JPH0736501B2 - 音響変換器 - Google Patents
音響変換器Info
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- JPH0736501B2 JPH0736501B2 JP59216027A JP21602784A JPH0736501B2 JP H0736501 B2 JPH0736501 B2 JP H0736501B2 JP 59216027 A JP59216027 A JP 59216027A JP 21602784 A JP21602784 A JP 21602784A JP H0736501 B2 JPH0736501 B2 JP H0736501B2
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- JP
- Japan
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- transducer
- reflective
- acoustic
- fingers
- acoustic transducer
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Classifications
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- H—ELECTRICITY
- H03—ELECTRONIC CIRCUITRY
- H03H—IMPEDANCE NETWORKS, e.g. RESONANT CIRCUITS; RESONATORS
- H03H9/00—Networks comprising electromechanical or electro-acoustic devices; Electromechanical resonators
- H03H9/46—Filters
- H03H9/64—Filters using surface acoustic waves
- H03H9/6423—Means for obtaining a particular transfer characteristic
- H03H9/643—Means for obtaining a particular transfer characteristic the transfer characteristic being determined by reflective or coupling array characteristics
-
- H—ELECTRICITY
- H03—ELECTRONIC CIRCUITRY
- H03H—IMPEDANCE NETWORKS, e.g. RESONANT CIRCUITS; RESONATORS
- H03H9/00—Networks comprising electromechanical or electro-acoustic devices; Electromechanical resonators
- H03H9/02—Details
- H03H9/02535—Details of surface acoustic wave devices
- H03H9/02637—Details concerning reflective or coupling arrays
- H03H9/02685—Grating lines having particular arrangements
- H03H9/0274—Intra-transducers grating lines
-
- H—ELECTRICITY
- H03—ELECTRONIC CIRCUITRY
- H03H—IMPEDANCE NETWORKS, e.g. RESONANT CIRCUITS; RESONATORS
- H03H9/00—Networks comprising electromechanical or electro-acoustic devices; Electromechanical resonators
- H03H9/02—Details
- H03H9/125—Driving means, e.g. electrodes, coils
- H03H9/145—Driving means, e.g. electrodes, coils for networks using surface acoustic waves
- H03H9/14502—Surface acoustic wave [SAW] transducers for a particular purpose
- H03H9/14505—Unidirectional SAW transducers
Landscapes
- Physics & Mathematics (AREA)
- Acoustics & Sound (AREA)
- Surface Acoustic Wave Elements And Circuit Networks Thereof (AREA)
Description
【発明の詳細な説明】 本発明は音響変換器に係る。
音響変換器は従来公知の技術であり、例えばH.Mettews
（編）“Surface Wave Filters",Wiley1977年に記載さ
れた電子フィルタの如き表面音響波（SAW）デバイスで
使用されている。典型的な変換器は、圧電基板上に設け
られた導体パターンを含む。この導体は長手方向に配置
された比較的広い幅の平行な２つの接触パッドの形状を
有しており、これらのパッドは、２つのパッド間の内側
に伸びる狭い幅の側部“フィンガ”を備える。このフィ
ンガは櫛歯形即ちすだれ状であり、２つのパッドのフィ
ンガが互いの間に差込まれるように構成されている。接
触パッド間に与えられたac信号は隣り合うフィンガ対間
で長手方向に出現して、圧電基板中に音響波を誘発す
る。この波は、SAW,SSBW（表面に沿うバルク波）又はそ
れ以外の同様の波のいずれでもよい。このような変換器
は櫛歯形変換器即ちIDTと指称される。
（編）“Surface Wave Filters",Wiley1977年に記載さ
れた電子フィルタの如き表面音響波（SAW）デバイスで
使用されている。典型的な変換器は、圧電基板上に設け
られた導体パターンを含む。この導体は長手方向に配置
された比較的広い幅の平行な２つの接触パッドの形状を
有しており、これらのパッドは、２つのパッド間の内側
に伸びる狭い幅の側部“フィンガ”を備える。このフィ
ンガは櫛歯形即ちすだれ状であり、２つのパッドのフィ
ンガが互いの間に差込まれるように構成されている。接
触パッド間に与えられたac信号は隣り合うフィンガ対間
で長手方向に出現して、圧電基板中に音響波を誘発す
る。この波は、SAW,SSBW（表面に沿うバルク波）又はそ
れ以外の同様の波のいずれでもよい。このような変換器
は櫛歯形変換器即ちIDTと指称される。
IDTを組込んだ従来のSAW又はSSBWフィルタは、小型安価
で再現性のある受動形及びプレーナ形の素子であり、10
MHz乃至1GHz又はそれ以上の周波数範囲をカバーし、グ
ループ遅延と阻止帯域の除去特性にすぐれている。しか
し乍ら、従来のSAW又はSSBW用のIDTが両指向性であるこ
と、即ち、変換器が互いに反対の方向に向う２つの音響
波を発生することは公知である。従って、２つのIDTを
組込んだ従来のSAWフィルタでは、発信変換器によって
発生した信号の一部が受信変換器を指向しないので6dB
の挿入損を有する。更に、デバイス内での音響波の多重
通路から生じトリプル・トランジット信号として知られ
たスプリアス信号が発生する。好ましくないトリプル・
トランジット信号を抑制するための標準設計の装置では
通常、挿入損が20dBに増加する。
で再現性のある受動形及びプレーナ形の素子であり、10
MHz乃至1GHz又はそれ以上の周波数範囲をカバーし、グ
ループ遅延と阻止帯域の除去特性にすぐれている。しか
し乍ら、従来のSAW又はSSBW用のIDTが両指向性であるこ
と、即ち、変換器が互いに反対の方向に向う２つの音響
波を発生することは公知である。従って、２つのIDTを
組込んだ従来のSAWフィルタでは、発信変換器によって
発生した信号の一部が受信変換器を指向しないので6dB
の挿入損を有する。更に、デバイス内での音響波の多重
通路から生じトリプル・トランジット信号として知られ
たスプリアス信号が発生する。好ましくないトリプル・
トランジット信号を抑制するための標準設計の装置では
通常、挿入損が20dBに増加する。
SAWフィルタの挿入損を低減するために多くの方法が提
案されてきた。これらの方法では、多数ストリップ型結
合器をベースとする単一指向性IDT（Marshall等、Elect
ronics Letters 1971、７、312−314ページ）、２ポー
ト共振器（F.G.Marshall,Proc. 1975 IEEE Ultrasonics
Symposium 290−292ページ）、多相IDT（Rosenfeld
等、Proc.28th Annual Frequency Control Symposium 2
99−303ページ）、櫛歯形IDT（M.F.Lewis,Proc.1982 IE
EE Ultrasonic Symposium 12−17ページ）、等が使用さ
れる。これら従来技術のデバイスは、基板面積が大き
い、製造が複雑である、整合回路が複雑である、実現で
きるフィルタ特性の範囲が狭い、等の種々の欠点を１つ
以上有している。
案されてきた。これらの方法では、多数ストリップ型結
合器をベースとする単一指向性IDT（Marshall等、Elect
ronics Letters 1971、７、312−314ページ）、２ポー
ト共振器（F.G.Marshall,Proc. 1975 IEEE Ultrasonics
Symposium 290−292ページ）、多相IDT（Rosenfeld
等、Proc.28th Annual Frequency Control Symposium 2
99−303ページ）、櫛歯形IDT（M.F.Lewis,Proc.1982 IE
EE Ultrasonic Symposium 12−17ページ）、等が使用さ
れる。これら従来技術のデバイスは、基板面積が大き
い、製造が複雑である、整合回路が複雑である、実現で
きるフィルタ特性の範囲が狭い、等の種々の欠点を１つ
