JPH0734057B2 - 照明用レンズ - Google Patents
照明用レンズInfo
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- JPH0734057B2 JPH0734057B2 JP62198775A JP19877587A JPH0734057B2 JP H0734057 B2 JPH0734057 B2 JP H0734057B2 JP 62198775 A JP62198775 A JP 62198775A JP 19877587 A JP19877587 A JP 19877587A JP H0734057 B2 JPH0734057 B2 JP H0734057B2
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- lens
- illuminance
- illuminated
- illumination
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- G—PHYSICS
- G03—PHOTOGRAPHY; CINEMATOGRAPHY; ANALOGOUS TECHNIQUES USING WAVES OTHER THAN OPTICAL WAVES; ELECTROGRAPHY; HOLOGRAPHY
- G03F—PHOTOMECHANICAL PRODUCTION OF TEXTURED OR PATTERNED SURFACES, e.g. FOR PRINTING, FOR PROCESSING OF SEMICONDUCTOR DEVICES; MATERIALS THEREFOR; ORIGINALS THEREFOR; APPARATUS SPECIALLY ADAPTED THEREFOR
- G03F7/00—Photomechanical, e.g. photolithographic, production of textured or patterned surfaces, e.g. printing surfaces; Materials therefor, e.g. comprising photoresists; Apparatus specially adapted therefor
- G03F7/70—Microphotolithographic exposure; Apparatus therefor
- G03F7/70058—Mask illumination systems
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- Physics & Mathematics (AREA)
- General Physics & Mathematics (AREA)
- Microscoopes, Condenser (AREA)
- Lenses (AREA)
Description
【発明の詳細な説明】 《産業上の利用分野》 この発明は、プリント基板やIC等の回路パターンの露光
装置、あるいは製版用の密着焼付装置や殖版機、その他
複写装置等の各種照明系に適用することができ、特に被
照射面上の周辺部の照度低下を起こすことなく全面を均
一に、あるいは必要に応じて周辺部の照度を上げて照明
するように改善した照明用レンズに関するものである。
装置、あるいは製版用の密着焼付装置や殖版機、その他
複写装置等の各種照明系に適用することができ、特に被
照射面上の周辺部の照度低下を起こすことなく全面を均
一に、あるいは必要に応じて周辺部の照度を上げて照明
するように改善した照明用レンズに関するものである。
《従来技術》 この種の照明用レンズは第13図に示すように面光源LSと
被照射面OGとの間に配置され、例えば第14図に示すよう
な単レンズＬによつて構成されている。
被照射面OGとの間に配置され、例えば第14図に示すよう
な単レンズＬによつて構成されている。
