JPH0697756A - 音響変換器 - Google Patents

音響変換器

Info

Publication number
JPH0697756A
JPH0697756A JP5201726A JP20172693A JPH0697756A JP H0697756 A JPH0697756 A JP H0697756A JP 5201726 A JP5201726 A JP 5201726A JP 20172693 A JP20172693 A JP 20172693A JP H0697756 A JPH0697756 A JP H0697756A
Authority
JP
Japan
Prior art keywords
transducer
reflector
acoustic
acoustic transducer
finger
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Granted
Application number
JP5201726A
Other languages
English (en)
Other versions
JP2984523B2 (ja
Inventor
Meirion F Lewis
マイリオン・フランシス・ルイス
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
UK Government
Original Assignee
UK Government
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Family has litigation
First worldwide family litigation filed litigation Critical https://patents.darts-ip.com/?family=10550198&utm_source=google_patent&utm_medium=platform_link&utm_campaign=public_patent_search&patent=JPH0697756(A) "Global patent litigation dataset” by Darts-ip is licensed under a Creative Commons Attribution 4.0 International License.
Application filed by UK Government filed Critical UK Government
Publication of JPH0697756A publication Critical patent/JPH0697756A/ja
Application granted granted Critical
Publication of JP2984523B2 publication Critical patent/JP2984523B2/ja
Anticipated expiration legal-status Critical
Expired - Lifetime legal-status Critical Current

Links

Classifications

    • HELECTRICITY
    • H03ELECTRONIC CIRCUITRY
    • H03HIMPEDANCE NETWORKS, e.g. RESONANT CIRCUITS; RESONATORS
    • H03H9/00Networks comprising electromechanical or electro-acoustic devices; Electromechanical resonators
    • H03H9/46Filters
    • H03H9/64Filters using surface acoustic waves
    • H03H9/6423Means for obtaining a particular transfer characteristic
    • H03H9/643Means for obtaining a particular transfer characteristic the transfer characteristic being determined by reflective or coupling array characteristics
    • HELECTRICITY
    • H03ELECTRONIC CIRCUITRY
    • H03HIMPEDANCE NETWORKS, e.g. RESONANT CIRCUITS; RESONATORS
    • H03H9/00Networks comprising electromechanical or electro-acoustic devices; Electromechanical resonators
    • H03H9/02Details
    • H03H9/02535Details of surface acoustic wave devices
    • H03H9/02637Details concerning reflective or coupling arrays
    • H03H9/02685Grating lines having particular arrangements
    • H03H9/0274Intra-transducers grating lines
    • HELECTRICITY
    • H03ELECTRONIC CIRCUITRY
    • H03HIMPEDANCE NETWORKS, e.g. RESONANT CIRCUITS; RESONATORS
    • H03H9/00Networks comprising electromechanical or electro-acoustic devices; Electromechanical resonators
    • H03H9/02Details
    • H03H9/125Driving means, e.g. electrodes, coils
    • H03H9/145Driving means, e.g. electrodes, coils for networks using surface acoustic waves
    • H03H9/14502Surface acoustic wave [SAW] transducers for a particular purpose
    • H03H9/14505Unidirectional SAW transducers

Landscapes

  • Physics & Mathematics (AREA)
  • Acoustics & Sound (AREA)
  • Surface Acoustic Wave Elements And Circuit Networks Thereof (AREA)

Abstract

(57)【要約】 【目的】 単一指向特性を有する音響変換器を提供する
ことを目的とする。 【構成】 変換手段及び反射手段は導電材料の単一層に
よって構成される。反射手段は、動作周波数において、
一方向における音響波出力を増大させ、反対方向におけ
る音響出力を減少させるように配置されている。