以上有している。
更に、（Hartman等、Proc,1982 IEEE Ultrasonics Symp
osium 40−45ページ）により、変換器フィンガの中心に
関して空間周期数からλ/8（λ＝基本波長）だけオフセ
ットした素子を有する重畳した反射アレイが設けられた
IDTも提案されている。このデバイスを製造するには、
先ず圧電基板にアルミニウムを蒸着して公知の櫛歯形フ
ィンガ配置を形成し、次に第２金属蒸着プロセスで金の
反射アレイを形成する。この反射アレイは、２つの反対
方向に向うSAWの発生に帰因する3dBのIDTの双方向性損
失を低減する。この反射アレイは、不要な逆方向波を弱
め、所要の順方向波を強めるような干渉を生じさせる。
しかし乍らこのIDTの欠点は、変換フィンガと反射アレ
イとを設けるために２つの蒸着プロセスが必要なこと、
及び所望の波干渉を生じさせるにはフィンガとアレイと
の慎重な位置合せが必要なことである。
osium 40−45ページ）により、変換器フィンガの中心に
関して空間周期数からλ/8（λ＝基本波長）だけオフセ
ットした素子を有する重畳した反射アレイが設けられた
IDTも提案されている。このデバイスを製造するには、
先ず圧電基板にアルミニウムを蒸着して公知の櫛歯形フ
ィンガ配置を形成し、次に第２金属蒸着プロセスで金の
反射アレイを形成する。この反射アレイは、２つの反対
方向に向うSAWの発生に帰因する3dBのIDTの双方向性損
失を低減する。この反射アレイは、不要な逆方向波を弱
め、所要の順方向波を強めるような干渉を生じさせる。
しかし乍らこのIDTの欠点は、変換フィンガと反射アレ
イとを設けるために２つの蒸着プロセスが必要なこと、
及び所望の波干渉を生じさせるにはフィンガとアレイと
の慎重な位置合せが必要なことである。
本発明の目的は、従来技術に代替し得る単一指向性櫛歯
形変換器を提供することである。
形変換器を提供することである。
本発明によれば、櫛歯形フィンガから成る段を有するは
しご形のものとして圧電基板上に設けられており、且つ
段間の位置に配置された反射ストリップを含む音響変換
器であって、各反射ストリップは変換器フィンガ中心か
らｎλ/2だけ離れたそれぞれの位置から実質的にλ/8＋
δだけオフセットされており、但しλは変換器中心周波
数に対応する波長であり、ｎは整数であり、そしてδは
零に等しいか、又は単一指向性及びブルーミング機能を
併せて有する反射ストリップ・アレイを有する変換器の
場合には、δは（λ/4π）arcsin（M/N）に等しく、但
しＭは１段当りの変換器フィンガの個数であり、Ｎは１
アレイ当りの反射ストリップの個数であり、ＮはＭより
も大であることを特徴とする音響変換器が提供される。
しご形のものとして圧電基板上に設けられており、且つ
段間の位置に配置された反射ストリップを含む音響変換
器であって、各反射ストリップは変換器フィンガ中心か
らｎλ/2だけ離れたそれぞれの位置から実質的にλ/8＋
δだけオフセットされており、但しλは変換器中心周波
数に対応する波長であり、ｎは整数であり、そしてδは
零に等しいか、又は単一指向性及びブルーミング機能を
併せて有する反射ストリップ・アレイを有する変換器の
場合には、δは（λ/4π）arcsin（M/N）に等しく、但
しＭは１段当りの変換器フィンガの個数であり、Ｎは１
アレイ当りの反射ストリップの個数であり、ＮはＭより
も大であることを特徴とする音響変換器が提供される。
本発明によれば、従来技術のように相互の位置合せを必
要とする２回の金属蒸着工程を必要とすること無く、１
回の金属蒸着工程によって変換器フィンガ及び反射アレ
イを基板上に設けることができるとの効果を有する。
要とする２回の金属蒸着工程を必要とすること無く、１
回の金属蒸着工程によって変換器フィンガ及び反射アレ
イを基板上に設けることができるとの効果を有する。
本発明は、変換器フィンガに関する半波長周期数からの
λ/8＋δオフセット以外の位置にある段間の反射器を具
備するはしご形変換器に関するものではない。かかる変
換器はブレーミングによって改善された両方向性特性を
獲得する目的のものとして公知のものであり、λ/4オフ
セットを用いるものである。ヨーロッパ特許公開公報第
EP−Ａ−0,057,555号を参照されたい。変換器ブルーミ
ングについては後述する。
λ/8＋δオフセット以外の位置にある段間の反射器を具
備するはしご形変換器に関するものではない。かかる変
換器はブレーミングによって改善された両方向性特性を
獲得する目的のものとして公知のものであり、λ/4オフ
セットを用いるものである。ヨーロッパ特許公開公報第
EP−Ａ−0,057,555号を参照されたい。変換器ブルーミ
ングについては後述する。
本発明に係る変換器は２つよりも多い段を有することが
でき、各段間スペースに平行スリップから成る反射アレ
イが夫々設けられている。各ストリップは、変換器フィ
ンガの中心から1/2波長の整数倍だけ隔間した各位置か
ら実質的にλ/8だけオフセットしている。但し、λは変
換器の基本周波数に対応する波長である。変換器は更
に、段の外部に設けられた付加的な平行反射ストリップ
を備えていてもよい。任意の所望の変換特性を得るため
に変換フィンガの長さ及び反射ストリップの長さ又はそ
のいずれかにはウエイトをかけてもよい。
でき、各段間スペースに平行スリップから成る反射アレ
イが夫々設けられている。各ストリップは、変換器フィ
ンガの中心から1/2波長の整数倍だけ隔間した各位置か
ら実質的にλ/8だけオフセットしている。但し、λは変
換器の基本周波数に対応する波長である。変換器は更
に、段の外部に設けられた付加的な平行反射ストリップ
を備えていてもよい。任意の所望の変換特性を得るため
に変換フィンガの長さ及び反射ストリップの長さ又はそ
のいずれかにはウエイトをかけてもよい。
互いに近付く方向又は互いに遠去かる方向の音響波を送
受信するためにこの２つの変換器を同一基板上に配設し
てもよく、前者は帯域フィルタ、後者は帯域消去フィル
タを構成する。
受信するためにこの２つの変換器を同一基板上に配設し
てもよく、前者は帯域フィルタ、後者は帯域消去フィル
タを構成する。
不要音響波を吸収するための吸音器が変換器の基板に設
けられていてもよい。
けられていてもよい。
この変換器は、空間周期性であってもよく、即ち一定間
隔ずつ離間した段を有していてもよく、又は非周期性で
あってもよく、もしくは変周期性であってもよい。
隔ずつ離間した段を有していてもよく、又は非周期性で
あってもよく、もしくは変周期性であってもよい。
変換器がウエイトをかけたフィンガ・オーバーラップを
有していてもよい。フィンガ・オーバーラップは、ゼロ
のオーバーラップに対応する領域に配置された反射器に
関する矩形関数のサンプルド・フーリエ変換に従って変
化する。このような変換器２つが１つの基板上に形成さ
れて帯域フィルタ又は帯域消去フィルタを構成し得る。
有していてもよい。フィンガ・オーバーラップは、ゼロ
のオーバーラップに対応する領域に配置された反射器に
関する矩形関数のサンプルド・フーリエ変換に従って変
化する。このような変換器２つが１つの基板上に形成さ
れて帯域フィルタ又は帯域消去フィルタを構成し得る。
本発明をより十分に理解するために、添付図面に示す非
限定具体例を以下に詳細に説明する。
限定具体例を以下に詳細に説明する。
第１図は、SAWフィルタを形成すべく配置された本発明
の２つの音響変換器10の概略図である。この図は一定の
比例に応じて描かれたものではない。各変換器10は上下
に各１つの幅の広い２つの長手方向接触パッド11,12を
有する。上部パッド11は、内側に伸びる幅の狭いフィン
ガの対14を有しており、下部パッド12は１つずつ離れた
フィンガ15を有する。パッド11,12とフィンガ14,15と
は、（図示しない）圧電基板に対してアルミニウム蒸着
とホトリソグラフィとを順次行なうことによって形成さ
れる。フィンガ14,15は櫛歯形で互いに組合わせて配置
されており、一定間隔ずつ離間したフィンガ・グループ
16を形成している。フィンガ・グループ16は、接触パッ
ド11,12を支柱とするはしごの段を構成すると考えるこ
とができる。このように、はしごに似た形状を有するの
で、符号10の如き形状の変換器は当業界で一般にはしご
形変換器と指称される。接触パッド11と12との間に与え
られるac信号は、隣り合う任意の２つのフィンガ14,15
即ちフィンガ対の間で長手方向に出現して、圧電基板に
音響波を発生させる。このように当業界では、フィンガ
対なる用語は、各接触パッドから１つずつ伸びる隣り合
う２つのフィンガを意味する（１つのパッドから伸びる
“スプリットフィンガ”ではない）。
の２つの音響変換器10の概略図である。この図は一定の
比例に応じて描かれたものではない。各変換器10は上下
に各１つの幅の広い２つの長手方向接触パッド11,12を
有する。上部パッド11は、内側に伸びる幅の狭いフィン
ガの対14を有しており、下部パッド12は１つずつ離れた
フィンガ15を有する。パッド11,12とフィンガ14,15と
は、（図示しない）圧電基板に対してアルミニウム蒸着
とホトリソグラフィとを順次行なうことによって形成さ
れる。フィンガ14,15は櫛歯形で互いに組合わせて配置
されており、一定間隔ずつ離間したフィンガ・グループ
16を形成している。フィンガ・グループ16は、接触パッ
ド11,12を支柱とするはしごの段を構成すると考えるこ
とができる。このように、はしごに似た形状を有するの
で、符号10の如き形状の変換器は当業界で一般にはしご
形変換器と指称される。接触パッド11と12との間に与え
られるac信号は、隣り合う任意の２つのフィンガ14,15
即ちフィンガ対の間で長手方向に出現して、圧電基板に
音響波を発生させる。このように当業界では、フィンガ
対なる用語は、各接触パッドから１つずつ伸びる隣り合
う２つのフィンガを意味する（１つのパッドから伸びる
“スプリットフィンガ”ではない）。
変換器10は段間スペース17を有しており、該スペースに
反射アレイ18が設けられている。各変換器10は隣接変換
器とは反射側に別の反射アレイ19を有する。各反射アレ
イ18,19は幅の狭い５つの反射ストリップ20を含む。各
ストリップ20の幅は1/4λであり、隣り合うストリップ
間のギャップもまた1/4λである。λはフィルタの中心
周波数に対応する音響波長である。従って、隣り合うス
トリップ20の中心間距離はλ/2である。λは１つの変換
