JPH0738238A - Ｐｃｂ基板用レジスト塗布装置 - Google Patents
Ｐｃｂ基板用レジスト塗布装置Info
- Publication number
- JPH0738238A JPH0738238A JP17792693A JP17792693A JPH0738238A JP H0738238 A JPH0738238 A JP H0738238A JP 17792693 A JP17792693 A JP 17792693A JP 17792693 A JP17792693 A JP 17792693A JP H0738238 A JPH0738238 A JP H0738238A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- resist
- pcb substrate
- dispenser
- pcb
- substrate
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
Classifications
-
- H—ELECTRICITY
- H05—ELECTRIC TECHNIQUES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- H05K—PRINTED CIRCUITS; CASINGS OR CONSTRUCTIONAL DETAILS OF ELECTRIC APPARATUS; MANUFACTURE OF ASSEMBLAGES OF ELECTRICAL COMPONENTS
- H05K3/00—Apparatus or processes for manufacturing printed circuits
- H05K3/0073—Masks not provided for in groups H05K3/02 - H05K3/46, e.g. for photomechanical production of patterned surfaces
- H05K3/0079—Masks not provided for in groups H05K3/02 - H05K3/46, e.g. for photomechanical production of patterned surfaces characterised by the method of application or removal of the mask
Landscapes
- Coating Apparatus (AREA)
- Non-Metallic Protective Coatings For Printed Circuits (AREA)
Abstract
(57)【要約】
【目的】 ＣＡＤによって得たＰＣＢ基板の配線パター
ンデータに基づいて基板上の必要な個所にレジストを簡
単にかつ自動的に塗布する装置を提供する。 【構成】 ＰＣＢ基板を保持するテーブル２１と、テー
ブル上のＰＣＢ基板の上面と平行な面上で直交する制御
軸に沿って移動するＸ−Ｙロボット１３と、該Ｘ−Ｙロ
ボットに保持されＰＣＢ基板面にレジストを供給するレ
ジストディスペンサ２４と、前記Ｘ−Ｙロボット前記と
レジストディスペンサの動作をＰＣＢ基板の配線パター
ンのＣＡＤデータに基づいて制御する制御手段２７とを
備えたＰＣＢ基板用レジスト塗布装置。
ンデータに基づいて基板上の必要な個所にレジストを簡
単にかつ自動的に塗布する装置を提供する。 【構成】 ＰＣＢ基板を保持するテーブル２１と、テー
ブル上のＰＣＢ基板の上面と平行な面上で直交する制御
軸に沿って移動するＸ−Ｙロボット１３と、該Ｘ−Ｙロ
ボットに保持されＰＣＢ基板面にレジストを供給するレ
ジストディスペンサ２４と、前記Ｘ−Ｙロボット前記と
レジストディスペンサの動作をＰＣＢ基板の配線パター
ンのＣＡＤデータに基づいて制御する制御手段２７とを
備えたＰＣＢ基板用レジスト塗布装置。
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明は、コンピュータを利用し
て作画された印刷回路基板（以下、ＰＣＢ基板という）
