JPH07318878A

JPH07318878A - 液晶表示装置の製法およびその製造装置

Info

Publication number: JPH07318878A
Application number: JP11275894A
Authority: JP
Inventors: Isao Tani; 功谷
Original assignee: Asahi Glass Co Ltd; Mitsubishi Electric Corp
Current assignee: Mitsubishi Electric Corp; AGC Inc
Priority date: 1994-05-26
Filing date: 1994-05-26
Publication date: 1995-12-08

Abstract

(57)【要約】【目的】液晶表示素子の静電気による破壊または劣化
ならびに異物の吸引による欠陥の発生を防止しうる液晶
表示装置の製法および製造装置を提供する。【構成】ガラス基板１を金属製の搬送治具３に載置し
た状態で、前記ガラス基板表面に液晶表示素子を製造す
るための少なくとも１つの処理を施すとともに搬送装置
のローラ２を搬送治具３に接触させながら搬送治具３お
よびガラス基板１の各処理工程間の搬送を行なうことを
特徴とする液晶表示装置の製法。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【産業上の利用分野】本発明は液晶表示装置の製法およ
びその製造装置に関する。さらに詳しくは、アクティブ
マトリックス型カラー液晶表示装置などの製造工程にお
いて、ガラス基板と搬送装置とのあいだ、またはガラス
基板と温度制御用プレートとのあいだに生じる静電気に
よって、薄膜トランジスタが破壊または劣化したり、ガ
ラス基板表面に異物が吸着するのを防止しうる液晶表示
装置の製法およびその製造装置に関する。

【０００２】

【従来の技術】アクティブマトリックス型カラー液晶表
示装置は、ガラス基板の表面に成膜、写真製版、エッチ
ング、レジスト除去の製造工程を経て形成された薄膜ト
ランジスタアレイ基板とカラーフィルタ基板とを、それ
ぞれ配向処理を施して重ね合わせて組み立てたのち、液
晶を注入し、そして、駆動回路を実装することにより製
造される。

【０００３】これらの製造工程では多くの処理が施され
る。たとえば、薄膜トランジスタアレイ基板の製造工程
では、純水洗浄、乾燥、成膜、レジスト塗布、露光、現
像、エッチングおよびレジスト除去の一連の処理が複数
回繰り返される。また、この処理工程の途中に製品の検
査を行なう検査工程が加わる。

【０００４】前述の多数の処理工程において、各工程間
のガラス基板の搬送方法として、図５に示される搬送装
置のローラ２２の上にガラス基板２１を載せて移送させ
る方法、またはガラス基板をカセットに挿入して運搬車
で移送させる方法などがとられている。これらの従来例
は、ガラス基板が直接搬送装置のローラまたはカセット
に接触する。

【０００５】

【発明が解決しようとする課題】前述の液晶表示装置の
製法およびその製造装置では、ガラス基板が絶縁性であ
ることから、ガラス基板を搬送中に搬送装置のローラと
ガラス基板とのあいだでの摩擦または剥離によってガラ
ス基板に静電気が帯電する。

【０００６】また、搬送中以外に熱処理工程においても
ガラス基板に静電気が帯電する。たとえば、ガラス基板
の熱処理工程では温度制御用プレートにガラス基板を吸
着し、熱処理後ガラス基板を離脱させているが、この操
作は具体的には以下のようにして行なわれる。図６に示
されるように、まず前の処理工程から搬送されてきたガ
ラス基板２１を温度制御用プレート２３に載せ、温度制
御用プレート２３に設けられた空気吸引孔２４（図７参
照）を介して真空引きすることにより、ガラス基板２１
を温度制御用プレート２３に吸着させる。温度制御用プ
レート２３の熱をガラス基板２１に伝導することにより
ガラス基板２１を設定された温度になるように制御し、
所定の時間その温度を維持することにより、熱処理を行
なう。熱処理後、図７に示されるように、温度制御用プ
レート２３に設けられた空気吸引孔２４を大気に開放
し、そして、ピン２５をプレートの表面より突出させる
ことにより、ガラス基板２１を温度制御用プレート２３
から離脱させる。温度制御用プレート２３からガラス基
板２１を離脱させたときに、ガラス基板２１に剥離によ
って静電気が帯電する。