器に沿って変化すること及び基板の金属被覆領域と未被
覆領域とで異なる値を有することに注意されたい。これ
は当業界ではよく知られており、実際には、λは平均値
である。各変換器10の反射アレイ18,19は、別の変換器
を指向するSAW伝搬を強め、逆方向のSAW伝搬を弱めるよ
うに構成されている。このことは、後述する如く１つの
方向で強め合う干渉が生じ別の方向で弱め合う干渉が生
じるように、反射アレイ18,19を位置決めすることによ
って達成される。
反射アレイ18が設けられている。各変換器10は隣接変換
器とは反射側に別の反射アレイ19を有する。各反射アレ
イ18,19は幅の狭い５つの反射ストリップ20を含む。各
ストリップ20の幅は1/4λであり、隣り合うストリップ
間のギャップもまた1/4λである。λはフィルタの中心
周波数に対応する音響波長である。従って、隣り合うス
トリップ20の中心間距離はλ/2である。λは１つの変換
器に沿って変化すること及び基板の金属被覆領域と未被
覆領域とで異なる値を有することに注意されたい。これ
は当業界ではよく知られており、実際には、λは平均値
である。各変換器10の反射アレイ18,19は、別の変換器
を指向するSAW伝搬を強め、逆方向のSAW伝搬を弱めるよ
うに構成されている。このことは、後述する如く１つの
方向で強め合う干渉が生じ別の方向で弱め合う干渉が生
じるように、反射アレイ18,19を位置決めすることによ
って達成される。
次に第２図は、はしご形変換器10の一部分30をより詳細
に示す。この図もまた一定の比例に応じて描かれたもの
ではなく、第１図と等価の部分は同じ参照符号で示され
ている。分り易いように、反射ストリップ20を１つだけ
示す。セクション30は第１図の左側の変換器10に対応す
る。部分30は２つのフィンガ・グループ161,162を有し
ており、各グループの中心は夫々点線31,32で示され
る。点線33は中心31と32との間の中点を示す。中心31と
32との間の距離、即ち段間周期はＰである。但し、Ｐ＝
2nλで、ｎは整数、λは前記に定義した波長である。変
換器のセクション30は、矢印34で示されるアパーチャＱ
を有しており、アパーチャＱは隣り合うフィンガ14と15
とのオーバーラップによって与えられる。Ｑは50λ乃至
100λのオーダであり得る。反射ストリップ20は点線35
で示されるようにフィンガ・グループの中点即ち段の中
心31と32との中点33からλ/8だけオフセットして配置さ
れている。別の反射ストリップ（第１図参照）は、その
中心がストリップ20の中心から1/2λずつ離間して配置
されている。
に示す。この図もまた一定の比例に応じて描かれたもの
ではなく、第１図と等価の部分は同じ参照符号で示され
ている。分り易いように、反射ストリップ20を１つだけ
示す。セクション30は第１図の左側の変換器10に対応す
る。部分30は２つのフィンガ・グループ161,162を有し
ており、各グループの中心は夫々点線31,32で示され
る。点線33は中心31と32との間の中点を示す。中心31と
32との間の距離、即ち段間周期はＰである。但し、Ｐ＝
2nλで、ｎは整数、λは前記に定義した波長である。変
換器のセクション30は、矢印34で示されるアパーチャＱ
を有しており、アパーチャＱは隣り合うフィンガ14と15
とのオーバーラップによって与えられる。Ｑは50λ乃至
100λのオーダであり得る。反射ストリップ20は点線35
で示されるようにフィンガ・グループの中点即ち段の中
心31と32との中点33からλ/8だけオフセットして配置さ
れている。別の反射ストリップ（第１図参照）は、その
中心がストリップ20の中心から1/2λずつ離間して配置
されている。
フィンガ・グループ161によって発生し右向きに伝搬さ
れる音響波は、矢印36,37によって示される部分A,Bを含
む。部分Ａは反射ストリップ20を透過し、部分Ｂは反射
ストリップ20によって反射される。フィンガ・グループ
162によって発生し左向きに伝搬される音響波は、矢印3
8,39によって示される部分C,Dを含む。部分Ｃはストリ
ップ20を透過し、部分Ｄはストリップ20によって反射さ
れる。
れる音響波は、矢印36,37によって示される部分A,Bを含
む。部分Ａは反射ストリップ20を透過し、部分Ｂは反射
ストリップ20によって反射される。フィンガ・グループ
162によって発生し左向きに伝搬される音響波は、矢印3
8,39によって示される部分C,Dを含む。部分Ｃはストリ
ップ20を透過し、部分Ｄはストリップ20によって反射さ
れる。
第１図及び第２図のフィルタは以下の如く動作する。周
期性反射器を含む音響反射アレイ18は、相反性対称性の
２ポートジャンクション（reciprocalsymmetrical two
−port junction）を構成する。ジャンクション損が存
在しないとき、アレイの片側即ち片方のポートの入射す
る単位振幅の波は、反射アレイの中心に関して互いに90
゜の位相差を有する透過振幅S12と反射振幅S11とを生じ
る。この結果は、IEEE 1983 SU−30 55−77ページにM.
F.Lewisが記載しているような３ポートの場合に関する
分析と同様の分析によって推論し得る。反射アレイの片
側から入射する単位振幅波は両側から入射する波の対称
及び非対称の結合に変換される。
期性反射器を含む音響反射アレイ18は、相反性対称性の
２ポートジャンクション（reciprocalsymmetrical two
−port junction）を構成する。ジャンクション損が存
在しないとき、アレイの片側即ち片方のポートの入射す
る単位振幅の波は、反射アレイの中心に関して互いに90
゜の位相差を有する透過振幅S12と反射振幅S11とを生じ
る。この結果は、IEEE 1983 SU−30 55−77ページにM.
F.Lewisが記載しているような３ポートの場合に関する
分析と同様の分析によって推論し得る。反射アレイの片
側から入射する単位振幅波は両側から入射する波の対称
及び非対称の結合に変換される。
即ち、 である。
このような特定の直交結合が選択されるのは、これらの
結合が対称又は逆対称のジャンクションによって互いに
結合されないからである。
結合が対称又は逆対称のジャンクションによって互いに
結合されないからである。
従って、各振幅は最大強度で生じるが、位相差を伴う。
即ち として生じる。
即ち として生じる。
従って、|a|＝|b|のとき（ａ＋ｂ）と（ａ−ｂ）とのス
カラー積がゼロになるので、S11＝（ａ＋ｂ）とS12＝
（ａ−ｂ）とが直交し90゜の位相差を有する。
カラー積がゼロになるので、S11＝（ａ＋ｂ）とS12＝
（ａ−ｂ）とが直交し90゜の位相差を有する。
透過波及び反射波間、即ちＡ及びＢ間又はＣ及びＤ間の
1/2πの位相差以外に、各反射ストリップ20がフィンガ
・グループの中心31又は32から1/2λの整数倍だけ離れ
た位置に対しλ/8だけオフセットしているために、更に
２×λ/8即ちλ/4又は1/2πの位相差が同一方向に伝搬
する透過波及び反射波間即ちＡ及びＤ間、Ｂ及びＣ間に
生じる。この位相差は一方向に伝搬する音波間の位相差
に付加され、他方向に伝搬する音波間の位相差から差引
かれる。ここではこれらの付加又は相殺の行なわれる方
向を規定しないが、いずれか一方向には建設的即ち付加
的干渉が、他方向には破壊的即ち相殺的干渉が存在し、
各変換器10はそれに応じて単一指向即ち一方向性特性を
示す。変換器の段161及び162での反射はここでは無視
し、後で考察する。
1/2πの位相差以外に、各反射ストリップ20がフィンガ
・グループの中心31又は32から1/2λの整数倍だけ離れ
た位置に対しλ/8だけオフセットしているために、更に
２×λ/8即ちλ/4又は1/2πの位相差が同一方向に伝搬
する透過波及び反射波間即ちＡ及びＤ間、Ｂ及びＣ間に
生じる。この位相差は一方向に伝搬する音波間の位相差
に付加され、他方向に伝搬する音波間の位相差から差引
かれる。ここではこれらの付加又は相殺の行なわれる方
向を規定しないが、いずれか一方向には建設的即ち付加
的干渉が、他方向には破壊的即ち相殺的干渉が存在し、
各変換器10はそれに応じて単一指向即ち一方向性特性を
示す。変換器の段161及び162での反射はここでは無視
し、後で考察する。
変換器10は相互間で音響波の送受を行うよう構成されて
いる。これら変換器は単一指向特性を有するため受波変
換器から離れていく望ましくない音響波の発生が大幅に
低下し、その結果第１図のフィルタ配置によって生じる
挿入損が大幅に減少する。
いる。これら変換器は単一指向特性を有するため受波変
換器から離れていく望ましくない音響波の発生が大幅に
低下し、その結果第１図のフィルタ配置によって生じる
挿入損が大幅に減少する。
これら変換器10の単一指向特性はストリップ20の反射メ
カニズムとは無関係である。これらの特性はマス・ロー
ディング（mass−loading）、局存的効果（topographic
al effects）、圧電短絡（piezoelectric shorting）又
はこれらを組合わせた効果によるSAWデバイスでの反射
に対して認められる。
カニズムとは無関係である。これらの特性はマス・ロー
ディング（mass−loading）、局存的効果（topographic
al effects）、圧電短絡（piezoelectric shorting）又
はこれらを組合わせた効果によるSAWデバイスでの反射
に対して認められる。
反射ストリップ20に無視し得ないような損失があるとλ
/8のオフセット状態は変化するが、すると該変換器又は
該変換器を具備するデバイスは低損失を示すことにはな
らない。従って実際にはどのデバイスでもオフセットは
実質的に即ち殆どλ/8に等しく、又は後述の如く単一指
向性とブルーミングとの双方を考慮した反射器配置の場
合と等価である。
/8のオフセット状態は変化するが、すると該変換器又は
該変換器を具備するデバイスは低損失を示すことにはな
らない。従って実際にはどのデバイスでもオフセットは
実質的に即ち殆どλ/8に等しく、又は後述の如く単一指
向性とブルーミングとの双方を考慮した反射器配置の場
合と等価である。
反射ストリップ20は段間スペース17内又は各変換器10に
隣接して配置されるため、先行技術のように変換器のフ
ィンガを反射器と重ねる必要はない。従ってフィンガと
反射器とを単一の金属蒸着プロセスで配置することがで
き、フィンガ・パターンをこれに続く反射器パターンと
