JPH0734250A - 被覆超硬工具 - Google Patents
被覆超硬工具Info
- Publication number
- JPH0734250A JPH0734250A JP16399391A JP16399391A JPH0734250A JP H0734250 A JPH0734250 A JP H0734250A JP 16399391 A JP16399391 A JP 16399391A JP 16399391 A JP16399391 A JP 16399391A JP H0734250 A JPH0734250 A JP H0734250A
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- Japan
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- coated
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- Chemical Vapour Deposition (AREA)
- Other Surface Treatments For Metallic Materials (AREA)
- Cutting Tools, Boring Holders, And Turrets (AREA)
Abstract
(57)【要約】
【目的】 本発明被覆超硬工具は、内層と中間層〜最外
層を異なる粒度とすることにより、内層部分は短時間で
厚膜化が可能となり、中間層〜最外層は粒状のＴｉの炭
化物等が被覆されているため、特に耐クレーター摩耗性
に富む高性能な被覆超硬工具である。 【構成】 内層にＴｉＣＮ、中間層にＴｉＣ等、外層に
Ａｌ2Ｏ3、最外層にＴｉＮを被覆し、かつ内層のＴｉＣ
Ｎ等を柱状晶、中間層〜最外層を粒状な層とすることに
より構成する。
層を異なる粒度とすることにより、内層部分は短時間で
厚膜化が可能となり、中間層〜最外層は粒状のＴｉの炭
化物等が被覆されているため、特に耐クレーター摩耗性
に富む高性能な被覆超硬工具である。 【構成】 内層にＴｉＣＮ、中間層にＴｉＣ等、外層に
Ａｌ2Ｏ3、最外層にＴｉＮを被覆し、かつ内層のＴｉＣ
Ｎ等を柱状晶、中間層〜最外層を粒状な層とすることに
より構成する。
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明は耐摩耗性に優れた、切削
用及び耐摩耗用の被覆超硬質合金工具に関するものであ
る。
用及び耐摩耗用の被覆超硬質合金工具に関するものであ
る。
【０００２】
【従来の技術】従来、超硬合金を基体とし、その表面に
耐摩耗性に富んだＴｉＣ、ＴｉＮなどの硬質皮膜を被覆
した被覆超硬合金工具は、表面の耐摩耗性と基体の強靭
性を兼ね備えており、広く実用に供されている。しかし
ＴｉＣ、ＴｉＮ被覆の合金はすくい面上のクレーター摩
耗が著しく、工具寿命が短くなるなどの欠点があった。
このため、上記欠点を除く手段として、種々の皮膜を形
成する方法が提案されているが、いずれも問題点を有
し、かならずしも満足出来るものは実現されていない。
例えばＴｉＣ、ＴｉＮのかわりにＡｌ2Ｏ3単層を被覆
する方法−特開昭５４−１５８７８０号等、ＴｉＣ、
ＴｉＮのかわりにＴｉＢ２単層を被覆する方法−特開昭
５４−７４８１６号等、ＴｉＣ、ＴｉＮの表面に更に
Ａｌ2Ｏ3を被覆し、２層構造の皮膜とする方法（２層）
−特開昭５５−１１９１６５号等、ＴｉＢ2の表面に
Ａｌ2Ｏ3を被覆し、２層構造皮膜を形成する方法−−特
開昭５５−８４８５号等が示されている。
耐摩耗性に富んだＴｉＣ、ＴｉＮなどの硬質皮膜を被覆
した被覆超硬合金工具は、表面の耐摩耗性と基体の強靭
性を兼ね備えており、広く実用に供されている。しかし
ＴｉＣ、ＴｉＮ被覆の合金はすくい面上のクレーター摩