Description

【発明の詳細な説明】
【0001】本発明は音響変換器に関する。
【0002】音響変換器は従来公知の技術であり、例え
ばH.Mettews (編)“Surface WaveFilters”, Wiley
編 1977 年発行に記載された電子フィルタに属する表面
音響波(SAW、surface acoustic wave の略)デバイ
スにおいて使用される。典型的な変換器は、圧電基板上
に設けられた導体パターンを含む。この導体は長手方向
に配置された比較的広い幅の平行な2つの接触パッド
(contact pad )の形状を有しており、これらのパッド
はそれらの間の内側に伸長する狭い幅の側部“フィンガ
(finger、指)”を備える。フィンガは櫛歯形(interd
igitated)即ちすだれ状であり、2つのパッドのフィン
ガがお互いの間に差し込まれるように構成されている。
接触パッド間に与えられるac信号(交流信号)は隣り
合うフィンガ対間において長手方向に出現して、圧電基
板に音響波を励振する。この波はSAW、SSBW(表
面に沿うバルク波、surface skimming bulk waveの
略)、又はそれ以外の同様の波のいずれでもよい。この
ような変換器は、櫛歯形変換器、即ちIDT(interdig
italtransducerの略)と称される。
【0003】IDTを組込んだ従来のSAW又はSSB
Wフィルタは小形、安価で、再現性のある受動形、プレ
ーナ形の素子であり、10MHz及至1GHz又はそれ
以上の周波数範囲をカバーし、群遅延(group delay )
及び阻止帯域除去特性に優れている。しかし乍ら、従来
のSAW又はSSBW用のIDTが両方向性であるこ
と、即ち変換器が2つのお互いに反対の方向に向う音響
波を発生することは公知である。従って、2つのIDT
を組み込んだ従来のSAWフィルタでは、送波変換器に
よって発生した信号の一部は受波変換器を指向しないの
で、6dBの挿入損失を有する。更にデバイス内での音
響波の多重通路(multiple passage)から生じるトリプ
ル・トランジット信号(tripletransit signal)として
知られるスプリアス信号が発生する。好ましくないトリ
プル・トランジット信号を抑制するための標準設計の装
置では通常、挿入損失が20dBに増加する。
【0004】SAWフィルタの挿入損失を低減するため
に多くの方法が提案されてきた。これらの方法では、多
数ストリップ形結合器をベースとする単一指向特性ID
T(Marshall等、Electronics Letters 1971,7, 312-3
14ページ)、2ポート共振器(F.G. Marshall, Proc. 1
975 IEEE Ultrasonics Symposium 290-292ページ)、多
相IDT(Rosenfeld 等、Proc. 28th Annual Frequenc
y Control Symposium299-303 ページ)、櫛歯形IDT
(M. F. Lewis, Proc. 1982 IEEE UltrasonicSymposium
12-17 ページ)、等が使用される。これら従来技術の
デバイスは、基板面積が大きい、製造が複雑である、整
合回路が複雑である、実現できるフィルタ特性の範囲が
狭い、等の種々の欠点を1つ以上有している。
【0005】更に、(Hartman 等、Proc. 1982 IEEE Ul
trasonics Symposium 40-45 ページ)により、変換器フ
ィンガの中心に関して空間周期性からλ/8(λ=基本
波長)だけオフセットした素子を有する重畳した反射器
アレイ(reflector array )が設けられたIDTも提案
されている。このデバイスを製造するには、先ず圧電基
板にアルミニウムを蒸着して公知の櫛歯形フィンガ配置
を形成し、次に第2金属蒸着工程によって金の反射器ア
レイを形成する。この反射器アレイは、2つのお互いに
反対の方向に向うSAWの発生に帰因する3dBのID
Tの双方向性損失を低減する。この反射器アレイは、不
要な逆方向波を弱めることに基づいて所要の順方向波を
強めるような干渉を生じさせる。しかし乍らこのIDT
の欠点は、変換器フィンガと反射器アレイとを設けるた
めに2つの蒸着工程が必要なこと、及び所望の波干渉を
生じさせるにはフィンガとアレイとの慎重な位置合せが
必要なことである。
【0006】本発明の目的は、従来技術に代替し得る単
一指向特性櫛歯形変換器を提供することにある。
【0007】本発明によれば、変換手段及び反射手段を
提供する導電材料の単一層を具備する音響変換器であっ
て、反射手段は、動作周波数において一方の方向におけ
る音響波出力を増大し、他方の方向における音響波を減
少させるように配置されていることを特徴とする音響変
換器が提供される。
【0008】本発明によれば、従来技術のように相互の
位置合せを必要とする2回の金属蒸着工程を必要とする
こと無く、1回の金属蒸着工程によって変換器フィンガ
及び反射器アレイを基板上に設けることができるとの効
果を有する。
【0009】本発明は、変換器フィンガに関する半波長
周期性からのλ/8+δオフセット以外の位置にある段
間の反射器を具備するはしご形変換器に関するものでは
ない。かかる変換器はブルーミングによって改善された
両方向性特性を獲得する目的のものとして公知のもので
あり、λ/4オフセットを用いるものである。ヨーロッ
パ特許公開公報第EP-A-0,057,555号を参照されたい。変
換器ブルーミングについては後述する。
【0010】本発明に係る変換器は、2個以上の段を有
し、各段間の空間は平行なストリップから成る夫夫の反
射器アレイによって占有されることができる。各ストリ
ップは、変換器フィンガの中心から半波長の整数倍だけ
離間した各位置から実質的にλ/8だけオフセットされ
ることができる。但し、λは変換器の基本周波数に対応
する波長である。変換器は段の外部に設けられた付加的
な平行する反射器ストリップを備えることができる。こ
の変換器フィンガの長さ及び反射器ストリップの長さ又
はそのいずれかは、所望の変換器特性を得るべく重み付
けをされることができる。
【0011】また、この変換器は、お互いの方向に向う
か又は遠去かる音響波を送波し受波するべく、同様の基
板上に配置されることができ、前者の配置は帯域通過フ
ィルタを構成し、後者は帯域阻止フィルタを構成する。
【0012】更に、この変換器には、不要音響波を吸収
するための音響吸収器が変換器の基板に設けられてもよ
い。
【0013】更に、この変換器は、空間的に周期性であ
る、即ち一定間隔ずつ離間した段を有するか、又はその
代りに非周期性であるか又は可変の周期性を有するかの
いずれであってもよい。
【0014】この変換器は、方形波のサンプルド・フー
リエ変換(sampled Fourier transform )に従って変化
する重み付けのされたフィンガ・オーバラップを有し、
そして零オーバラップに該当する部分に位置する反射器
を有していてもよい。かかる2つの変換器が、帯域通過
又は帯域阻止フィルタを構成するべく基板上に形成され
てもよい。
【0015】本発明が十分に理解されるように添付図面
を参照して例示に過ぎない実施例を以下に説明する。
【0016】第1図は、SAWフィルタを形成するべく
配置された本発明の2つの音響変換器10の概略図であ
る。この図は一定の比例に応じて描かれたものではな
い。各変換器10は、上下に各1つの広い幅の2つの長
手方向の接触パッド11、12を有する。上部パッド1
1は、内側に伸長する狭い幅の複数のフィンガ対(fing
er pair )14を有しており、下部パッド12は、1つ
ずつ離間したフィンガ15を有する。パッド11、12
とフィンガ14、15とは、圧電基板(図示せず)に対
してアルミニウム蒸着とホトリソグラフィ(photolitho
graphy)とを順次行うことによって形成される。フィン
ガ14、15は櫛歯形で、お互いに組合わせて配置され
ており、一定間隔ずつ離間したフィンガ・グループ16
を形成している。フィンガ・グループ16は、接触パッ
ド11、12を支柱とするはしごの段(rung)を構成す
ると考えることができる。このようにはしごに似た形状
を有するので、符号10の如き形状の変換器は当業界で
一般にはしご形変換器と称される。接触パッド11と1
2との間に与えられるac信号は、隣り合う任意の2つ
のフィンガ14、15即ちフィンガ対の間で長手方向に
出現して、圧電基板に音響波を発生させる。このように
当業界では、フィンガ対なる用語は、各接触パッドから
1つずつ伸長する隣り合う2つのフィンガを意味する
(1つのパッドから伸長する“スプリット・フィンガ
(split finger、分割フィンガ)”ではない)。
【0017】変換器10は段間のスペース(inter-rung
space)17を有しおり、該スペースには、反射器アレ
イ18が設けられている。各変換器10は隣接変換器と