調心的に重ね合わせるという困難でコスト高につながる
作業は不要になる。更に、反射ストリップは相互に且つ
変換器に対して電気的に絶縁し得、或いは一緒に短絡し
得、且つ個々の装置で性能を最適化するのに適している
として必要とされれば接地することもできる。先行技術
では金の反射器が変換器フィンガに対し電気的に短絡さ
れ、前述の如き処理は不可能である。
隣接して配置されるため、先行技術のように変換器のフ
ィンガを反射器と重ねる必要はない。従ってフィンガと
反射器とを単一の金属蒸着プロセスで配置することがで
き、フィンガ・パターンをこれに続く反射器パターンと
調心的に重ね合わせるという困難でコスト高につながる
作業は不要になる。更に、反射ストリップは相互に且つ
変換器に対して電気的に絶縁し得、或いは一緒に短絡し
得、且つ個々の装置で性能を最適化するのに適している
として必要とされれば接地することもできる。先行技術
では金の反射器が変換器フィンガに対し電気的に短絡さ
れ、前述の如き処理は不可能である。
本発明では段間反射器を任意の従来形フィンガ・グルー
プ又は段をもつはしご形変換器に使用し得る。一定の比
例に応じて描かれたものではない第３図、第４図及び第
５図には３種の形態のフィンガ・グループが夫々符号4
0,50及び60で示されている。フィンガ・グループ40はフ
ィンガが１つずつ交互に咬み合う（one into one）形の
グループである。各接触パッド41は内側に伸長した幅λ
/4のフィンガ42を２つ有している。一方のパッドのフィ
ンガと他方のパッドのフィンガとの間の各間隙、例えば
43もλ/4であり、フィンガの中心は互にλ/2だけ離れて
いる。該フィンガ・グループ40の隣には従来形の反射防
止ストリップ又はブルーミング・ストリップ44が配置さ
れている。これらストリップ44は幅及び相互間隙がλ/4
であり、λ/2のフィンガ中心相互間距離をもって空間的
に周期的に繰返えされる変換器フィンガ・パターンから
±λ/4オフセットされている。（フィンガ42の個数によ
っては、即ちフィンガ・グループからの反射の強さによ
っては、反射器44を省略し得ることもある。） フィンガ・グループ50は52の如き内側へ伸長したスプリ
ット・フィンガをもつ接触パッド51を備えている。本発
明では反射アレイ（図示せず）をスプリット・フィンガ
の各内部間隙54の中心53に関して配置する。隣接中心部
53相互間の間隔はλ/2、各フィンガ52の幅及び内部間隙
54はλ/8である。スプリット・フィンガは変換器作動周
波数で反射が生じるのを阻止する性質を有している。
プ又は段をもつはしご形変換器に使用し得る。一定の比
例に応じて描かれたものではない第３図、第４図及び第
５図には３種の形態のフィンガ・グループが夫々符号4
0,50及び60で示されている。フィンガ・グループ40はフ
ィンガが１つずつ交互に咬み合う（one into one）形の
グループである。各接触パッド41は内側に伸長した幅λ
/4のフィンガ42を２つ有している。一方のパッドのフィ
ンガと他方のパッドのフィンガとの間の各間隙、例えば
43もλ/4であり、フィンガの中心は互にλ/2だけ離れて
いる。該フィンガ・グループ40の隣には従来形の反射防
止ストリップ又はブルーミング・ストリップ44が配置さ
れている。これらストリップ44は幅及び相互間隙がλ/4
であり、λ/2のフィンガ中心相互間距離をもって空間的
に周期的に繰返えされる変換器フィンガ・パターンから
±λ/4オフセットされている。（フィンガ42の個数によ
っては、即ちフィンガ・グループからの反射の強さによ
っては、反射器44を省略し得ることもある。） フィンガ・グループ50は52の如き内側へ伸長したスプリ
ット・フィンガをもつ接触パッド51を備えている。本発
明では反射アレイ（図示せず）をスプリット・フィンガ
の各内部間隙54の中心53に関して配置する。隣接中心部
53相互間の間隔はλ/2、各フィンガ52の幅及び内部間隙
54はλ/8である。スプリット・フィンガは変換器作動周
波数で反射が生じるのを阻止する性質を有している。
フィンガ・グループ60は２つ１単位のフィンガと１つ１
単位のフィンガとが交互に咬み合う（two into one）形
のグループであって、第１接触パッド61が内側へ伸長し
たフィンガ62を１段当り４つ有し、第２接触パッド63が
２つのフィンガ64を備えている。フィンガ幅及び間隙は
λ/6である。
単位のフィンガとが交互に咬み合う（two into one）形
のグループであって、第１接触パッド61が内側へ伸長し
たフィンガ62を１段当り４つ有し、第２接触パッド63が
２つのフィンガ64を備えている。フィンガ幅及び間隙は
λ/6である。
特定の性質をもつ変換器を得るのに必要であれば、第３
図、第４図及び第５図のフィンガ・パターンは側方へ伸
長してより大きなフィンガ・グループにすることもでき
る。
図、第４図及び第５図のフィンガ・パターンは側方へ伸
長してより大きなフィンガ・グループにすることもでき
る。
一定のフィンガ・オーバーラップを有する40,50又は60
の如き変換器に加えて、特定の変換器特性を得るべく先
行技術で使用されているようなフィンガ長ウエイティン
グ（weighting）を用いてもよい。特に、フィルタ通過
帯域の特性を向上させ且つ側波帯を縮小させるには、フ
ィンガのオーバーラップと整相（phasing）とをフーリ
エ変換に従いフィルタ変換器全体を通して変化させ得
る。このような変換器を第６図に示した。該変換器70は
接触パッド71と72の如き櫛歯形フィンガとを有してい
る。フィンガのオーバーラップ（ウエイティング）及び
整相は、矩形又は方形関数ｆ（ｘ）、例えばX1ｘx2
の時ｆ（ｘ）＝定数であり、他の場合はｆ（ｘ）＝０で
あるような関数のフーリエ変換に従い、可能な限り近似
するよう配置されている。隣接し合うフィンガは大部分
が異なる接触パッド71から交互に１つずつ伸長している
が、４つの部分73では２つのフィンガが同一の接触パッ
ドから伸長している。これは方形フィルタ通過帯域にお
けるsin X/xフーリエ変換関数の隣接ローブ間の位相反
転に該当する。本発明では変換器70が単一指向特性を得
るべく付属反射ストリップ（図示せず）を具備し得、こ
の種の変換器を２つ備えたフィルタがほぼ方形の通過帯
域を有し得る。例えば変換器70は「サンプリング」され
る、即ちフィンガを省略されて、反射ストリップ配置ス
ペースを得るようにすることができる。有利には、フィ
ンガ・オーバーラップがゼロである領域73のフィンガを
省略するとよい。
の如き変換器に加えて、特定の変換器特性を得るべく先
行技術で使用されているようなフィンガ長ウエイティン
グ（weighting）を用いてもよい。特に、フィルタ通過
帯域の特性を向上させ且つ側波帯を縮小させるには、フ
ィンガのオーバーラップと整相（phasing）とをフーリ
エ変換に従いフィルタ変換器全体を通して変化させ得
る。このような変換器を第６図に示した。該変換器70は
接触パッド71と72の如き櫛歯形フィンガとを有してい
る。フィンガのオーバーラップ（ウエイティング）及び
整相は、矩形又は方形関数ｆ（ｘ）、例えばX1ｘx2
の時ｆ（ｘ）＝定数であり、他の場合はｆ（ｘ）＝０で
あるような関数のフーリエ変換に従い、可能な限り近似
するよう配置されている。隣接し合うフィンガは大部分
が異なる接触パッド71から交互に１つずつ伸長している
が、４つの部分73では２つのフィンガが同一の接触パッ
ドから伸長している。これは方形フィルタ通過帯域にお
けるsin X/xフーリエ変換関数の隣接ローブ間の位相反
転に該当する。本発明では変換器70が単一指向特性を得
るべく付属反射ストリップ（図示せず）を具備し得、こ
の種の変換器を２つ備えたフィルタがほぼ方形の通過帯
域を有し得る。例えば変換器70は「サンプリング」され
る、即ちフィンガを省略されて、反射ストリップ配置ス
ペースを得るようにすることができる。有利には、フィ
ンガ・オーバーラップがゼロである領域73のフィンガを
省略するとよい。
変換器には更に、望ましくない音波を減衰させるべく圧
電基板上に吸収材を使用することもできる。
電基板上に吸収材を使用することもできる。
第７図にはニオブ酸リチウム圧電基板上に本発明の２個
のはしご形変換器811及び812を備えたSAWフィルタ80が
示されている。これら変換器は表示上の都合から実際の
デバイスよりやや狭い間隔で図示されている。変換器81
1及び812は上方接触パッド821及び822と、下方接触パッ
ド831及び832と、段841及び842の如き段を10個と、851
及び852の如き段間反射アレイとを有している。段84に
は86の如きスプリット・フィンガが５つ含まれており
（第４図参照）、各段毎に３つのフィンガが上方接触パ
ッド82から伸長し、２つが下方接触パッド83から伸長し
ている。アレイ85の反射ストリップ、例えばストリップ
87は幅及び間隙がλ/4であり、従ってストリップ相互間
にはλ/2の間隔があけられている。フィルタ中心周波数
が100MHzの場合λは34.5μｍである。段から段までの周
期、又は段中心相互間距離は変換器811では８λ、変換
器812では10λである。アレイ85当りの反射ストリップ
数は変換器811が10個、変換器812が14個である。これら
変換器811及び812は夫々補助的外部反射アレイ881及び8
82をも有する。これら反射アレイはアレイ851及び852の
周期的延長部である。
のはしご形変換器811及び812を備えたSAWフィルタ80が
示されている。これら変換器は表示上の都合から実際の
デバイスよりやや狭い間隔で図示されている。変換器81
1及び812は上方接触パッド821及び822と、下方接触パッ
ド831及び832と、段841及び842の如き段を10個と、851
及び852の如き段間反射アレイとを有している。段84に
は86の如きスプリット・フィンガが５つ含まれており
（第４図参照）、各段毎に３つのフィンガが上方接触パ
ッド82から伸長し、２つが下方接触パッド83から伸長し
ている。アレイ85の反射ストリップ、例えばストリップ
87は幅及び間隙がλ/4であり、従ってストリップ相互間
にはλ/2の間隔があけられている。フィルタ中心周波数
が100MHzの場合λは34.5μｍである。段から段までの周
期、又は段中心相互間距離は変換器811では８λ、変換
器812では10λである。アレイ85当りの反射ストリップ
数は変換器811が10個、変換器812が14個である。これら