【０００７】このようにガラス基板に静電気が帯電する
ことにより、ガラス基板上に形成した薄膜トランジスタ
素子が破壊したり劣化するという問題点がある。また、
静電気力によって空気中に浮遊している異物がガラス基
板上に吸着するため、異物が吸着した箇所の薄膜トラン
ジスタのパターンが欠落したり、短絡するという欠陥が
生じる問題点がある。

【０００８】本発明は前記問題点を解消するためになさ
れたものであり、薄膜トランジスタ素子の静電気による
破壊または劣化を防止し、かつ異物の吸着による欠陥の
発生を解消しうる液晶表示装置の製法およびその製造装
置を提供することを目的とする。

【０００９】

【課題を解決するための手段】本発明の液晶表示装置の
製法は、導電性の搬送治具にガラス基板を載置した状態
で、前記ガラス基板表面に液晶表示素子を製造するため
の少なくとも１つの処理を施すとともに搬送装置の少な
くとも一部を搬送治具に接触させながら搬送治具および
ガラス基板の各処理工程間の搬送を行なうことを特徴と
している。

【００１０】前記搬送治具が金属製であるのが好まし
い。

【００１１】前記搬送治具の上面に、ガラス基板の周縁
に当接する落下防止用の止め具を具備するのが好まし
い。

【００１２】前記搬送治具に、空気吸引孔を設けるのが
好ましい。

【００１３】また、他の製法として、ガラス基板の裏面
に金属箔を貼り付けた状態で、前記ガラス基板表面に液
晶表示素子を製造するための少なくとも１つの処理を施
すとともに搬送装置の少なくとも一部を金属箔に接触さ
せながらガラス基板の各処理工程間の搬送を行なっても
よい。

【００１４】また、さらに他の製法として、ガラス基板
の裏面に１０¹⁰Ω・ｃｍ以下の体積抵抗率の導電性フィ
ルムシートを貼り付けた状態で、前記ガラス基板表面に
液晶表示素子を製造するための少なくとも１つの処理を
施すとともに搬送装置の少なくとも一部をフィルムシー
トに接触させながらガラス基板の各処理工程間の搬送を
行なってもよい。

【００１５】本発明の液晶表示装置は、ガラス基板の裏
面に当接する、導電性の材料からなる搬送治具を有して
なることを特徴とするものである。

【００１６】前記搬送治具が金属製であるのが好まし
い。

【００１７】

【作用】本発明における液晶表示装置の製法では、導電
性の搬送治具にガラス基板を載せて処理したり、搬送す
ることにより、ガラス基板への静電気の帯電を抑制し、
薄膜トランジスタ素子の静電気による破壊または劣化を
防止し、しかも異物の吸着による欠陥の発生を防止す
る。

【００１８】

【実施例】以下、本発明の液晶表示装置の製法およびそ
の製造装置の実施例を図面を参照しながら説明する。

【００１９】［実施例１］図１は本発明の液晶表示装置
の製法の一実施例におけるガラス基板の搬送方法を示す
斜視説明図、図２は本発明の液晶表示装置の製法の一実
施例における搬送治具にガラス基板を載せた状態を示す
斜視説明図である。図２において、搬送治具３は、厚さ
１．１ｍｍ程度のガラス基板１と同程度の外形寸法であ
り、かつ厚さ０．５ｍｍ程度の金属板、たとえばステン
レス板またはアルミニウム板からなり、その上面にガラ
ス基板１を載せる構成になっている。なお、金属板の厚
さは、とくに限定されないが、通常０．１〜３．０ｍｍ
であり、このうち搬送治具の変形をなくし、重量を軽く
するために０．５〜１．０ｍｍであるのが好ましい。

【００２０】本実施例によれば、導電性の金属板からな
る搬送治具３にガラス基板１を載せて液晶表示装置の製
造のための処理を施し、そして、図１に示されるよう
に、搬送装置のローラ２に搬送治具３を接触させながら
ガラス基板２および搬送治具３を処理工程間の搬送を行
なうようにしたので、ローラ２と搬送治具３とのあいだ
で摩擦または剥離が生じるが、従来の製法と比較してガ
ラス基板１の静電気の帯電が非常に小さくなる。