は反対側に別の反射器アレイ19を有する。各反射器ア
レイ18、19は狭い幅の5つの反射器ストリップ20
を含む。各ストリップ20の幅はλ/4であり、隣り合
うストリップ間の間隙もまたλ/4である。λはフィル
タの中心周波数に対応する音響波長である。従って、隣
り合うストリップ20の中心間距離はλ/2である。λ
は1つの変換器に沿って変化すること及び基板の金属被
覆領域と未被覆領域とでは異なる値を有することに注意
されたい。これは当業界ではよく知られており、実際に
はλは平均値である。各変換器10の反射器アレイ1
8、19は別の変換器を指向するSAW伝搬を強め、逆
方向のSAW伝搬を弱めるように構成されている。この
ことは、後述する如く1つの方向では強め合う干渉が生
じ、別の方向では弱め合う干渉が生じるように、反射器
アレイ18、19を位置決めすることによって達成され
る。
【0018】次に第2図は、はしご形変換器10の一セ
クション30をより詳細に示す。この図もまた一定の比
率に応じて描かれたものではなく、また第1図と等価の
部分は同じ参照符号で示されている。分り易いように、
反射器ストリップ20は1個だけを示す。セクション3
0は第1図の左側の変換器10に対応する。セクション
30は2つのフィンガ・グループ161 、162 を有し
ており、各グループの中心は夫々点線31、32で示さ
れる。点線33は中心31と32との間の中点を示す。
中心31と32との間の距離、即ち段間の周期はPであ
る。但し、P=2nλで、nは整数、λは前記に定義し
た波長である。変換器のセクション30は、矢印34で
示すアパーチャQを有しており、アパーチャQは隣り合
うフィンガ14と15とのオーバーラップによって与え
られる。Qは50λ乃至100λのオーダーであり得
る。反射器ストリップ20は点線35で示すようにフィ
ンガ・グループの中点即ち段の中心31と32との中点
33からλ/8だけオフセットして配置される。別の反
射器ストリップ(第1図参照)は、その中心がストリッ
プ20の中心からλ/2ずつ離間して配置される。
【0019】フィンガ・グループ161 によって発生せ
しめられて右向きに伝搬する音響波は、矢印36、37
によって示す部分A、Bを含む。部分Aは反射器ストリ
ップ20を透過し、部分Bは反射器ストリップ20によ
って反射される。フィンガ・グループ162 によって発
生せしめられて左向きに伝搬する音響波は、矢印38、
39によって示す部分C、Dを含む。部分Cはストリッ
プ20を透過し、部分Dはストリップ20によって反射
される。
【0020】第1図及び第2図のフィルタは以下の如く
に動作する。周期性反射器から成る音響反射器アレイ1
8は、相反性、対称性の2ポート・ジャンクション(two
-port junction、2端子対接続) を構成する。ジャンク
ション損失が存在しないときは、アレイの片側、即ち片
方のポートに入射する単位振幅の波は、反射器アレイの
中心に関してお互いに90°の位相差を有する透過振幅
12と反射振幅S11とを生じる。この結果はIEEE 1983
SU-30 55-57 ページにM. F. Lewis が記載しているよう
な3ポートの場合に関する解析と同様の解析によって推
論し得る。反射器アレイの片側から入射する単位振幅波
は、両側から入射する波の対称及び逆対称(antisymmet
ry)の結合に変換される。
【0021】即ち、
【0022】
【数1】
【0023】である。
【0024】このような特定の直交結合が選択されるの
は、これらの結合が対称又は逆対称のジャンクションに
よって互いに結合されないからである。
【0025】従って、各振幅は最大強度で生じるが位相
差を伴なう。即ち
【0026】
【数2】
【0027】は、
【0028】
【数3】
【0029】として生じる。
【0030】従って、||=||のとき(
と()とのスカラー積がゼロになるので、S11
)とS12=()とが直交し、90°の位
相差を有する。
【0031】透過波及び反射波間、即ちA及びB間、C
及びD間のπ/2の位相差以外にも、各反射器ストリッ
プ20がフィンガ・グループの中心31又は32からλ
/2の整数倍だけ離れた位置に対してλ/8だけオフセ
ットしているために、更に2×λ/8即ちλ/4、換言
すればπ/2の位相差が同一方向に伝搬する透過波及び
反射波間、即ちA及びD間、B及びC間に生じる。この
位相差は一方向に伝搬する音波間の位相差に付加され、
他方向に伝搬する音波間の位相差から差引かれる。ここ
ではこれらの付加又は相殺の行われる方向を規定しない
が、いずれか一方向には建設的即ち付加的干渉が、他方
向には破壊的即ち相殺的干渉が存在し、各変換器10は
それに応じて単一指向特性即ち一方向性特性を示す。変
換器の段161 及び162 での反射はここでは無視し、
後で考察する。
【0032】変換器10は相互間で音響波の送受を行う
ように構成されている。これらの変換器は単一指向特性
を有するために、受波変換器から離れていく望ましくな
い音響波の発生が大幅に低下し、その結果第1図のフィ
ルタ配置によって生じる挿入損失が大幅に減少する。
【0033】これら変換器10の単一指向性はストリッ
プ20の反射メカニズムとは無関係である。これらの特
性はマス・ローディング(mass-loading)、局在的効果(t
opographical effects) 、圧電短絡(piezoelectric sh
orting)又はこれらを組合わせた効果によるSAWデバ
イスでの反射に対して認められる。
【0034】反射器ストリップ20に無視し得ないよう
な損失があるとλ/8のオフセット状態は変化するが、
すると該変換器又は該変換器を具備するデバイスは低損
失を示すことにはならない。従って実際にはどのデバイ
スでもオフセットは実質的にλ/8、即ち殆どλ/8に
等しく、又は後述の如く単一指向特性とブルーミング
(blooming)との双方を考慮した反射器配置の場合と等
価である。
【0035】反射器ストリップ20は段間のスペース1
7内又は各変換器10に隣接して配置されるため、先行
技術のように変換器のフィンガを反射器と重ね合せるる
必要はない。従ってフィンガと反射器とを単一の金属蒸
着プロセスで配置することができ、フィンガ・パターン
をこれに続く反射器パターンと調心的に重ね合せるとい
う、困難でコスト高につながる作業は不要になる。更
に、反射器ストリップは相互に且つ変換器に対して電気
的に絶縁し得るし、或いは一緒に短絡し得るし、且つ個
々の装置で性能を最適化するのに適しているとして必要
とされれば接地することもできる。先行技術では金の反
射器が変換器フィンガに対し電気的に短絡され、前述の
如き処理は不可能である。
【0036】本発明によれば、段間の反射器を任意の従
来形のフィンガ・グループ即ち段を持つはしご形変換器
と共に使用し得る。一定の比率に応じて描かれたもので
はない第3図、第4図、第5図には、3種の形態のフィ
ンガ・グループが夫々符号40、50、60で示されて
いる。フィンガ・グループ40は、フィンガが1つずつ
交互に咬み合う(oneinto one) 形のグループである。各
接触パッド41は内側に伸長する幅λ/4のフィンガ4
2を2個有している。一方のパッドのフィンガと他方の
パッドのフィンガとの間の各間隙、例えば43もλ/4
であり、フィンガの中心はお互にλ/2だけ離間してい
る。該フィンガ・グループ40の隣には従来形の反射防
止ストリップ又はブルーミング・ストリップ44が配置
されている。これらストリップ44は幅及び相互間隙が
λ/4であり、λ/2のフィンガ中心相互間距離を以て
空間的に周期的に繰り返えされる変換器フィンガ・パタ
ーンから±λ/4だけオフセットされる。(フィンガ4
2の個数によっては、即ちフィンガ・グループからの反
射の強さによっては、反射器44を省略し得ることもあ
る。)フィンガ・グループ50は52の如き内側に伸長
するスプリット・フィンガを持つ接触パッド51を備え
ている。本発明では反射器アレイ(図示せず)をスプリ
ット・フィンガの各内部間隙54の中心53に関して配
置する。隣接中心部53相互間の間隔はλ/2であり、
各フィンガ52の幅及び内部間隙54はλ/8である。
スプリット・フィンガは変換器作動周波数において反射
が生じるのを阻止する性質を有している。
【0037】フィンガ・グループ60は、2つ1単位の
フィンガと1つ1単位のフィンガとが交互に咬み合う
(two into one)形のグループであって、第1接触パッ
ド61が内側に伸長するフィンガ62を1段当り4個有
し、第2接触パッド63が2個のフィンガ64を備えて
いる。フィンガ幅及び間隙はλ/6である。
【0038】特定の性質を持つ変換器を得るのに必要で
あれば、第3図、第4図、第5図のフィンガ・パターン
は側方へと伸長して、より大きなフィンガ・グループに
することもできる。
【0039】一定のフィンガ・オーバーラップを有する
40、50又は60の如き変換器に加えて、特定の変換
