JPH07302749A - 多軸サンプリング制御装置 - Google Patents
多軸サンプリング制御装置Info
- Publication number
- JPH07302749A JPH07302749A JP6113414A JP11341494A JPH07302749A JP H07302749 A JPH07302749 A JP H07302749A JP 6113414 A JP6113414 A JP 6113414A JP 11341494 A JP11341494 A JP 11341494A JP H07302749 A JPH07302749 A JP H07302749A
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- Japan
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- control
- interrupt signal
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- axes
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- Feedback Control In General (AREA)
- Exposure And Positioning Against Photoresist Photosensitive Materials (AREA)
- Exposure Of Semiconductors, Excluding Electron Or Ion Beam Exposure (AREA)
Abstract
(57)【要約】
【目的】 多軸を制御する場合のサンプリングから指令
値出力までに要する時間を短縮し、もって制御特性を向
上させる。 【構成】 所定周期で割込み信号を発生する割込み信号
発生手段、および、前記各割り込み信号に応じて、少な
くとも２軸に関して制御される制御対象の各軸について
の目標値および制御量をサンプリングし制御演算を施し
て前記制御対象に指令信号を出力する制御処理を行う１
つのプロセッサを備えた多軸サンプリング制御装置にお
いて、プロセッサは前記制御処理を各軸毎に行い、かつ
その各制御処理を割込み信号が発生する毎に順次行うも
のであり、割込み信号発生手段は、各制御処理に要する
時間に応じた周期で割込み信号を発生させるものであ
る。
値出力までに要する時間を短縮し、もって制御特性を向
上させる。 【構成】 所定周期で割込み信号を発生する割込み信号
発生手段、および、前記各割り込み信号に応じて、少な
くとも２軸に関して制御される制御対象の各軸について
の目標値および制御量をサンプリングし制御演算を施し
て前記制御対象に指令信号を出力する制御処理を行う１
つのプロセッサを備えた多軸サンプリング制御装置にお
いて、プロセッサは前記制御処理を各軸毎に行い、かつ
その各制御処理を割込み信号が発生する毎に順次行うも
のであり、割込み信号発生手段は、各制御処理に要する
時間に応じた周期で割込み信号を発生させるものであ
る。
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】半導体焼き付け装置、工作機械の
ＸＹテーブル、ロボット等の多数の制御軸を持つ制御対
象を、マイクロプロセッサ、ディジタルシグナルプロセ
ッサ等を用いて制御する場合のサンプリング制御装置に
関するものである。
ＸＹテーブル、ロボット等の多数の制御軸を持つ制御対
象を、マイクロプロセッサ、ディジタルシグナルプロセ
ッサ等を用いて制御する場合のサンプリング制御装置に
関するものである。
【０００２】
【従来の技術】サンプリング制御装置は、プロセッサ内
部あるいは外部のタイマにより一定間隔の割込み信号を
発生させ、これに同期して制御演算を起動することによ
り、常に一定のサンプリング周期で制御を行うものであ
る。この装置では、各サンプリング期間においては、ま
ず、目標値や制御量（制御対象の位置や速度など）が読
み込まれ、次にこれらに基づき制御演算が行われ指令値