ちなみに、その具体例は第１表の如くである。
第 １ 表 a＝50、 b＝100、 ｙ＝10、 ｆ＝１ r1＝0.5、 r2＝−0.5、 ｄ＝1.5、 ｎ＝1.5 ただし、ｆは単レンズＬの焦点距離、その他の符号は第
13図及び第14図中に示すものである。そして、この種の
照明用レンズは第13図に示すように、前方に配置した光
源LSの実像を第１面r1によつて第２面r2の近傍Ｐ点に形
成し、入射瞳Ａの実像を第２面r2によつてレンズ後方に
配置した被照明面OG上に投影することにより被照射面OG
をできるだけ均一に照明するように構成されている。か
かる照明用レンズはリレーコンデンサ型のレンズとして
周知である。
13図及び第14図中に示すものである。そして、この種の
照明用レンズは第13図に示すように、前方に配置した光
源LSの実像を第１面r1によつて第２面r2の近傍Ｐ点に形
成し、入射瞳Ａの実像を第２面r2によつてレンズ後方に
配置した被照明面OG上に投影することにより被照射面OG
をできるだけ均一に照明するように構成されている。か
かる照明用レンズはリレーコンデンサ型のレンズとして
周知である。
前述した従来の照明用光学系の場合には被照射面OG上の
照度分布は第15図に示すように周辺部ほど低下する。
照度分布は第15図に示すように周辺部ほど低下する。
例えば第１表の設定条件下では被照射面OG上の中央部
（出射角θ＝０°）を100％としたとき、計算上ではそ
の照度分布が90％以上になるのは照射高がＨ＝18までの
領域（θ＝10°までに相当する）にすぎず、また照射高
がＨ＝40の領域（θ＝22°に相当）では照度分布が58
％、照射高がＨ＝50の領域（θ＝27°に相当）では照度
分布が41％まで低下する。
（出射角θ＝０°）を100％としたとき、計算上ではそ
の照度分布が90％以上になるのは照射高がＨ＝18までの
領域（θ＝10°までに相当する）にすぎず、また照射高
がＨ＝40の領域（θ＝22°に相当）では照度分布が58
％、照射高がＨ＝50の領域（θ＝27°に相当）では照度
分布が41％まで低下する。
これは、上記従来の照明用レンズが照度分布の向上につ
いて何ら考慮が払われていないことが原因である。
いて何ら考慮が払われていないことが原因である。
一方、被照射面OG上の照度分布は以下に示すように考え
ることができる。
ることができる。
第13図において、光源LSは光軸Ｚ上にあり、光源LSの中
心からの光源b1はレンズＬの入射瞳Ａへ入射高ｈで入射
するとすれば、この光線b1は被照射面OG上の照射高Ｈに
達する。
心からの光源b1はレンズＬの入射瞳Ａへ入射高ｈで入射
するとすれば、この光線b1は被照射面OG上の照射高Ｈに
達する。
ここで、レンズＬの入射瞳Ａと被照射面OGとは共役であ
るから、入射瞳Ａ上の入射高ｈを定めると、被照射面OG
上の照射高さＨが定まる。
るから、入射瞳Ａ上の入射高ｈを定めると、被照射面OG
上の照射高さＨが定まる。
一方、入射瞳Ａ上で、ｈから微小高Δｈ離れた位置へ入
射した光線は、被照射面OG上で、Ｈから微小高ΔＨ離れ
た位置に達する。
射した光線は、被照射面OG上で、Ｈから微小高ΔＨ離れ
た位置に達する。
この場合、レンズの透過時における光量損失が全くない
とすると、入射瞳Ａで、入射高ｈを内径とし、幅をΔｈ
とする輪帯状の微小面積ΔS1を通過した光束は、同様に
被照射面OG上の照射高Ｈを内径とし、幅をΔＨとする輪
帯状の微小面積ΔS2に達する。
とすると、入射瞳Ａで、入射高ｈを内径とし、幅をΔｈ
とする輪帯状の微小面積ΔS1を通過した光束は、同様に
被照射面OG上の照射高Ｈを内径とし、幅をΔＨとする輪
帯状の微小面積ΔS2に達する。
ここで、ΔS1，ΔS2は、次式で表わされる。
ΔS1＝π｛（ｈ＋Δｈ）2−h2｝ ΔS2＝π｛（Ｈ＋ΔＨ）2−H2｝ 従つて入射瞳Ａ上の入射高ｈにおける照度をｅとする
と、被照射面OG上の照射高Ｈにおける照度Ｅは、上記微
小面積の比（ΔS1／ΔS2）に比例するから次式で表わさ
れる。
と、被照射面OG上の照射高Ｈにおける照度Ｅは、上記微