耗が著しく、工具寿命が短くなるなどの欠点があった。
このため、上記欠点を除く手段として、種々の皮膜を形
成する方法が提案されているが、いずれも問題点を有
し、かならずしも満足出来るものは実現されていない。
例えばＴｉＣ、ＴｉＮのかわりにＡｌ2Ｏ3単層を被覆
する方法−特開昭５４−１５８７８０号等、ＴｉＣ、
ＴｉＮのかわりにＴｉＢ２単層を被覆する方法−特開昭
５４−７４８１６号等、ＴｉＣ、ＴｉＮの表面に更に
Ａｌ2Ｏ3を被覆し、２層構造の皮膜とする方法（２層）
−特開昭５５−１１９１６５号等、ＴｉＢ2の表面に
Ａｌ2Ｏ3を被覆し、２層構造皮膜を形成する方法−−特
開昭５５−８４８５号等が示されている。
【０００３】の方法では、超硬質基体とＴｉＢ2の親
和性が弱いこと、及び被削材の鉄と２硼化物とが反応
し、クレーター摩耗を生じやすいことなどの欠点を有し
ている。の方法は、超硬質基体とＡｌ2Ｏ3間の親和性
が弱く、基体と皮膜の結合力は十分でないという欠点を
有している。さらに、の方法によるＴｉＣ−Ａｌ2Ｏ3
被覆された品物は上記及びに比較し、より好ましい
特性をもつため広く実用に供されているが、Ａｌ2Ｏ3と
ＴｉＣ又はＴｉＮ間の親和性が弱く、その結合力は改善
の余地がある。の方法は、上記の方法と同様、密着
強度が不十分であるが、被削材との反応をＡｌ2Ｏ3層に
よって防止しているため、耐クレーター性は良好であ
る。
和性が弱いこと、及び被削材の鉄と２硼化物とが反応
し、クレーター摩耗を生じやすいことなどの欠点を有し
ている。の方法は、超硬質基体とＡｌ2Ｏ3間の親和性
が弱く、基体と皮膜の結合力は十分でないという欠点を
有している。さらに、の方法によるＴｉＣ−Ａｌ2Ｏ3
被覆された品物は上記及びに比較し、より好ましい
特性をもつため広く実用に供されているが、Ａｌ2Ｏ3と
ＴｉＣ又はＴｉＮ間の親和性が弱く、その結合力は改善
の余地がある。の方法は、上記の方法と同様、密着
強度が不十分であるが、被削材との反応をＡｌ2Ｏ3層に
よって防止しているため、耐クレーター性は良好であ
る。
【０００４】そのため、上記単層皮膜及び２層構造皮膜
の特長を維持しながら、その欠点を解消するために、例
えばＴｉＣ、ＴｉＮの表面に中間層としてＴｉ（Ｃ、
Ｎ）、Ｔｉ（Ｃ、Ｏ）、Ｔｉ（Ｃ、Ｎ、Ｏ）を被覆し、
その上に外層としてＡｌ2Ｏ3を被覆し３層構造の皮膜を
形成する方法（特５５−１４８７６４号等）が提案され
ている。
の特長を維持しながら、その欠点を解消するために、例
えばＴｉＣ、ＴｉＮの表面に中間層としてＴｉ（Ｃ、
Ｎ）、Ｔｉ（Ｃ、Ｏ）、Ｔｉ（Ｃ、Ｎ、Ｏ）を被覆し、
その上に外層としてＡｌ2Ｏ3を被覆し３層構造の皮膜を
形成する方法（特５５−１４８７６４号等）が提案され
ている。
【０００５】
【発明が解決しようとする課題】この方法は上記の方
法の欠点を改善するために、内層のＴｉＣ層と中間層の
被覆方法を変えることにより形成したものであり、その
両者の特徴を最大限に生かそうとするものである。さら
に、切削加工工具に要求されるより一層の長寿命化（耐
摩耗性の向上）を計ったものである。本発明は上記実情
に鑑み成されたものであり上記従来技術の欠点を改良
し、皮膜各層間−特に内層と中間層の粒度に着目し、特
に耐摩耗性に優れる被覆超硬合金を提供することを目的
とするもので有る。
法の欠点を改善するために、内層のＴｉＣ層と中間層の
被覆方法を変えることにより形成したものであり、その
両者の特徴を最大限に生かそうとするものである。さら
に、切削加工工具に要求されるより一層の長寿命化（耐
摩耗性の向上）を計ったものである。本発明は上記実情
に鑑み成されたものであり上記従来技術の欠点を改良
し、皮膜各層間−特に内層と中間層の粒度に着目し、特
に耐摩耗性に優れる被覆超硬合金を提供することを目的
とするもので有る。
【０００６】
【課題を解決するための手段】本発明は超硬質合金基体