が決定される。最後にこの指令値が制御対象に対して出
力される。複数の軸を制御する場合でも、プロセッサの
数を増やすことはコストアップにつながるため、軸数が
増えてもできる限り１つのプロセッサで制御が行われ
る。
部あるいは外部のタイマにより一定間隔の割込み信号を
発生させ、これに同期して制御演算を起動することによ
り、常に一定のサンプリング周期で制御を行うものであ
る。この装置では、各サンプリング期間においては、ま
ず、目標値や制御量（制御対象の位置や速度など）が読
み込まれ、次にこれらに基づき制御演算が行われ指令値
が決定される。最後にこの指令値が制御対象に対して出
力される。複数の軸を制御する場合でも、プロセッサの
数を増やすことはコストアップにつながるため、軸数が
増えてもできる限り１つのプロセッサで制御が行われ
る。
【０００３】図５は従来例に係るサンプリング制御装置
のブロック図である。制御対象は例えばＸＹステージで
あり、Ｘ軸とＹ軸の２つの軸を持っており、これらを１
つのプロセッサ１により位置制御あるいは速度制御して
いる。３１、３２はそれぞれＸ軸、Ｙ軸用のドライバで
あり、プロセッサ１からの指令にしたがって、Ｘ軸のモ
ータ４１、Ｙ軸のモータ４２を駆動する。タイマ２は制
御演算の起動を指示する割込み信号を発生させる。
のブロック図である。制御対象は例えばＸＹステージで
あり、Ｘ軸とＹ軸の２つの軸を持っており、これらを１
つのプロセッサ１により位置制御あるいは速度制御して
いる。３１、３２はそれぞれＸ軸、Ｙ軸用のドライバで
あり、プロセッサ１からの指令にしたがって、Ｘ軸のモ
ータ４１、Ｙ軸のモータ４２を駆動する。タイマ２は制
御演算の起動を指示する割込み信号を発生させる。
【０００４】図６は、このような従来のサンプリング制
御装置におけるタイムチャートである。タイマ２が発生
するサンプリング周期Ｔの割込み信号に同期して、制御
演算が起動する。各制御演算が起動されると、まず、Ｘ
軸、Ｙ軸の目標値および制御量（制御対象の位置や速度
など）がプロセッサ１に読み込まれ、次にこれらに基づ
きＸ軸、Ｙ軸の制御演算が行われ、それぞれの指令値が
決定される。最後にこの指令値がそれぞれＸ軸、Ｙ軸に
対して出力される。入力から出力までの演算時間Ｔｘｙ
には、Ｘ軸とＹ軸の制御演算が含まれる。
御装置におけるタイムチャートである。タイマ２が発生
するサンプリング周期Ｔの割込み信号に同期して、制御
演算が起動する。各制御演算が起動されると、まず、Ｘ
軸、Ｙ軸の目標値および制御量（制御対象の位置や速度
など）がプロセッサ１に読み込まれ、次にこれらに基づ
きＸ軸、Ｙ軸の制御演算が行われ、それぞれの指令値が
決定される。最後にこの指令値がそれぞれＸ軸、Ｙ軸に
対して出力される。入力から出力までの演算時間Ｔｘｙ
には、Ｘ軸とＹ軸の制御演算が含まれる。
【０００５】
【発明が解決しようとする課題】このようなサンプリン
グ制御装置において、良好な制御性能を維持し、また制
御系を安定に保つためには、目標値などの入力から、指
令値の出力までにかかる演算遅れは短いほうがよい。こ
の演算遅れ時間は、制御特性としてはむだ時間要素とし
て働き、制御特性を悪化させ、さらには制御系を不安定
にしてしまうことさえある。
グ制御装置において、良好な制御性能を維持し、また制
御系を安定に保つためには、目標値などの入力から、指
令値の出力までにかかる演算遅れは短いほうがよい。こ
の演算遅れ時間は、制御特性としてはむだ時間要素とし
て働き、制御特性を悪化させ、さらには制御系を不安定
にしてしまうことさえある。
【０００６】しかしながら、従来例に示すように、ＸＹ
の２軸を制御する場合は、１軸の場合に比べ、約２倍の
演算時間がかかる。このため、サンプリング周期が２倍
になると同時に、入力から出力までの演算遅れも２倍か
かってしまうことになる。むだ時間による制御特性の悪
化が生じ、さらには制御系の不安定化の懸念が生じる。
より多くの軸数を制御する場合には、さらに演算にかか
る時間が増加し、入力から出力までの演算遅れが増加す
る。
の２軸を制御する場合は、１軸の場合に比べ、約２倍の
演算時間がかかる。このため、サンプリング周期が２倍
になると同時に、入力から出力までの演算遅れも２倍か