小面積の比（ΔS1／ΔS2）に比例するから次式で表わさ
れる。
Ｅ＝ｅ（ΔS1／ΔS2） ＝ｅ（2hΔｈ＋Δh2）／（2HΔＨ＋ΔH2） ＝ｅ（Δh/ΔＨ）｛（2h＋Δｈ）／（2H＋ΔＨ）｝ ここで、ΔＨを限りなく０に近づけると、 および、 となり、 Ｅは次式で表わされる。
Ｅ＝ef（Ｈ） ただし、ｆ（Ｈ）＝（dh/dH）（h/H） …… である。
ここで、入射瞳Ａ上の照度ｅが入射高ｈと無関係に一定
であるとみなされる場合（入射瞳Ａにおける照度分布が
均一である場合）には、上記関数ｆ（Ｈ）は入射瞳Ａ上
の照度に対する被照射面OG上の相対照度そのものを示
す。
であるとみなされる場合（入射瞳Ａにおける照度分布が
均一である場合）には、上記関数ｆ（Ｈ）は入射瞳Ａ上
の照度に対する被照射面OG上の相対照度そのものを示
す。
すなわち、被照射面OGG上の照射高Ｈ＝０である中心部
の相対照度はｆ（０）で表わされ、中心部以外（Ｈ≠
０）の相対照度はｆ（Ｈ）で表わされる。
の相対照度はｆ（０）で表わされ、中心部以外（Ｈ≠
０）の相対照度はｆ（Ｈ）で表わされる。
次に、正弦条件を満しているレンズについて被照射面の
周辺照度が下がる原因を述べる。正弦条件を満している
レンズは入射高ｈと出射角θとの間に次式が成立してい
る。
周辺照度が下がる原因を述べる。正弦条件を満している
レンズは入射高ｈと出射角θとの間に次式が成立してい
る。
ｈ＝sinθ …… （ただし、ｆはレンズの焦点距離）、 以下、第13図を参照しながら上記正弦条件と周辺におけ
る照度低下との関係について説明する。
る照度低下との関係について説明する。
上記照明用レンズＬは、その焦点距離（ｆ＝１）が光源
SLと当該レンズＬとの間隔（ａ＝50）に対して十分小さ
く、光源LSからの平行光が入射瞳Ａに入射高ｈで入射
し、Ｐ点に収束した後出射角θで出射し、被照射面OG上
で照射高Ｈとなる点Ｒに達するものとする。
SLと当該レンズＬとの間隔（ａ＝50）に対して十分小さ
く、光源LSからの平行光が入射瞳Ａに入射高ｈで入射
し、Ｐ点に収束した後出射角θで出射し、被照射面OG上
で照射高Ｈとなる点Ｒに達するものとする。
第13図より照射高Ｈは次式で表わされる。
Ｈ＝btanθ …… このとき、被照射面OGにおける照度は前記式のように
（dh/dH）（h/H）で規定される。
（dh/dH）（h/H）で規定される。
一方、前記、式から、 （dh/dθ）＝fcosθ、（dH/dθ）＝b/cos2θ （h/H）＝（f/b）cosθ となり、照度は次式で表わされる。
（dh/dH）（h/H）＝（f2／b2）cos4θ …… 式は、正弦条件を満たすレンズを用いると、被照射面
における照度が、出射角のコサイン４乗に比例して、低
下することを示している。
における照度が、出射角のコサイン４乗に比例して、低
下することを示している。
ところで、第１表の従来レンズは、実際に光線追跡計算
を行なうと、入射高ｈが大きくなると前記式が成立し
なくなり、ｈ＜ｆ・sinθにたつていることが確認でき
た。すなわち式において （dh/dH）（h/H）＜（f2／b2）cos4θ となつており、正弦条件を満しているレンズよりさらに
周辺照度が低下することになる。
を行なうと、入射高ｈが大きくなると前記式が成立し
なくなり、ｈ＜ｆ・sinθにたつていることが確認でき
た。すなわち式において （dh/dH）（h/H）＜（f2／b2）cos4θ となつており、正弦条件を満しているレンズよりさらに
周辺照度が低下することになる。
このため従来の照明系では±５％程度の均一な照度分布
を確保しようとすれば出射角θは10°くらいまでしか使
えないので、所要の照射エリアを確保するには、光源か
ら被照射面までの光路長が長くなり、装置全体が大型化
する。
を確保しようとすれば出射角θは10°くらいまでしか使
えないので、所要の照射エリアを確保するには、光源か
ら被照射面までの光路長が長くなり、装置全体が大型化
する。
また、このよな照明系で被照射面に置いた透過原板等を
照明し、その原板の像を結像レンズで投影する場合には