の表面に、内層−ＴｉＮ又はＴｉＣＮ−とくに柱状に成
膜し、中間層−ＴｉＣ、ＴｉＮ、ＴｉＣＮ、外層−Ａｌ
2Ｏ3、最外層−ＴｉＮを内層の影響により粗粒化しやす
い皮膜の粒度を細かくすることによって、内層における
厚膜化と、中間層、外層の耐摩耗性を兼ね備えた構成と
したものである。
の表面に、内層−ＴｉＮ又はＴｉＣＮ−とくに柱状に成
膜し、中間層−ＴｉＣ、ＴｉＮ、ＴｉＣＮ、外層−Ａｌ
2Ｏ3、最外層−ＴｉＮを内層の影響により粗粒化しやす
い皮膜の粒度を細かくすることによって、内層における
厚膜化と、中間層、外層の耐摩耗性を兼ね備えた構成と
したものである。
【０００７】本発明における基体としての超硬質合金
は、周期率表の４ａ、５ａ、６ａ族の単価物、窒化物、
炭窒化物のうちの一種以上と、Ｆｅ、Ｎｉ、Ｃｏ、Ｗ、
Ｍｏ、Ｃｒのうちの一種以上とよりなる超硬質合金が適
用される。また、本発明における各被覆層を形成するこ
とは、既知の成膜法を応用することによって可能であ
り、例えば内層を構成するＴｉＣＮまたはＴｉＮ皮膜に
ついては、 Ｔｉ（ＣＨ3）ＣＮ＋２Ｈ2→ＴｉＣＮ＋４Ｈ（ＣＨ3） ＴｉＣｌ4＋２Ｈ2→Ｔｉ＋４ＨＣｌ ＣＨ4 →Ｃ＋２Ｈ2 Ｔｉ＋Ｃ →ＴｉＣ あるいは、 ＴｉＣｌ4＋２Ｈ2→Ｔｉ＋４ＨＣｌ Ｔｉ＋１／２Ｎ2 →ＴｉＮ のように、Ｔｉのハロゲン化物を気化し、還元及び炭化
あるいは窒化反応によって得ることができる。
は、周期率表の４ａ、５ａ、６ａ族の単価物、窒化物、
炭窒化物のうちの一種以上と、Ｆｅ、Ｎｉ、Ｃｏ、Ｗ、
Ｍｏ、Ｃｒのうちの一種以上とよりなる超硬質合金が適
用される。また、本発明における各被覆層を形成するこ
とは、既知の成膜法を応用することによって可能であ
り、例えば内層を構成するＴｉＣＮまたはＴｉＮ皮膜に
ついては、 Ｔｉ（ＣＨ3）ＣＮ＋２Ｈ2→ＴｉＣＮ＋４Ｈ（ＣＨ3） ＴｉＣｌ4＋２Ｈ2→Ｔｉ＋４ＨＣｌ ＣＨ4 →Ｃ＋２Ｈ2 Ｔｉ＋Ｃ →ＴｉＣ あるいは、 ＴｉＣｌ4＋２Ｈ2→Ｔｉ＋４ＨＣｌ Ｔｉ＋１／２Ｎ2 →ＴｉＮ のように、Ｔｉのハロゲン化物を気化し、還元及び炭化
あるいは窒化反応によって得ることができる。
【０００６】次に、本発明においては、内層の厚さを
２．０〜１０μｍ、中間層の厚さを０．１〜５μｍ、外
層の厚さを０．５〜１０μｍとすることが望ましい。そ
の理由は （１）ＴｉＮ、ＴｉＣＮのうちのいずれか一種からなる
内層の厚さが２．０μｍ未満では柱状晶の生成が十分で
なく、また１０μｍを超えるとＴｉＣＮ等の層は本質的
に脆く欠損しやすくなるため、内層の厚さは２．０〜１
０μｍとするのが望ましい。
２．０〜１０μｍ、中間層の厚さを０．１〜５μｍ、外
層の厚さを０．５〜１０μｍとすることが望ましい。そ
の理由は （１）ＴｉＮ、ＴｉＣＮのうちのいずれか一種からなる
内層の厚さが２．０μｍ未満では柱状晶の生成が十分で
なく、また１０μｍを超えるとＴｉＣＮ等の層は本質的
に脆く欠損しやすくなるため、内層の厚さは２．０〜１
０μｍとするのが望ましい。
【０００７】（２）Ｔｉの炭化物、窒化物、炭窒化物の
１種以上から構成される中間層の厚さが０．１μｍ未満
では粒度を調整するのに不十分であり、また５μｍを超
えると全体の厚さが厚くなり脆く成るため、欠損しやす
くなる。このため中間層の厚さは０．１〜５μｍとする
のが望ましい。また、この層の構造はＴｉの炭化物、窒
化物、炭窒化物を組み合わせた方が特性を効果的に発揮
できるため、２層以上とするのが望ましい。
１種以上から構成される中間層の厚さが０．１μｍ未満
では粒度を調整するのに不十分であり、また５μｍを超
えると全体の厚さが厚くなり脆く成るため、欠損しやす
くなる。このため中間層の厚さは０．１〜５μｍとする
のが望ましい。また、この層の構造はＴｉの炭化物、窒
化物、炭窒化物を組み合わせた方が特性を効果的に発揮
できるため、２層以上とするのが望ましい。