かってしまうことになる。むだ時間による制御特性の悪
化が生じ、さらには制御系の不安定化の懸念が生じる。
より多くの軸数を制御する場合には、さらに演算にかか
る時間が増加し、入力から出力までの演算遅れが増加す
る。
【０００７】本発明の目的は、このような従来技術の問
題点に鑑み、サンプリング制御装置において、多軸を制
御する場合のサンプリングから指令値出力までに要する
時間を短縮し、もって制御特性を向上させることにあ
る。
題点に鑑み、サンプリング制御装置において、多軸を制
御する場合のサンプリングから指令値出力までに要する
時間を短縮し、もって制御特性を向上させることにあ
る。
【０００８】
【課題を解決するための手段】この目的を達成するため
本発明では、所定周期で割込み信号を発生する割込み信
号発生手段、および、前記各割り込み信号に応じて、少
なくとも２軸に関して制御される制御対象の各軸につい
ての目標値および制御量をサンプリングし制御演算を施
して前記制御対象に指令信号を出力する制御処理を行う
１つのプロセッサを備えた多軸サンプリング制御装置に
おいて、プロセッサは前記制御処理を各軸毎に行い、か
つその各制御処理を割込み信号が発生する毎に順次行う
ものであり、割込み信号発生手段は、各制御処理に要す
る時間に応じた周期で割込み信号を発生させるものであ
ることを特徴とする。
本発明では、所定周期で割込み信号を発生する割込み信
号発生手段、および、前記各割り込み信号に応じて、少
なくとも２軸に関して制御される制御対象の各軸につい
ての目標値および制御量をサンプリングし制御演算を施
して前記制御対象に指令信号を出力する制御処理を行う
１つのプロセッサを備えた多軸サンプリング制御装置に
おいて、プロセッサは前記制御処理を各軸毎に行い、か
つその各制御処理を割込み信号が発生する毎に順次行う
ものであり、割込み信号発生手段は、各制御処理に要す
る時間に応じた周期で割込み信号を発生させるものであ
ることを特徴とする。
【０００９】割込み信号発生手段は、例えば、前記軸数
と同数のタイマを有し、各タイマはそれぞれ各軸につい
ての前記制御処理のための割り込み信号を発生するもの
である。
と同数のタイマを有し、各タイマはそれぞれ各軸につい
ての前記制御処理のための割り込み信号を発生するもの
である。
【００１０】
【作用】これによれば、各軸毎の割込み信号が発生し、
それに同期して、各軸毎に目標値、制御量のサンプリン
グ、および制御演算、指令値の出力が行なわれる。した
がって、軸数が多くても１つの割込み信号により起動さ
れる制御演算では１軸分の演算を行えばよいため、サン
プリングから出力までの演算量は１軸のみを制御する装
置の場合とほとんど変わらない。したがって、サンプリ
ングから指令値出力までの演算遅れも、軸数によらずほ
ぼ一定となり、多軸を制御する場合でも制御特性の悪化
が最小限に抑えられる。
それに同期して、各軸毎に目標値、制御量のサンプリン
グ、および制御演算、指令値の出力が行なわれる。した
がって、軸数が多くても１つの割込み信号により起動さ
れる制御演算では１軸分の演算を行えばよいため、サン
プリングから出力までの演算量は１軸のみを制御する装
置の場合とほとんど変わらない。したがって、サンプリ
ングから指令値出力までの演算遅れも、軸数によらずほ
ぼ一定となり、多軸を制御する場合でも制御特性の悪化
が最小限に抑えられる。
【００１１】
【実施例】図１は、本発明の第１の実施例に係るサンプ
リング制御装置のブロック図である。この装置の制御対
象は例えばＸＹステージであり、このＸＹステージはＸ
軸とＹ軸の２つの制御軸を持っており、この装置はこれ
らの軸について１つのプロセッサ１によりＸＹステージ
の位置制御あるいは速度制御を行うものである。図中、
３１、３２はそれぞれＸ軸、Ｙ軸用のドライバであり、
プロセッサ１からの指令にしたがって、Ｘ軸のモータ４
１、Ｙ軸のモータ４２を駆動する。タイマ２１はＸ軸の
制御演算の起動を指示する割込み信号Ｉｘを発生させ
る。同様に、タイマ２２はＹ軸の制御演算の起動を指示
する割込み信号Ｉｙを発生させる。
リング制御装置のブロック図である。この装置の制御対