の配線パターン関するデ−タに基づいて、配線用銅箔上
の所定の個所にレジストを塗布してＰＣＢ基板を形成す
るＰＣＢ基板用のレジスト塗布装置に関する。
て作画された印刷回路基板（以下、ＰＣＢ基板という）
の配線パターン関するデ−タに基づいて、配線用銅箔上
の所定の個所にレジストを塗布してＰＣＢ基板を形成す
るＰＣＢ基板用のレジスト塗布装置に関する。
【０００２】
【従来の技術】電子機器を開発したり、大量生産の対象
とならない生産量の少ない電子機器を製造するにあたっ
て、適切な電子回路を形成したＰＣＢ基板を正確に、迅
速に、かつ低価格に試作する必要性が高まっている。し
かしながらＰＣＢの試作にあたっては光学的処理や化学
的処理等の工程が必要なため、少数の試作ＰＣＢの作成
にも配線パタ−ンの作成が必要となり、外注に依頼せざ
るを得ない状況にある。
とならない生産量の少ない電子機器を製造するにあたっ
て、適切な電子回路を形成したＰＣＢ基板を正確に、迅
速に、かつ低価格に試作する必要性が高まっている。し
かしながらＰＣＢの試作にあたっては光学的処理や化学
的処理等の工程が必要なため、少数の試作ＰＣＢの作成
にも配線パタ−ンの作成が必要となり、外注に依頼せざ
るを得ない状況にある。
【０００３】このような現況を改善するため、絶縁性基
板面上に銅箔層を設けた銅箔基板を切削加工して回路パ
タ−ンを削り出して少数のＰＣＢ基板を形成できるよう
にしたＰＣＢ加工機が提案されている。上記のＰＣＢ加
工機によって得られた少数のＰＣＢ基板の上面に設けた
銅箔配線上の所定の位置にレジストを塗布保護層を設け
るに当たって従来は、スクリーン印刷によってレジスト
を塗布していたので、少数のＰＣＢ基板を製造するよう
な場合にもスクリーン印刷用のパターンが必要となった
り、パターンとＰＣＢ基板との精密な位置決めが必要と
なってレジスト塗布工程を完全に自動的化することは困
難であった。
板面上に銅箔層を設けた銅箔基板を切削加工して回路パ
タ−ンを削り出して少数のＰＣＢ基板を形成できるよう
にしたＰＣＢ加工機が提案されている。上記のＰＣＢ加
工機によって得られた少数のＰＣＢ基板の上面に設けた
銅箔配線上の所定の位置にレジストを塗布保護層を設け
るに当たって従来は、スクリーン印刷によってレジスト
を塗布していたので、少数のＰＣＢ基板を製造するよう
な場合にもスクリーン印刷用のパターンが必要となった
り、パターンとＰＣＢ基板との精密な位置決めが必要と
なってレジスト塗布工程を完全に自動的化することは困
難であった。
【０００４】
【発明が解決しようとする課題】本発明は、上記の問題
を解決するもので、ＰＣＢ基板の配線パターンにレジス
トを塗布する工程において、ＣＡＤにより作画される配
線パターンに沿って、該ＣＡＤデータを用いて基板上の
必要な個所にレジストを簡単にかつ自動的に塗布する装
置を提供することを目的とする。。
を解決するもので、ＰＣＢ基板の配線パターンにレジス
トを塗布する工程において、ＣＡＤにより作画される配
線パターンに沿って、該ＣＡＤデータを用いて基板上の
必要な個所にレジストを簡単にかつ自動的に塗布する装
置を提供することを目的とする。。
【０００５】
【課題を解決するための手段】請求項１に記載されたＰ
ＣＢ基板用レジスト塗布装置は、ＰＣＢ基板を保持する
テーブルと、ＰＣＢ基板面にレジストを供給するレジス
トディスペンサと、前記テーブルとレジストディスペン
サの相対的な位置関係を変更する駆動手段と、該駆動手
段をＰＣＢ基板の配線パターンのＣＡＤデータに基づい
て駆動させる制御手段とを備える。
ＣＢ基板用レジスト塗布装置は、ＰＣＢ基板を保持する
テーブルと、ＰＣＢ基板面にレジストを供給するレジス
トディスペンサと、前記テーブルとレジストディスペン
サの相対的な位置関係を変更する駆動手段と、該駆動手
段をＰＣＢ基板の配線パターンのＣＡＤデータに基づい
て駆動させる制御手段とを備える。
【０００６】請求項２に記載されたＰＣＢ基板用レジス
ト塗布装置は、ＰＣＢ基板を保持するテーブルと、テー
ブル上のＰＣＢ基板の上面と平行な面上で直交する制御
軸に沿って移動するＸ−Ｙロボットと、該Ｘ−Ｙロボッ