変換器811及び812は夫々補助的外部反射アレイ881及び8
82をも有する。これら反射アレイはアレイ851及び852の
周期的延長部である。
反射アレイ851及び852は段間スペース内の対称位置から
夫々右と左とへλ/8ずつオフセットしている。これはフ
ィンガ・グループと反射アレイの分離が変換器81の段84
の両側で異なっていることから明らかである。いずれの
場合もこのように他変換器方向へオフセットさせると、
変換器がＹ−Ｚニオブ酸リチウムにおいて互いの方向に
向う単一指向性を有することになる。即ち、変換器81は
優先的に相互間で音響波の送受を行なうことになる。こ
のような形態を「フェイス・ツー・フェイス（face to
face）」形と称する。（他の圧電材料の場合には必ずし
もこのようにはならない。何故なら、所定変換器と材料
とを出力方向に関してテストにかけなければならないか
らである。前述の説明ではこの出力方向については言及
しなかった。）このオフセットを他変換器から離れる方
向に行なえばバック・ツー・バック（back to back）形
なる形態が得られる。
夫々右と左とへλ/8ずつオフセットしている。これはフ
ィンガ・グループと反射アレイの分離が変換器81の段84
の両側で異なっていることから明らかである。いずれの
場合もこのように他変換器方向へオフセットさせると、
変換器がＹ−Ｚニオブ酸リチウムにおいて互いの方向に
向う単一指向性を有することになる。即ち、変換器81は
優先的に相互間で音響波の送受を行なうことになる。こ
のような形態を「フェイス・ツー・フェイス（face to
face）」形と称する。（他の圧電材料の場合には必ずし
もこのようにはならない。何故なら、所定変換器と材料
とを出力方向に関してテストにかけなければならないか
らである。前述の説明ではこの出力方向については言及
しなかった。）このオフセットを他変換器から離れる方
向に行なえばバック・ツー・バック（back to back）形
なる形態が得られる。
第７図は実際のSWAフィルタを拡大したものである。該
フィルタの実長は反射アレイ881及び882の最も外側のス
トリップ相互間で測定して約7mmであったが、間隙は図
面の寸法から推測されるより少し大きかった。
フィルタの実長は反射アレイ881及び882の最も外側のス
トリップ相互間で測定して約7mmであったが、間隙は図
面の寸法から推測されるより少し大きかった。
変換器81の分離は（それが完全であれば）必ずしも臨界
的ではないが、一方の変換器の反射アレイは他方の変換
器の反射アレイの周期的延長部として配置するのが好ま
しい。
的ではないが、一方の変換器の反射アレイは他方の変換
器の反射アレイの周期的延長部として配置するのが好ま
しい。
第７図のフィルタを比較フィルタと共にテストにかけ
た。この比較フィルタは同一の変換器をバック・ツー・
バック形にしたものである、即ち反射アレイが他方の変
換器から離れる方向へλ/8オフセットするようにしたも
のである。いずれの場合も変換器はＹ−Ｚニオブ酸リチ
ウム基板上にアルミニウムを蒸着して形成した。これら
フィルタをTO8容器内に配置した。接触パッドはゴール
ド・ワイヤ・ボンドを有し、厚みが0.15μｍであった。
各変換器を100nHの巻線誘導子を用いてシャント同調さ
せ、50オームに達する密な整合（close match）を得
た。
た。この比較フィルタは同一の変換器をバック・ツー・
バック形にしたものである、即ち反射アレイが他方の変
換器から離れる方向へλ/8オフセットするようにしたも
のである。いずれの場合も変換器はＹ−Ｚニオブ酸リチ
ウム基板上にアルミニウムを蒸着して形成した。これら
フィルタをTO8容器内に配置した。接触パッドはゴール
ド・ワイヤ・ボンドを有し、厚みが0.15μｍであった。
各変換器を100nHの巻線誘導子を用いてシャント同調さ
せ、50オームに達する密な整合（close match）を得
た。
テストしたフィルタの性能を第８図に３つの曲線a,b及
びｃで示した。曲線ａ及びｃはフィルタの減衰を周波数
の関数として示し、夫々フェイス・ツー・フェイス形及
びバック・ツー・バック形変換器に対応する。100MHzの
基本周波数又は中心周波数は符号90で示されており、周
波数は１目盛0.5MHzで表わされ、曲線は97MHzから103MH
zまでの範囲に亘って示されている。縦座標は１目盛が5
dBを表わす。曲線ｂはフェイス・ツー・フェイス形フィ
ルタ（曲線ａ）でのグループ遅延の変化を示す。その縦
座標は１目盛が１μ秒を表わし、基本線91では１目盛が
前記と同じ周波数を表わしている。
びｃで示した。曲線ａ及びｃはフィルタの減衰を周波数
の関数として示し、夫々フェイス・ツー・フェイス形及
びバック・ツー・バック形変換器に対応する。100MHzの
基本周波数又は中心周波数は符号90で示されており、周
波数は１目盛0.5MHzで表わされ、曲線は97MHzから103MH
zまでの範囲に亘って示されている。縦座標は１目盛が5
dBを表わす。曲線ｂはフェイス・ツー・フェイス形フィ
ルタ（曲線ａ）でのグループ遅延の変化を示す。その縦
座標は１目盛が１μ秒を表わし、基本線91では１目盛が
前記と同じ周波数を表わしている。
本発明の帯域SAWフィルタは、実際に中心最大域92即ち
通過帯域と、関連する93の如き副次的極大域をもつ曲線
ａで表わされる特性を示す。該フィルタの挿入損測定値
は100MHzの基本周波数で僅か2.7dBであった。これと比
較してみると、先行技術のSAWフィルタの最小理論損失
値は約6dBであり、且つ実際には通常８〜10dBの整合損
失（matched loss）をもつ。また、92での帯域リプル
（passband ripple）はピーク・ツー・ピークで0.5dBよ
り小さく、94でのグループ遅延は約１μ秒であり、リッ
プルのピーク・ツー・ピークは約0.2μ秒である。これ
らの値はいずれもSAWフィルタにしては低い値である。
通過帯域と、関連する93の如き副次的極大域をもつ曲線
ａで表わされる特性を示す。該フィルタの挿入損測定値
は100MHzの基本周波数で僅か2.7dBであった。これと比
較してみると、先行技術のSAWフィルタの最小理論損失
値は約6dBであり、且つ実際には通常８〜10dBの整合損
失（matched loss）をもつ。また、92での帯域リプル
（passband ripple）はピーク・ツー・ピークで0.5dBよ
り小さく、94でのグループ遅延は約１μ秒であり、リッ
プルのピーク・ツー・ピークは約0.2μ秒である。これ
らの値はいずれもSAWフィルタにしては低い値である。
変換器の高度の単一指向性は、100MHzの基本周波数にお
ける曲線ｃの著るしい中央最小値95によって示される。
この最小値95は挿入損31.9dBであり、又は曲線ａの対応
する最大値92の位置よりもおよそ29dBだけ低い曲線ｃの
フィルタに用いられたバック・ツー・バック形変換器は
100MHzにおいて互いに遠去かるものが優勢な音響波を発
信し、受信する。その結果基本周波数は強く除去され
る。この特性は帯域消去フィルタを構成するのに利用す
ることができる。
ける曲線ｃの著るしい中央最小値95によって示される。
この最小値95は挿入損31.9dBであり、又は曲線ａの対応
する最大値92の位置よりもおよそ29dBだけ低い曲線ｃの
フィルタに用いられたバック・ツー・バック形変換器は
100MHzにおいて互いに遠去かるものが優勢な音響波を発
信し、受信する。その結果基本周波数は強く除去され
る。この特性は帯域消去フィルタを構成するのに利用す
ることができる。
テストはさらに曲線ａ即ちフェイス・ツー・フェイス形
フィルタを完全な非同調配置にして行なわれた。結果と
して、通過帯域、グループ遅延のリップルはかなり大き
かったとはいえ、挿入損は依然として僅か3dBにすぎな
かった。この実施例に示すように非同調であることに比
較的不感であることは、サイズ、コストまたは振動に対
する感度を最小化する必要がある応用では重要である。
フィルタを完全な非同調配置にして行なわれた。結果と
して、通過帯域、グループ遅延のリップルはかなり大き
かったとはいえ、挿入損は依然として僅か3dBにすぎな
かった。この実施例に示すように非同調であることに比
較的不感であることは、サイズ、コストまたは振動に対
する感度を最小化する必要がある応用では重要である。
次に第９図は、不必要なマルチプル・トランジット信号
を減らすために「ブルーミング」される本発明のはしご
形変換器のセクション100を示す。用語「ブルーミン
グ」及びこれに類する表現は、反射防止コーティングを
もつレンズの光学的ブルーミングとの類推で使用してい
る。セクション100は２個の段101,102と、中央間隔λ/2
をもつ104のような30個の反射ストリップの中央バンク1
03をもつ。バンク105は全体を示し、バンク106は１部分
を示す。夫々の段101,102は、上側接触パッド109から延
びる108のような６個のフィンガと、下側接触パッド111
から延びる110のような７個のフィンガをもつ。隣接フ
ィンガ対108,110はλ/2の中央間隔をもつ。作動時に、
上側接触パッド109はrf信号を伝送し、下側接触パッド
は接地されている。
を減らすために「ブルーミング」される本発明のはしご
形変換器のセクション100を示す。用語「ブルーミン
グ」及びこれに類する表現は、反射防止コーティングを
もつレンズの光学的ブルーミングとの類推で使用してい
る。セクション100は２個の段101,102と、中央間隔λ/2
をもつ104のような30個の反射ストリップの中央バンク1
03をもつ。バンク105は全体を示し、バンク106は１部分
を示す。夫々の段101,102は、上側接触パッド109から延
びる108のような６個のフィンガと、下側接触パッド111
から延びる110のような７個のフィンガをもつ。隣接フ
ィンガ対108,110はλ/2の中央間隔をもつ。作動時に、
上側接触パッド109はrf信号を伝送し、下側接触パッド
は接地されている。
ブルーミング反射バンク105,106は各々の段101,102の周
期的連続からλ/4だけ離れている。段101,102の中央11
2,113は、鎖線114で示される中点をもつ。さらに別の鎖
線115は単一方向反射バンク103の中心を示し、段間の中
点114からλ/8だけ分離乃至オフセットされている。
期的連続からλ/4だけ離れている。段101,102の中央11
2,113は、鎖線114で示される中点をもつ。さらに別の鎖
