JPH06250162A - 液晶表示素子の製造方法 - Google Patents
液晶表示素子の製造方法Info
- Publication number
- JPH06250162A JPH06250162A JP3627993A JP3627993A JPH06250162A JP H06250162 A JPH06250162 A JP H06250162A JP 3627993 A JP3627993 A JP 3627993A JP 3627993 A JP3627993 A JP 3627993A JP H06250162 A JPH06250162 A JP H06250162A
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- JP
- Japan
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- transparent conductive
- conductive thin
- ito
- glass substrate
- liquid crystal
- Prior art date
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- Pending
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- Details Of Measuring And Other Instruments (AREA)
- Liquid Crystal (AREA)
Abstract
(57)【要約】
【目的】 液晶表示素子の製造工程中における帯電を防
止することを目的とする。 【構成】 液晶表示素子に用いるガラス基板１,２両面
にＩＴＯ透明導電薄膜３，３’，４，４’の表面形成処
理を同時に行うことにより、製造工程中において帯電す
る静電気を接地した電極２０を接触させることにより放
電可能にする。
止することを目的とする。 【構成】 液晶表示素子に用いるガラス基板１,２両面
にＩＴＯ透明導電薄膜３，３’，４，４’の表面形成処
理を同時に行うことにより、製造工程中において帯電す
る静電気を接地した電極２０を接触させることにより放
電可能にする。
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明は、液晶表示素子に用いる
ガラス基板の帯電防止を図るための製造方法の改良に関
するものである。
ガラス基板の帯電防止を図るための製造方法の改良に関
するものである。
【０００２】
【従来の技術】従来より、液晶表示素子は図２に示すよ
うに、ガラス基板１，２それぞれにはＩＴＯ透明導電薄
膜３，４が形成されて、この２枚のガラス基板１，２を
直交配置させて単純マトリクスを構成し、そのうえに配
向膜５，６を形成してスペーサ７によって一定の間隔を
構成する空間に液晶８を封入しすると共に、周囲をシー
ル材９によってシールする。ガラス基板１，２の外表面
には偏光板１０，１１を形成して構成されている。
うに、ガラス基板１，２それぞれにはＩＴＯ透明導電薄
膜３，４が形成されて、この２枚のガラス基板１，２を
直交配置させて単純マトリクスを構成し、そのうえに配
向膜５，６を形成してスペーサ７によって一定の間隔を
構成する空間に液晶８を封入しすると共に、周囲をシー
ル材９によってシールする。ガラス基板１，２の外表面
には偏光板１０，１１を形成して構成されている。
【０００３】このような液晶表示素子の各ガラス基板
１，２を製造する過程においては、配向膜の印刷および
ラビングによる配向方向の処理工程、偏光板張り付け工
程、両ガラス基板の張り合わせ工程、偏光板保護フイル
ム剥離工程、駆動回路接続工程を必要としている。そし
て各工程の作業内容、および各工程におけるガラス基板
の移動，装置への吸着脱時等において、あるいは工程中
における摩擦要因及び移動，吸着脱時における摩擦要因
によって著しく大きな静電気を生じている。
１，２を製造する過程においては、配向膜の印刷および
ラビングによる配向方向の処理工程、偏光板張り付け工
程、両ガラス基板の張り合わせ工程、偏光板保護フイル
ム剥離工程、駆動回路接続工程を必要としている。そし
て各工程の作業内容、および各工程におけるガラス基板
の移動，装置への吸着脱時等において、あるいは工程中
における摩擦要因及び移動，吸着脱時における摩擦要因
によって著しく大きな静電気を生じている。
【０００４】このようにガラス基板に帯電が生じ、ＩＴ
Ｏ透明導電薄膜３，４間に電位差が生じた状態で液晶表
示装置が組み立てられ、その後両者に放電が生じると、
放電経路となったＩＴＯ透明導電薄膜３，４が焼損した
り、その上に位置する配向膜５，６及びスペーサ７の帯
電状態が局部的に変化し、液晶８のしきい値電圧が変動
する。その結果、放電経路となったＩＴＯ透明導電薄膜
３，４に沿っていわゆるライン状の点灯むらが生じ、表
示品位が著しく劣化してしまう。
Ｏ透明導電薄膜３，４間に電位差が生じた状態で液晶表
示装置が組み立てられ、その後両者に放電が生じると、
放電経路となったＩＴＯ透明導電薄膜３，４が焼損した
り、その上に位置する配向膜５，６及びスペーサ７の帯
電状態が局部的に変化し、液晶８のしきい値電圧が変動
する。その結果、放電経路となったＩＴＯ透明導電薄膜