【００２１】また、ガラス基板の熱処理工程において
は、ガラス基板１を載せた搬送治具３を温度制御用プレ
ートに吸着させ、その状態で熱処理を行なう。したがっ
てガラス基板と温度制御用プレートとは直接接触しない
ので、ガラス基板は温度制御用プレートから離脱すると
きに帯電しない。たとえば、従来の製法のように温度制
御用プレートに吸着させたガラス基板を離脱させたとき
に、ガラス基板に剥離帯電した静電気の電位は９ｋＶで
あったが、本実施例によれば測定感度（１０Ｖ）以下の
電位となった。

【００２２】前述のようにガラス基板への静電気の帯電
を制御することにより、ガラス基板上に形成した薄膜ト
ランジスタ素子の静電気による破壊または劣化を防止で
きる。また、静電気力による空気中に浮遊している異物
のガラス基板への吸着が少なくなり、この異物による薄
膜トランジスタのパターンの欠落または短絡などの欠陥
の発生を防止することができる。

【００２３】なお、本明細書において、「搬送治具」と
は、ガラス基板と製造装置とのあいだに介在する、導電
性の材料からなる部材を意味するものであり、本実施例
における板状物以外にも後述する金属箔やフィルムシー
トを含む、広い概念である。

【００２４】［実施例２］図３は本発明の液晶表示装置
の製法の他の実施例に用いられる搬送治具の斜視説明図
である。図３に示す実施例は、ガラス基板の外形寸法よ
り大きな寸法のステンレス板からなる搬送治具３の表面
に、ガラス基板の落下を防止するためのステンレスなど
からなる止め具４を設けたものである。止め具４は幅５
ｍｍ、厚さ０．５ｍｍの帯状のステンレス板を搬送治具
３の表面にコ字状に固着することにより形成される。止
め具の断面形状は、本実施例で示す以外の形状、たとえ
ば円形であってもよく、またその寸法もガラス基板の厚
さなどに合わせて適宜選定することができる。

【００２５】本実施例は、搬送中に搬送治具３からガラ
ス基板１の落下を防止することができるとともに、実施
例１と同様にガラス基板の帯電抑制の作用効果も奏しう
る。

【００２６】［実施例３］図４は本発明の液晶表示装置
の製法のさらに他の実施例に用いられる搬送治具の斜視
説明図である。図４において、ガラス基板の外形寸法と
同じ大きさのステンレス板などの金属板からなる搬送治
具３に、温度制御用プレートの空気吸引孔と同じ配置に
なるように空気吸引孔５を設けたものである。空気吸引
孔５の直径は、温度制御用プレートの空気吸引孔と同じ
になるように設定すればよい。

【００２７】本実施例では、搬送治具３が介在しても温
度制御用プレートとガラス基板との密着性がよくなり、
温度制御用プレートからガラス基板への熱伝導が向上
し、温度制御特性が向上する。それとともに、実施例１
と同様にガラス基板の帯電抑制の作用効果も奏しうる。

【００２８】なお、前述の実施例１〜３では、搬送治具
としてステンレス板などの金属板を例に説明したが、本
発明はこれに限定されるものではなく、たとえばＣＦＲ
Ｐ（炭素繊維強化プラスチック）などの導電性の材料で
搬送治具を作製すればよい。

【００２９】［実施例４］実施例１〜３においては導電
性の金属板を搬送治具として用いているが、この搬送治
具に代えて、ガラス基板の裏面に金属箔を貼りつけて、
ガラス基板の表面に液晶表示素子を製造してもよい。具
体的には、ガラス基板の裏面に厚さ０．０５ｍｍ程度の
アルミニウム箔を接着剤で貼りつけ、液晶表示装置の製
造処理工程ならびに搬送を行なう。液晶表示装置の製造
終了後、ガラス基板からアルミニウム箔ははがされる。
金属箔としては、アルミニウム箔以外にもアルミニウム
合金箔を用いることができる。また、その厚さは、通常
０．０４〜０．２ｍｍ程度であり、とくに０．０４〜
０．０８ｍｍ程度であるのが好ましい。

