JPH07287954A - 磁気ヘッド、磁気記録再生装置及び磁気ヘッド製造方法 - Google Patents

磁気ヘッド、磁気記録再生装置及び磁気ヘッド製造方法

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JPH07287954A
JPH07287954A JP6077031A JP7703194A JPH07287954A JP H07287954 A JPH07287954 A JP H07287954A JP 6077031 A JP6077031 A JP 6077031A JP 7703194 A JP7703194 A JP 7703194A JP H07287954 A JPH07287954 A JP H07287954A
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Abstract

(57)【要約】 【目的】新規な形状の空気ベアリング面を有する磁気ヘ
ッドを提供する。 【構成】スライダ１は、レール部１０１、１０２の媒体
対向面側に空気ベアリング面１０３と、凹部１０４、１
０５とを有する。凹部１０４、１０５は空気ベアリング
面１０３の幅方向の両端縁に、空気ベアリング面１０３
との間に段差ｄを有して長さ方向Ｌに沿って設けられ、
かつ、長さ方向Ｌの両端の外側に、空気ベアリング面１
０３が残るように、空気ベアリング面１０３よりも短く
形成されている。長さ方向の両端の外側に残った空気ベ
アリング面１０３の長さＬ１、Ｌ２は、スライダ全長Ｌ
０に対する比が３％以下である。

Description

【発明の詳細な説明】
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明は、磁気ヘッド、この磁気
ヘッドを組み込んだ磁気記録再生装置及び磁気ヘッド製
造方法に関し、更に詳しくは、空気ベアリング面がある
形状を有するように加工された磁気ヘッドに係る。
【０００２】
【従来の技術】ロータリ・アクチュエータ方式磁気記録
再生装置において、磁気ヘッドのスキュー角依存性を小
さくし、磁気ディスクの内周から外周にかけて、浮上量
を一定化するとともに、浮上姿勢を安定化する技術は、
浮上量を低下させてスペーシングロスを減少させる必要
のある高密度記録において、信頼性を高める上に極めて
重要である。微小浮上量では、磁気記録の読み出しまた
は書き込み時に磁気ヘッドの浮上量がごく僅か変動した
だけで、磁気ヘッドが磁気ディスクに容易に衝突し、磁
気ディスク上のデータを破壊する等の問題を引き起こす
からである。
【０００３】また、磁気ディスクの内周から外周にかけ
て、浮上量を一定化するとともに、浮上姿勢を安定化す
る技術は、ゾーンビット記録技術を使用し、それによっ
て高容量磁気ディスク．ドライブを実現するために必須
の技術でもある。ゾーンビット記録技術は、例えば、特
開平４ー３０３２８号公報、米国特許第４，８９４，７
３４号明細書及び、米国特許第５，０８７，９９２号明
細書に記載されている。
【０００４】上述のような要求に応える一つの手段とし
て、空気ベアリング面に特有の形状を付与した磁気ヘッ
ドが種々提案されている。例えば、特開昭６０ー１０１
７８１号公報はスライダーレールの長手方向中央部のレ
ール幅を、その両端のレール幅よりも狭くすることによ
り、スキュー角依存性を少なくした磁気ヘッド用スライ
ダを開示している。
【０００５】特開平４ー３５６７６５号公報は、レール
部の表面に内側エッジ及び外側エッジを備えた空気ベア
リング面を形成し、内側エッジ及び外側エッジをスライ
ダの先端エッジから変曲点に向かって収斂させ、変曲点
からスライダの後端エッジに向かって発散させることに
より、スキュー角に対する浮上特性の変動を抑えるよう
にした磁気ヘッドを開示している。
【０００６】特開平２ー２４６０６７号公報は、空気流
入端から、流出端側に向かってレール幅が狭くなるよう
に形成した磁気ディスク装置用スライダを開示してい
る。
【０００７】また、上述した先行技術とは別の技術とし
て、ＴＰＣ（ＴｒａｎｓｖｅｒｓｅＰｒｅｓｓｕｒｉｚ
ａｔｉｏｎ Ｃｏｎｔｏｕｒ 横方向加圧形状）型スラ
イダが知られている。ＴＰＣ型スライダは特開昭６１ー
２７８０８７号公報、実開昭５７ー１２２０６３号（実
願昭５６ー５８１８号）、米国特許第４，６７３，９９
６号明細書、米国特許第４、８７０、５１９号明細書等
に開示されている。ＴＰＣ型スライダは、レール部の側
部に、その全長にわたって、微小な凹部を設けたもの
で、ロータリ・アクチュエータ方式磁気記録再生装置に
組み込んだ場合、スキュー角の大きい位置において、横
方向から流入する空気流により、凹部に揚力動圧を発生
させ、これによってスキュー角の大きい位置での浮上量
低下を防ぎ、磁気ディスクの内周から外周にかけて一定
の浮上量を確保すると共に、浮上姿勢を安定化できるよ
うにしたものである。
【０００８】
【発明が解決しようとする課題】上述した従来の技術
は、レール部の全長にわたって加工を施して空気ベアリ
ング面に所望の形状を付与する。この場合の形状付与
は、微細加工によって行なう必要があり、例えばイオン
ミリング等のドライエッチング等が採用される。このた
め、レール部の全長にわたって加工を施す必要のある従
来技術において、ドライエッチングに必要なマスクの開
口部は、レール部の全長より長くせざるを得ず、必然的
に、ドライエッチングによってスライダから生じた微粒
子が、スライダの両側面に再付着する。スライダに対す
る再付着物の付着力は低い。このため、磁気記録再生装
置において磁気ヘッドを使用している時に、磁気ヘッド
の側面に付着している付着物が磁気ディスクと磁気ヘッ
ドとの間の微小浮上隙間に介在し、磁気ディスクに回復
不可能なダメージを与えることがある。
【０００９】しかも、スライダの長さ方向の一端側に
は、磁気変換素子のための取り出し電極（バンプ）が設
けられている。取り出し電極は、硬質のセラミック構造
体でなるスライダと異なって、軟質の金属材料、例え
ば、金によって構成されている。このため、取り出し電
極がスライダよりも過分にドライエッチングされてしま
い、取り出し電極の表面がスライダの表面から落ち込む
結果となる。これは、取り出し電極に対するするリード