【０００８】（３）Ａｌ2Ｏ3及び／またはＴｉＮから構
成される外層／最外層の厚さが０．５μｍ未満では中間
層の欠点である被削材との反応を防止出来ず、また５μ
ｍを超えるとＡｌ2Ｏ3層は本質的に脆いため、欠損しや
すくなる。このため外層／最外層の厚さは０．５〜５μ
ｍとするのが良い。
成される外層／最外層の厚さが０．５μｍ未満では中間
層の欠点である被削材との反応を防止出来ず、また５μ
ｍを超えるとＡｌ2Ｏ3層は本質的に脆いため、欠損しや
すくなる。このため外層／最外層の厚さは０．５〜５μ
ｍとするのが良い。
【０００９】
【実施例１】次に本発明による被覆超硬質合金を実施例
によって具体的に説明する。但し、本発明はこれら実施
例の範囲に限定されるものでないことは言うまでもな
い。超硬質体の基体としてＷＣ７２％、８％ＴｉＣ、
（ＴａＮｂ）Ｃ１１％、Ｃｏ９％（重量％）なる組成に
粉末を配合し、真空中１４００℃で一時間焼結し、得ら
れた焼結体からＧ級のスローアウェィチップを作成し
た。次いで以下に示す各成膜条件で被覆処理することに
より表１に示す皮膜構造の試料１〜３を得た。なお、膜
厚の測定はチップを研摩しＳＥＭ（走査型電子顕微鏡）
にて、組織観察を行い測定した。
によって具体的に説明する。但し、本発明はこれら実施
例の範囲に限定されるものでないことは言うまでもな
い。超硬質体の基体としてＷＣ７２％、８％ＴｉＣ、
（ＴａＮｂ）Ｃ１１％、Ｃｏ９％（重量％）なる組成に
粉末を配合し、真空中１４００℃で一時間焼結し、得ら
れた焼結体からＧ級のスローアウェィチップを作成し
た。次いで以下に示す各成膜条件で被覆処理することに
より表１に示す皮膜構造の試料１〜３を得た。なお、膜
厚の測定はチップを研摩しＳＥＭ（走査型電子顕微鏡）
にて、組織観察を行い測定した。
【００１０】（１）試料Ｎｏ１の成膜条件 スローアウェィチップを耐熱合金製反応容器内で８００
℃に加熱し、２０Ｔｏｒｒの減圧化でＴｉ（ＣＨ3）Ｃ
Ｎ ４％ Ｎ2 ４％、Ｈ2 ９２％の割合で混合したガ
スを５ｌ／ｍｉｎの流量で送り、２時間反応させ５μｍ
のＴｉＣＮ被覆層を得た。その後１０Ｔｏｒｒに真空排
気し、１０２０℃に昇温し、ＴｉＣｌ4４％ ＣＨ4 ４
％ Ｈ2 ９２％の割合で混合したガスを２０ｍｉｎ流
し、ＴｉＣ膜を生成し、ついでＮ2ガスを順次供給して
ＴｉＣＮ膜を３μｍ成膜した。ＡｌＣｌ3 ５％ ＣＯ2
５％、ＣＯ １５％ Ｈ2 ７５％の割合で混合した
ガスを供給し、温度は１０２０℃、２時間保持したとこ
ろ、１．５μｍのＡｌ2Ｏ3層を被覆することが出来た。
さらに最後にＴｉＮ膜を０．５μｍ、前記と同様の方法
で成膜し、表面を金色とした。このチップを曲げ試験に
おいて破断した後、ＳＥＭ（走査型電子顕微鏡）にて、
その破面を観察をした結果を写真１に示す。内層部分は
柱状晶がよく発達しているのに対し、中間層は粒状に成
膜されていることが分かり、外層／最外層も中間層の粒
度に近似し、粗粒化していないことが分かる。また写真
２に最外層の表面観察した結果も併せて示す。（写真の
倍率はいずれも５０００倍）
℃に加熱し、２０Ｔｏｒｒの減圧化でＴｉ（ＣＨ3）Ｃ
Ｎ ４％ Ｎ2 ４％、Ｈ2 ９２％の割合で混合したガ
スを５ｌ／ｍｉｎの流量で送り、２時間反応させ５μｍ
のＴｉＣＮ被覆層を得た。その後１０Ｔｏｒｒに真空排
気し、１０２０℃に昇温し、ＴｉＣｌ4４％ ＣＨ4 ４
％ Ｈ2 ９２％の割合で混合したガスを２０ｍｉｎ流
し、ＴｉＣ膜を生成し、ついでＮ2ガスを順次供給して
ＴｉＣＮ膜を３μｍ成膜した。ＡｌＣｌ3 ５％ ＣＯ2
５％、ＣＯ １５％ Ｈ2 ７５％の割合で混合した
ガスを供給し、温度は１０２０℃、２時間保持したとこ
ろ、１．５μｍのＡｌ2Ｏ3層を被覆することが出来た。
さらに最後にＴｉＮ膜を０．５μｍ、前記と同様の方法
で成膜し、表面を金色とした。このチップを曲げ試験に