器特性を得るべく先行技術で使用されているようなフィ
ンガ長重み付け(weighting )を用いてもよい。特に、
フィルタ通過帯域の特性を向上させ且つ側波帯を縮小さ
せるには、フィンガ・オーバーラップと整相(phasing
)とをフーリエ変換に従ってフィルタ変換器に沿って
変化させることができる。このような変換器を第6図に
示す。変換器70は接触パッド71と、72の如き櫛歯
形のフィンガとを有する。フィンガ・オーバラップ(重
み付け)及び整相は、矩形即ち方形関数f(x)、例え
ばx1 ≦x≦x2 の時f(x)=定数であり、他の場合
はf(x)=0であるような関数のフーリエ変換に従
い、可能な限り近似するように配置さる。隣接し合うフ
ィンガは大部分が異なる接触パッド71から交互に1つ
ずつ伸長するが、4つの部分73では、2つのフィンガ
が同一の接触パッドから伸長する。これは方形フィルタ
通過帯域におけるsin x/xフーリエ変換関数の隣接ロ
ーブ(lobe)間の位相反転に該当する。本発明に従って
変換器70は単一指向特性を得るべく関連する反射器ス
トリップ(図示せず)を具備する筈のものであり、この
種の変換器を2つ備えるフィルタがほぼ方形の通過帯域
を有し得る。例えば変換器70は、反射器ストリップを
収容する空間を提供するべく「サンプリング」される
(間引きされる)、即ちフィンガを省略されることがで
きる。有利には、フィンガ・オーバーラップが零である
領域73のフィンガを省略するとよい。
【0040】変換器には更に、望ましくない音響波を減
衰させるべく圧電基板上に吸収材を使用することもでき
る。
【0041】第7図には、ニオブ酸リチウム圧電基板上
に本発明の2個のはしご形変換器811 、812 を設け
たSAWフィルタ80が示されている。これら変換器は
表示上の都合から実際のデバイスよりやや狭い間隔で図
示されている。変換器811及び812 は上部接触パッ
ド821 及び822 と、下部接触パッド831 及び83
2 と、段841 及び842 の如き段を10個と、851
及び852 の如き段間の反射器アレイとを有している。
段84には86の如きスプリット・フィンガが5個含ま
れており(第4図参照)、各段毎に3個のフィンガが上
部接触パッド82から伸長し、2個が下部接触パッド8
3から伸長する。アレイ85の反射器ストリップ、例え
ばストリップ87は幅及び間隙がλ/4であり、従って
ストリップ相互間にはλ/2の間隔が開けられる。フィ
ルタ中心周波数が100MHzの場合には、λは34.
5μmである。
【0042】段から段までの周期、又は段中心相互距離
は、変換器811 で8λ、変換器812 で10λであ
る。アレイ85当りの反射器ストリップ数は変換器81
1 が10個であり、変換器812 が14個である。変換
器811 、812 は夫々付加的外部反射器アレイ8
1 、882 をも有する。これら反射器アレイはアレイ
851 及び852 の周期的延長部である。
【0043】反射器アレイ851 及び852 は段間のス
ペース内の対称位置から夫々右と左へとλ/8ずつオフ
セットしている。このことはフィンガ・グループと反射
器アレイの分離が変換器81の段84の両側で異なって
いることから見てとれる。いずれの場合も、このように
他方の変換器の方へオフセットさせると、変換器がY−
Zニオブ酸リチウムにおいては、お互いの方向に向う単
一指向性を有することになる。即ち、変換器81は優先
的に相互間で音響波の送受を行うことになる。このよう
な形態を「フェイス・ツー・フェイス(face to fac
e)」配置と称する。(他の圧電材料の場合には、必ず
しもこのようにはならない。何故なら、所定の変換器と
材料とを出力方向に関してテストにかけなければならな
いからである。前述の解析ではこの出力方向については
言及しなかった。)このオフセットによって他方の変換
器から遠去かる方向になれば、バック・ツー・バック
(back to back)配置を選択する。
【0044】第7図は実際のSWAフィルタを拡大した
ものである。該フィルタの実長は反射器アレイ881
び882 の最も外側のストリップ相互間で測定して約7
mmであったが、間隙は図面の寸法がほのめかすものよ
りも少し大きかった。
【0045】変換器81については(それが完全であれ
ば)、その分離は極めて臨界的であるというものではな
いが、一方の変換器の反射器アレイは他方の変換器の反
射器アレイの周期的延長部として配置するのが好まし
い。
【0046】第7図のフィルタを比較フィルタと共にテ
ストにかけた。この比較フィルタは同一の変換器をバッ
ク・ツー・バック配置にしたものである、即ち反射器ア
レイが他方の変換器から遠去かる方向へλ/8オフセッ
トしたものである。いずれの場合にも、変換器はY−Z
ニオブ酸リチウム基板上にアルミニウムを蒸着して形成
した。これらフィルタをTO8容器内に配置した。接触
パッドはゴールド・ワイヤ・ボンドを有し厚みが0.1
5μmであった。各変換器を100nHの巻線誘導子を
用いてシャント同調(shunt tune、並列共振)させ、5
0オームに達する密な整合(close match )を得た。
【0047】テストしたフィルタの性能を第8図に3つ
の曲線a、b、cで示す。曲線a、cはフィルタの減衰
を周波数の関数として示し、夫々フェイス・ツー・フェ
イス形、バック・ツー・バック形変換器に対応する。1
00MHzの基本周波数又は中心周波数は符号90で示
されており、周波数は1目盛0.5MHzで表わされ、
これらの曲線は97MHzから103MHzまでの範囲
に亘って示されている。縦座標は1目盛が5dBを表わ
す。曲線bはフェイス・ツー・フェイス形フィルタ(曲
線aはその減衰特性を示す)での群遅延の変化を示す。
その縦座標は1目盛が1μsを表わし、基線91では前
記と同じ周波数目盛を表わす。
【0048】本発明の帯域SAWフィルタは、中心域9
2即ち通過帯域と、関連する93の如き副次的極大域を
持つ曲線aで表わされる特性を示す。該フィルタの挿入
損失測定値は100MHzの基本周波数で僅か2.7d
Bであった。これと比較してみると、先行技術のSAW
フィルタの最小理論損失値は約6dBであり、且つ実際
には通常8〜10dBの整合損失(matched loss)を持
つ。また、92での帯域リプル(passband ripple )は
ピーク・ツー・ピーク(peak to peak)で0.5dBよ
り小さく、94での群遅延は約1μsであり、リップル
のピーク・ツー・ピークは約0.2μsである。これら
の値はいずれもSAWフィルタにしては低い値である。
【0049】変換器の高度の単一指向性は、100MH
zの基本周波数における曲線cの著しい中央最小値95
によって示される。この最小値95は挿入損失31.9
dBであり、又は曲線aの対応する最大値92の位置よ
りも凡そ29dBだけ低い。曲線cのフィルタに用いら
れたバック・ツー・バック形変換器は100MHzにお
いてお互いに遠去かるものが優勢な音響波を送波し、受
波する。その結果、基本周波数は強く除去される。この
特性は帯域消去フィルタを構成するのに利用することが
できる。
【0050】テストはさらに曲線a、即ちフェイス・ツ
ー・フェイス形フィルタを完全な非同調配置にして行っ
た。結果として、通過帯域、群遅延のリップルはかなり
大きかったとはいえ、挿入損失は僅か3dBに過ぎなか
った。この実施例が示すように、非同調であることに比
較的不感であることは、寸法、コストまたは振動に対す
る感度を最小にする必要がある応用においては重要であ
る。
【0051】次に第9図は、不必要なマルチプル・トラ
ンジット信号を減らすために「ブルーミング」される本
発明のはしご形変換器のセクション100を示す。用語
「ブルーミング」及びこれに類する表現は、反射防止コ
ーティングを持つレンズの光学的ブルーミングとの類推
で使用する。セクション100は2個の段101、10
2と、中央間隔λ/2を持つ104のような30個の反
射器ストリップの中央バンク103を持つ。バンク10
5は全体を示し、バンク106は一部分を示す。夫夫の
段101、102は、上部接触パッド109から伸長す
る108のような6個のフィンガと、下部接触パッド1
11から伸長する110のような7個のフィンガを持
つ。隣接フィンガ対108、110はλ/2の中央間隔
を持つ。作動時に、上部接触パッド109はrf信号
(高周波信号)を伝送し、下部接触パッドは接地され
る。
【0052】ブルーミング反射器バンク105、106
は各々の段101、102の周期的連続からλ/4だけ
離れている。段101、102の中央112、113は
鎖線114で示される中点を持つ。更に、別の鎖線11
5は単一方向性反射器バンク103の中心を示し、段間
の中点114からλ/8だけ分離乃至オフセットされ
る。
【0053】セクション100は単一指向特性と反射防
止特性の両方を持ち、個々の応用に求められる数の段