線接続作業を困難にする。
【００１０】更に、空気ベアリング面及び凹部の面積比
や凹部の深さ等が浮上量の一定化及び浮上姿勢の安定化
に密接に関与し、その最適値が存在する。しかし、上述
した公知文献には、このような最適値は開示されていな
い。
【００１１】本発明の課題は、新規な形状の空気ベアリ
ング面を有する磁気ヘッド及びこれを用いた磁気記録再
生装置を提供することである。
【００１２】本発明のもう一つの課題は、浮上量の一定
化及び浮上姿勢の安定化のためにとり得るパラメータを
増やし、広いスキュー角の範囲で、浮上量を一定化でき
ると共に、浮上姿勢を安定化できる新規な磁気ヘッド及
びこれを用いた磁気記録再生装置を提供することであ
る。
【００１３】本発明のもう一つの課題は、磁気ディスク
または磁気ヘッドに対し磁気ヘッド付着物によるダメー
ジを与えることのない磁気ヘッド及び磁気記録再生装置
を提供することである。
【００１４】本発明のもう一つの課題は、磁気変換素子
のための取り出し電極の表面がスライダの表面から落ち
込むことのない磁気ヘッド及び磁気記録再生装置を提供
することである。
【００１５】本発明のもう一つの課題は、ゾーンビット
記録技術を使用し、それによって高容量磁気ディスク．
ドライブを実現するのに好適な磁気ヘッド及び磁気記録
再生装置を提供することである。
【００１６】本発明のもう一つの課題は、浮上量を低下
させてスペーシングロスを減少させる必要のある高密度
記録において、信頼性を高める上に極めて有効な磁気ヘ
ッド及び磁気記録再生装置を提供することである。
【００１７】本発明のもう一つの課題は、最大スキュー
角が大きくとも、浮上量の一定化及び浮上姿勢の安定化
が達成できる小型のロータリ・アクチュエータ方式磁気
記録再生装置を提供することである。
【００１８】本発明のもう一つの課題は、上述した磁気
ヘッドを製造するのに好適な製造方法を提供することで
ある。
【００１９】
【課題を解決するための手段】上述した課題解決のた
め、本発明に係る磁気ヘッドは、スライダと、磁気変換
素子とを含んでいる。前記スライダは、前記媒体対向面
に長さ方向及び幅方向を仮想したとき、媒体対向面側に
長さ方向に延びる少なくとも１つのレール部を有し、前
記レール部が空気ベアリング面から落ち込む凹部を有し
ている。前記凹部は、長さ方向の両端の外側に、前記空
気ベアリング面が残るように、前記空気ベアリング面よ
りも短く形成されている。長さ方向の両端の外側に残っ
た前記空気ベアリング面の長さが、前記スライダ全長に
対する比が３％以下に選定されている。前記磁気変換素
子は前記スライダの長さ方向の一端側に位置する側面で
あって、前記レール部の延長上に設けられている。
【００２０】本発明に係る磁気記録再生装置は、磁気デ
ィスクと、磁気ヘッドと、ヘッド支持装置と、位置決め
装置とを含んでいる。前記磁気ディスクは回転駆動され
るものであり、前記磁気ヘッドは上述した本発明に係る
磁気ヘッドである。前記ヘッド支持装置は、一端側で前
記磁気ヘッドを支持しており、前記位置決め装置は、前
記ヘッド支持装置の他端側を支持し前記磁気ヘッドを前
記磁気ディスクの面上で所定角度で面回転させる。
【００２１】本発明に係る製造方法は、上記した磁気ヘ
ッドの製造に当たり、 次の複数の工程を含む。第１の
工程は、磁気ヘッド集合体を支持体上に配置する工程で
あって、前記磁気ヘッド集合体は、複数の磁気ヘッド要
素を一方向に配列して構成されると共に、前記磁気ヘッ
ド要素の媒体対向面となるべき面を表にして支持体上に
配置されており、前記磁気ヘッド要素のそれぞれは、前
記配列方向を長さ方向としたとき、幅方向の一端側に磁
気変換素子が位置するように配列されている。
【００２２】第２の工程は、第１の工程によって配置さ
れた前記磁気ヘッド集合体の表面上にマスクを配置する
工程であって、前記マスクは少なくとも前記第１の凹部
及び第２の凹部に対応する部分に開口部を有し、前記開
口部が前記磁気ヘッド集合体の前記表面の面内でのみ開
口する大きさ及び位置決めがなされている。
【００２３】第３の工程は、第２の工程後、前記開口部
を通して、前記磁気ヘッド集合体の表面に、前記第１の
凹部及び前記第２の凹部のためのドライエッチングを施
す工程である。
【００２４】第４の工程は、第３の工程後、前記第１の
凹部及び第２の凹部を形成するための部分を残し、磁気
ヘッドに必要な加工を施す工程を含む。
【００２５】好ましくは、前記第１の工程は、複数の磁
気ヘッド集合体を、平行に配置する工程を含み、前記第
２の工程は、前記複数の磁気ヘッド集合体に対し、共通
のマスクを配置する工程を含む。
【００２６】本発明は、空気ベアリング面の微細加工技
術として既に述べた先行技術に広く適用できる。
【００２７】
【作用】スライダは媒体対向面側に長さ方向に延びる少
なくとも１つのレール部を有しており、レール部が媒体
対向面側に空気ベアリング面を有しており、空気ベアリ
ング面は長さ方向の全長にわたって形成されており、磁
気変換素子はスライダの長さ方向の一端側に位置する側
面であって、レール部の延長上に設けられているから、
磁気記録再生装置として用いた場合に、レール部により
浮上特性を安定化すると共に、磁気ディスクと空気ベア
リング面との間に揚力動圧を発生させ、磁気変換素子と
磁気ディスクとの間で磁気記録の書き込みまたは読み出
しを行う磁気ヘッドが実現できる。
【００２８】レール部は空気ベアリング面から落ち込む
凹部を有しているから、凹部の形状選択による浮上特性
の制御が可能である。例えば、特開昭６０ー１０１７８
１号公報、特開平４ー３５６７６５号公報または特開平
２ー２４６０６７号公報に開示される如く、空気流入端
から、流出端側に向かってレール幅が狭くなるように、
凹部を形成し、磁気ヘッドのスキュー角依存性を少なく
することができるし、特開昭６１ー２７８０８７号公
報、実開昭５７ー１２２０６３号（実願昭５６ー５８１
８号）、米国特許第４，６７３，９９６号明細書、米国
特許第４、８７０、５１９号明細書等に開示されている
ＴＰＣ型磁気ヘッドを得ることもできる。
【００２９】これらの先行技術と差別する本願発明の重
要な特徴は、凹部が、長さ方向の両端の外側に、空気ベ
アリング面が残るように、空気ベアリング面よりも短く
形成されていることである。この新規な構造を持つ磁気