おいて破断した後、ＳＥＭ（走査型電子顕微鏡）にて、
その破面を観察をした結果を写真１に示す。内層部分は
柱状晶がよく発達しているのに対し、中間層は粒状に成
膜されていることが分かり、外層／最外層も中間層の粒
度に近似し、粗粒化していないことが分かる。また写真
２に最外層の表面観察した結果も併せて示す。（写真の
倍率はいずれも５０００倍）
【００１１】（２）試料Ｎｏ２の成膜は耐熱合金製反応
容器内で８００℃に加熱し、２０Ｔｏｒｒの減圧化でＴ
ｉＣｌ4 ４％ Ｈ2 ４％ Ｈ2 ９６％の割合で混合
したガスを５ｌ／ｍｉｎの流量で流し、０．５時間反応
させ０．５μｍのＴｉＮ被覆層を得た。その後、試料Ｎ
ｏ１と同様の方法により被覆した。 （３）試料Ｎｏ３の成膜は、従来例のひとつである耐熱
合金製反応容器内で１０５０℃に加熱し、２０Ｔｏｒｒ
の減圧化でＴｉＣｌ4 ４％ ＣＨ4 ２％ Ｎ2３０
％、Ｈ2 ６４％の割合で混合したガスを５ｌ／ｍｉｎ
の流量で流し、２．５時間反応させ５μｍのＴｉＣＮ被
覆層を得た。その後、試料Ｎｏ１と同様の方法によりに
被覆した。
容器内で８００℃に加熱し、２０Ｔｏｒｒの減圧化でＴ
ｉＣｌ4 ４％ Ｈ2 ４％ Ｈ2 ９６％の割合で混合
したガスを５ｌ／ｍｉｎの流量で流し、０．５時間反応
させ０．５μｍのＴｉＮ被覆層を得た。その後、試料Ｎ
ｏ１と同様の方法により被覆した。 （３）試料Ｎｏ３の成膜は、従来例のひとつである耐熱
合金製反応容器内で１０５０℃に加熱し、２０Ｔｏｒｒ
の減圧化でＴｉＣｌ4 ４％ ＣＨ4 ２％ Ｎ2３０
％、Ｈ2 ６４％の割合で混合したガスを５ｌ／ｍｉｎ
の流量で流し、２．５時間反応させ５μｍのＴｉＣＮ被
覆層を得た。その後、試料Ｎｏ１と同様の方法によりに
被覆した。
【００１２】これら３種のチップを用い以下の切削条
件、すなわち 鋳物連続切削 被削材 ＦＣ２５（ＨＢ２３０） 切削速度 １８０ｍ／ｍｉｎ 送り ０．３ｍｍ／ｒｅｖ 切り込み １．５ｍｍ 水溶性切削油使用 で切削試験を行った。表１に平均逃げ面摩耗量が０．４
ｍｍ、クレーター摩耗が０．１ｍｍのどちらかに達した
時間を寿命と判断し、その時間を示す。
件、すなわち 鋳物連続切削 被削材 ＦＣ２５（ＨＢ２３０） 切削速度 １８０ｍ／ｍｉｎ 送り ０．３ｍｍ／ｒｅｖ 切り込み １．５ｍｍ 水溶性切削油使用 で切削試験を行った。表１に平均逃げ面摩耗量が０．４
ｍｍ、クレーター摩耗が０．１ｍｍのどちらかに達した
時間を寿命と判断し、その時間を示す。
【００１２】試料Ｎｏ（３）のスローアウェイチップは
２５分間の切削で寿命に達しているのに対し、本発明に
よる（１）、（２）は表１から明からかなように４０〜
５０分間切削出来ることがわかる。また本発明によるチ
ップの寿命はいずれも平均逃げ面の摩耗によるものであ
りクレーター摩耗は寿命まで切削してもブレークされず
良好な摩耗形態を示した。
２５分間の切削で寿命に達しているのに対し、本発明に
よる（１）、（２）は表１から明からかなように４０〜
５０分間切削出来ることがわかる。また本発明によるチ
ップの寿命はいずれも平均逃げ面の摩耗によるものであ
りクレーター摩耗は寿命まで切削してもブレークされず
良好な摩耗形態を示した。
【００１３】
【実施例２】さらに、実施例１で用いたものと同じ基体
からなるスローアウェイチツプにＴｉＣ、ＴｉＮまたは
ＴｉＣＮ層の厚さ、Ａｌ2Ｏ3の厚さを種々に変化させた
ものを作成した。 成膜の条件は実施例１と同様に行
い、時間の調整で膜厚をコントロールした。得られたも
のの膜の構成、膜厚等を表２に示す。また、これらのも
のを用い、実施例１と同様な方法で切削試験を行った結
果も同表に示す。表２から明らかなように、本発明によ
る被覆超硬合金はいずれも優れた耐クレーター摩耗性を
有し、また寿命も永いことがわかる。
からなるスローアウェイチツプにＴｉＣ、ＴｉＮまたは
ＴｉＣＮ層の厚さ、Ａｌ2Ｏ3の厚さを種々に変化させた
