JPH0735481A

JPH0735481A - 焼成炉

Info

Publication number: JPH0735481A
Application number: JP17821493A
Authority: JP
Inventors: Hirotsugu Yamada; 裕嗣山田
Original assignee: Murata Manufacturing Co Ltd
Current assignee: Murata Manufacturing Co Ltd
Priority date: 1993-07-19
Filing date: 1993-07-19
Publication date: 1995-02-07

Abstract

(57)【要約】【目的】炉本体の内部の焼成空間の温度分布のばらつ
きを無くし、被焼成物を均一に焼成することができる焼
成炉を提供する。【構成】内部に焼成空間を有する炉本体１と、炉本体
１の底部に位置する炉床４と、前記炉床４の上部に被焼
成物を載置するための炉床板５と、被焼成物を焼成する
ためのヒータ６から成る焼成炉において、前記炉床板５
とヒータ６との間には、均熱板１０が炉床板５と略平行
に設置されており、前記均熱板１０には、細孔１３が形
成されており、さらに、前記炉床４は回転駆動が可能な
構造で、前記炉床板５に載置された被焼成物が炉本体１
の内部で回転しつつ焼成されることを特徴とする焼成
炉。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【産業上の利用分野】この発明は焼成炉に関し、詳しく
は炉本体の内部に均熱板が設置されている焼成炉に関す
るものである。

【０００２】

【従来の技術】図４、図５、および図６に従来のバッチ
式焼成炉を示す。このバッチ式焼成炉は、内部に焼成空
間を有する炉本体１と前扉２より構成され、被焼成物
（図示せず。）を炉本体の内部に前扉２より出し入れす
る扉開閉式である。

【０００３】炉本体１の内部には、断熱材３が取り付け
られており、焼成空間内の底部には炉床４が位置する。

【０００４】炉床４には、その上面に、焼成匣（図示せ
ず。）に収容された被焼成物を載置するための炉床板５
が備えられる。

【０００５】炉床板５に載置された被焼成物は、左右に
垂直に挿入した棒状の炭化珪素（ＳｉＣ）等のヒータ
６、６、…の輻射熱により、加熱されて焼成される。

【０００６】被焼成物の焼成に必要な雰囲気ガスは、酸
素ガス（Ｏ₂）または窒素ガス（Ｎ₂）あるいは水素ガス
（Ｈ₂）もしくはこれらの混合ガス等から成り、炉本体
１の左右の側面に設けた供給孔７より炉本体１の内部に
供給され、被焼成物の焼成により発生した排ガスは、炉
本体１の上部にある排気孔８より炉本体１の外部へ排出
される。

【０００７】

【発明が解決しようとしている課題】上記のような焼成
炉は、ヒータ６、６、…が炉床板５の４隅に配置される
ため、ヒータの輻射熱によって、ヒータ６、６、…に近
い位置では温度が高く、逆に、ヒータ６、６、…から遠
い位置では温度が低くなる。このため、炉床板５上の隅
と中央部で温度分布のばらつきが起こる。特に、急速焼
成をする場合には、それが顕著に現れる。

【０００８】このように、上記のような焼成炉では、炉
本体１の内部の温度の分布が不均一になるので、均一な
品質を有する焼成品を得るのが困難であった。

【０００９】この発明の目的は、炉本体の内部の温度分
布のばらつきを無くし、被焼成物を均一に焼成すること
のできる焼成炉を提供することにある。

【００１０】

【発明を解決するための手段】この発明は、上記のよう
な問題点を解決するためになされたもので、内部に焼成
空間を有する炉本体と、炉本体の底部に位置する炉床
と、前記炉床の上部に被焼成物を載置するための炉床板
と、被焼成物を焼成するためのヒータから成る焼成炉に
おいて、前記炉床板と前記ヒータとの間には、均熱板が
設置されていることを特徴とするものである。

【００１１】また、この発明は、前記均熱板には細孔が
形成されていることを特徴とするものである。

【００１２】ここでまた、この発明は、前記均熱板は、
前記炉床板と前記ヒータとの間に炉床板と略平行に設置
されていることを特徴とするものである。

【００１３】さらに、この発明は、前記炉床は回転駆動
が可能な構造で、前記炉床板に載置された被焼成物が炉
本体の内部で回転しつつ焼成されることを特徴とするも
のである。