象は例えばＸＹステージであり、このＸＹステージはＸ
軸とＹ軸の２つの制御軸を持っており、この装置はこれ
らの軸について１つのプロセッサ１によりＸＹステージ
の位置制御あるいは速度制御を行うものである。図中、
３１、３２はそれぞれＸ軸、Ｙ軸用のドライバであり、
プロセッサ１からの指令にしたがって、Ｘ軸のモータ４
１、Ｙ軸のモータ４２を駆動する。タイマ２１はＸ軸の
制御演算の起動を指示する割込み信号Ｉｘを発生させ
る。同様に、タイマ２２はＹ軸の制御演算の起動を指示
する割込み信号Ｉｙを発生させる。
【００１２】図２はこの装置におけるタイムチャートで
ある。タイマ２１は、サンプリング間隔Ｔで割込み信号
Ｉｘを発生させる。タイマ２２も同じくサンプリング間
隔Ｔで割込み信号Ｉｙを発生させる。割込み信号Ｉｘと
ＩｙはΔＴだけずれて発生する。このとき、Ｘ軸、Ｙ軸
ともにサンプリング間隔はＴであるが、Ｘ軸に割り当て
られた演算時間はΔＴ、Ｙ軸に割り当てられた演算時間
はＴ−ΔＴとなる。Ｘ軸とＹ軸の演算量がほぼ同じであ
ればΔＴはＴ／２とし、Ｘ軸とＹ軸に同じ演算時間を割
り当てるようにする。このときＸ軸、Ｙ軸ともにサンプ
リング間隔はＴであるが、割り当てられた演算時間はＴ
／２となる。Ｘ軸、Ｙ軸の制御演算はそれぞれ割込み信
号Ｉｘ、Ｉｙによって起動する。
ある。タイマ２１は、サンプリング間隔Ｔで割込み信号
Ｉｘを発生させる。タイマ２２も同じくサンプリング間
隔Ｔで割込み信号Ｉｙを発生させる。割込み信号Ｉｘと
ＩｙはΔＴだけずれて発生する。このとき、Ｘ軸、Ｙ軸
ともにサンプリング間隔はＴであるが、Ｘ軸に割り当て
られた演算時間はΔＴ、Ｙ軸に割り当てられた演算時間
はＴ−ΔＴとなる。Ｘ軸とＹ軸の演算量がほぼ同じであ
ればΔＴはＴ／２とし、Ｘ軸とＹ軸に同じ演算時間を割
り当てるようにする。このときＸ軸、Ｙ軸ともにサンプ
リング間隔はＴであるが、割り当てられた演算時間はＴ
／２となる。Ｘ軸、Ｙ軸の制御演算はそれぞれ割込み信
号Ｉｘ、Ｉｙによって起動する。
【００１３】制御演算が起動すると、まず、目標値や制
御量などのデータがプロセッサ１に読み込まれ、それら
をもとにプロセッサ１において指令値が計算され、最後
にこの指令値がアクチュエータ（ドライバ３１または３
２）に対して出力される。２軸に要する全体の演算量は
従来例の場合とほぼ等しくなるため、サンプリング周期
Ｔも従来例とほぼ等しくなるが、各軸の演算時間Ｔｘ、
Ｔｙの間には、その１軸分の指令値のみを計算すればよ
い。すなわち、従来例におけるＸ軸、Ｙ軸の演算時間Ｔ
ｘｙに対し、Ｔｘｙ≒Ｔｘ＋Ｔｙであり、各演算時間Ｔ
ｘ、Ｔｙは従来の演算時間Ｔｘｙのほぼ半分である。し
たがって、目標値や制御量などのサンプリングから指令
値の出力までの演算遅れによる制御特性の悪化や制御系
の安定性の悪化を最小限に抑えることが可能となる。
御量などのデータがプロセッサ１に読み込まれ、それら
をもとにプロセッサ１において指令値が計算され、最後
にこの指令値がアクチュエータ（ドライバ３１または３
２）に対して出力される。２軸に要する全体の演算量は
従来例の場合とほぼ等しくなるため、サンプリング周期
Ｔも従来例とほぼ等しくなるが、各軸の演算時間Ｔｘ、
Ｔｙの間には、その１軸分の指令値のみを計算すればよ
い。すなわち、従来例におけるＸ軸、Ｙ軸の演算時間Ｔ
ｘｙに対し、Ｔｘｙ≒Ｔｘ＋Ｔｙであり、各演算時間Ｔ
ｘ、Ｔｙは従来の演算時間Ｔｘｙのほぼ半分である。し
たがって、目標値や制御量などのサンプリングから指令
値の出力までの演算遅れによる制御特性の悪化や制御系
の安定性の悪化を最小限に抑えることが可能となる。
【００１４】軸数が３軸以上の場合でも、軸数と同じ数
のタイマを用意し、それぞれに割込み信号を発生させ、
各割込みに対して１軸分の制御演算をすればよい。この
ため軸数によらず演算遅れはほぼ一定となり、多数の軸
を１つのプロセッサで制御する場合でも、演算遅れによ
る制御特性の悪化や安定性の悪化を最小限に抑えること
が可能である。
のタイマを用意し、それぞれに割込み信号を発生させ、
各割込みに対して１軸分の制御演算をすればよい。この
ため軸数によらず演算遅れはほぼ一定となり、多数の軸