と、関連する単一指向性反射器及びブルーミング反射器
とを持つことができる。ブルーミング反射器の使用は第
4図に示す分割フィンガの代りである。分割フィンガ
は、λ/8幅が1μm未満である500MHz以上の作
動用としては製造が困難である。第9図の構造の魅力
は、反射器と変換器の全てのフィンガが同じ幅λ/4を
持つことであり、このことは製造に都合がよい。
【0054】以上の実施例では変換器フィンガでの音響
波の反射は便宜上無視される(第1図、第2図)か、或
いは分割フィンガ変換器(第4図、第7図)又はブルー
ミング(第9図)によって処理された。ここで第10図
及び第2図を参照して、フィンガ・グループ161 の段
からフィンガ・グループ162 の段へと伝搬される矢印
36で示す音響波Aを考察する。音響波Aは部分的に反
射されて、段162 から段161 に進行する音響波(第
2図には示さず)を形成する。同様に、音響波Cは段1
1 で部分的に反射され、段162 に向って進む波を形
成する。段161 及び162 は同数の等量反射フィンガ
14及び15を持ち、これら2つの部分反射は左右対称
に同位相にある。従って、これらの部分反射は第10図
の単一のベクトルRで描くことができる。便宜上、
正の実軸120に沿って描かれ、他のベクトルの位相は
これに関連して描かれる。以下の説明では、部分反射の
位相が、反射が段中央31、32ではなくて、それらの
中点33で生じたとしても同じであると認めることもま
た都合がよい。これは追加往復進行が2×(1/P)=
Pであって、中心周波数で2nπの位相ずれを持つこと
による。
【0055】反射器ストリップ20によって反射された
音響波B、Dは、正及び負の虚軸121、122に沿っ
て夫々位置するベクトル及びによって描かれる。即
ち、及びは夫々から90°進み、そして遅れる。
【0056】ブルーミング反射器及び方向性反射器の効
果を組合せて設計を簡素化することができる。このため
には、オフセットλ/8はオフセットλ/8+δに変更
しなければならない。1段当りM個のフィンガを持つ2
段変換器とN個のストリップを持つ段間の反射器(inte
r-rung reflector)(但しNはMより大である)とを考
察する。段161 、162 のフィンガは、と同位相
の、振幅がMに比例する反射F1 及びF2 を夫々生じ
る。同様に、反射器ストリップは、Nに比例し、しかし
夫々から、行路差2(λ/8+δ)又はπ/2+θ
(但しθ=4πδ/λ)に相当する位相角だけ進み、そ
して遅れる反射R1 R2 を生じる。反射器ストリップ
とフィンガは等しい幅をもち、開口Q即ち有効音響領域
を限定するフィンガのオーバラップは反射器ストリップ
長に等しい。更に、フィンガ及び反射器ストリップは同
じ金属の、同じ厚さのもので作られるから、それらは同
一反射特性を持つ。従って、F1 F2 R1 R2
振幅は同一比例定数kを持ち、以下の式が成立する。
【0057】
【数4】 |F1 |=|F2 |=kM,と同位相 (A) |R1 |=|R2 |=kN,に対し± (π/2+θ)の移相 (B) 反射は各フィンガ又は反射器ストリップにおいて小さ
く、その結果各連続反射は透過振幅を事実上変化させな
いでおくものとして、かなりのよい近似で考えることが
できる。このことは反射による寄与の計算を簡単にし、
結果に対して実質的に影響を与えない。
【0058】ブルーミングと単一指向性を提供する反射
器ストリップ配置を提供するためには、ベクトルF1
R1 F2 R2 は、第10図のベクトル図に等価の状
態を作り出すために、同じ大きさで反対方向を向いたベ
クトルを夫々生じなければならない。これによっ
て第11図のベクトル図が描かれる。ここでは、ベクト
はベクトルF1 R1 の合力、ベクトルVはF2
R2 の合力である。及びは第10図のベクトル
に相当し、正及び負の虚軸131及び132に沿っ
て、即ちRに対して+π/2又は−π/2移相して夫々
位置する。方程式(A) 及び(B) から、第11図に関連し
て次の式が成立する。
【0059】
【数5】
【0060】従って、1段当りM個のフィンガを持つ本
発明のはしご形変換器はそれがN個のストリップを持つ
反射器アレイを具備していて、但しN>Mであり、その
ストリップはフィンガのオーバラップ部分に寸法的に等
しく、更にそのストリップは変換器フィンガ・パターン
のの空間的周期性配置からλ/8+λθ/4π(θ=a
rcsinM/N)だけオフセットされるときには、ブ
ルーミング特性と単一指向性特性の両方を備える。以上
の説明は2個の段を有する変換器に関するものである
が、同様に任意の段数を持つ変換器にも適合する。ブル
ーミングを用いた上述及び既述の配置の利点は、変換器
フィンガ及び反射器ストリップが全てλ/4の幅を持っ
ており、このことが製造を容易にすることにある。
【0061】本発明に係る変換器は既述の通りに、フィ
ルタ、好ましくはアンテナ信号を直接受信するいわゆる
フロントエンド・フィルタにおいて用いることができ
る。このことは、局部発振周波数と他の帯域内の種々の
不必要な受信信号との間の積成分(cross product )に
よってIFミクサの各段に生じる帯域内スプリアス信号
を低減するであろう。更に、この変換器は、適正な帯域
幅を持つべく適確な設計がなされるならばIFフィルタ
として用いることができる。移動局通信では通常は第8
図の曲線aで表わす性能が適性とされる1MHzの帯域
幅が求められる。但し、更にそれ以上の狭い帯域幅を要
求する応用もあり、これには他の設計が必要になるであ
ろう。IF(中間周波数)では、挿入損失が低いという
本発明の特性によって、増幅器の段数を減らすことが許
される。更に、低挿入損失及び直線性群遅延特性は、水
晶発振子型のような発振器に使用するための重要な条件
である。発振器に用いる場合には、低挿入損失であるこ
とは、先行技術では2個以上のトランジスタを必要とし
たのに対して1個のトランジスタで賄うことを可能にす
るし、また直線性群遅延は、先行技術ではよくあるスプ
リアス側波帯を除去して直線性周波数変調を行うことを
可能にする。低挿入損失は、特に例えば電池駆動デバイ
スのような、低電力消費と最小の増幅度が重視される応
用に有利である。
【0062】以上の実施例については、λ/8のオフセ
ットを持つ同一の反射器バンク又は第11図に関して説
明したブルーミングと単一指向性の両方を提供する配置
を持つものと等価なものに関して説明を行った。実際に
は、変換器には特別な特性が要求される場合がある。そ
れらの特性の幾例かを以下に列挙する。
【0063】(1) 各反射器アレイ内での反射器ストリッ
プ長又はオフセットを変化させること。
【0064】(2) 1アレイ当りの反射器ストリップ数を
変化させること。
【0065】(3) 反射器ストリップ幅を変化させるこ
と。
【0066】(4) 反射器アレイ・コンプレッサ・デバイ
ス(reflector array compressor device )での「チャ
ープ(chirp )」配置のように、反射器ストリップの空
間的周期性を変化させること。
【0067】(5) 上記の第(1) 項〜第(4) 項のと同様
に、変換器フィンガの配置を変化させること。
【0068】(6) 上記第(1) 項〜第(5) 項から選択して
組合せること。
【0069】いずれの場合においても、変換器の応答
は、第11図に関して説明した通り、ベクトル図から計
算することができる。
【図面の簡単な説明】
【図1】SAWフィルタとして配置した本発明に係る2
個のはしご形変換器を概略的に示す。
【図2】本発明に係る変換器の一セクションを概略的に
示す。
【図3】本発明に係る変換器において用いることのでき
る櫛歯形変換器を概略的に示す。
【図4】本発明に係る変換器において用いることのでき
る櫛歯形変換器を概略的に示す。
【図5】本発明に係る変換器において用いることのでき
る櫛歯形変換器を概略的に示す。
【図6】本発明に係る変換器において用いることのでき
る櫛歯形変換器を概略的に示す。
【図7】本発明に係るはしご形変換器を備える実際のS
AWフィルタの拡大図を示す。
【図8】図7の変換器を備えるSAWフィルタの減衰−
周波数特性及び群遅延−周波数特性を示す。
【図9】ブルーミング反射器ストリップを備える本発明
に係る変換器の一セクションを示す。
【図10】図2における音響波伝搬のベクトル図であ
る。
【図11】反射防止及び単一指向性の両特性を具備する
反射器アレイを持つ本発明に係る変換器における音響波
伝搬のベクトル図である。
【符号の説明】
10 変換器 11、12 接触パッド 14、15 フィンガ 18、19 反射器アレイ 20 反射器ストリップ 80 SAWフィルタ 811 、812 はしご形変換器 821 、822 上部接触パッド 831 、832 下部接触パッド 841 、842 段 851 、852 段間の反射器 100 はしご形変換器の一セクション 101、102 段 103 反射器ストリップの中央バンク

