JPH073400Y2 - レーザーマーキング用ガラスマスク - Google Patents

Description

【考案の詳細な説明】 （考案の技術分野） 本考案は、YAGレーザ装置によりICパッケージ等にマー
キングする際に用いられるガラスマスクに関する。

（考案の技術的背景とその問題点） この種のガラスマスクはガラス板にアルミニウム等の金
属蒸着層が設けられ、金属蒸着層にはマーキングすべき
文字等に対応した形状の光通過部が形成されている。

かかる構造のガラスマスクはYAGレーザ装置によりレー
ザ光が照射されると、このレーザ光の一部を金属蒸着層
の光通過部を通過させるので、ICパッケージ等にこの通
過レーザ光をレンズを介して照射することでICパッケー
ジ等に文字等をマーキングすることができる。

ところで、YAGレーザ装置は、1.06μｍの波長のレーザ
光を出力するが、このレーザ光はガラスマスクを構成し
ているアルミニウム金属蒸着層により約25％も吸収され
てしまう。このため、従来はマスク作用をなす金属蒸着
層が熱により変形するので、その光通過部も変形し、歪
んだ文字等がマーキングされてしまう上に、金属蒸着層
が発熱することから、ガラス板が短期間で破損してしま
う欠点があった。

また、レーザ光がガラス板にて直接的に反射されるの
で、反射光にてレーザ装置等の機器を破壊してしまう虞
れもあった。

（考案の目的） 本考案の目的は、所定形状の文字等を長期間に亘ってマ
ーキングすることができる上に機器を破壊することのな
い耐久性に優れたレーザマーキング用ガラスマスクを提
供することにある。

（考案の概要） 本考案は、ガラス板のレーザ光源側の面に設けられて光
通過部が形成された金属蒸着層を保護するために、レー
ザ光源側と反対側の面の、少なくとも前記金属蒸着層部
分に対応する全ての面部分に光散乱面部を設け、この光
散乱面部にてレーザ光を乱反射させることを特徴とす
る。

（考案の実施例） 以下、本考案の実施例を図面を参照して詳細に説明す
る。

第１図は本考案に係るレーザマーキング用ガラスマスク
の斜視図、第２図は同ガラスマスクの正面図である。

これらの図において、１はガラス板であり、このガラス
板１の一方の面1Aにはアルミニウムを蒸着させて形成し
た金属蒸着層２が設けられている。この金属蒸着層２に
はマーキングすべき文字「LAZER」の形状を有する光通
過部３が形成されている。ガラス板１の他方の面すなわ
ちレーザ光源側に配置される面1Bには凹凸形状を有する
光散乱面部４が設けられている。この光散乱面部４は光
通過部３（文字部）の対応する部分を除いて他方の面1B
全体に設けられている。

尚、光散乱面部４は、他方の面1Bの光通過部３と対応す
る部分をマスキングして該面1Bをサンドブラスト処理若
しくはフッ酸によるエッチング処理を行なうことにより
形成することができる。

次に、本考案のガラスマスクの使用態様を第３図を参照
して説明する。

先ず、本考案のガラスマスクをICパッケージ５より離間
して配すると共に、ガラスマスクとICパッケージ５との
間にレンズ６を配する。この場合金属蒸着層２がレンズ
６側、すなわち他方の面1Bがレーザ光源側にに位置する
ように配する。

次に、図示しないYAGレーザ装置よりレーザ光７を出力
し、このレーザ光をガラス板１を透過させると共に各光
通過部３を通過させる。従って、光通過部３を通過した
レーザ光７の一部はレンズ６を介してICパッケージ５に
結像されて照射されるので、ICパッケージ５に「LAZE
R」の文字がマーキングされる。

ところで、上述したように、ガラス板１の他方の面1Bに
は光散乱面部４が設けられている。従って、光通過部３
を通過した通過レーザ光以外のレーザ光、即ち、レーザ
光７の大部分はこの光散乱面部４により乱反射される。
よって、金属蒸着層２はレーザ光７を殆ど吸収しないの
で、ガラス板１を比較的低温に保持してマーキング作業
を行なうことができる。この結果、光通過部３の変形及
びガラス板１の熱による破損を確実に防止することがで
きるので、一つのレーザマーキング用ガラスマスクを長
期間に亘って繰り返して使用することができる上に、レ
ーザ光７の大部分が乱反射されるので、YAGレーザ装置
等の機器を破壊することがない。よって、レーザマーキ
ング用ガラスマスクの配置角度等を考慮する必要もなく
なる。

第４図には本考案の変形例に係るレーザマーキング用ガ
ラスマスクが示されている。即ち、本変形例ではガラス
板１の一方の面1Aにも光散乱面部４′が設けられてい
る。従って、この変形例ではレーザ光がガラス板１を透
過した時点で光散乱面部４′にてランダムに分散される
ので、更に確実に機器の破壊を防止することができる。

（考案の効果） 本考案によれば、ガラス板のレーザ光源側の面に設けら
れて光通過部が形成された金属蒸着層は、レーザ光源側
と反対側の面の、少なくとも金属蒸着層部分に対応する
全ての面部分に形成された光散乱面部によって直接レー
ザ光を受けることが防止され、この金属蒸着層の保護が
図られる。

また、マスク作用をなす金属蒸着層は、レーザ光源側と
反対側の面に形成され、被加工面に近く配置されること
から、明瞭な輪郭のマーキングを得ることができる。

【図面の簡単な説明】

第１図及び第２図は本考案に係るレーザマーキング用ガ
ラスマスクの斜視図と正面図、第３図は同ガラスマスク
の使用態様を示す概略図、第４図は本考案の変形例に係
るレーザマーキング用ガラスマスクの正面図である。 １……ガラス板、２……金属蒸着層、３……光通過部、
４、４′……光散乱面部。

Claims (1)

【実用新案登録請求の範囲】
1. 【請求項１】ガラス板と、該ガラス板のレーザ光源側と
   反対側の面に設けられてマーキングのための光通過部が
   形成されている金属蒸着層とを備えるレーザマーキング
   用ガラスマスクにおいて、前記ガラス板の前記レーザ光
   源側の面の少なくとも前記金属蒸着層部分に対応する全
   ての面部分に、前記金属蒸着層を保護するための光散乱
   面部が設けられていることを特徴とするレーザマーキン
   グ用ガラスマスク。