投影された像は結像レンズのコサイン４乗則等の影響に
より、周辺部でさらに照度低下したものとなる。従来か
かる結像レンズによる周辺照度の低下を照明用レンズに
より積極的に補正することはできなかつた。
照明し、その原板の像を結像レンズで投影する場合には
投影された像は結像レンズのコサイン４乗則等の影響に
より、周辺部でさらに照度低下したものとなる。従来か
かる結像レンズによる周辺照度の低下を照明用レンズに
より積極的に補正することはできなかつた。
上記のような問題に対して、近年では、被照射面上の照
度分布を均一にする照明用レンズが提案されている。例
えば特開昭62-178207号公報においては、１枚〜４枚構
成の照明用レンズがそれぞれ開示されている。
度分布を均一にする照明用レンズが提案されている。例
えば特開昭62-178207号公報においては、１枚〜４枚構
成の照明用レンズがそれぞれ開示されている。
《発明が解決しようとする問題点》 上記公報に開示された従来の照明用レンズは、当該照明
用レンズと被照射面との間に何も配置されない光学系に
おいて、被照射面上の照度分布を均一にするものである
が、照明用レンズと被照射面との間に周縁照度を低下さ
せるレンズ等の光学素子が配置される光学系において
は、上記従来の照明用レンズを用いるだけでは被照射面
上の照度分布を均一にすることは困難である。
用レンズと被照射面との間に何も配置されない光学系に
おいて、被照射面上の照度分布を均一にするものである
が、照明用レンズと被照射面との間に周縁照度を低下さ
せるレンズ等の光学素子が配置される光学系において
は、上記従来の照明用レンズを用いるだけでは被照射面
上の照度分布を均一にすることは困難である。
本発明は、上記問題点を解決するものであり、照明用レ
ンズと被照射面との間に光学素子が配置される光学系に
適用されても、その光学系における被照射面上を均一に
照明できる２枚構成の照明用レンズを提供することを目
的とする。
ンズと被照射面との間に光学素子が配置される光学系に
適用されても、その光学系における被照射面上を均一に
照明できる２枚構成の照明用レンズを提供することを目
的とする。
《問題点を解決するための手段》 本発明は上記目的を達成するためになされたものであ
り、かかる照明用レンズは以下のように構成される。
り、かかる照明用レンズは以下のように構成される。
即ち、光源と被照射面との間に配置され、被照射面上の
周辺部において、中心部の照度以上に照度が得られる２
群２枚の照明用レンズにおいて、 上記レンズの入射瞳と上記被照射面とを共役とし、 後面が凸の球面である正の第１レンズと、前面が凹の球
面でかつ後面が凸の球面である正の第２レンズと、が光
源側より順次配列され、 −0.68≦｛（１−n1）／r2＋（n3−１）／r3｝ｆ≦0.90
…… 0.67≦｛（１−n3）／r4｝ｆ …… ただし、 ｆはこの照明用レンズ全体の焦点距離、 r2は第１レンズ後面の曲率半径、 r3は第２レンズ前面の曲率半径、 r4は第２レンズ後面の曲率半径、 n1は第１レンズの屈折率、 n2は第２レンズの屈折率 を満足するものである。
周辺部において、中心部の照度以上に照度が得られる２
群２枚の照明用レンズにおいて、 上記レンズの入射瞳と上記被照射面とを共役とし、 後面が凸の球面である正の第１レンズと、前面が凹の球
面でかつ後面が凸の球面である正の第２レンズと、が光
源側より順次配列され、 −0.68≦｛（１−n1）／r2＋（n3−１）／r3｝ｆ≦0.90
…… 0.67≦｛（１−n3）／r4｝ｆ …… ただし、 ｆはこの照明用レンズ全体の焦点距離、 r2は第１レンズ後面の曲率半径、 r3は第２レンズ前面の曲率半径、 r4は第２レンズ後面の曲率半径、 n1は第１レンズの屈折率、 n2は第２レンズの屈折率 を満足するものである。
《作用》 本発明に係る照明用レンズは、２群２枚構成であり、条
件式及び条件式を満足している。
件式及び条件式を満足している。
条件式が満足される（第２レンズの後面の屈折力が0.