ヘッドは、長さ方向の両端の外側に残った空気ベアリン
グ面の長さをコントロールすることにより、浮上量及び
浮上姿勢等の浮上特性を制御することができる。このた
め、浮上特性制御のためにとり得るパラメータが増え、
より一層広いスキュー角の範囲で、浮上量を一定化でき
ると共に、浮上姿勢を安定化できる新規な磁気ヘッドを
得ることができる。
【００３０】しかも、スライダの媒体対向面に、凹部形
成に必要な開口部を有するマスクを配置し、開口部を通
して、ミリング等によるドライエッチングを施すことに
よって凹部を形成する場合、ドライエッチングに必要な
マスクの開口部を、レール部の全長より少し短くでき
る。このため、ドライエッチングによってスライダから
生じた微粒子が、スライダの両側面に再付着することが
なくなる。従って、磁気ディスクまたは磁気ヘッドに対
し磁気ヘッド付着物によるダメージを与えることのない
磁気ヘッド及び磁気記録再生装置を実現できる。
【００３１】更に、取り出し電極がスライダよりも過分
にドライエッチングされてしまうことがないので、取り
出し電極の表面がスライダの表面から落ち込むこともな
くなり、取り出し電極に対するリード線接続作業の困難
性を招くこともない。
【００３２】長さ方向の両端の外側に残った空気ベアリ
ング面の長さは、好ましくは、スライダ全長に対する比
が３％以下である。この範囲であれば、前述した本発明
による作用が確実に得ることができる。長さ方向の両端
の外側に残った空気ベアリング面の長さの、スライダ全
長に対する比が３％以上になると、凹部による作用が、
長さ方向の両端の外側に残った空気ベアリング面の長さ
のために減殺され、浮上量及び浮上姿勢等の浮上特性の
制御によい結果を与えない。
【００３３】本発明に係る磁気ヘッド及び磁気記録再生
装置は、ロータリ・アクチュエータ方式位置決め装置に
よって駆動する。本発明によれば、スキュー角を大きく
しても、ほぼ一定した浮上量及び安定した浮上姿勢が得
られるので、スキュー角度範囲を大きくできる。このた
め、最大スキュー角が大きくなる傾向にある小型の磁気
記録再生装置に対応し得るようになる。
【００３４】本発明に係る製造方法によれば、ドライエ
ッチングによってスライダから生じた微粒子が、スライ
ダの両側面に再付着するのを回避できる。従って、磁気
ディスクまたは磁気ヘッドに対し磁気ヘッド付着物によ
るダメージを与えることのない磁気ヘッド及び磁気記録
再生装置を製造できる。
【００３５】また、本発明に係る製造方法によれば、取
り出し電極がスライダよりも過分にドライエッチングさ
れてしまうことがないので、取り出し電極の表面がスラ
イダの表面から落ち込むこともなくなり、取り出し電極
に対するリード線接続作業の困難性を招くこともない。
【００３６】
【実施例】図１は本発明に係る磁気ヘッドの斜視図、図
２は図１に示した磁気ヘッドの側面図である。各図にお
いて、寸法は誇張されている。図を参照すると、本発明
に係る磁気ヘッドは、スライダ１と、磁気変換素子２と
を含んでいる。スライダ１は、媒体対向面に長さ方向Ｌ
及び幅方向Ｗを仮想したとき、媒体対向面側に長さ方向
Ｌに延びる少なくとも１つのレール部１０１、１０２を
有する。レール部１０１、１０２は媒体対向面側に、空
気ベアリング面１０３と、凹部１０４、１０５とを有し
ている。空気ベアリング面１０３は長さ方向Ｌの全長に
わたって形成されている。凹部１０４、１０５は、空気
ベアリング面１０３との間に段差ｄを有して長さ方向Ｌ
に沿って設けられ、かつ、長さ方向Ｌの両端の外側に、
空気ベアリング面１０３が残るように、空気ベアリング
面１０３よりも短く形成されている。 長さ方向の両端
の外側に残った空気ベアリング面の長さＬ１、Ｌ２は、
好ましくは、スライダ全長Ｌ０（図２参照）に対して３
％以下である。例えば、スライダ１の全長Ｌ０が２．８
ｍｍである場合は長さＬ１及びＬ２は最大８０μｍ程度
となる。
【００３７】磁気変換素子２は、スライダ１の長さ方向
Ｌの一端側に位置する側面であって、レール部１０１、
１０２の延長上に設けられている。磁気変換素子２は一
般に薄膜素子で構成される。
【００３８】一般的構成として、レール部１０１、１０
２は、２本備えられ、それぞれが間隔を隔てて平行に設
けられていることが多い。このような場合、レール部１
０１ー１０２間の間隔は、空気ベアリング面１０３及び
凹部１０４、１０５から落ち込む凹部１０６を構成す
る。また、スライダ１は、幅方向Ｗの両側に、空気ベア
リング面１０３、凹部１０４、１０５から落ち込む凹部
１０７を有する。更に、空気ベアリング面１０３は、磁
気変換素子２の位置する側面とは反対側の他端側にテー
パ面１０８を有する。レール部１０１、１０３は１本ま
たは３本以上設けられることもある。参照符号２１、２
２は取り出し電極である。
【００３９】上述したように、スライダ１は媒体対向面
側に長さ方向Ｌに延びる少なくとも１つのレール部１０
１、１０２を有しており、レール部１０１、１０２が媒
体対向面側に空気ベアリング面１０３を有しており、空
気ベアリング面１０３は長さ方向Ｌの全長にわたって形
成されており、磁気変換素子２はスライダ１の長さ方向
Ｌの一端側に位置する側面であって、レール部１０１、
１０２の延長上に設けられているから、磁気記録再生装
置として用いた場合に、レール部１０１、１０２により
浮上特性を安定化すると共に、磁気ディスクと空気ベア
リング面１０３との間に揚力動圧を発生させ、磁気変換
素子２と磁気ディスクとの間で磁気記録の書き込みまた
は読み出しを行う磁気ヘッドが実現できる。
【００４０】レール部１０１、１０２は空気ベアリング
面１０３から落ち込む凹部１０４、１０５を有している
から、凹部１０４、１０５の形状選択による浮上特性の
制御が可能である。例えば、特開昭６０ー１０１７８１
号公報、特開平４ー３５６７６５号公報または特開平２
ー２４６０６７号公報に開示される如く、空気流入端か
ら、流出端側に向かってレール幅が狭くなるように、凹
部１０４、１０５を形成し、磁気ヘッドのスキュー角依
存性を少なくすることができるし、特開昭６１ー２７８
０８７号公報、実開昭５７ー１２２０６３号（実願昭５
６ー５８１８号）、米国特許第４，６７３，９９６号明
細書、米国特許第４、８７０、５１９号明細書等に開示