Claims (25)

    【特許請求の範囲】
  1. 【請求項1】 変換手段及び反射手段を提供する導電材
    料の単一層を具備する音響変換器であって、反射手段
    は、動作周波数帯域において一方の方向における音響波
    出力を増大し、反対の方向における音響波出力を減少さ
    せるように配置されていることを特徴とする音響変換
    器。
  2. 【請求項2】 変換手段は中間に介在する反射手段を含
    むことを特徴とする特許請求の範囲第1項に記載の音響
    変換器。
  3. 【請求項3】 反射手段は反射器ストリップの1個又は
    それ以上のアレイから成ることを特徴とする特許請求の
    範囲第2項に記載の音響変換器。
  4. 【請求項4】 変換器は段を有するはしご形変換器であ
    ることを特徴とする特許請求の範囲第2項に記載の音響
    変換器。
  5. 【請求項5】 はしご形変換器は櫛歯形フィンガから成
    る段を有し、変換器フィンガの長さ及び反射器ストリッ
    プの長さ又はそのいずれかは所望の変換器特性を得るべ
    く重み付けをされていることを特徴とする特許請求の範
    囲第2項に記載の音響変換器。
  6. 【請求項6】 変換器は第2の同様な変換器に隣接して
    配置されており、それら変換器は優勢的にお互いの方向
    に向うか遠去かる音響波を送波するように配置されてい
    ることを特徴とする特許請求の範囲第2項に記載の音響
    変換器。
  7. 【請求項7】 空間的に非周期性であるか、又は可変の
    周期性を持つように配置された段を有するはしご形変換
    器であることを特徴とする特許請求の範囲第2項に記載
    の音響変換器。
  8. 【請求項8】 櫛歯形フィンガから成る段を有するはし
    ご形変換器であって、該変換器は重み付けのされたフィ
    ンガ・オーバラップを有することを特徴とする特許請求
    の範囲第2項に記載の音響変換器。
  9. 【請求項9】 反射手段は零フィンガ・オーバラップに
    該当する1個又はそれ以上の位置に配置されている反射
    器ストリップを具備することを特徴とする特許請求の範
    囲第2項に記載の音響変換器。
  10. 【請求項10】 反射手段は単一指向性形変換器特性を
    持つように配置された第1の反射器ストリップと、ブル
    ーミングを有するように配置された第2の反射器ストリ
    ップとを含むことを特徴とする特許請求の範囲第2項に
    記載の音響変換器。
  11. 【請求項11】 反射手段は単一指向性変換器特性とブ
    ルーミングとの両方を提供するように位置された反射器
    ストリップを含むことを特徴とする特許請求の範囲第2
    項に記載の音響変換器。
  12. 【請求項12】 反射手段は反射器ストリップの長さ及
    び幅又はそのいずれかが反射器ストリップ・アレイに沿
    って変化するような平行な反射器ストリップのアレイを
    含むことを特徴とする特許請求の範囲第2項に記載の音
    響変換器。
  13. 【請求項13】 反射手段は複数の反射器アレイを含
    み、反射器アレイは反射器ストリップを具備し、1アレ
    イ当たりの反射器ストリップの個数が異なっていること
    を特徴とする特許請求の範囲第2項に記載の音響変換
    器。
  14. 【請求項14】 反射器手段は平行な反射器ストリップ
    のアレイを含み、該アレイは可変の空間周期性を有する
    ことを特徴とする特許請求の範囲第2項に記載の音響変
    換器。
  15. 【請求項15】 変換器は櫛歯形フィンガから成る段を
    有するはしご形変換器であり、変換器フィンガは長さ及
    び幅又はそのいずれか及び1段当りの個数又はそのいず
    れかにおいて可変であることを特徴とする特許請求の範
    囲第2項に記載の音響変換器。
  16. 【請求項16】 変換器は可変のフィンガ空間周期性を
    有することを特徴とする特許請求の範囲第2項に記載の
    音響変換器。
  17. 【請求項17】 変換器は圧電基板上に配置されている
    ことを特徴とする特許請求の範囲第2項に記載の音響変
    換器。
  18. 【請求項18】 変換器はニオブ酸リチウムの基板上に
    配置されていることを特徴とする特許請求の範囲第2項
    に記載の音響変換器。
  19. 【請求項19】 反射手段は変換器から電気的に分離さ
    れた反射器ストリップから成ることを特徴とする特許請
    求の範囲第2項に記載の音響変換器。
  20. 【請求項20】 反射手段はお互いに電気的に分離され
    た反射器ストリップから成ることを特徴とする特許請求
    の範囲第2項に記載の音響変換器。
  21. 【請求項21】 導電材料はアルミニウムであることを
    特徴とする特許請求の範囲第2項に記載の音響変換器。
  22. 【請求項22】 水晶発振器に組込まれていることを特
    徴とする特許請求の範囲第2項に記載の音響変換器。
  23. 【請求項23】 基板上に配置されており、不所望の音
    響波を吸収するべく吸収手段が基板上に配置されている
    ことを特徴とする特許請求の範囲第2項に記載の音響変
    換器。
  24. 【請求項24】 サンプルド・フーリエ変換に従う櫛歯
    形フィンガ及びフィンガ・オーバラップを具備する段を
    有するはしご形変換器であることを特徴とする特許請求
    の範囲第2項に記載の音響変換器。
  25. 【請求項25】 圧電基板上に設けられた導電性材料の
    単一層パターンから成り、パターンは、第一に、横方向
    の櫛歯形電極フィンガから成る段を有するはしご形変換
    器電極配置を定め、第二に、動作周波数帯域における夫
    夫の相互に反対の方向での音響波増大及び減少を提供す
    るのに適当なように、電極フィンガに関する空間周期性
    からオフセットした、段間の位置における少なくとも1
    個の横方向の反射器ストリップを定めるように配置され
    ている音響変換器。
JP5201726A 1983-10-14 1993-08-13 音響波変換器の製造方法 Expired - Lifetime JP2984523B2 (ja)