67以上である）と、入射高の大きい光については第２レ
ンズから出射する際の出射角が小さくなり、一方、入射
高の小さい光については第２レンズから出射する際の出
射角が大きくなる（例えば第２図、第３図参照）ので、
照明用レンズにおける被照射面上の周辺部において照度
をより上げやすくなる。
67以上である）と、入射高の大きい光については第２レ
ンズから出射する際の出射角が小さくなり、一方、入射
高の小さい光については第２レンズから出射する際の出
射角が大きくなる（例えば第２図、第３図参照）ので、
照明用レンズにおける被照射面上の周辺部において照度
をより上げやすくなる。
さらに、条件式が満足される（第１レンズの後面の屈
折力と第２レンズの前面の屈折力との和が−0.68以上か
つ0.90以下である）と、有効照射エリアの縮小を防止
し、さらに上記条件式による作用を維持する。有効照
射エリアの縮小については、上記屈折力の和が下限値よ
り小さくなると、第１レンズの後面、第２レンズの前面
及び後面での屈折力の和が小さくなりすぎ、入射瞳の共
役像、すなわち有効照射エリアが小さくなるのに起因し
ている。また、条件式による作用の維持については、
上記屈折力の和が上限値より大きくなると、入射瞳面と
被照射面との共役関係を保つためには、第２レンズの後
面の屈折力を小さくする必要があるので、これを防止す
るためである。
折力と第２レンズの前面の屈折力との和が−0.68以上か
つ0.90以下である）と、有効照射エリアの縮小を防止
し、さらに上記条件式による作用を維持する。有効照
射エリアの縮小については、上記屈折力の和が下限値よ
り小さくなると、第１レンズの後面、第２レンズの前面
及び後面での屈折力の和が小さくなりすぎ、入射瞳の共
役像、すなわち有効照射エリアが小さくなるのに起因し
ている。また、条件式による作用の維持については、
上記屈折力の和が上限値より大きくなると、入射瞳面と
被照射面との共役関係を保つためには、第２レンズの後
面の屈折力を小さくする必要があるので、これを防止す
るためである。
《実施例》 以下本発明に基づく照明用レンズの実施例について説明
する。
する。
各実施例の照明用レンズＬは、いずれも２枚のレンズL1
・L2によつて構成されている。またいずれの実施例にお
いても、第13図に示す光学配置のもとで、下記の設定値
を有するものとする。
・L2によつて構成されている。またいずれの実施例にお
いても、第13図に示す光学配置のもとで、下記の設定値
を有するものとする。
光源の大きさ2y＝17.64φ（最大入射角ωmax＝10°） 光源からレンズ入射瞳Ａまでの距離ａ＝50 第２レンズ後面から被照射面までの距離ｂ′＝100 有効処理面の大きさHmax＝90φ（最大出射角θmax＝24.
2°） レンズの有効径Ｄ＝1/0φ 照明用レンズの焦点距離ｆ＝1.0 そして、入射瞳Ａは第１レンズL1の前面近傍に設定さ
れ、その像は被照射面OG上に投影されるように設定され
ている。なお以下に示す照明用レンズは、いずれも第１
図に示すような統一した符号により、その配置構成を示
してある。
2°） レンズの有効径Ｄ＝1/0φ 照明用レンズの焦点距離ｆ＝1.0 そして、入射瞳Ａは第１レンズL1の前面近傍に設定さ
れ、その像は被照射面OG上に投影されるように設定され
ている。なお以下に示す照明用レンズは、いずれも第１
図に示すような統一した符号により、その配置構成を示
してある。
第１の実施例 第１図は本発明に基づく照明用レンズの第１の実施例を
示し、そのレンズデータは、下記第２表に示す通りであ
る。
示し、そのレンズデータは、下記第２表に示す通りであ
る。
この第１実施例は下記数値を有し、前記条件式を満
足するように構成されている。
足するように構成されている。
｛（１−n1）／r2＋（n3−１）／r3｝ｆ＝−0.011 ｛（１−n3／r4｝ｆ＝1.429 また、被照射面上での照度分布は第４図に示すように中
間部での照度低下は、３％程度であり、周辺部で十分に
照度が高くなる。
間部での照度低下は、３％程度であり、周辺部で十分に
照度が高くなる。
なお、この第１実施例は、第１〜第５の実施例の中で
は、標準的な配置構成を示している。
は、標準的な配置構成を示している。
第２の実施例 第５図は本発明に基づく照明用レンズの第２の実施例を
示し、そのレンズデータは下記第３表に示す通りであ
る。
示し、そのレンズデータは下記第３表に示す通りであ
る。
この第２実施例は下記数値を有し、前記条件式を満
足するように構成されている。
足するように構成されている。
｛（１−n1）／r2＋（n3−１）／r3｝ｆ＝0.895 ｛（１−n3）／r4｝ｆ＝0.676 また、被照射面上での照度分布は第６図に示すように中