【００３０】本実施例の製法においても、実施例１と同
様にガラス基板の帯電抑制の作用効果を奏しうる。

【００３１】［実施例５］さらに、ガラス基板の裏面
に、たとえばアキレス（株）製のＳＴポリ導電性フィル
ムなどの導電性のフィルムシートを貼りつけ、ガラス基
板の表面に液晶表示素子を製造してもよい。具体的に
は、ガラス基板の裏面に厚さ０．０５ｍｍ程度、体積抵
抗率１０⁶〜１０¹⁰Ω・ｃｍ程度の導電性フィルムシー
トを接着剤で貼りつけ、液晶表示装置の製造処理工程な
らびに搬送を行なう。液晶表示装置の製造終了後、ガラ
ス基板から導電性フィルムシートははがされる。

【００３２】本実施例の製法においては、１０⁶〜１０
¹⁰Ω・ｃｍ程度の体積抵抗率のフィルムシートを採用す
ることにより、液晶表示装置の製造終了後にフィルムシ
ートをはがすときに発生する静電気の発生を抑制すると
ともに、実施例１と同様にガラス基板の帯電抑制の作用
効果も奏しうる。

【００３３】なお、本実施例では導電性フィルムシート
を１０⁶〜１０¹⁰Ω・ｃｍの体積抵抗率としたが、本発
明はこの範囲にとくに限定されるものではなく、１０¹⁰
Ω・ｃｍ以下であれば同様の効果を奏しうる。

【００３４】また、フィルムシートの厚さは、とくに限
定されるものではないが、通常０．０５〜１．０ｍｍで
あり、とくに０．０５〜０．１ｍｍ程度であるのが好ま
しい。

【００３５】［実施例６］前述の実施例３に示した搬送
治具を具備した液晶表示装置の製造装置の例として、た
とえば、実施例３に示したステンレス板などの金属板か
らなる搬送治具３を製造装置に内蔵し、製造装置のロー
ダ部およびアンローダ部にセットされたカセットからガ
ラス基板をロボットのアームで出し入れし、搬送治具３
にガラス基板を載せて製造装置内での搬送および処理工
程をできるように構成する。

【００３６】このばあい、搬送治具３は、実施例３に示
されるものに限定されるものではなく、製造装置内の搬
送工程または処理工程において、ガラス基板の裏面に当
接する、導電性の材料からなる搬送治具を用いれば、前
述のガラス基板の帯電抑制の作用効果を奏しうる。

【００３７】

【発明の効果】本発明は、以上説明したように構成され
ているので、以下に記載するような効果を奏する。

【００３８】絶縁性のガラス基板を導電性の搬送治具に
載せて製造の処理工程を施し、そして、処理工程間を搬
送することにより、ガラス基板への静電気の帯電を抑制
することができる。その結果、ガラス基板上に形成した
薄膜トランジスタ素子の静電気による破壊または劣化を
防止できる。また、静電気力による空気中に浮遊してい
る異物のガラス基板裏面への吸着が少なくなり、異物に
よる薄膜トランジスタ素子のパターンの欠落や短絡など
の欠陥の発生を防止できる。

【００３９】とくに、金属製の搬送治具を採用すれば、
好適にガラス基板への静電気の帯電を抑制することがで
きるとともに熱処理工程における温度制御用プレートか
らガラス基板への熱伝導もよい。

【００４０】また、搬送治具の上面に、ガラス基板の周
縁に当接する落下防止用の止め具を具備することによっ
てガラス基板の落下を防止することができる。

【００４１】また、前記搬送治具に、空気吸引孔を設け
ることによって、温度制御用プレートが搬送治具の空気
吸引を行なったとき搬送治具が介在しても温度制御用プ
レートとガラス基板との密着性がよくなり、温度制御用
プレートからガラス基板への熱伝導が向上し、温度特性
が向上する。