トに保持されＰＣＢ基板面にレジストを供給するレジス
トディスペンサと、前記Ｘ−Ｙロボット前記とレジスト
ディスペンサの動作をＰＣＢ基板の配線パターンのＣＡ
Ｄデータに基づいて制御する制御手段とを備える。
ト塗布装置は、ＰＣＢ基板を保持するテーブルと、テー
ブル上のＰＣＢ基板の上面と平行な面上で直交する制御
軸に沿って移動するＸ−Ｙロボットと、該Ｘ−Ｙロボッ
トに保持されＰＣＢ基板面にレジストを供給するレジス
トディスペンサと、前記Ｘ−Ｙロボット前記とレジスト
ディスペンサの動作をＰＣＢ基板の配線パターンのＣＡ
Ｄデータに基づいて制御する制御手段とを備える。
【０００７】請求項３に記載されたＰＣＢ基板用レジス
ト塗布装置は、ベッドと、ベッド上面に配設されてレジ
スト塗布すべきＰＣＢ基板を保持するテーブルと、テー
ブルの外側のベッド上に配設される平行案内面により第
１の制御軸に沿って摺動自在に支持される門形のコラム
と、コラムを移動制御する第１の駆動手段と、コラムに
配設される案内面により第１の制御軸に直交する第２の
移動軸に沿って摺動自在に支持されるサドルと、サドル
を移動制御する第２の駆動手段と、サドルに配設される
案内面によりテーブル面に直交する第３の制御軸に沿っ
て摺動自在に支持されるレジストディスペンサと、該レ
ジストディスペンサを移動制御する第３の駆動手段と、
ＰＣＢ基板の配線パターンのＣＡＤデータに基づいて前
記第１、第２、第３の駆動手段およびレジストディスペ
ンサの作動を制御する制御装置とを備える。
ト塗布装置は、ベッドと、ベッド上面に配設されてレジ
スト塗布すべきＰＣＢ基板を保持するテーブルと、テー
ブルの外側のベッド上に配設される平行案内面により第
１の制御軸に沿って摺動自在に支持される門形のコラム
と、コラムを移動制御する第１の駆動手段と、コラムに
配設される案内面により第１の制御軸に直交する第２の
移動軸に沿って摺動自在に支持されるサドルと、サドル
を移動制御する第２の駆動手段と、サドルに配設される
案内面によりテーブル面に直交する第３の制御軸に沿っ
て摺動自在に支持されるレジストディスペンサと、該レ
ジストディスペンサを移動制御する第３の駆動手段と、
ＰＣＢ基板の配線パターンのＣＡＤデータに基づいて前
記第１、第２、第３の駆動手段およびレジストディスペ
ンサの作動を制御する制御装置とを備える。
【０００８】
【作用】制御装置に対して配線パターン作成に用いたＣ
ＡＤデータに基づいたレジスト塗布用データを与えるこ
とによって、ＰＣＢ基板とレジストディスペンサの位置
関係を配線パターンに従って変更し、スクリーン印刷用
のレジストパターン等を別途作成することなくＰＣＢ基
板にレジストを精密かつ正確に容易に塗布する。
ＡＤデータに基づいたレジスト塗布用データを与えるこ
とによって、ＰＣＢ基板とレジストディスペンサの位置
関係を配線パターンに従って変更し、スクリーン印刷用
のレジストパターン等を別途作成することなくＰＣＢ基
板にレジストを精密かつ正確に容易に塗布する。
【０００９】
【実施例】以下、図を用いて本発明を説明する。図１は
本発明のレジスト塗布装置の概要を示す平面図、図２は
正面図、図３は左側面図である。本発明に係るレジスト
塗布装置１は、ベッド１０と、該ベッド上にＸ軸ならび
にＹ軸に移動自在に設けられたＸ−Ｙロボット１３と、
前記ベッド上に設けられた基板載置テーブル２１と、該
Ｘ−Ｙロボットに取り付けられたレジスト塗布手段２２
と、該Ｘ−Ｙロボットの動作および該レジスト塗布手段
の動作を制御する制御手段２７から構成される。
本発明のレジスト塗布装置の概要を示す平面図、図２は
正面図、図３は左側面図である。本発明に係るレジスト
塗布装置１は、ベッド１０と、該ベッド上にＸ軸ならび
にＹ軸に移動自在に設けられたＸ−Ｙロボット１３と、
前記ベッド上に設けられた基板載置テーブル２１と、該
Ｘ−Ｙロボットに取り付けられたレジスト塗布手段２２
と、該Ｘ−Ｙロボットの動作および該レジスト塗布手段
の動作を制御する制御手段２７から構成される。
【００１０】ベッド１０上には２本のＸ軸用案内面１
１、１２が平行して設けられ、門形のコラムからなるＸ
−Ｙロボット１３が摺動自在に支持される。ベッド１０