間部での照度低下は数％であり、周辺部での照度が数％
高くなる。
間部での照度低下は数％であり、周辺部での照度が数％
高くなる。
この第２実施例は、条件式の値が最大値に近い値とな
り、の値が最小値に近い値となる場合を例示したもの
である。
り、の値が最小値に近い値となる場合を例示したもの
である。
第３の実施例 第７図は本発明に基づく照明用レンズの第３の実施例を
示し、そのレンズデータは下記第４表に示す通りであ
る。
示し、そのレンズデータは下記第４表に示す通りであ
る。
この第３実施例は下記数値を有し、前記条件式を満
足するように構成されている。
足するように構成されている。
｛（１−n1）／r2＋（n3−１）／r3｝ｆ＝0.522 ｛（１−n3）／r4｝ｆ＝0.911 また、被照射面上での照度分布は第８図に示すように、
中間部での照度低下は数％にとどまり、周辺部で、十分
に照度が高くなる。
中間部での照度低下は数％にとどまり、周辺部で、十分
に照度が高くなる。
第４の実施例 第９図は本発明に基づく照明用レンズの第４の実施例を
示し、そのレンズデータは下記第５表に示す通りであ
る。
示し、そのレンズデータは下記第５表に示す通りであ
る。
この第４実施例は下記数値を有し、前記条件式を満
足するように構成されている。
足するように構成されている。
｛（１−n1）／r2＋（n3−１）／r3｝ｆ＝−0.680 ｛（１−n3）／r4｝ｆ＝1.742 また、被照射面上での照度分布は第10図に示すように中
間部の照度低下は数％にとどまり、周辺部で十分に照度
が高くなる。
間部の照度低下は数％にとどまり、周辺部で十分に照度
が高くなる。
第５の実施例 第11図は本発明に基づく照明用レンズの第５の実施例を
示し、そのレンズデータは下記第６表に示す通りであ
る。
示し、そのレンズデータは下記第６表に示す通りであ
る。
この第５実施例は下記の数値を有し、前記条件式を
満足するように構成されている。
満足するように構成されている。
｛（１−n1）／r2＋（n3−１）／r3｝ｆ＝−0.302 ｛（１−n3）／r4｝ｆ＝1.416 また、被照射面上での照度分布は第12図に示すように±
３％以内に収まつている。
３％以内に収まつている。
《発明の効果》 以上の説明のように、本発明によれば、照明用レンズに
おける被照射面上の照度分布を均一にしたり、あるいは
周辺部の照度を中心部の照度より大幅に上げることがで
きるので、光学系のタイプに適合する照明用レンズを採
用することにより、光学系全体における被照射面上での
照度分布を均一にすることができる。
おける被照射面上の照度分布を均一にしたり、あるいは
周辺部の照度を中心部の照度より大幅に上げることがで
きるので、光学系のタイプに適合する照明用レンズを採
用することにより、光学系全体における被照射面上での
照度分布を均一にすることができる。
第１図は本発明に基づく照明用レンズの第１の実施例を
示すレンズ構成図、第２図及び第３図はそれぞれその照
明用レンズの光線追跡図、第４図はその照明用レンズに
よる照度分布図、第５図、第７図、第９図及び第11図は
それぞれ他の実施例を示すレンズ構成図、第６図、第８
図、第10図及び第12図はそれぞれ他の実施例に対応する
照度分布図、第13図は照明用レンズを用いた照明光学系
の原理図、第14図は従来例を示す照明用レンズの構成
図、第15図はその照明用レンズによる照度分布図であ
る。 LS……光源、Ｌ……照明用レンズ、L1……第１レンズ、
L2……第２レンズ、OG……被照射面、ｈ……入射高、Ｈ
……照射高、ｆ……合成焦点距離、f2……第２レンズの
焦点距離、r4……第２レンズ後面の曲率半径、d3……第
２レンズの厚み。
示すレンズ構成図、第２図及び第３図はそれぞれその照
明用レンズの光線追跡図、第４図はその照明用レンズに
よる照度分布図、第５図、第７図、第９図及び第11図は
それぞれ他の実施例を示すレンズ構成図、第６図、第８
図、第10図及び第12図はそれぞれ他の実施例に対応する
照度分布図、第13図は照明用レンズを用いた照明光学系
の原理図、第14図は従来例を示す照明用レンズの構成
図、第15図はその照明用レンズによる照度分布図であ
る。 LS……光源、Ｌ……照明用レンズ、L1……第１レンズ、
L2……第２レンズ、OG……被照射面、ｈ……入射高、Ｈ
……照射高、ｆ……合成焦点距離、f2……第２レンズの
焦点距離、r4……第２レンズ後面の曲率半径、d3……第
２レンズの厚み。
Claims (1)
- 【請求項１】光源と被照射面との間に配置され、被照射
面上の周辺部において、中心部の照度以上に照度が得ら
れる２群２枚の照明用レンズにおいて、 上記レンズの入射瞳と上記被照射面とを共役とし、 後面が凸の球面である正の第１レンズと、前面が凹の球