線115は単一方向反射バンク103の中心を示し、段間の中
点114からλ/8だけ分離乃至オフセットされている。
セクション100は単一指向性と反射防止特性の両方をも
ち、夫々の適用に求められる数の段と、関連する単一指
向性及びブルーミング反射器をもつことができる。ブル
ーミング反射器の使用は第４図に示すスプリット・フィ
ンガの代りである。スプリット・フィンガは、λ/8幅が
１μｍ未満である500MHz以上の作動用としては製造が困
難である。第９図の構造の魅力は、すべての反射器と変
換器フィンガが同じ幅λ/4を持つことで、これは製造に
都合がよい。
ち、夫々の適用に求められる数の段と、関連する単一指
向性及びブルーミング反射器をもつことができる。ブル
ーミング反射器の使用は第４図に示すスプリット・フィ
ンガの代りである。スプリット・フィンガは、λ/8幅が
１μｍ未満である500MHz以上の作動用としては製造が困
難である。第９図の構造の魅力は、すべての反射器と変
換器フィンガが同じ幅λ/4を持つことで、これは製造に
都合がよい。
以上の具体例では、変換器フィンガの音響波の反射は便
宜上無視される（第１図、第２図）か、あるいはスプリ
ット・フィンガ変換器（第４図、第７図）またはブルー
ミング（第９図）によって処理された。ここで第10図及
び第２図を参照して、フィンガ・グループ161の段から
フィンガ・グループ162の段へと伝搬される矢印36で示
す音響波Ａを考える。音響波Ａは部分的に反射されて、
段162から段161に進行する音響波（第２図に示さず）を
形成する。同様に、音響波Ｃは段161で部分的に反射さ
れ、第162に向かって進む波を形成する。段161及び162
は同数の等量反射フィンガ14及び15をもち、これら２つ
の部分反射は左右対称に同位相にある。従って、これら
の部分反射は第10図の単一ベクトルＲで描くことができ
る。便宜上、Ｒは正の実軸120に沿って描かれ、他のベ
クトルの位相はこれに関連して描かれている。以下の説
明で、部分反射の位相が、反射が段中央31,32ではな
く、それらの中点33で生じたとしても同じであると認め
ることもまた都合がよい。これは追加往復進行が で、中心周波数で2nπの位相ずれをもつことによる。
宜上無視される（第１図、第２図）か、あるいはスプリ
ット・フィンガ変換器（第４図、第７図）またはブルー
ミング（第９図）によって処理された。ここで第10図及
び第２図を参照して、フィンガ・グループ161の段から
フィンガ・グループ162の段へと伝搬される矢印36で示
す音響波Ａを考える。音響波Ａは部分的に反射されて、
段162から段161に進行する音響波（第２図に示さず）を
形成する。同様に、音響波Ｃは段161で部分的に反射さ
れ、第162に向かって進む波を形成する。段161及び162
は同数の等量反射フィンガ14及び15をもち、これら２つ
の部分反射は左右対称に同位相にある。従って、これら
の部分反射は第10図の単一ベクトルＲで描くことができ
る。便宜上、Ｒは正の実軸120に沿って描かれ、他のベ
クトルの位相はこれに関連して描かれている。以下の説
明で、部分反射の位相が、反射が段中央31,32ではな
く、それらの中点33で生じたとしても同じであると認め
ることもまた都合がよい。これは追加往復進行が で、中心周波数で2nπの位相ずれをもつことによる。
反射ストリップ20によって反射された音響波Ｂ及びＤ
は、正及び負の虚軸121及び122に沿って夫々位置するベ
クトルＢ及びＤによって描かれる。即ち、Ｂ及びＤは夫
々Ｒから90゜進み、そして遅れる。
は、正及び負の虚軸121及び122に沿って夫々位置するベ
クトルＢ及びＤによって描かれる。即ち、Ｂ及びＤは夫
々Ｒから90゜進み、そして遅れる。
ブルーミング反射器及び方向性反射器の効果を結合して
設計を簡素化することができる。このためオフセットλ
/8はオフセットλ/8＋δに変更しなければならない。１
段当りＭ個のフィンガをもつ２段変換器と、Ｎ個のスト
リップをもつ段間反射器（但しＮはＭより大である）を
想定されたい。段161及び162のフィンガは、Ｒと同位相
の、振幅がＭに比例する反射Ｒ F1及びＲ F2を夫々生じ
る。同様に、反射ストリップは、Ｎに比例し、しかし夫
々Ｒから、路程差２（λ/8＋δ）又はπ/2＋θ（但しθ
＝４πδ／λ）に相当する位相角だけ進みそして遅れる
反射Ｒ R1及びＲ R2を生じる。反射ストリップとフィンガ
は等しい幅をもち、開口Ｑ又は有効音響領域を限定する
フィンガのオーバーラップは反射ストリップ長に等し
い。さらにフィンガ及び反射ストリップは同じ金属の同
じ厚さのものでつくられているから、それらは同一反射
特性をもつであろう。従って、Ｒ F1,Ｒ F2,Ｒ R1及びＲ R2
の振幅は同一比例定数例えばｋをもち、以下の式が成立
する。
設計を簡素化することができる。このためオフセットλ
/8はオフセットλ/8＋δに変更しなければならない。１
段当りＭ個のフィンガをもつ２段変換器と、Ｎ個のスト
リップをもつ段間反射器（但しＮはＭより大である）を
想定されたい。段161及び162のフィンガは、Ｒと同位相
の、振幅がＭに比例する反射Ｒ F1及びＲ F2を夫々生じ
る。同様に、反射ストリップは、Ｎに比例し、しかし夫
々Ｒから、路程差２（λ/8＋δ）又はπ/2＋θ（但しθ
＝４πδ／λ）に相当する位相角だけ進みそして遅れる
反射Ｒ R1及びＲ R2を生じる。反射ストリップとフィンガ
は等しい幅をもち、開口Ｑ又は有効音響領域を限定する
フィンガのオーバーラップは反射ストリップ長に等し
い。さらにフィンガ及び反射ストリップは同じ金属の同
じ厚さのものでつくられているから、それらは同一反射
特性をもつであろう。従って、Ｒ F1,Ｒ F2,Ｒ R1及びＲ R2
の振幅は同一比例定数例えばｋをもち、以下の式が成立
する。
｜Ｒ F1|＝｜Ｒ F2|＝kM,Ｒと同位相 （Ａ） ｜Ｒ R1|＝｜Ｒ R2|＝kN,Ｒに対し±（π/2＋θ）の位相
（Ｂ） 反射は各フィンガ又は反射ストリップにおいて小さく、
その結果各連続反射は透過振幅を事実上変化させないで
おくものとして、かなりのよい近似で考えることができ
る。このことは反射による寄与分の計算を簡単にし、結
果に対して実質的に影響を与えない。
（Ｂ） 反射は各フィンガ又は反射ストリップにおいて小さく、
その結果各連続反射は透過振幅を事実上変化させないで
おくものとして、かなりのよい近似で考えることができ
る。このことは反射による寄与分の計算を簡単にし、結
果に対して実質的に影響を与えない。
ブルーミングと単一指向性を提供する反射ストリップ配
置を提供するためには、ベクトルＲ F1,Ｒ R1及びベクト
ルＲ F2,Ｒ R2は、第10図のベクトル図に等価の状態をつ
くり出すため、反対方向で等しいベクトルＵ及びＶを夫
々生じなければならない。これによって第11図のベクト
ル図が描かれる。ここではベクトルＵはベクトルＲ F1,
Ｒ R1の合力、ベクトルＶはＲ F2,Ｒ R2の合力である。Ｕ
及びＶは第10図のベクトルＢ及びＤに相当し、正及び負
の虚軸131及び132に沿って、即ちＲに対して＋π/2又は
−π/2移相して夫々位置する。方程式（Ａ）及び（Ｂ）
から、第11図に関連して、次の式が成立する。
置を提供するためには、ベクトルＲ F1,Ｒ R1及びベクト
ルＲ F2,Ｒ R2は、第10図のベクトル図に等価の状態をつ
くり出すため、反対方向で等しいベクトルＵ及びＶを夫
々生じなければならない。これによって第11図のベクト
ル図が描かれる。ここではベクトルＵはベクトルＲ F1,
Ｒ R1の合力、ベクトルＶはＲ F2,Ｒ R2の合力である。Ｕ
及びＶは第10図のベクトルＢ及びＤに相当し、正及び負
の虚軸131及び132に沿って、即ちＲに対して＋π/2又は
−π/2移相して夫々位置する。方程式（Ａ）及び（Ｂ）
から、第11図に関連して、次の式が成立する。
従って、１段当りＭ個のフィンガをもつ本発明のはしご
形変換器は、Ｎ個のストリップをもつ反射アレイを内蔵
している場合（但しＮ＞Ｍ）には、ブルーミング特性と
単一指向性特性の両方を備えるであろう。この場合スト
リップはフィンガのオーバーラップ部分に寸法的に等し
く、さらにそのストリップはフィンガ・パターンの空間
的周期性配置からλ/8＋λθ/4π（θ＝arcsinM/N）だ
けオフセットされる。以上の説明は２段変換器に関する
ものだが、同様に任意の段数をもつ変換器にも適合す
る。ブルーミングを用いた上述の装置の利点は、すべて
の変換器フィンガ及び反射ストリップがλ/4の幅をもっ
ており、これが製造を容易化することにある。
形変換器は、Ｎ個のストリップをもつ反射アレイを内蔵
している場合（但しＮ＞Ｍ）には、ブルーミング特性と
単一指向性特性の両方を備えるであろう。この場合スト
リップはフィンガのオーバーラップ部分に寸法的に等し
く、さらにそのストリップはフィンガ・パターンの空間
的周期性配置からλ/8＋λθ/4π（θ＝arcsinM/N）だ
けオフセットされる。以上の説明は２段変換器に関する
ものだが、同様に任意の段数をもつ変換器にも適合す
る。ブルーミングを用いた上述の装置の利点は、すべて
の変換器フィンガ及び反射ストリップがλ/4の幅をもっ
ており、これが製造を容易化することにある。
本発明に係る変換器は上述の通り、フィルタ、好ましく
はアンテナ信号を直接受信するいわゆるフロントエンド
・フィルタにおいて用いることができる。これによっ
て、局部発振周波数と他の帯域内で受信される種々の不
必要な信号との間の積成分によってIFミクサの各段に生
じる帯域内スプリアス信号を低減するであろう。さらに
本発明変換器は、適性な帯域幅をもつべく適確な設計が
なされるならばIFフィルタとして用いることができる。
はアンテナ信号を直接受信するいわゆるフロントエンド
・フィルタにおいて用いることができる。これによっ
て、局部発振周波数と他の帯域内で受信される種々の不
必要な信号との間の積成分によってIFミクサの各段に生
じる帯域内スプリアス信号を低減するであろう。さらに
本発明変換器は、適性な帯域幅をもつべく適確な設計が
なされるならばIFフィルタとして用いることができる。
移動局通信では通常は第８図の曲線ａで表わす性能が適
正とされる1MHzの帯域幅が求められる。但しさらにそれ
以上の狭い帯域幅を要求する応用もあり、これには他の
設計が必要になるであろう。IF（中間周波数）では、挿
入損が低いという本発明の特性によって、増幅器の段数
を減らすことが許されるであろう。さらに、低挿入損及