上の一方のＸ軸用案内面１１の端部には門型のコラムの
フレーム１６を駆動するためのＸ軸用サーボモータ１４
が装備されており、該サーボモータの回転軸にはＸ軸用
ボールネジ１５が取り付けられる。Ｘ−Ｙロボット１３
には図示しないボールナットが装備されており、ボール
ナットがこのＸ軸用ボールネジ１５に螺合してＸ軸用サ
ーボモータ１４の回転量に応じてＸ−ＹロボットのＸ軸
上の移動量を制御する。
１、１２が平行して設けられ、門形のコラムからなるＸ
−Ｙロボット１３が摺動自在に支持される。ベッド１０
上の一方のＸ軸用案内面１１の端部には門型のコラムの
フレーム１６を駆動するためのＸ軸用サーボモータ１４
が装備されており、該サーボモータの回転軸にはＸ軸用
ボールネジ１５が取り付けられる。Ｘ−Ｙロボット１３
には図示しないボールナットが装備されており、ボール
ナットがこのＸ軸用ボールネジ１５に螺合してＸ軸用サ
ーボモータ１４の回転量に応じてＸ−ＹロボットのＸ軸
上の移動量を制御する。
【００１１】Ｘ−Ｙロボット１３の門型コラムのフレー
ム１６の前面には、Ｙ軸用案内面１７が設けてあり、該
案内面に対してサドル２０が摺動自在に支持される。さ
らに、前記フレームには該サドルを駆動するためのＹ軸
用サーボモータ１８が装備されており、該サーボモータ
の回転軸にはＹ軸用ボールネジ１９が取り付けられる。
サドル２０には図示しないボールナットが装備されてお
り、ボールナットがこのＹ軸用ボールネジ１９に螺合し
てＹ軸用サーボモータ１８の回転量に応じてサドルのＹ
軸上の移動量を制御する。
ム１６の前面には、Ｙ軸用案内面１７が設けてあり、該
案内面に対してサドル２０が摺動自在に支持される。さ
らに、前記フレームには該サドルを駆動するためのＹ軸
用サーボモータ１８が装備されており、該サーボモータ
の回転軸にはＹ軸用ボールネジ１９が取り付けられる。
サドル２０には図示しないボールナットが装備されてお
り、ボールナットがこのＹ軸用ボールネジ１９に螺合し
てＹ軸用サーボモータ１８の回転量に応じてサドルのＹ
軸上の移動量を制御する。
【００１２】サドル２０の前面にはレジスト塗布手段２
２を保持したディスペンサ取付板２３が、Ｚ軸駆動手段
２６によってＺ軸方向に摺動できるように設けられてい
る。レジスト塗布手段２２はノズル２５を有するレジス
トディスペンサ２４から構成され、該レジストディスペ
ンサ３８は、レジストのような流動性を有する物質を精
密且つ微量吐出供給できるタイプのものであれば、どの
ようなディスペンサでも使用することができる。
２を保持したディスペンサ取付板２３が、Ｚ軸駆動手段
２６によってＺ軸方向に摺動できるように設けられてい
る。レジスト塗布手段２２はノズル２５を有するレジス
トディスペンサ２４から構成され、該レジストディスペ
ンサ３８は、レジストのような流動性を有する物質を精
密且つ微量吐出供給できるタイプのものであれば、どの
ようなディスペンサでも使用することができる。
【００１３】基板載置テーブル２１は吸着装置を備え、
搬入されたＰＣＢ基板を所定の位置に吸着保持する。
搬入されたＰＣＢ基板を所定の位置に吸着保持する。
【００１４】上記Ｘ軸用サーボモータ１４およびＹ軸用
サーボモータ１８ならびにＺ軸用駆動手段２６の動作な
らびにレジストディスペンサ２４の動作は、配線パター
ンを作成したＣＡＤデータに基づいて作成されたレジス
ト塗布データを記憶しこのデータに基づいて制御する制
御手段２７からの指令によって実行される。
サーボモータ１８ならびにＺ軸用駆動手段２６の動作な
らびにレジストディスペンサ２４の動作は、配線パター
ンを作成したＣＡＤデータに基づいて作成されたレジス
ト塗布データを記憶しこのデータに基づいて制御する制
御手段２７からの指令によって実行される。
【００１５】ＰＣＢ基板にレジストを塗布する際には、
テーブル２１上にＰＣＢ基板を供給し吸着保持した後
に、ＰＣＢ基板の上面に対して所定の高さ位置にレジス
トディスペンサ２４のノズル２５を位置決めする。制御
装置は、ＣＡＤデータに基づいて得たレジスト塗布デー
タこの情報に基づいてＸ軸用サーボモータ１４、Ｙ軸用
サーボモータ１８、Ｚ軸駆動手段２６へ指令を出力し、