面でかつ後面が凸の球面である正の第２レンズと、が光
源側より順次配列され、 −0.68≦｛（１−n1）／r2＋（n3−１）／r3｝ｆ≦0.90
…… 0.67≦｛（１−n3）／r4｝ｆ …… ただし、 f はこの照明用レンズ全体の焦点距離 r2は第１レンズ後面の曲率半径 r3は第２レンズ前面の曲率半径 r4は第２レンズ後面の曲率半径 n1は第１レンズの屈折率 n2は第２レンズの屈折率 を満足することを特徴とする照明用レンズ。
Priority Applications (5)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP62198775A JPH0734057B2 (ja) | 1987-08-07 | 1987-08-07 | 照明用レンズ |
| DE3851485T DE3851485T2 (de) | 1987-07-17 | 1988-07-14 | Optisches System zur Erhöhung der Beleuchtungsstärke in Peripherobjektzonen. |
| EP88111320A EP0299475B1 (en) | 1987-07-17 | 1988-07-14 | Optical system for effecting increased irradiance in peripheral area of object |
| KR1019880008903A KR910008066B1 (ko) | 1987-07-17 | 1988-07-16 | 피조사면의 주변부의 조도를 증가시키는 광학계 |
| US07/220,624 US4878745A (en) | 1987-07-17 | 1988-07-18 | Optical system for effecting increased irradiance in peripheral area of object |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP62198775A JPH0734057B2 (ja) | 1987-08-07 | 1987-08-07 | 照明用レンズ |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS6442620A JPS6442620A (en) | 1989-02-14 |
| JPH0734057B2 true JPH0734057B2 (ja) | 1995-04-12 |
Family
ID=16396720
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP62198775A Expired - Fee Related JPH0734057B2 (ja) | 1987-07-17 | 1987-08-07 | 照明用レンズ |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH0734057B2 (ja) |
Families Citing this family (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP3811923B2 (ja) * | 1995-10-27 | 2006-08-23 | 株式会社ニコン | 照明光学系 |
Citations (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS62178207A (ja) * | 1986-01-31 | 1987-08-05 | Dainippon Screen Mfg Co Ltd | 照明用の光学系 |
-
1987
- 1987-08-07 JP JP62198775A patent/JPH0734057B2/ja not_active Expired - Fee Related
Patent Citations (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS62178207A (ja) * | 1986-01-31 | 1987-08-05 | Dainippon Screen Mfg Co Ltd | 照明用の光学系 |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPS6442620A (en) | 1989-02-14 |
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