されているＴＰＣ型磁気ヘッドを得ることもできる。
【００４１】本発明の重要な点は、これらの先行技術と
異なって、凹部１０４、１０５が、長さ方向Ｌの両端の
外側に、空気ベアリング面１０３が残るように、空気ベ
アリング面１０３よりも短く形成されていることであ
る。この新規な構造を持つ磁気ヘッドは、長さ方向Ｌの
両端の外側に残った空気ベアリング面１０３の長さＬ
１、Ｌ２をコントロールすることにより、浮上量及び浮
上姿勢等の浮上特性を制御することができる。このた
め、浮上特性制御のためにとり得るパラメータが増え、
より一層広いスキュー角の範囲で、浮上量を一定化でき
ると共に、浮上姿勢を安定化し得る新規な磁気ヘッドを
得ることができる。
【００４２】しかも、スライダ１の媒体対向面に、凹部
１０４、１０５の形成に必要な開口部を有するマスクを
配置し、開口部を通して、ミリング等によるドライエッ
チングを施すことによって凹部１０４、１０５を形成す
る場合、ドライエッチングに必要なマスクの開口部を、
レール部１０１、１０２の全長より少し短くできる。こ
のため、ドライエッチングによってスライダ１から生じ
た微粒子が、スライダ１の両側面に再付着することがな
くなる。従って、磁気ディスクまたは磁気ヘッドに対し
磁気ヘッド付着物によるダメージを与えることのない磁
気ヘッド及び磁気記録再生装置を実現できる。
【００４３】更に、取り出し電極２１、２２がスライダ
１よりも過分にドライエッチングされてしまうことがな
いので、取り出し電極２１、２２の表面がスライダ１の
表面から落ち込むこともなくなり、取り出し電極２１、
２２に対するリード線接続作業の困難性を招くこともな
い。
【００４４】長さ方向Ｌの両端の外側に残った空気ベア
リング面１０３の長さＬ１、Ｌ２は、好ましくは、スラ
イダ１全長に対する比が３％以下である。この範囲であ
れば、前述した本発明による作用を確実に得ることがで
きる。長さ方向Ｌの両端の外側に残った空気ベアリング
面１０３の長さＬ１、Ｌ２の、スライダ全長Ｌ０に対す
る比が３％以上になると、凹部１０４、１０５よる作用
が、長さ方向Ｌの両端の外側に残った空気ベアリング面
１０３の長さＬ１、Ｌ２のために減殺され、浮上量及び
浮上姿勢等の浮上特性の制御によい結果を与えない。
【００４５】図１及び図２に示した磁気ヘッドは、ＴＰ
Ｃ型磁気ヘッドの例を示している。ＴＰＣ型磁気ヘッド
の場合、凹部１０４、１０５は、ステップ状の第１の凹
部１０４と、同じくステップ状の第２の凹部１０５とで
構成される。第１の凹部１０４は、空気ベアリング面１
０３の幅方向Ｗの一端縁に、空気ベアリング面１０３と
の間に段差ｄを有して長さ方向Ｌに沿って設けられ、か
つ、長さ方向Ｌの両端の外側に、空気ベアリング面１０
３が残るように、空気ベアリング面１０３よりも短く形
成されている。第２の凹部１０５も、空気ベアリング面
１０３の幅方向Ｗの他端縁に、空気ベアリング面１０３
との間に段差ｄを有して長さ方向Ｌに沿って設けられ、
かつ、長さ方向Ｌの両端の外側に、空気ベアリング面１
０３が残るように、空気ベアリング面１０３よりも短く
形成されている。
【００４６】ＴＰＣ型スライダを有する磁気ヘッドによ
れば、ロータリ・アクチュエータ方式磁気記録再生装置
に組み込んだ場合、スキュー角の大きい位置において、
横方向から流入する空気流により、第１の凹部１０４ま
たは第２の凹部１０５に揚力動圧を発生させ、これによ
ってスキュー角の大きい位置での浮上量低下を防ぎ、磁
気ディスクの内周から外周にかけて一定の浮上量を確保
すると共に、浮上姿勢を安定化することができる。
【００４７】重要な特徴として、第１の凹部１０４は長
さ方向Ｌの両端の外側に空気ベアリング面１０３が残る
ように、空気ベアリング面１０３よりも短く形成されて
おり、第２の凹部１０５は、空気ベアリング面１０３の
幅方向Ｗの他端縁に、空気ベアリング面１０３との間に
段差を有して長さ方向Ｌに沿って設けられ、かつ、長さ
方向Ｌの両端の外側に、空気ベアリング面１０３が残る
ように、空気ベアリング面１０３よりも短く形成されて
いる。この構造により、新規な形状の空気ベアリング面
１０３及び凹部を有するＴＰＣ型磁気ヘッドが得られ
る。この新規な磁気ヘッドによれば、長さ方向の両端の
外側に残った空気ベアリング面の長さＬ１、Ｌ２をコン
トロールすることにより、浮上量及び浮上姿勢を制御す
ることができること、浮上量の一定化及び浮上姿勢の安
定化のためにとり得るパラメータが増え、広いスキュー
角の範囲で、浮上量を一定化できると共に、浮上姿勢を
安定化できること、長さ方向の両端の外側に残った空気
ベアリング面の長さＬ１、Ｌ２のそれぞれを、スライダ
全長Ｌ０に対して３％以下に選定した場合には、特に優
れた浮上量の一定化及び浮上姿勢の安定化作用が得られ
ることは前述した通りである。
【００４８】また、上述の新規なステップ構造を持つ磁
気ヘッドは、ドライエッチングによってスライダ１から
生じた微粒子が、スライダ１の両側面に再付着すること
がなくなること、従って、磁気ディスクまたは磁気ヘッ
ドに対し磁気ヘッド付着物によるダメージを与えること
のないＴＰＣ型磁気ヘッド及び磁気記録再生装置を実現
できること、取り出し電極２１、２２がスライダ１より
も過分にドライエッチングされてしまうことがないの
で、取り出し電極２１、２２の表面がスライダ１の表面
から落ち込むこともなくなり、取り出し電極に対するリ
ード線接続作業の困難性を招くことがないこと等も前述
したとおりである。
【００４９】ＴＰＣ型スライダにおいては、空気ベアリ
ング面１０３を上にして磁気変換素子２を設けたスライ
ダ１の側面を正面としたとき、第１の凹部１０４が空気
ベアリング面１０３の左側に現れ、第２の凹部１０５が
右側に現れる。この構造において、第１の凹部１０４及
び第２の凹部１０５は、好ましくは、深さｄが１μｍ≧
ｄ≧０．７μｍを満たす。これにより、ＴＰＣ型スライ
ダの有する作用を十分に確保することができる。
【００５０】更に好ましくは、空気ベアリング面１０３
の幅Ｗ０、第１の凹部１０４の幅Ｗ１及び第２の凹部１
０５の幅Ｗ２は、その和ＲＷ＝Ｗ０＋Ｗ１＋Ｗ２を１０
０％としたときの比率で、 ５０％＜Ｗ０＜７０％ ３５％＞Ｗ１＞２５％ １５％＞Ｗ２＞５％ を満たす。
【００５１】空気ベアリング面１０３の幅Ｗ０、第１の