３，４に沿っていわゆるライン状の点灯むらが生じ、表
示品位が著しく劣化してしまう。
【０００５】このように液晶表示素子に生じる静電気
は、製造装置や作業者への静電気対策及び温湿度管理の
徹底を図ることにより極力その発生を防止する努力が払
われているが、昨今の液晶表示素子のパネル面積の大型
化に伴い、完全に防止することはますます困難な状況と
なっている。
は、製造装置や作業者への静電気対策及び温湿度管理の
徹底を図ることにより極力その発生を防止する努力が払
われているが、昨今の液晶表示素子のパネル面積の大型
化に伴い、完全に防止することはますます困難な状況と
なっている。
【０００６】
【発明が解決しようとする課題】静電気の発生の防止を
図るためには特開昭６１−６７０２２号公報等に開示す
るように、ラビング製造装置等においてその加工作業中
にガラス基板両面を導電性液状物質によって導通状態と
し、これを接地した環境で作業を行い発生する静電気を
直ちに放電することにより、その帯電を防止する大掛か
りな手段が発明されている。
図るためには特開昭６１−６７０２２号公報等に開示す
るように、ラビング製造装置等においてその加工作業中
にガラス基板両面を導電性液状物質によって導通状態と
し、これを接地した環境で作業を行い発生する静電気を
直ちに放電することにより、その帯電を防止する大掛か
りな手段が発明されている。
【０００７】このような方法では製造時におけるコスト
が上昇すると共に、導電性液状物質を洗浄し除去するた
めの新たな工程が加わる欠点がある。
が上昇すると共に、導電性液状物質を洗浄し除去するた
めの新たな工程が加わる欠点がある。
【０００８】本発明は、上記のような大掛かりな手段を
必要とせず、簡単な構成で大きな帯電防止効果のある液
晶表示素子の製造方法を提供するものである。
必要とせず、簡単な構成で大きな帯電防止効果のある液
晶表示素子の製造方法を提供するものである。
【０００９】
【課題を解決するための手段】本発明は、液晶表示素子
に用いるガラス基板両面にＩＴＯ透明導電薄膜の表面形
成処理を同時に行い、これを接地することにより製造時
における帯電を防止する製造方法を提案するものであ
る。
に用いるガラス基板両面にＩＴＯ透明導電薄膜の表面形
成処理を同時に行い、これを接地することにより製造時
における帯電を防止する製造方法を提案するものであ
る。
【００１０】
【作用】本発明によれば、ガラス基板製造時当初におい
て両面にＩＴＯ透明導電薄膜を形成した状態で、各処理
工程を得て液晶表示素子が製造されるため、製造時及び
装置移動，吸着脱時における静電気の発生を、前記ＩＴ
Ｏ透明導電薄膜に任意に電極を接触し積極的に接地を行
わせしめることにより、簡単な構成で大きな静電気除去
効果が得られるものである。
て両面にＩＴＯ透明導電薄膜を形成した状態で、各処理
工程を得て液晶表示素子が製造されるため、製造時及び
装置移動，吸着脱時における静電気の発生を、前記ＩＴ
Ｏ透明導電薄膜に任意に電極を接触し積極的に接地を行
わせしめることにより、簡単な構成で大きな静電気除去
効果が得られるものである。
【００１１】
【実施例】以下、本発明の一実施例を示す。尚、従来と
同一部分には同一番号を付記している。図１（ａ）にお
いて１はガラス基板であり、片面にはパターン配線を形
成し同時にその背面には全面に蒸着又はスパッタリング
法によってＩＴＯ透明導電薄膜３,３'(あるいは図１
（ｂ）の４，４')を形成する。この形成には従来上下ガ
ラス基板を２枚重ねしてガラストレイに搭載し装置内に
搬送していたものを、本願では１枚のみをガラストレイ
に搭載して装置内に搬送することにより両面にＩＴＯ透
明導電薄膜を容易に実現できる。
同一部分には同一番号を付記している。図１（ａ）にお
いて１はガラス基板であり、片面にはパターン配線を形
成し同時にその背面には全面に蒸着又はスパッタリング
法によってＩＴＯ透明導電薄膜３,３'(あるいは図１
（ｂ）の４，４')を形成する。この形成には従来上下ガ
ラス基板を２枚重ねしてガラストレイに搭載し装置内に
搬送していたものを、本願では１枚のみをガラストレイ
に搭載して装置内に搬送することにより両面にＩＴＯ透
明導電薄膜を容易に実現できる。
【００１２】このガラス基板を用い、配向膜の印刷およ
びラビングによる配向方向の処理工程、偏光板張り付け
工程、両ガラス基板の張り合わせ工程、偏光板保護フイ
ルム剥離工程、駆動回路接続工程、および各工程間にお
けるガラス基板の移動，装置への吸着脱時等において前
記ＩＴＯ透明導電薄膜３,３'(あるいは４,４')に電極２
０を接触させ、該電極２０は予め接地しておくことによ
り、発生する静電気を直ちに放電することが可能とな
る。
びラビングによる配向方向の処理工程、偏光板張り付け
工程、両ガラス基板の張り合わせ工程、偏光板保護フイ
ルム剥離工程、駆動回路接続工程、および各工程間にお
けるガラス基板の移動，装置への吸着脱時等において前
記ＩＴＯ透明導電薄膜３,３'(あるいは４,４')に電極２
０を接触させ、該電極２０は予め接地しておくことによ
り、発生する静電気を直ちに放電することが可能とな
る。
【００１３】特に全面に形成した背面側のＩＴＯ透明導
電薄膜３'(あるいは４’)が図示しない導電性を有する
移動トレイに載置し、これを接地することにより常に接
地された状態で搬送することも可能になる。
