics Inc クリーニングヘッド
CN102213898A (zh) * 2010-04-08 2011-10-12 三星电机株式会社 用于清洁照相机模块的设备和方法
CN103499908A (zh) * 2010-04-08 2014-01-08 三星电机株式会社 用于清洁照相机模块的设备和方法
US10638650B2 (en) 2013-09-30 2020-04-28 Hanwha Precision Machinery Co., Ltd. Apparatus and method of loading components

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