凹部１０４の幅Ｗ１及び第２の凹部１０５の幅Ｗ２を、
前述したような比率に選定すると、スキュー角１０〜２
５度の範囲で、ほぼ一定した浮上量が得られると共に、
安定した浮上姿勢が得られることが確認された。
【００５２】また、ロール角もしくはロールも上記スキ
ュー角の範囲でほぼ一定の値に保たれ、安定した浮上姿
勢が得られることが確認された。
【００５３】磁気変換素子２は、誘導型、ＭＲ（磁気抵
抗効果）型もしくはそれらの組み合わせ等が用いられ
る。これらの素子は、ＩＣ製造テクノロジと同様のプロ
セスによって形成された薄膜素子によって構成できる。
また、面内記録方式に限らず、垂直記録方式のものであ
ってもよい。
【００５４】図３は本発明に係る磁気記録再生装置を示
す図である。本発明に係る磁気記録再生装置は位置決め
装置３、磁気ディスク４、周知のヘッド支持装置５及び
本発明に係る磁気ヘッド６を含んでいる。磁気ディスク
４は、図示しない回転駆動機構により、矢印ａの方向に
回転駆動される。位置決め装置３は、ロータリ・アクチ
ュエータ方式であり、ヘッド支持装置５の一端側を支持
し磁気ディスク４の面上で所定角度で、矢印ｂ１または
ｂ２の方向に駆動する。それによって、所定のトラック
において、磁気ディスク４への書き込み及び読み出しが
行なわれる。
【００５５】図４は図３に示した磁気記録再生装置の動
作を説明する図である。読み書き動作において、磁気ヘ
ッド６を支持するヘッド支持装置５がロータリ・アクチ
ュエータ方式位置決め装置３によりピポット中心Ｏ１を
中心にして、矢印ｂ１、ｂ２の方向にスイングするごと
く駆動される。磁気ディスク４上の磁気ヘッド６の位置
は、通常、スキュー角によって表現される。
【００５６】図５は磁気ヘッド装置の側面図、図６は同
じく底面図である。ヘッド支持装置５は、金属薄板でな
る支持体５１の長手方向の一端にある自由端に、同じく
金属薄板でなる可撓体５２を取付け、この可撓体５２の
下面に磁気ヘッド６を取付けた構造となっていて、磁気
ディスク４に磁気ヘッド６を押付ける荷重力を与える。
図示の可撓体５２は、支持体５１の長手方向軸線と略平
行して伸びる２つの外側枠部５２１、５２２と、支持体
５１から離れた端において外側枠部５２１、５２２を連
結する横枠５２３と、横枠５２３の略中央部から外側枠
部５２１、５２２に略平行するように延びていて先端を
自由端とした舌状片５２４とを有して構成され、横枠５
２３のある方向とは反対側の一端を、支持体５１の自由
端付近に溶接等の手段によって取付けてある。
【００５７】可撓体５２の舌状片５２４の上面には、例
えば半球状の荷重用突起５２５が設けられていて、この
荷重用突起５２５により、支持体５１の自由端から舌状
片５２４へ荷重力を伝えるようにしてある。
【００５８】舌状片５２４の下面に磁気ヘッド６を接着
等の手段によって取付けてある。磁気ヘッド６は、長さ
方向がヘッド支持装置５の長手方向に一致するように、
磁気ヘッド支持装置５に取付けられている。本発明に適
用可能なヘッド支持装置５は、上記実施例に限らない。
これまで提案され、またはこれから提案されることのあ
るヘッド支持装置を、広く適用できる。
【００５９】次に、図７〜図２２の実測データを参照し
て、本発明の効果を説明する。図２〜図２２の実測デー
タは、図１及び図２に示された磁気ヘッドを用い、図３
〜図６に示した磁気記録再生装置を構成して得られたも
のである。磁気ディスクとして３．５インチのものを用
い、これを５４００ｒｐｍの回転数で回転させた。周速
１１．８５［ｍ／ｓ］がスキュー角（−１５．１９度）
に対応し、周速２４．９３［ｍ／ｓ］がスキュー角（１
２．３９度）に対応している。スライダ寸法は２×１．
６×０．４３（ｍｍ）である。
【００６０】まず、図７は浮上量（Ｆｌｙｉｎｇ Ｈｅ
ｉｇｈｔ）と周速（Ｖｅｌｏｃｉｔｙ）との関係を示す
グラフ、図８はロール（Ｒｏｌｌ）と周速との関係を示
すグラフである。図７及び図８に示された各特性は、図
７において、グラフの下に図示されたテーブル中の特性
Ａ１〜Ａ３に従って解釈される。
【００６１】空気ベアリング面の幅Ｗ０、第１の凹部の
幅Ｗ１及び第２の凹部の幅Ｗ２は、その和ＲＷ＝Ｗ０＋
Ｗ１＋Ｗ２＝３５０μｍ としたとき、特性Ａ１では、 Ｗ０＝２１０μｍ 、Ｗ１＝８７．５μｍ、Ｗ２＝５
２．５μｍ 特性Ａ２では、 Ｗ０＝２１０μｍ 、Ｗ１＝１０５μｍ、Ｗ２＝３５μ
ｍ 特性Ａ３では、 Ｗ０＝２１０μｍ 、Ｗ１＝１２２．５μｍ、Ｗ２＝１
７．５μｍ となっている。ＲＷ＝Ｗ０＋Ｗ１＋Ｗ２＝３５０μｍを
１００％とした場合、空気ベアリング面の幅Ｗ０、第１
の凹部の幅Ｗ１及び第２の凹部の幅Ｗ２の各比率は次の
ようになる。
【００６２】 特性Ａ１では、Ｗ０：Ｗ１：Ｗ２＝６０：２５：１５ 特性Ａ２では、Ｗ０：Ｗ１：Ｗ２＝６０：３０：１０ 特性Ａ３では、Ｗ０：Ｗ１：Ｗ２＝６０：３５：５ 図７を参照すると、内側に位置する第１の凹部の幅が小
さくなり、外側に位置する第２の凹部の幅が大きくなる
と、浮上量が低周速領域で低下し、高周速領域で高くな
る（特性Ａ１参照）。反対に、第１の凹部の幅が大きく
なり、外側に位置する第２の凹部の幅が小さくなると、
浮上量が低周速領域で増大し、高周速領域で低下する
（特性Ａ３参照）。このことから、特性Ａ１及び特性Ａ
３の間に最適範囲が存在することが分かる。
【００６３】特性Ａ１及び特性Ａ３の間の特性Ａ２は、
Ｗ０＝６０％、Ｗ１＝３０％、Ｗ２＝１０％の比率に設
定して得られたものであり、５０％＜Ｗ０＜７０％、３
５％＞Ｗ１＞２５％、１５％＞Ｗ２＞５％を満たしてい
る。特性Ａ２は１１．８５［ｍ／ｓ］の低周速領域から
２４．９３［ｍ／ｓ］の高速領域まで、０．０１５μｍ
以内という極めて変動幅の小さい浮上量特性を示してお
り、最適範囲であることが分かる。３．５インチの磁気
ディスクを用いた磁気記録再生装置では、浮上量変動幅
を０．０２μｍ程度に保つことができればよいので、浮
上量変動幅を０．０１５μｍ以内に保つことができれ
ば、要望に充分に応えることができる。
【００６４】特性Ａ１及び特性Ａ３は低周速側と高周速
側との間で、浮上量変動幅が特性Ａ２よりも大きくな
る。しかし、この浮上量変動幅は、第１の凹部及び第２
の凹部の深さｄを選択することにより、実用上要求され
る浮上量変動幅（３．５インチ磁気ディスクの場合には