レジストディスペンサ２４をテーブル２１上に吸着保持
されたＰＣＢ基板に対して所定の位置に移動させ、レジ
ストを塗布する個所に達すると、制御装置からの指令に
よってＺ軸方向に動作してのズル２５を塗布面に接近さ
せた後、レジストを吐出しＰＣＢ基板上面に塗布する。
テーブル２１上にＰＣＢ基板を供給し吸着保持した後
に、ＰＣＢ基板の上面に対して所定の高さ位置にレジス
トディスペンサ２４のノズル２５を位置決めする。制御
装置は、ＣＡＤデータに基づいて得たレジスト塗布デー
タこの情報に基づいてＸ軸用サーボモータ１４、Ｙ軸用
サーボモータ１８、Ｚ軸駆動手段２６へ指令を出力し、
レジストディスペンサ２４をテーブル２１上に吸着保持
されたＰＣＢ基板に対して所定の位置に移動させ、レジ
ストを塗布する個所に達すると、制御装置からの指令に
よってＺ軸方向に動作してのズル２５を塗布面に接近さ
せた後、レジストを吐出しＰＣＢ基板上面に塗布する。
【００１６】上記実施例では、レジストディスペンサを
Ｘ−Ｙ面で移動させたが、ＰＣＢ基板とレジストディス
ペンサの相対的位置関係を、ＰＣＢ基板を載置した基板
載置テーブル自体をＸ−Ｙ面で駆動して変更させても良
いことは勿論である。この場合には、基板載置テーブル
の形状および重量をレジストディスペンサ駆動用ロボッ
トのそれよりも小さくかつ軽量にすることができるの
で、駆動装置を小型化できるとともに制御自体も容易に
行うことができる。
Ｘ−Ｙ面で移動させたが、ＰＣＢ基板とレジストディス
ペンサの相対的位置関係を、ＰＣＢ基板を載置した基板
載置テーブル自体をＸ−Ｙ面で駆動して変更させても良
いことは勿論である。この場合には、基板載置テーブル
の形状および重量をレジストディスペンサ駆動用ロボッ
トのそれよりも小さくかつ軽量にすることができるの
で、駆動装置を小型化できるとともに制御自体も容易に
行うことができる。
【００１７】
【発明の効果】本発明は、以上のようにＰＣＢ基板の表
面にレジストを塗布するレジストディスペンサをＸ−Ｙ
−Ｚ軸駆動系を持つレジスト塗布装置としたことによっ
て、ＣＡＤで作成されたレジスト塗布データに基づいて
ＰＣＢ基板の表面に所定のパターンで自動的にレジスト
を塗布することができるので、ＰＣＢ基板を少量生産す
るときにもＣＡＤデータに基づいてＰＣＢパターンを形
成するＰＣＢ基板形成装置などと組み合わせ、ＣＡＤデ
ータを利用して、少量生産の場合にもレジスト塗布の自
動化が図れる。従って、ＣＡＤ上でＰＣＤ基板のパター
ンを設計することで、ＰＣＢ基板を極めて容易に試作す
ることができる。ＰＣＢ基板の試作時間が短縮され、新
製品の研究開発のコストも低減することができる。
面にレジストを塗布するレジストディスペンサをＸ−Ｙ
−Ｚ軸駆動系を持つレジスト塗布装置としたことによっ
て、ＣＡＤで作成されたレジスト塗布データに基づいて
ＰＣＢ基板の表面に所定のパターンで自動的にレジスト
を塗布することができるので、ＰＣＢ基板を少量生産す
るときにもＣＡＤデータに基づいてＰＣＢパターンを形
成するＰＣＢ基板形成装置などと組み合わせ、ＣＡＤデ
ータを利用して、少量生産の場合にもレジスト塗布の自
動化が図れる。従って、ＣＡＤ上でＰＣＤ基板のパター
ンを設計することで、ＰＣＢ基板を極めて容易に試作す
ることができる。ＰＣＢ基板の試作時間が短縮され、新
製品の研究開発のコストも低減することができる。
【図１】本発明のレジスト塗布装置の平面図。
【図２】本発明のレジスト塗布装置の正面図。
【図３】本発明のレジスト塗布装置の左側面図。
１ レジスト塗布装置 １０ ベッド １１ Ｘ軸案内面 １２ Ｘ軸案内面 １３ Ｘ−Ｙロボット １４ Ｘ軸用サーボモータ １５ Ｘ軸用ボールネジ １６ フレーム １７ Ｙ軸用案内面 １８ Ｙ軸用サーボモータ １９ Ｙ軸用ボールネジ ２０ サドル ２１ 基板載置テーブル ２２ レジスト塗布手段 ２３ ディスペンサ取付板 ２４ レジストディスペンサ ２５ ノズル ２６ Ｚ軸用駆動手段
Claims (3)
- 【請求項１】 ＰＣＢ基板を保持するテーブルと、ＰＣ
Ｂ基板面にレジストを供給するレジストディスペンサ
と、前記テーブルとレジストディスペンサの相対的な位