【００１４】

【作用】この発明の焼成炉では、均熱板をヒータと炉床
板との間に設置することによって、ヒータによる輻射熱
を均熱板に均一に分布させることができ、この均熱板に
よる二次輻射熱によって、焼成空間の温度分布のばらつ
きを無くし、被焼成物を均一に焼成することができる。

【００１５】また、均熱板に細孔を形成する場合には、
ヒータ室で予熱された雰囲気ガスを被焼成物に均一に供
給することができ、それによって、焼成空間の温度分布
および雰囲気ガスのばらつきを無くし、温度の低い雰囲
気ガスの供給による焼成空間の冷却現象を防ぐことがで
きる。

【００１６】ここでまた、均熱板を炉床板と略平行に設
置する場合には、均熱板による二次輻射熱を均一に分布
させることができ、それによって焼成空間の温度分布の
ばらつきをより一層無くし、被焼成物を均一に焼成する
ことができる。

【００１７】さらに、炉床を回転駆動させる場合には、
被焼成物の温度分布のばらつきを無くし、被焼成物をよ
り一層均一に焼成することができる。

【００１８】

【実施例】以下、図１、図２、および図３を参照して、
この発明の実施例であるバッチ式焼成炉について説明す
る。この焼成炉は、内部に焼成空間を有する炉本体１
と、炉本体の底部に設けられた円形の開口９より嵌入さ
れた炉床４よりなっている。

【００１９】はじめに、炉本体１について説明する。炉
本体１の内部には断熱材３が取り付けられている。

【００２０】また、炉本体１の内部に形成された焼成空
間の上部には、棒状の炭化珪素（ＳｉＣ）等から成る所
定本数のヒータ６、６、…が互いに平行に水平方向に設
置され、その下部には、ヒータ６、６、…と略平行にな
るように均熱板１０が設置されている。

【００２１】この均熱板１０を炉本体１の内部に設置す
ることによって、炉本体１の内部の焼成空間は、ヒータ
６、６、…の設置してあるヒータ室１１と炉本体１の開
口９から嵌入された炉床４の設置してある焼成室１２に
分離されている。

【００２２】また、均熱板１０を設置することによっ
て、ヒータによる熱輻射を均熱板１０に均一に分布させ
ることができ、従来のヒータに比べて少数のヒータであ
っても、被焼成物を均一に焼成することが可能である。

【００２３】さらに、均熱板１０には、被焼成物の焼成
に必要な雰囲気ガスを均一に供給するために、細孔１３
が形成されている。細孔１３は、ヒータ室１１から見て
炉床板５と重なる部分に設けられている。

【００２４】次に、炉床４について説明する。炉床４
は、炉本体１の開口９の内壁と小さい隙間をおいて嵌合
する。炉床４は、図示しないモータにより回転駆動され
る回転台上に固定されている。炉床４の上部には、炉床
４から炉本体１の内部に突出した支柱１４によって支え
られている炉床板５が固定されている。

【００２５】この炉床板５の上に、被焼成物が収容され
る焼成匣が載置される。被焼成物は焼成炉の運転中には
炉床板５とともに回転されている。

【００２６】また、炉床板５は、炉本体１の内部に設置
された均熱板１０と略平行になるように固定されてい
る。炉床板５と均熱板１０の間隔は、従来の焼成炉のヒ
ータと被焼成物との間隔より狭くしている。これは、被
焼成物を平詰め一段焼成することが、温度分布、雰囲気
ガス分布を良くする最善の方法であり、この実施例の特
徴でもある。

【００２７】次に、雰囲気ガスの流れについて説明す
る。炉本体１のヒータ室１１側には、供給孔７が埋設さ
れており、その供給孔７より雰囲気ガスは供給される。
雰囲気ガスはヒータ室１１内でヒータにより予熱され
る。

【００２８】予熱された雰囲気ガスは、均熱板１０に形
成された細孔１３を通って焼成室１２に流れ込む。この
とき、雰囲気ガスは予熱されているため、温度分布が少
なく、炉床板５に截置された被焼成物に降り注ぐように
均一に吹きつけることが可能である。この雰囲気ガス
は、供給孔７での風速、風量、濃度、タイミング、温度
等の調整が可能である。