び直線性グループ遅延特性は、水晶発振子型のような発
振器に使用するために重要な条件である。発振器に用い
られた場合、低挿入損は、先行技術では２個以上のトラ
ンジスタを必要としたのに対して、１個のトランジスタ
でまかなうことを可能にするし、また直線性グループ遅
延は、先行技術ではよくあるスプリアス側波帯を除去し
て直線性周波数変調を可能にする。低挿入損特性は、特
に例えば電池駆動デバイスのような、低電力消費と最小
増幅が重視される応用に有利である。
正とされる1MHzの帯域幅が求められる。但しさらにそれ
以上の狭い帯域幅を要求する応用もあり、これには他の
設計が必要になるであろう。IF（中間周波数）では、挿
入損が低いという本発明の特性によって、増幅器の段数
を減らすことが許されるであろう。さらに、低挿入損及
び直線性グループ遅延特性は、水晶発振子型のような発
振器に使用するために重要な条件である。発振器に用い
られた場合、低挿入損は、先行技術では２個以上のトラ
ンジスタを必要としたのに対して、１個のトランジスタ
でまかなうことを可能にするし、また直線性グループ遅
延は、先行技術ではよくあるスプリアス側波帯を除去し
て直線性周波数変調を可能にする。低挿入損特性は、特
に例えば電池駆動デバイスのような、低電力消費と最小
増幅が重視される応用に有利である。
以上の具体例は、λ/8のオフセットをもつ同一反射バン
クまたは第11図に関して説明した、ブルーミングと単一
指向性の両方を提供する構造をもつ等価装置を結合して
示した。実際は、変換器は特別な特性を要求する。それ
らの特性の幾例かを以下に例示する。
クまたは第11図に関して説明した、ブルーミングと単一
指向性の両方を提供する構造をもつ等価装置を結合して
示した。実際は、変換器は特別な特性を要求する。それ
らの特性の幾例かを以下に例示する。
（１） 各反射アレイ内での反射ストリップ長又はオフ
セットが変化していること。
セットが変化していること。
（２） １アレイ当りの反射ストリップ数が変化してい
ること。
ること。
（３） 反射ストリップ幅が変化していること。
（４） 反射アレイ・コンプレッサ・デバイスでの「チ
ャープ（chirp）」配置のように、反射ストリップの空
間周期数が変化していること。
ャープ（chirp）」配置のように、反射ストリップの空
間周期数が変化していること。
（５） 上記の第（１）項〜第（４）項のと同様に、変
換器フィンガの配置を変化させること。
換器フィンガの配置を変化させること。
（６） 上記第（１）項〜第（５）項から選択して組合
せること。
せること。
いずれの場合においても、変換器の応答は、第11図に関
して説明した通り、ベクトル図から計算することができ
る。
して説明した通り、ベクトル図から計算することができ
る。
第１図はSAWフィルタとして配置した本発明に係る２個
のはしご形変換器を概略的に示す。第２図は本発明に係
る変換器の一セクションを概略的に示す。第３図〜第６
図は本発明に係る変換器において用いることのできる種
々の櫛歯形変換器を概略的に示す。第７図は本発明に係
るはしご形変換器を備える実際のSAWフィルタの拡大図
を示す。第８図は第７図の変換器を備えるSAWフィルタ
の減衰−周波数特性及びグループ遅延−周波数特性を示
す。第９図はブルーミング反射ストリップを備える本発
明に係る変換器の一セクションを示す。第10図は第２図
における音響波伝搬のベクトル図である。第11図は反射
防止及び単一指向性の両特性を具備する反射アレイを持
つ本発明に係る変換器における音響波伝搬のベクトル図
である。 10……変換器、11,12……接触パッド、14,15……フィン
ガ、18,19……反射アレイ、20……反射ストリップ、80
……SAWフィルタ、811,812……はしご形変換器、821,82
2……上部接触パッド、831,832……下部接触パッド、84
1,842……段、851,852……段間の反射器、100……はし
ご形変換器の一セクション、101,102……段、103……反
射のストリップの中央バンク。
のはしご形変換器を概略的に示す。第２図は本発明に係
る変換器の一セクションを概略的に示す。第３図〜第６
図は本発明に係る変換器において用いることのできる種
々の櫛歯形変換器を概略的に示す。第７図は本発明に係
るはしご形変換器を備える実際のSAWフィルタの拡大図
を示す。第８図は第７図の変換器を備えるSAWフィルタ
の減衰−周波数特性及びグループ遅延−周波数特性を示
す。第９図はブルーミング反射ストリップを備える本発
明に係る変換器の一セクションを示す。第10図は第２図
における音響波伝搬のベクトル図である。第11図は反射
防止及び単一指向性の両特性を具備する反射アレイを持
つ本発明に係る変換器における音響波伝搬のベクトル図
である。 10……変換器、11,12……接触パッド、14,15……フィン
ガ、18,19……反射アレイ、20……反射ストリップ、80
……SAWフィルタ、811,812……はしご形変換器、821,82
2……上部接触パッド、831,832……下部接触パッド、84
1,842……段、851,852……段間の反射器、100……はし
ご形変換器の一セクション、101,102……段、103……反
射のストリップの中央バンク。
Claims (16)
- 【請求項１】櫛歯形フィンガから成る段を有するはしご
形のものとして圧電基板上に設けられており、且つ段間
の位置に配置された反射ストリップを含む音響交換器で
あって、各反射ストリップは変換器フィンガ中心からｎ
λ/2だけ離れたそれぞれの位置から実質的にλ/8＋δだ
けオフセットされており、但しλは変換器中心周波数に
対応する波長であり、ｎは整数であり、そしてδは零に
等しいか、又は単一指向性及びブルーミング機能を併せ
て有する反射ストリップ・アレイを有する変換器の場合
には、δは（λ/4π）arcsin（M/N）に等しく、但しＭ
は１段当りの変換器フィンガの個数であり、Ｎは１アレ
イ当りの反射ストリップの個数であり、ＮはＭよりも大
であることを特徴とする音響変換器。 - 【請求項２】段間ではない位置に配置された１個又はそ
れ以上の反射ストリップ・アレイを更に含むことを特徴
とする特許請求の範囲第１項に記載の音響変換器。 - 【請求項３】変換器フィンガ長及び反射ストリップ長又
はそのいずれかは所望の変換器特性を得るべくウエイト
がかけられていることを特徴とする特許請求の範囲第１
項又は第２項に記載の音響変換器。 - 【請求項４】第二の同様な変換器に隣接して配置されて
おり、それら変換器はお互いの方向に向うか又は遠去か
る音響波を送信するように配置されていることを特徴と
する特許請求の範囲第１項、第２項又は第３項に記載の
音響変換器。 - 【請求項５】音響吸収手段が不所望な音響波を吸収する
べく基板上に配置されていることを特徴とする特許請求
の範囲の前記いずれかの項に記載の音響変換器。 - 【請求項６】段の分離は空間的に非周期性であるか、又
は変周期性のものであるように配置されていることを特
徴とする特許請求の範囲第１項に記載の音響変換器。 - 【請求項７】ウエイトをかけられたフィンガ・オーバー
ラップを有することを特徴とする特許請求の範囲第１項
に記載の音響変換器。 - 【請求項８】サンプルド・フーリエ変換に従い変化する
フィンガ・オーバーラップを有することを特徴とする特
許請求の範囲第７項に記載の音響変換器。 - 【請求項９】零フィンガ・オーバーラップに該当する１
個又はそれ以上の位置に配置された反射ストリップを有
することを特徴とする特許請求の範囲第８項に記載の音
響変換器。 - 【請求項１０】δは零に等しく、一方向性変換器特性を
持つように配置された第１反射ストリップ及びブルーミ
ングを有するように配置された第２反射ストリップを有
することを特徴とする特許請求の範囲第１項に記載の音
響変換器。 - 【請求項１１】λ/4幅を有する変換器フィンガ及び反射
ストリップを有することを特徴とする特許請求の範囲第
１項に記載の音響変換器。 - 【請求項１２】反射ストリップ長及び幅又はそのいずれ
かは反射アレイに沿って変化していることを特徴とする
特許請求の範囲第１項に記載の音響変換器。 - 【請求項１３】１アレイ当りの反射ストリップの個数が
異なる複数の反射アレイを含むことを特徴とする特許請
求の範囲第１項に記載の音響変換器。 - 【請求項１４】アレイになっている反射ストリップの空
間周期数が変化していることを特徴とする特許請求の範
囲第１項に記載の音響変換器。 - 【請求項１５】変換器フィンガは長さ及び幅又はそのい
ずれか及び１段当りの個数又はそのいずれかにおいて変
化していることを特徴とする特許請求の範囲第１項に記
載の音響変換器。 - 【請求項１６】変換器フィンガの空間周期数が変化して
いることを特徴とする特許請求の範囲第１項に記載の音
響変換器。
Applications Claiming Priority (2)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| GB838327551A GB8327551D0 (en) | 1983-10-14 | 1983-10-14 | Acoustic transducer |
| GB8327551 | 1983-10-14 |
Related Child Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP5201726A Division JP2984523B2 (ja) | 1983-10-14 | 1993-08-13 | 音響波変換器の製造方法 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS60123123A JPS60123123A (ja) | 1985-07-01 |
| JPH0736501B2 true JPH0736501B2 (ja) | 1995-04-19 |
Family
ID=10550198
Family Applications (4)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP59216027A Expired - Lifetime JPH0736501B2 (ja) | 1983-10-14 | 1984-10-15 | 音響変換器 |
| JP5201726A Expired - Lifetime JP2984523B2 (ja) | 1983-10-14 | 1993-08-13 | 音響波変換器の製造方法 |