置関係を変更する駆動手段と、該駆動手段をＰＣＢ基板
の配線パターンのＣＡＤデータに基づいて駆動させる制
御手段とを備えたＰＣＢ基板用レジスト塗布装置。 - 【請求項２】 ＰＣＢ基板を保持するテーブルと、テー
ブル上のＰＣＢ基板の上面と平行な面上で直交する制御
軸に沿って移動するＸ−Ｙロボットと、該Ｘ−Ｙロボッ
トに保持されＰＣＢ基板面にレジストを供給するレジス
トディスペンサと、前記Ｘ−Ｙロボット前記とレジスト
ディスペンサの動作をＰＣＢ基板の配線パターンのＣＡ
Ｄデータに基づいて制御する制御手段とを備えたＰＣＢ
基板用レジスト塗布装置。 - 【請求項３】 ベッドと、ベッド上面に配設されてレジ
スト塗布すべきＰＣＢ基板を保持するテーブルと、テー
ブルの外側のベッド上に配設される平行案内面により第
１の制御軸に沿って摺動自在に支持される門形のコラム
と、コラムを移動制御する第１の駆動手段と、コラムに
配設される案内面により第１の制御軸に直交する第２の
移動軸に沿って摺動自在に支持されるサドルと、サドル
を移動制御する第２の駆動手段と、サドルに配設される
案内面によりテーブル面に直交する第３の制御軸に沿っ
て摺動自在に支持されるレジストディスペンサと、該レ
ジストディスペンサを移動制御する第３の駆動手段と、
ＰＣＢ基板の配線パターンのＣＡＤデータに基づいて前
記第１、第２、第３の駆動手段およびレジストディスペ
ンサの作動を制御する制御装置とを備えたＰＣＢ基板用
レジスト塗布装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP17792693A JPH0738238A (ja) | 1993-07-19 | 1993-07-19 | Ｐｃｂ基板用レジスト塗布装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP17792693A JPH0738238A (ja) | 1993-07-19 | 1993-07-19 | Ｐｃｂ基板用レジスト塗布装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH0738238A true JPH0738238A (ja) | 1995-02-07 |
Family
ID=16039487
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP17792693A Pending JPH0738238A (ja) | 1993-07-19 | 1993-07-19 | Ｐｃｂ基板用レジスト塗布装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH0738238A (ja) |
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2014236132A (ja) * | 2013-06-04 | 2014-12-15 | 株式会社日立製作所 | プリント基板コーティング装置、プリント基板のコーティング方法及びプリント基板 |
| CN108672206A (zh) * | 2018-04-18 | 2018-10-19 | 上海理工大学 | 电缆绝缘材料协同涂覆作业机器人的行走机构及成形模具 |
-
1993
- 1993-07-19 JP JP17792693A patent/JPH0738238A/ja active Pending
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2014236132A (ja) * | 2013-06-04 | 2014-12-15 | 株式会社日立製作所 | プリント基板コーティング装置、プリント基板のコーティング方法及びプリント基板 |
| CN108672206A (zh) * | 2018-04-18 | 2018-10-19 | 上海理工大学 | 电缆绝缘材料协同涂覆作业机器人的行走机构及成形模具 |
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