【００４２】また、ガラス基板の裏面に金属箔を貼り付
けた状態で、前記ガラス基板表面に液晶表示素子を製造
するための少なくとも１つの処理を施すとともに搬送装
置の少なくとも一部を金属箔に接触させながらガラス基
板の各処理工程間の搬送を行なってもガラス基板の帯電
抑制の作用効果を奏しうる。

【００４３】また、ガラス基板の裏面に１０¹⁰Ω・ｃｍ
以下の体積抵抗率の導電性フィルムシートを貼り付けた
状態で、前記ガラス基板表面に液晶表示素子を製造する
ための少なくとも１つの処理を施すとともに搬送装置の
少なくとも一部をフィルムシートに接触させながらガラ
ス基板の各処理工程間の搬送を行なってもガラス基板の
帯電抑制の作用効果を奏しうる。

【００４４】本発明の液晶表示装置の製造装置は、ガラ
ス基板の裏面に当接する、導電性の材料からなる搬送治
具を有してなることにより、絶縁性のガラス基板を導電
性の搬送治具に載せて製造の処理工程を施し、そして、
処理工程間を搬送することにより、ガラス基板への静電
気の帯電を抑制することができる。

【００４５】とくに、金属製の搬送治具を採用すれば、
好適にガラス基板への静電気の帯電を抑制することがで
きるとともに熱処理工程における温度制御用プレートか
らガラス基板への熱伝導もよい。

【図面の簡単な説明】

【図１】本発明の液晶表示装置の製法の一実施例にお
けるガラス基板の搬送方法を示す斜視説明図である。

【図２】本発明の液晶表示装置の製法の一実施例にお
ける搬送治具にガラス基板を載せた状態を示す斜視説明
図である。

【図３】本発明の液晶表示装置の製法の他の実施例に
用いられる搬送治具の斜視説明図である。

【図４】本発明の液晶表示装置の製法のさらに他の実
施例に用いられる搬送治具の斜視説明図である。

【図５】従来のガラス基板の搬送方法を示す概略斜視
図である。

【図６】従来のガラス基板の熱処理工程の状態を示す
斜視図である。

【図７】従来のガラス基板の熱処理工程におけるガラ
ス基板が離脱した状態を示す斜視図である。

【符号の説明】

１ガラス基板、２ローラ、３搬送治具、４止め
具、５空気吸引孔。

Claims

【特許請求の範囲】

【請求項１】導電性の搬送治具にガラス基板を載置し
た状態で、前記ガラス基板表面に液晶表示素子を製造す
るための少なくとも１つの処理を施すとともに搬送装置
の少なくとも一部を搬送治具に接触させながら搬送治具
およびガラス基板の各処理工程間の搬送を行なうことを
特徴とする液晶表示装置の製法。
【請求項２】前記搬送治具が金属製である請求項１記
載の製法。
【請求項３】前記搬送治具の上面に、ガラス基板の周
縁に当接する落下防止用の止め具を具備した請求項１記
載の液晶表示装置の製法。
【請求項４】前記搬送治具に、空気吸引孔を設けた請
求項１記載の液晶表示装置の製法。
【請求項５】ガラス基板の裏面に金属箔を貼り付けた
状態で、前記ガラス基板表面に液晶表示素子を製造する
ための少なくとも１つの処理を施すとともに搬送装置の
少なくとも一部を金属箔に接触させながらガラス基板の
各処理工程間の搬送を行なうことを特徴とする液晶表示
装置の製法。
【請求項６】ガラス基板の裏面に１０¹⁰Ω・ｃｍ以下
の体積抵抗率の導電性フィルムシートを貼り付けた状態
で、前記ガラス基板表面に液晶表示素子を製造するため
の少なくとも１つの処理を施すとともに搬送装置の少な
くとも一部をフィルムシートに接触させながらガラス基
板の各処理工程間の搬送を行なうことを特徴とする液晶
表示装置の製法。
【請求項７】ガラス基板の裏面に当接する、導電性の
材料からなる搬送治具を有してなることを特徴とする液
晶表示装置の製造装置。
【請求項８】前記搬送治具が金属製である請求項７記
載の製造装置。