０．０２μｍ以内）に抑えることができる。または、ス
キュー角の大きさを制限することにより、許容された浮
上量変動幅内で用いることもできる。
【００６５】次に、図８を参照すると、特性Ａ１〜Ａ３
の何れも、１１．８５［ｍ／ｓ］の低周速領域から２
４．９３［ｍ／ｓ］の高速領域まで、極めて変動幅の小
さいロール特性を示しており、安定した浮上姿勢が得ら
れている。
【００６６】図９はＷ０＝２１０μｍ 、Ｗ１＝８７．
５μｍ、Ｗ２＝５２．５μｍとし、段差の深さｄをパラ
メータとした時の浮上量と周速との関係を示すグラフ、
図１０は同じくロールと周速との関係を示すグラフであ
る。図９及び図１０に示された各特性は、図９において
グラフの下に図示されたテーブル中の特性Ｂ１〜Ｂ８に
従って解釈される。Ｗ０＝２１０μｍ 、Ｗ１＝８７．
５μｍ、Ｗ２＝５２．５μｍは比率で表現すると前述し
たようにＷ０：Ｗ１：Ｗ２＝６０：２５：１５である。
【００６７】図９に示されるように、上述の比率Ｗ０：
Ｗ１：Ｗ２＝６０：２５：１５では、深さｄを０．７〜
１．１μｍの範囲で調整しても、浮上量の一定化及びロ
ールの安定化作用が得られない。
【００６８】図１１はＷ０＝２１０μｍ、Ｗ１＝８７．
５μｍ、Ｗ２＝５２．５μｍ、従って、比率Ｗ０：Ｗ
１：Ｗ２＝６０：２５：１５とし、段差深さｄをパラメ
ータとした時の浮上量と周速との関係を示すグラフ、図
１２は同じくロールと周速との関係を示すグラフであ
る。図１１及び図１２に示された各特性は、図１におい
てグラフの下に図示されたテーブル中の特性Ｃ１〜Ｃ４
に従って解釈される。
【００６９】図１１に示されるように、上述の比率Ｗ
０：Ｗ１：Ｗ２＝６０：２５：１５では、深さｄを１．
１〜１．２μｍの範囲で調整しても、浮上量一定化作用
が得られない。
【００７０】図１３はＷ０＝２１０μｍ、Ｗ１＝１０５
μｍ、Ｗ２＝３５μｍとし、段差深さｄをパラメータと
した時の浮上量と周速との関係を示すグラフ、図１４は
同じくロールと周速との関係を示すグラフである。図１
３及び図１４に示された各特性は、図１３においてグラ
フの下に図示されたテーブル中の特性Ｄ１〜Ｄ７に従っ
て解釈される。Ｗ０＝２１０μｍ、Ｗ１＝１０５μｍ、
Ｗ２＝３５μｍは比率で表現すると前述したようにＷ
０：Ｗ１：Ｗ２＝６０：３０：１０となる。この比率は
本発明の範囲内である。
【００７１】図１３に示されるように、上述の比率Ｗ
０：Ｗ１：Ｗ２＝６０：３０：１０では、深さｄが０．
６μｍになると、低周速側において浮上量が増大する。
深さｄが０．７μｍ、０．８μｍの範囲で、浮上量が一
定化されている。また、ロールも、図１４に示される如
く、浮上量と同様の傾向となる。従って、第１の凹部及
び第２の凹部の深さｄは０．７μｍ以上であることが好
ましい。
【００７２】図１５はＷ０＝２１０μｍ 、Ｗ１＝１０
５μｍ、Ｗ２＝３５μｍとし、段差深さｄを１．０μｍ
とした時の浮上量と周速との関係を示すグラフ、図１６
は同じくロールと周速との関係を示すグラフである。図
１５及び図１６に示された各特性は、図１５においてグ
ラフの下に図示されたテーブル中の特性Ｅ１〜Ｅ３に従
って解釈される。
【００７３】図１５に示されるように、上述の比率で
は、深さｄが１．０μｍになると、低周速側において浮
上量が低下する。従って、第１の凹部及び第２の凹部の
深さｄは１．０μｍ以下であることが好ましい。図１３
及び図１４のデータと組み合わせて考えると、深さｄは
１μｍ≧ｄ≧０．７μｍを満たすように選定することが
好ましい。
【００７４】図１７はＷ０＝２１０μｍ、Ｗ１＝１２
２．５μｍ、Ｗ２＝１７．５μｍとし、段差深さｄをパ
ラメータとした時の浮上量と周速との関係を示すグラ
フ、図１８は同じくロールと周速との関係を示すグラフ
である。図１７及び図１８に示された各特性は、図１７
においてグラフの下に図示されたテーブル中の特性Ｆ１
〜Ｆ８に従って解釈される。Ｗ０＝２１０μｍ、Ｗ１＝
１２２．５μｍ、Ｗ２＝１７．５μｍは比率で表現する
と前述したようにＷ０：Ｗ１：Ｗ２＝６０：３５：５と
なる。 図１７に示されるように、上述の比率では、深
さｄを０．６〜０．８μｍの範囲で調整しても、浮上量
一定化作用が得られない。
【００７５】図１９はＷ０＝２１０μｍ、Ｗ１＝１２
２．５μｍ、Ｗ２＝１７．５μｍ、従って、比率Ｗ０：
Ｗ１：Ｗ２＝６０：３５：５とし、段差深さｄをパラメ
ータとした時の浮上量と周速との関係を示すグラフ、図
２０は同じくロールと周速との関係を示すグラフであ
る。図１９及び図２０に示された各特性は、図１９にお
いてグラフの下に図示されたテーブル中の特性Ｇ１〜Ｇ
８に従って解釈される。
【００７６】図１９に示されるように、上述の比率で
は、深さｄを０．３〜０．７μｍの範囲で調整しても、
浮上量一定化作用が得られない。
【００７７】図２１はＷ０＝２１０μｍ、Ｗ１＝１２
２．５μｍ、Ｗ２＝１７．５μｍ、従って、比率Ｗ０：
Ｗ１：Ｗ２＝６０：３５：５とし、段差深さｄをパラメ
ータとした時の浮上量と周速との関係を示すグラフ、図
２２は同じくロールと周速との関係を示すグラフであ
る。図２１及び図２２に示された各特性は、図２１にお
いてグラフの下に図示されたテーブル中の特性Ｇ１〜Ｇ
８に従って解釈される。
【００７８】図２１に示されるように、上述の比率で
は、深さｄを０．９〜１．０μｍの範囲で調整しても、
浮上量一定化作用が得られない。
【００７９】次に、本発明に係る磁気ヘッド製造方法に
ついて、図２３〜図３３を参照して説明する。本発明に
係る磁気ヘッド製造方法は、上記した磁気ヘッドの製造
に当たり、次の複数の工程を含む。まず、第１の工程
は、図２３及び図２４に図示されるように、磁気ヘッド
集合体７１、７２を支持体８２上に配置する工程であ
る。磁気ヘッド集合体７１、７２は、複数の磁気ヘッド
要素（Ｍ１１〜Ｍ１ｎ）、（Ｍ２１〜Ｍ２ｎ）を一方向
に配列して構成されると共に、磁気ヘッド要素（Ｍ１１
〜Ｍ１ｎ）、（Ｍ２１〜Ｍ２ｎ）の媒体対向面となるべ
き面を表にして支持体８上に配置されている。磁気ヘッ
ド要素（Ｍ１１〜Ｍ１ｎ）、（Ｍ２１〜Ｍ２ｎ）のそれ
ぞれは、配列方向を長さ方向としたとき、幅方向の一端
側に磁気変換素子２が位置するように配列されている。
図示とは異なって、平な支持体８２上に磁気ヘッド集合
体７１、７２を接触するように並べててもよい。また、