【００２９】焼成段階で消費された雰囲気ガスは、炉本
体１の焼成室１２側に埋設された排気孔８より炉本体１
の外部へ排出される。

【００３０】ところで、上記実施例のようなバッチ式焼
成炉では、炉床板５に載置された焼成匣に収容された被
焼成物を平詰め一段焼成しているが、この発明はこれに
限定されるものではない。

【００３１】さらに、上記実施例では、均熱板をヒータ
と炉床板との間に略平行に設置しているが、この発明は
これに限定されるものではない。

【００３２】したがって、上述したように、均熱板をヒ
ータと炉床板との間に略平行に設置することによって、
ヒータによる輻射熱を均熱板に均一に分布させることが
でき、この均熱板による二次輻射熱によって、焼成空間
の温度分布のばらつきを無くし、被焼成物を均一に焼成
することができる。また、均熱板に細孔を形成すること
によって、ヒータ室で予熱された雰囲気ガスを被焼成物
に均一に供給することができ、それによって、焼成空間
の温度分布および雰囲気ガス分布のばらつきを無くし、
温度の低い雰囲気ガスの供給による焼成空間の冷却現象
を防ぐことができる。さらに、炉床を回転駆動させるこ
とにより、被焼成物の温度分布のばらつきを無くし、被
焼成物を均一に焼成することができる。

【００３３】なお、この発明は、上記実施例であるバッ
チ式焼成炉に限定されるものではなく、種々の焼成炉に
おいて、ヒータと炉床板との間に均熱板を設置すること
によって、被焼成物を均一に焼成することが可能であ
る。

【００３４】この発明は、さらにその他の点において
も、上記実施例に限定されるものではなく、焼成炉の材
質や具体的形状、均熱板の材質や具体的形状、ヒータの
材質や具体的形状、炉床板の材質や具体的形状、さらに
細孔の具体的形状などに関し、この発明の要旨の範囲内
において、種々の応用、変形を加えることが可能であ
る。

【００３５】

【発明の効果】この発明の焼成炉では、均熱板をヒータ
と炉床板との間に設置することによって、ヒータによる
輻射熱を均熱板に均一に分布させることができ、この均
熱板による二次輻射熱によって、焼成空間の温度分布の
ばらつきを無くし、被焼成物を均一に焼成することがで
きる。

【００３６】また、均熱板に細孔を形成することによっ
て、ヒータ室で予熱された雰囲気ガスを被焼成物に均一
に供給することができ、それによって、焼成空間の温度
分布および雰囲気ガス分布のばらつきを無くし、温度の
低い雰囲気ガスの供給による焼成空間の冷却現象を防ぐ
ことができる。

【００３７】ここでまた、均熱板を炉床板と略平行に設
置することによって、均熱板による二次輻射熱を均一に
分布させることができ、それによって焼成空間の温度分
布のばらつきをより一層無くし、被焼成物を均一に焼成
することができる。

【００３８】さらに、炉床を回転駆動させることによっ
て、被焼成物の温度分布のばらつきを無くし、被焼成物
をより一層均一に焼成することができる。

【図面の簡単な説明】

【図１】この発明の一実施例を示す部分縦断断面図。

【図２】図１のＣ−Ｃ線に沿う断面図。

【図３】図２のＤ−Ｄ線に沿う縦断断面図。

【図４】従来の焼成炉を示す側断面図。

【図５】図４のＡ−Ａ線に沿う断面図。

【図６】図５のＢ−Ｂ線に沿う縦断断面図。

【符号の説明】

１炉本体２前扉３断熱材４炉床５炉床板６ヒータ７供給孔８排気孔９開口１０均熱板１１ヒータ室１２焼成室１３細孔１４支柱

Claims

【特許請求の範囲】

【請求項１】内部に焼成空間を有する炉本体と、炉本
体の底部に位置する炉床と、前記炉床の上部に被焼成物
を載置するための炉床板と、被焼成物を焼成するための
ヒータからなる焼成炉において、前記炉床板と前記ヒータとの間には、均熱板が設置され
ていることを特徴とする焼成炉。
【請求項２】前記均熱板には細孔が形成されているこ
とを特徴とする請求項１記載の焼成炉。
【請求項３】前記均熱板は炉床板と略平行に設置され
ていることを特徴とする請求項１または２記載の焼成
炉。
【請求項４】前記炉床は回転駆動が可能な構造で、前
記炉床板に載置された被焼成物が炉本体の内部で回転し
つつ焼成されることを特徴とする請求項１ないし３記載
の焼成炉。