電薄膜３'(あるいは４’)が図示しない導電性を有する
移動トレイに載置し、これを接地することにより常に接
地された状態で搬送することも可能になる。
【００１４】
【発明の効果】以上のように、本発明によれば液晶表示
素子に用いるガラス基板両面にＩＴＯ透明導電薄膜の表
面形成処理を同時に行うことにより、簡単に形成するこ
とができると共に、ガラス基板への各種処理工程及び搬
送，装置への吸脱着において発生する静電気が、ＩＴＯ
透明導電薄膜に帯電しても接地された電極を接触させる
ことによって放電させることができるため、簡単な構成
で絶大なる帯電防止効果を得ることができる。
素子に用いるガラス基板両面にＩＴＯ透明導電薄膜の表
面形成処理を同時に行うことにより、簡単に形成するこ
とができると共に、ガラス基板への各種処理工程及び搬
送，装置への吸脱着において発生する静電気が、ＩＴＯ
透明導電薄膜に帯電しても接地された電極を接触させる
ことによって放電させることができるため、簡単な構成
で絶大なる帯電防止効果を得ることができる。
【００１５】また、上記ＩＴＯ透明導電薄膜は透明であ
るために、液晶表示素子の製造後に必ずしも除去する必
要性がなく、表示素子の使用法によっては対シールド性
を高める等の構造物としても使用することができるもの
である。
るために、液晶表示素子の製造後に必ずしも除去する必
要性がなく、表示素子の使用法によっては対シールド性
を高める等の構造物としても使用することができるもの
である。
【図１】本発明による液晶表示素子の製造方法に用いる
ガラス基板を示した断面図。
ガラス基板を示した断面図。
【図２】従来の液晶表示素子の構造を示す断面図。
１，２ ガラス基板 ３，３’ ＩＴＯ透明導電薄膜 ４，４’ ＩＴＯ透明導電薄膜
Claims (1)
- 【請求項１】 液晶表示素子に用いるガラス基板両面に
ＩＴＯ透明導電薄膜の表面形成処理を同時に行うことを
特徴とする液晶表示素子の製造方法。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP3627993A JPH06250162A (ja) | 1993-02-25 | 1993-02-25 | 液晶表示素子の製造方法 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP3627993A JPH06250162A (ja) | 1993-02-25 | 1993-02-25 | 液晶表示素子の製造方法 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH06250162A true JPH06250162A (ja) | 1994-09-09 |
Family
ID=12465348
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP3627993A Pending JPH06250162A (ja) | 1993-02-25 | 1993-02-25 | 液晶表示素子の製造方法 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH06250162A (ja) |
Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH10160920A (ja) * | 1996-12-02 | 1998-06-19 | Dainippon Printing Co Ltd | カラーフィルタ及びその製造方法 |
| US7608304B2 (en) | 2005-03-08 | 2009-10-27 | Seiko Epson Corporation | Substrate carrying method and substrate carrying apparatus |
| WO2013024641A1 (ja) * | 2011-08-12 | 2013-02-21 | シャープ株式会社 | スパッタリング装置およびその成膜方法 |
-
1993
- 1993-02-25 JP JP3627993A patent/JPH06250162A/ja active Pending
Cited By (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH10160920A (ja) * | 1996-12-02 | 1998-06-19 | Dainippon Printing Co Ltd | カラーフィルタ及びその製造方法 |
| US7608304B2 (en) | 2005-03-08 | 2009-10-27 | Seiko Epson Corporation | Substrate carrying method and substrate carrying apparatus |
| WO2013024641A1 (ja) * | 2011-08-12 | 2013-02-21 | シャープ株式会社 | スパッタリング装置およびその成膜方法 |
| JP2013040365A (ja) * | 2011-08-12 | 2013-02-28 | Sharp Corp | スパッタリング装置およびその成膜方法 |
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