ものを作成した。 成膜の条件は実施例１と同様に行
い、時間の調整で膜厚をコントロールした。得られたも
のの膜の構成、膜厚等を表２に示す。また、これらのも
のを用い、実施例１と同様な方法で切削試験を行った結
果も同表に示す。表２から明らかなように、本発明によ
る被覆超硬合金はいずれも優れた耐クレーター摩耗性を
有し、また寿命も永いことがわかる。
【００１５】
【発明の効果】上述のように、本発明被覆超硬質合金
は、内層にＴｉＣＮ等と外層Ａｌ2Ｏ3の中間に両者と親
和性の良い粒状のＴｉの炭化物等を被覆することによっ
て、層間の粒度を異ならせ、特に耐摩耗性に富む高性能
な被覆超硬工具が得られる。
は、内層にＴｉＣＮ等と外層Ａｌ2Ｏ3の中間に両者と親
和性の良い粒状のＴｉの炭化物等を被覆することによっ
て、層間の粒度を異ならせ、特に耐摩耗性に富む高性能
な被覆超硬工具が得られる。
【写真１】写真１は本発明被覆超硬工具のＳＥＭによる
破面観察の結果を示す。
破面観察の結果を示す。
【写真２】写真２は写真１と同一のチップのＳＥＭによ
る最外層の観察結果を示す。
る最外層の観察結果を示す。
【表１】
【表２】
─────────────────────────────────────────────────────
【手続補正書】
【提出日】平成６年４月１１日
【手続補正１】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】図面の簡単な説明
【補正方法】変更
【補正内容】
【図面の簡単な説明】
【図１】図１は、本発明被覆工具の金属組織を走査型電
子顕微鏡（ＳＥＭ）でその断面破面を観察した結果を示
す。
子顕微鏡（ＳＥＭ）でその断面破面を観察した結果を示
す。
【図２】図２は、図１と同一の試料の金属組織を走査型
電子顕微鏡（ＳＥＭ）でその最表面を観察した結果を示
す。
電子顕微鏡（ＳＥＭ）でその最表面を観察した結果を示
す。
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (51)Int.Cl.6 識別記号 庁内整理番号 ＦＩ 技術表示箇所 Ｃ２３Ｃ 16/40 28/04
Claims (1)
- 【請求項１】 周期率表の４ａ、５ａ、６ａ族の炭化
物、窒化物、炭窒化物の一種以上とＦｅ、Ｎｉ、Ｃｏ、
Ｗ、Ｍｏ、Ｃｒの一種以上とよりなる超硬質合金を基体
とし、基体の表面より内層のＴｉＮ、ＴｉＣＮのどちら
か一種または２種が２．０〜１０μｍの膜厚でかつ柱状
晶で有り、中間層のＴｉの炭化物、窒化物、炭窒化物が
０．１〜５μｍの膜厚であり外層のＡｌの酸化物、炭酸
化物及び最外層のＴｉの窒化物、炭窒化物が０．５〜５
μｍの膜厚であることを特徴とする被覆超硬質合金工
具。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP3163993A JP2660180B2 (ja) | 1991-06-07 | 1991-06-07 | 被覆超硬工具 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP3163993A JP2660180B2 (ja) | 1991-06-07 | 1991-06-07 | 被覆超硬工具 |
Related Child Applications (4)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP08323399A Division JP3115247B2 (ja) | 1996-11-19 | 1996-11-19 | 被覆超硬合金製スローアウェイチップ |
| JP8323400A Division JP2974284B2 (ja) | 1996-11-19 | 1996-11-19 | 被覆超硬工具の製造法 |