第１の工程の前に、空気ベアリング面の研磨工程及び空
気ベアリング面に対するテーパ面（図１参照）の付与工
程を実行することが望ましい。
【００８０】第１の工程に続く第２の工程は、図２５及
び図２６に図示されているように、第１の工程によって
配置された磁気ヘッド集合体７１、７２の表面上にマス
ク９を配置する工程である。マスク９は少なくとも第１
の凹部及び第２の凹部に対応する部分に開口部９１、９
２を有する。開口部９１、９２が磁気ヘッド集合体７
１、７２の表面の面内でのみ開口する大きさ及び位置決
めがなされている。
【００８１】第３の工程は、特に、図２７に図示するよ
うに、第２の工程後、開口部９１、９２を通して、磁気
ヘッド集合体７１、７２の表面に、第１の凹部及び第２
の凹部のためのドライエッチングを施す工程である。ド
ライエッチングはミリングがその代表例である。ここ
で、マスク９は少なくとも第１の凹部及び第２の凹部に
対応する部分に開口部９１、９２を有し、開口部９１、
９２が磁気ヘッド集合体７１、７２の表面の面内でのみ
開口する大きさ及び位置決めがなされているから、第３
の工程におけるドライエッチングによってスライダから
生じた微粒子が、スライダとなる磁気ヘッド集合体７
１、７２の両側面に再付着するのを回避できる。従っ
て、磁気ディスクまたは磁気ヘッドに対し磁気ヘッド付
着物によるダメージを与えることのないＴＰＣ型磁気ヘ
ッド及び磁気記録再生装置を製造できる。
【００８２】また、本発明に係る製造方法によれば、取
り出し電極がスライダよりも過分にドライエッチングさ
れてしまうことがないので、取り出し電極の表面がスラ
イダを構成する磁気ヘッド集合体７１、７２の表面から
落ち込むこともなくなり、取り出し電極に対するリード
線接続作業の困難性を招くこともない。
【００８３】第３の工程を経ることにより、図２８及び
図２９に図示するように、第１の凹部及び第２の凹部を
形成するための部分１１０及び１２０が形成される。
【００８４】第４の工程は、第３の工程後、第１の凹部
及び第２の凹部を形成するための部分を残し、磁気ヘッ
ドに必要な加工を施す工程を含む。第４の工程に含まれ
る主な工程は、第３のステップ及び第４の凹部（図１参
照）を機械加工によって形成する工程、磁気ヘッド要素
のそれぞれを個別的に取り出す切断加工工程等である。
図３０及び図３１は第４の工程に含まれる工程の内、第
３のステップ１０６及び第４の凹部１０７を機械加工に
よって形成する工程を示している。この機械加工によ
り、第１のステップ１０４及び第２のステップ１０５も
形成される。図３２及び図３３は磁気ヘッド要素のそれ
ぞれを個別的に取り出す切断加工工程を示している。各
磁気ヘッド要素は図３１の切断線Ｘ１の位置で磁気ヘッ
ド集合体７１、７２を切断することによって得られる。
【００８５】好ましくは、第１の工程は、複数の磁気ヘ
ッド集合体７１、７２を、平行に配置する工程を含む。
これにより、作業効率を向上させることができる。この
場合、第２の工程は、複数の磁気ヘッド集合体７１、７
２に対し、共通のマスク９を配置する工程を含むことが
望ましい。マスク９はフィルム、レジスト等によって構
成される。マスク９の開口部９１、９２はフォトリソグ
ラフィ等の高精度パターン形成技術によって形成するこ
とができる。
【００８６】
【発明の効果】以上述べたように、本発明によれば、次
のような効果が得られる。
【００８７】（ａ）新規な形状の空気ベアリング面を有
する磁気ヘッド及びこれを用いた磁気記録再生装置を提
供することができる。
【００８８】（ｂ）浮上量の一定化及び浮上姿勢の安定
化のためにとり得るパラメータを増やし、広いスキュー
角の範囲で、浮上量を一定化できると共に、浮上姿勢を
安定化できる新規な磁気ヘッド及びこれを用いた磁気記
録再生装置を提供することができる。
【００８９】（ｃ）磁気ディスクまたは磁気ヘッドに対
し磁気ヘッド付着物によるダメージを与えることのない
磁気ヘッド及び磁気記録再生装置を提供することができ
る。
【００９０】（ｄ）磁気変換素子のための取り出し電極
の表面がスライダの表面から落ち込むことのない磁気ヘ
ッド及び磁気記録再生装置を提供することができる。
【００９１】（ｅ）ゾーンビット記録技術を使用し、そ
れによって高容量磁気ディスク．ドライブを実現するの
に好適な磁気ヘッド及び磁気記録再生装置を提供するこ
とができる。
【００９２】（ｆ）浮上量を低下させてスペーシングロ
スを減少させる必要のある高密度記録において、信頼性
を高める上に極めて有効な磁気ヘッド及び磁気記録再生
装置を提供することができる。
【００９３】（ｇ）最大スキュー角が大きくとも、浮上
量の一定化及び浮上姿勢の安定化が達成できる小型のロ
ータリ・アクチュエータ方式磁気記録再生装置を提供す
ることができる。
【００９４】（ｈ）上述した磁気ヘッドを製造するのに
好適な製造方法を提供することができる。
【図面の簡単な説明】
【図１】本発明に係る磁気ヘッドの斜視図である。
【図２】図１に示した磁気ヘッドの側面図である。
【図３】本発明に係る磁気記録再生装置を示す平面図で
ある。
【図４】図３に示した磁気記録再生装置の動作を説明す
る図である。
【図５】本発明に係る磁気記録再生装置を構成する磁気
ヘッド装置の側面図である。
【図６】本発明に係る磁気記録再生装置を構成する磁気
ヘッド装置の底面図である。
【図７】浮上量（Ｆｌｙｉｎｇ Ｈｅｉｇｈｔ）と周速
（Ｖｅｌｏｃｉｔｙ）との関係を示すグラフである。
【図８】ロール（Ｒｏｌｌ）と周速との関係を示すグラ
フである。
【図９】Ｗ０＝２１０μｍ、Ｗ１＝８７．５μｍ、Ｗ２
＝５２．５μｍとし、段差の深さｄをパラメータとした
浮上量と周速との関係を示すグラフである。
【図１０】Ｗ０＝２１０μｍ、Ｗ１＝８７．５μｍ、Ｗ
２＝５２．５μｍとし、段差の深さｄをパラメータとし
たロールと周速との関係を示すグラフである。
【図１１】Ｗ０＝２１０μｍ、Ｗ１＝８７．５μｍ、Ｗ
２＝５２．５μｍとし、段差深さｄをパラメータとした
時の浮上量と周速との関係を示すグラフである。
【図１２】Ｗ０＝２１０μｍ、Ｗ１＝８７．５μｍ、Ｗ
２＝５２．５μｍとし、段差の深さｄをパラメータとし
たロールと周速との関係を示すグラフである。
【図１３】Ｗ０＝２１０μｍ、Ｗ１＝１０５μｍ、Ｗ２