Applications Claiming Priority (2)

Application Number Priority Date Filing Date Title
GB8327551 1983-10-14
GB838327551A GB8327551D0 (en) 1983-10-14 1983-10-14 Acoustic transducer

Related Parent Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
JP59216027A Division JPH0736501B2 (ja) 1983-10-14 1984-10-15 音響変換器

Related Child Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
JP19378396A Division JP3345609B2 (ja) 1983-10-14 1996-07-23 音響波変換器

Publications (2)

Publication Number Publication Date
JPH0697756A true JPH0697756A (ja) 1994-04-08
JP2984523B2 JP2984523B2 (ja) 1999-11-29

Family

ID=10550198

Family Applications (4)

Application Number Title Priority Date Filing Date
JP59216027A Expired - Lifetime JPH0736501B2 (ja) 1983-10-14 1984-10-15 音響変換器
JP5201726A Expired - Lifetime JP2984523B2 (ja) 1983-10-14 1993-08-13 音響波変換器の製造方法
JP19378396A Expired - Lifetime JP3345609B2 (ja) 1983-10-14 1996-07-23 音響波変換器
JP11173195A Pending JP2000059170A (ja) 1983-10-14 1999-06-18 音響波変換器

Family Applications Before (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
JP59216027A Expired - Lifetime JPH0736501B2 (ja) 1983-10-14 1984-10-15 音響変換器

Family Applications After (2)

Application Number Title Priority Date Filing Date
JP19378396A Expired - Lifetime JP3345609B2 (ja) 1983-10-14 1996-07-23 音響波変換器
JP11173195A Pending JP2000059170A (ja) 1983-10-14 1999-06-18 音響波変換器

Country Status (5)

Country Link
US (1) US4642506A (ja)
EP (1) EP0140618B1 (ja)
JP (4) JPH0736501B2 (ja)
DE (1) DE3484786D1 (ja)
GB (1) GB8327551D0 (ja)

Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN111610530A (zh) * 2019-02-22 2020-09-01 半导体元件工业有限责任公司 具有基于边缘的回波检测的超声波传感器