を１つのプロセッサで制御する場合でも、演算遅れによ
る制御特性の悪化や安定性の悪化を最小限に抑えること
が可能である。
【００１５】図３は、本発明の第２の実施例に係るサン
プリング制御装置のブロック図であり、図４はこの装置
におけるタイムチャートである。Ｘ軸用とＹ軸用の割込
み信号を１つのタイマ２により発生させている点が、第
１の実施例の場合と異なる。第１の実施例において、割
込み信号ＩｘとＩｙがＴ／２だけずれて発生している場
合、すべての割込み信号はＴ／２の間隔で発生してい
る。そこで、１つのタイマ２にＴ／２間隔で割込み信号
を発生させ、Ｘ軸とＹ軸の制御演算を１回おきに起動す
るようにすれば、タイマを軸数分付加することなく、第
１の実施例と同じ効果を得ることが可能となる。このと
き、割込み信号の発生周期はＴ／２となるが、各軸のサ
ンプリング周期はＴとなる。
プリング制御装置のブロック図であり、図４はこの装置
におけるタイムチャートである。Ｘ軸用とＹ軸用の割込
み信号を１つのタイマ２により発生させている点が、第
１の実施例の場合と異なる。第１の実施例において、割
込み信号ＩｘとＩｙがＴ／２だけずれて発生している場
合、すべての割込み信号はＴ／２の間隔で発生してい
る。そこで、１つのタイマ２にＴ／２間隔で割込み信号
を発生させ、Ｘ軸とＹ軸の制御演算を１回おきに起動す
るようにすれば、タイマを軸数分付加することなく、第
１の実施例と同じ効果を得ることが可能となる。このと
き、割込み信号の発生周期はＴ／２となるが、各軸のサ
ンプリング周期はＴとなる。
【００１６】軸数が３軸以上の場合でも、それぞれの軸
の演算時間がほぼ同じであれば、１つのタイマによって
各軸の制御演算に対する割込み信号を発生させ、各軸の
制御演算を順次起動することによって、タイマを軸数分
付加することなく、第１の実施例の場合と同じ効果を得
ることが可能となる。
の演算時間がほぼ同じであれば、１つのタイマによって
各軸の制御演算に対する割込み信号を発生させ、各軸の
制御演算を順次起動することによって、タイマを軸数分
付加することなく、第１の実施例の場合と同じ効果を得
ることが可能となる。
【００１７】
【発明の効果】以上説明したように、本発明によれば、
軸数が多くても１つの割込み信号により起動される各制
御演算では１軸分の演算を行えばよく、各制御処理に要
する時間は１軸のみを制御する装置の場合とほとんど変
わらないため、各制御処理に要する時間を、サンプリン
グから出力までの演算を全軸について一括して行う従来
例に比べ、短縮することができる。すなわち、サンプリ
ングから指令値出力までの演算遅れは、軸数によらずほ
ぼ一定となり、多軸を制御する場合でも制御特性の悪化
を最小限に抑えることができる。
軸数が多くても１つの割込み信号により起動される各制
御演算では１軸分の演算を行えばよく、各制御処理に要
する時間は１軸のみを制御する装置の場合とほとんど変
わらないため、各制御処理に要する時間を、サンプリン
グから出力までの演算を全軸について一括して行う従来
例に比べ、短縮することができる。すなわち、サンプリ
ングから指令値出力までの演算遅れは、軸数によらずほ
ぼ一定となり、多軸を制御する場合でも制御特性の悪化
を最小限に抑えることができる。
【図１】 本発明の第１の実施例に係るサンプリング制
御装置のブロック図である。
御装置のブロック図である。
【図２】 図１の装置におけるタイムチャートである。
【図３】 本発明の第２の実施例に係るサンプリング制
御装置のブロック図である。
御装置のブロック図である。
【図４】 図３の装置におけるタイムチャートである。
【図５】 従来例に係るサンプリング制御装置のブロッ
ク図である。
ク図である。
【図６】 従来例に係るサンプリング制御装置のタイム
チャートである。
チャートである。
１：プロセッサ、２：タイマ、２１：Ｘ軸のタイマ、２
２：Ｙ軸のタイマ、３１：Ｘ軸のドライバ、３２：Ｙ軸
のドライバ、４１：Ｘ軸のモータ、４２：Ｙ軸のモー
タ、Ｉ：割込み信号、Ｉｘ：Ｘ軸の割込み信号、Ｉｙ：
Ｙ軸の割込み信号、Ｔ：サンプリング周期、ΔＴ：Ｘ軸
とＹ軸の割込み信号のずれ時間、Ｔｘ：Ｘ軸の制御演算
時間、Ｔｙ：Ｙ軸の制御演算時間、Ｔｘｙ：Ｘ軸とＹ軸