| JP8323401A Division JP2974285B2 (ja) | 1996-11-19 | 1996-11-19 | 被覆超硬工具の製造法 |
| JP08323398A Division JP3115246B2 (ja) | 1996-11-19 | 1996-11-19 | 旋削用被覆超硬工具 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH0734250A true JPH0734250A (ja) | 1995-02-03 |
| JP2660180B2 JP2660180B2 (ja) | 1997-10-08 |
Family
ID=15784724
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP3163993A Expired - Lifetime JP2660180B2 (ja) | 1991-06-07 | 1991-06-07 | 被覆超硬工具 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP2660180B2 (ja) |
Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH07328809A (ja) * | 1994-05-31 | 1995-12-19 | Mitsubishi Materials Corp | 硬質被覆層がすぐれた層間密着性を有する表面被覆炭化タングステン基超硬合金製切削工具 |
| JP2005262386A (ja) * | 2004-03-18 | 2005-09-29 | Sumitomo Electric Hardmetal Corp | 表面被覆切削工具 |
| CN104046874A (zh) * | 2014-07-11 | 2014-09-17 | 辽阳斯佳机械配件有限公司 | 一种造粒模板用钨基合金 |
Citations (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH0364469A (ja) * | 1989-08-01 | 1991-03-19 | Hitachi Tool Eng Ltd | 被覆超硬質合金工具 |
| JPH0397866A (ja) * | 1989-09-08 | 1991-04-23 | Hitachi Tool Eng Ltd | 被覆超硬合金工具 |
-
1991
- 1991-06-07 JP JP3163993A patent/JP2660180B2/ja not_active Expired - Lifetime
Patent Citations (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH0364469A (ja) * | 1989-08-01 | 1991-03-19 | Hitachi Tool Eng Ltd | 被覆超硬質合金工具 |
| JPH0397866A (ja) * | 1989-09-08 | 1991-04-23 | Hitachi Tool Eng Ltd | 被覆超硬合金工具 |
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| CN104046874A (zh) * | 2014-07-11 | 2014-09-17 | 辽阳斯佳机械配件有限公司 | 一种造粒模板用钨基合金 |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JP2660180B2 (ja) | 1997-10-08 |
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