Families Citing this family (30)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US4870312A (en) * 1987-02-19 1989-09-26 Hazeltine Corporation Surface wave device having anti-reflective shield
JPH01157109A (ja) * 1987-12-14 1989-06-20 Hitachi Ltd 弾性表面波共振器
US5023605A (en) * 1988-11-25 1991-06-11 Gte Laboratories, Inc. Patterned transducer apparatus for correcting spurious signals in said devices
US4945354A (en) * 1988-11-25 1990-07-31 Gte Products Spurious signal correction for surface acoustic wave (SAW) security devices
US5264751A (en) * 1989-10-20 1993-11-23 Thomson-Csf Unilateral surface wave transducer
FR2653632B1 (fr) * 1989-10-20 1991-12-20 Thomson Csf Transducteur d'ondes de surface unidirectionnel.
GB2259818B (en) * 1991-09-17 1995-08-16 Racal Mesl Ltd Surface acoustic wave (saw) ladder transducer
US5313177A (en) * 1992-04-06 1994-05-17 Motorola, Inc. Method and apparatus for an acoustic wave filter
US5274345A (en) * 1992-05-13 1993-12-28 Andersen Laboratories Dual function reflector structures for interdigital saw transducer
JPH06260873A (ja) * 1993-03-03 1994-09-16 Kazuhiko Yamanouchi 弾性表面波フィルタ装置
FR2702899B1 (fr) 1993-03-19 1995-05-12 Thomson Csf Transducteur à ondes de surface à réflexion acoustique distribuée et filtre comportant un tel transducteur.
JP3307455B2 (ja) * 1993-03-22 2002-07-24 日本碍子株式会社 弾性表面波フィルタ装置
JPH0722889A (ja) * 1993-06-30 1995-01-24 Nec Corp 弾性表面波変換器
US5325704A (en) * 1993-11-22 1994-07-05 The United States Of America As Represented By The Secretary Of The Army Surface acoustic wave (SAW) chemical multi-sensor array
US5600287A (en) * 1994-02-03 1997-02-04 Motorola, Inc. Acoustic wave filter with reduced bulk-wave scattering loss, ladder filter incorporating same and method
JP3484237B2 (ja) * 1994-09-28 2004-01-06 日本碍子株式会社 弾性表面波デバイス
US5663695A (en) * 1994-10-31 1997-09-02 Ngk Insulators, Ltd. Surface acoustic wave filter device and transducer therefor
JP3268179B2 (ja) * 1995-11-08 2002-03-25 正男 竹内 弾性表面波変換器及びこの変換器を用いた弾性表面波フィルタ
US6172582B1 (en) 1996-02-20 2001-01-09 Cts Corporation Saw resonator and ladder filter with specified number of reflector electrode fingers
JPH10135765A (ja) * 1996-10-30 1998-05-22 Nec Corp 一方向性弾性表面波フィルタ
US6147574A (en) * 1997-11-20 2000-11-14 Murata Manufacturing Co., Ltd. Unidirectional surface acoustic wave transducer and transversal-type saw filter having the same
JP3266846B2 (ja) * 1998-01-20 2002-03-18 東洋通信機株式会社 反射反転型弾性表面波変換器及びフィルタ
JP3695353B2 (ja) 2000-11-17 2005-09-14 株式会社村田製作所 トランスバーサル型弾性表面波フィルタ
DE10111959B4 (de) * 2001-03-13 2014-11-20 Epcos Ag Mit akustischen Wellen arbeitende Wandlerstruktur
US6534896B2 (en) * 2001-05-15 2003-03-18 Nortel Networks Limited Spatial harmonic transducers for surface wave devices
JP4765396B2 (ja) * 2005-05-12 2011-09-07 エプソントヨコム株式会社 トランスバーサル型弾性表面波フィルタ
US7952482B2 (en) * 2005-08-25 2011-05-31 University Of Central Florida Research Foundation, Inc. Surface acoustic wave coding for orthogonal frequency coded devices
JP4548305B2 (ja) * 2005-10-31 2010-09-22 エプソントヨコム株式会社 二重モード弾性表面波フィルタ
FR2917918B1 (fr) * 2007-06-19 2010-03-12 Senseor Resonateur a ondes de surface a resonance parasite reduite
US9128567B2 (en) * 2012-11-20 2015-09-08 Elo Touch Solutions, Inc. Segmented waveguide core touch sensor systems and methods

Citations (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPS5738017A (en) * 1980-08-18 1982-03-02 Fujitsu General Ltd Unidirectional saw energizing device
JPS57129510A (en) * 1981-02-04 1982-08-11 Matsushita Electric Ind Co Ltd Surface acoustic wave device

Family Cites Families (8)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US3866154A (en) * 1973-12-03 1975-02-11 Westinghouse Electric Corp Broadband unidirectional surface wave transducer
JPS5715519A (en) * 1980-07-01 1982-01-26 Matsushita Electric Ind Co Ltd Elastic surface wave device
US4353046A (en) * 1980-11-04 1982-10-05 R F Monolithics, Inc. Surface acoustic wave device with reflectors
US4384228A (en) * 1980-12-18 1983-05-17 Hewlett-Packard Company Acousto-electric transducer
JPS57103420A (en) * 1980-12-18 1982-06-28 Toko Inc Grouped unidirectional surface acoustic wave transducer
EP0057555B1 (en) * 1981-02-04 1985-11-27 Matsushita Electric Industrial Co., Ltd. Surface acoustic wave device
JPS57184316A (en) * 1981-05-08 1982-11-13 Hitachi Ltd Surface acocustic wave device
JPS5935204A (ja) * 1982-08-23 1984-02-25 Fanuc Ltd 誤差補正装置

Patent Citations (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPS5738017A (en) * 1980-08-18 1982-03-02 Fujitsu General Ltd Unidirectional saw energizing device
JPS57129510A (en) * 1981-02-04 1982-08-11 Matsushita Electric Ind Co Ltd Surface acoustic wave device

Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN111610530A (zh) * 2019-02-22 2020-09-01 半导体元件工业有限责任公司 具有基于边缘的回波检测的超声波传感器

Also Published As

Publication number Publication date
US4642506A (en) 1987-02-10
GB8327551D0 (en) 1983-11-16
EP0140618B1 (en) 1991-07-10
JP2000059170A (ja) 2000-02-25
JPH09107261A (ja) 1997-04-22
EP0140618A3 (en) 1986-03-12
JPS60123123A (ja) 1985-07-01
JP3345609B2 (ja) 2002-11-18
EP0140618A2 (en) 1985-05-08
JPH0736501B2 (ja) 1995-04-19
DE3484786D1 (de) 1991-08-14
JP2984523B2 (ja) 1999-11-29

Similar Documents

Publication Publication Date Title
JPH0697756A (ja) 音響変換器
US3961293A (en) Multi-resonant surface wave resonator
Tanaka et al. Narrow bandpass filter using double-mode SAW resonators on quartz
JPH08265087A (ja) 弾性表面波フィルタ
EP0981857B1 (en) Surface wave balun resonator filter
US6462633B1 (en) Surface acoustic wave device including parallel connected main and sub-filters
US6504453B2 (en) Transversal surface acoustic wave filter
JP3438705B2 (ja) 表面波装置及び通信機装置
US5670920A (en) Multi-track SAW filter with reflectors and reversed polarity IDT connections
US4513261A (en) Low-loss acoustic wave filter device
US5818310A (en) Series-block and line-width weighted saw filter device
KR960005384B1 (ko) 넓은 대역에 대한 소정 통과대역 특성과 적은 삽입손실을 갖는 대역 필터용 표면 탄성파 장치
US4166987A (en) Surface acoustic wave multistrip coupler
US4365220A (en) Surface wave circuit device
US4290033A (en) Shallow bulk acoustic wave devices employing energy trapping
JPH05251986A (ja) 弾性表面波フィルタ
JPH03112210A (ja) 弾性表面波装置
JPH06232688A (ja) 表面波フィルタおよびこれを用いた分波器ならびに移動無線装置
JP4843862B2 (ja) 弾性表面波装置
JPS589418A (ja) 弾性表面波装置
JPH06260873A (ja) 弾性表面波フィルタ装置
JP2001044791A (ja) 表面弾性波フィルタ
JPH10233647A (ja) 弾性表面波フィルタ装置及びこれに用いる変換器
JPH0918282A (ja) 弾性表面波装置
JPH09214283A (ja) 弾性表面波デバイス

Legal Events

Date Code Title Description
R250 Receipt of annual fees

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250

EXPY Cancellation because of completion of term