の制御演算時間。
２：Ｙ軸のタイマ、３１：Ｘ軸のドライバ、３２：Ｙ軸
のドライバ、４１：Ｘ軸のモータ、４２：Ｙ軸のモー
タ、Ｉ：割込み信号、Ｉｘ：Ｘ軸の割込み信号、Ｉｙ：
Ｙ軸の割込み信号、Ｔ：サンプリング周期、ΔＴ：Ｘ軸
とＹ軸の割込み信号のずれ時間、Ｔｘ：Ｘ軸の制御演算
時間、Ｔｙ：Ｙ軸の制御演算時間、Ｔｘｙ：Ｘ軸とＹ軸
の制御演算時間。
Claims (2)
- 【請求項１】 所定周期で割込み信号を発生する割込み
信号発生手段、および、前記各割り込み信号に応じて、
少なくとも２軸に関して制御される制御対象の各軸につ
いての目標値および制御量をサンプリングし制御演算を
施して前記制御対象に指令信号を出力する制御処理を行
う１つのプロセッサを備えた多軸サンプリング制御装置
において、プロセッサは前記制御処理を各軸毎に行い、
かつその各制御処理を割込み信号が発生する毎に順次行
うものであり、割込み信号発生手段は、各制御処理に要
する時間に応じた周期で割込み信号を発生させるもので
あることを特徴とする多軸サンプリング制御装置。 - 【請求項２】 割込み信号発生手段は、前記軸数と同数
のタイマを有し、各タイマはそれぞれ各軸についての前
記制御処理のための割り込み信号を発生するものである
ことを特徴とする請求項１記載の多軸サンプリング制御
装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP6113414A JPH07302749A (ja) | 1994-05-02 | 1994-05-02 | 多軸サンプリング制御装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP6113414A JPH07302749A (ja) | 1994-05-02 | 1994-05-02 | 多軸サンプリング制御装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH07302749A true JPH07302749A (ja) | 1995-11-14 |
Family
ID=14611660
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP6113414A Pending JPH07302749A (ja) | 1994-05-02 | 1994-05-02 | 多軸サンプリング制御装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH07302749A (ja) |
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2002186288A (ja) * | 2000-12-11 | 2002-06-28 | Yamaha Motor Co Ltd | 複数のサーボモータの制御方法及び同装置 |
| US8026678B2 (en) | 2007-03-30 | 2011-09-27 | Brother Kogyo Kabushiki Kaisha | Motor control device |
-
1994
- 1994-05-02 JP JP6113414A patent/JPH07302749A/ja active Pending
Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2002186288A (ja) * | 2000-12-11 | 2002-06-28 | Yamaha Motor Co Ltd | 複数のサーボモータの制御方法及び同装置 |
| JP4641097B2 (ja) * | 2000-12-11 | 2011-03-02 | ヤマハ発動機株式会社 | 表面実装機 |
| US8026678B2 (en) | 2007-03-30 | 2011-09-27 | Brother Kogyo Kabushiki Kaisha | Motor control device |
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