| JP19378396A Expired - Lifetime JP3345609B2 (ja) | 1983-10-14 | 1996-07-23 | 音響波変換器 |
| JP11173195A Pending JP2000059170A (ja) | 1983-10-14 | 1999-06-18 | 音響波変換器 |
Family Applications After (3)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP5201726A Expired - Lifetime JP2984523B2 (ja) | 1983-10-14 | 1993-08-13 | 音響波変換器の製造方法 |
| JP19378396A Expired - Lifetime JP3345609B2 (ja) | 1983-10-14 | 1996-07-23 | 音響波変換器 |
| JP11173195A Pending JP2000059170A (ja) | 1983-10-14 | 1999-06-18 | 音響波変換器 |
Country Status (5)
| Country | Link |
|---|---|
| US (1) | US4642506A (ja) |
| EP (1) | EP0140618B1 (ja) |
| JP (4) | JPH0736501B2 (ja) |
| DE (1) | DE3484786D1 (ja) |
| GB (1) | GB8327551D0 (ja) |
Families Citing this family (31)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US4870312A (en) * | 1987-02-19 | 1989-09-26 | Hazeltine Corporation | Surface wave device having anti-reflective shield |
| JPH01157109A (ja) * | 1987-12-14 | 1989-06-20 | Hitachi Ltd | 弾性表面波共振器 |
| US5023605A (en) * | 1988-11-25 | 1991-06-11 | Gte Laboratories, Inc. | Patterned transducer apparatus for correcting spurious signals in said devices |
| US4945354A (en) * | 1988-11-25 | 1990-07-31 | Gte Products | Spurious signal correction for surface acoustic wave (SAW) security devices |
| US5264751A (en) * | 1989-10-20 | 1993-11-23 | Thomson-Csf | Unilateral surface wave transducer |
| FR2653632B1 (fr) * | 1989-10-20 | 1991-12-20 | Thomson Csf | Transducteur d'ondes de surface unidirectionnel. |
| GB2259818B (en) * | 1991-09-17 | 1995-08-16 | Racal Mesl Ltd | Surface acoustic wave (saw) ladder transducer |
| US5313177A (en) * | 1992-04-06 | 1994-05-17 | Motorola, Inc. | Method and apparatus for an acoustic wave filter |
| US5274345A (en) * | 1992-05-13 | 1993-12-28 | Andersen Laboratories | Dual function reflector structures for interdigital saw transducer |
| JPH06260873A (ja) * | 1993-03-03 | 1994-09-16 | Kazuhiko Yamanouchi | 弾性表面波フィルタ装置 |
| FR2702899B1 (fr) † | 1993-03-19 | 1995-05-12 | Thomson Csf | Transducteur à ondes de surface à réflexion acoustique distribuée et filtre comportant un tel transducteur. |
| JP3307455B2 (ja) * | 1993-03-22 | 2002-07-24 | 日本碍子株式会社 | 弾性表面波フィルタ装置 |
| JPH0722889A (ja) * | 1993-06-30 | 1995-01-24 | Nec Corp | 弾性表面波変換器 |
| US5325704A (en) * | 1993-11-22 | 1994-07-05 | The United States Of America As Represented By The Secretary Of The Army | Surface acoustic wave (SAW) chemical multi-sensor array |
| US5600287A (en) * | 1994-02-03 | 1997-02-04 | Motorola, Inc. | Acoustic wave filter with reduced bulk-wave scattering loss, ladder filter incorporating same and method |
| JP3484237B2 (ja) * | 1994-09-28 | 2004-01-06 | 日本碍子株式会社 | 弾性表面波デバイス |
| KR100207358B1 (ko) * | 1994-10-31 | 1999-07-15 | 시바타 마사하루 | 탄성 표면파 필터 장치 및 탄성 표면파 필터 장치용 트랜스듀서 |
| JP3268179B2 (ja) | 1995-11-08 | 2002-03-25 | 正男 竹内 | 弾性表面波変換器及びこの変換器を用いた弾性表面波フィルタ |
| US6172582B1 (en) | 1996-02-20 | 2001-01-09 | Cts Corporation | Saw resonator and ladder filter with specified number of reflector electrode fingers |
| JPH10135765A (ja) * | 1996-10-30 | 1998-05-22 | Nec Corp | 一方向性弾性表面波フィルタ |
| US6147574A (en) * | 1997-11-20 | 2000-11-14 | Murata Manufacturing Co., Ltd. | Unidirectional surface acoustic wave transducer and transversal-type saw filter having the same |
| JP3266846B2 (ja) * | 1998-01-20 | 2002-03-18 | 東洋通信機株式会社 | 反射反転型弾性表面波変換器及びフィルタ |
| JP3695353B2 (ja) | 2000-11-17 | 2005-09-14 | 株式会社村田製作所 | トランスバーサル型弾性表面波フィルタ |
| DE10111959B4 (de) * | 2001-03-13 | 2014-11-20 | Epcos Ag | Mit akustischen Wellen arbeitende Wandlerstruktur |
| US6534896B2 (en) * | 2001-05-15 | 2003-03-18 | Nortel Networks Limited | Spatial harmonic transducers for surface wave devices |
| JP4765396B2 (ja) * | 2005-05-12 | 2011-09-07 | エプソントヨコム株式会社 | トランスバーサル型弾性表面波フィルタ |
| US7952482B2 (en) * | 2005-08-25 | 2011-05-31 | University Of Central Florida Research Foundation, Inc. | Surface acoustic wave coding for orthogonal frequency coded devices |
| JP4548305B2 (ja) * | 2005-10-31 | 2010-09-22 | エプソントヨコム株式会社 | 二重モード弾性表面波フィルタ |
| FR2917918B1 (fr) * | 2007-06-19 | 2010-03-12 | Senseor | Resonateur a ondes de surface a resonance parasite reduite |
| US9128567B2 (en) * | 2012-11-20 | 2015-09-08 | Elo Touch Solutions, Inc. | Segmented waveguide core touch sensor systems and methods |
| US11353567B2 (en) * | 2019-02-22 | 2022-06-07 | Semiconductor Components Industries, Llc | Ultrasonic sensor having edge-based echo detection |
Family Cites Families (10)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
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