＝３５μｍとし、段差深さｄをパラメータとした時の浮
上量と周速との関係を示すグラフである。
【図１４】Ｗ０＝２１０μｍ、Ｗ１＝１０５μｍ、Ｗ２
＝３５μｍとし、段差深さｄをパラメータとした時のロ
ールと周速との関係を示すグラフである。
【図１５】Ｗ０＝２１０μｍ、Ｗ１＝１０５μｍ、Ｗ２
＝３５μｍとし、段差深さｄを１．０μｍとした時の浮
上量と周速との関係を示すグラフである。
【図１６】Ｗ０＝２１０μｍ、Ｗ１＝１０５μｍ、Ｗ２
＝３５μｍとし、段差深さｄを１．０μｍとした時のロ
ールと周速との関係を示すグラフである。
【図１７】Ｗ０＝２１０μｍ、Ｗ１＝１２２．５μｍ、
Ｗ２＝１７．５μｍとし、段差深さｄをパラメータとし
た時の浮上量と周速との関係を示すグラフである。
【図１８】Ｗ０＝２１０μｍ、Ｗ１＝１２２．５μｍ、
Ｗ２＝１７．５μｍとし、段差深さｄをパラメータとし
た時のロールと周速との関係を示すグラフである。
【図１９】Ｗ０＝２１０μｍ、Ｗ１＝１２２．５μｍ、
Ｗ２＝１７．５μｍとし、段差深さｄをパラメータとし
た時の浮上量と周速との関係を示すグラフである。
【図２０】Ｗ０＝２１０μｍ、Ｗ１＝１２２．５μｍ、
Ｗ２＝１７．５μｍとし、段差深さｄをパラメータとし
た時のロールと周速との関係を示すグラフである。
【図２１】Ｗ０＝２１０μｍ、Ｗ１＝１２２．５μｍ、
Ｗ２＝１７．５μｍとし、段差深さｄをパラメータとし
た時の浮上量と周速との関係を示すグラフである。
【図２２】Ｗ０＝２１０μｍ、Ｗ１＝１２２．５μｍ、
Ｗ２＝１７．５μｍとし、段差深さｄをパラメータとし
た時のロールと周速との関係を示すグラフである。
【図２３】本発明に係る磁気ヘッド製造方法に含まれる
第１の工程を示す平面図である。
【図２４】図２３のＡ２４ーＡ２４線上における断面図
である。
【図２５】本発明に係る磁気ヘッド製造方法に含まれる
第２の工程を示す平面図である。
【図２６】図２５の部分拡大図である。
【図２７】本発明に係る磁気ヘッド製造方法に含まれる
第３の工程を示す図２５のＡ２７ーＡ２７線上断面図で
ある。
【図２８】第２の工程及び第３の工程を経て得られた磁
気ヘッド集合体の断面図である。
【図２９】図２８に示した磁気ヘッド集合体の部分拡大
断面図である。
【図３０】本発明に係る磁気ヘッド製造方法に含まれる
第４の工程を示す平面図である。
【図３１】図３０のＡ３１ーＡ３１線上における断面図
である。
【図３２】本発明に係る磁気ヘッド製造方法に含まれる
第４の工程を示す平面図である。
【図３３】図３２のＡ３３ーＡ３３線上における断面図
である。
【符号の説明】
１ スライダ １０１、１０２ レール部 １０３ 空気ベアリング面 １０４ 凹部 １０５ 凹部 ２ 磁気変換素子 ３ 位置決め装置 ４ 磁気ディスク ５ ヘッド支持装置

Claims (8)

    【特許請求の範囲】
  1. 【請求項１】 スライダと、磁気変換素子とを含む磁気
    ヘッドであって、 前記スライダは、前記媒体対向面に長さ方向及び幅方向
    を仮想したとき、媒体対向面側に長さ方向に延びる少な
    くとも１つのレール部を有し、前記レール部が空気ベア
    リング面から落ち込む凹部を有しており、 前記凹部は、長さ方向の両端の外側に、前記空気ベアリ
    ング面が残るように、前記空気ベアリング面よりも短く
    形成されており、 長さ方向の両端の外側に残った前記空気ベアリング面の
    長さは、前記スライダ全長に対する比が３％以下であ
    り、 前記磁気変換素子は、前記スライダの長さ方向の一端側
    に位置する側面であって、前記レール部の延長上に設け
    られている磁気ヘッド。
  2. 【請求項２】 前記凹部は、第１の凹部と、第２の凹
    部とを含んでおり、 前記第１の凹部はステップ状であって、前記空気ベアリ
    ング面の幅方向の一端縁に沿って設けられており、 前記第２の凹部はステップ状であって、前記空気ベアリ
    ング面の幅方向の他端縁に沿って設けられており、 前記第１の凹部及び前記第２の凹部は、浮上量及び浮上
    姿勢を制御する空気軸受けを構成する請求項１に記載の
    磁気ヘッド。
  3. 【請求項３】 前記空気ベアリング面を上にして前記磁
    気変換素子を設けた前記スライダの前記側面を正面とし
    たとき、前記第１の凹部が前記空気ベアリング面の左側
    に現れ、前記第２の凹部が右側に現れる請求項２に記載
    の磁気ヘッド。
  4. 【請求項４】 前記第１の凹部及び第２の凹部は、深
    さｄが１μｍ≧ｄ≧０．７μｍを満たす請求項２または
    ３に記載の磁気ヘッド。
  5. 【請求項５】 前記空気ベアリング面の幅Ｗ０、前記
    第１の凹部の幅Ｗ１及び前記第２の凹部の幅Ｗ２は、そ
    の和ＲＷ＝Ｗ０＋Ｗ１＋Ｗ２を１００％としたときの比
    率で、 ５０％＜Ｗ０＜７０％ ３５％＞Ｗ１＞２５％ １５％＞Ｗ２＞５％ を満たす請求項４に記載の磁気ヘッド。
  6. 【請求項６】 磁気ディスクと、磁気ヘッドと、ヘッド
    支持装置と、位置決め装置とを含む磁気記録再生装置で
    あって、 前記磁気ディスクは、回転駆動されるものであり、 前記磁気ヘッドは、請求項１ないし４に記載された何れ
    かでなり、 前記ヘッド支持装置は、一端側で前記磁気ヘッドを支持
    しており、 前記位置決め装置は、前記ヘッド支持装置の他端側を支
    持し前記磁気ヘッドを前記磁気ディスクの面上で所定角
    度で面回転させる磁気記録再生装置。
  7. 【請求項７】 複数の工程を含み、請求項１乃至５に記
    載された磁気ヘッドの何れかを製造する方法であって、 第１の工程は、磁気ヘッド集合体を支持体上に配置する
    工程であって、前記磁気ヘッド集合体は、複数の磁気ヘ
    ッド要素を一方向に配列して構成されると共に、前記磁
    気ヘッド要素の媒体対向面となるべき面を表にして支持
    体上に配置されており、前記磁気ヘッド要素のそれぞれ
    は、前記配列方向を長さ方向としたとき、幅方向の一端
    側に磁気変換素子が位置するように配列されており、 第２の工程は、第１の工程によって配置された前記磁気
    ヘッド集合体の表面上にマスクを配置する工程であっ
    て、前記マスクは少なくとも前記第１の凹部及び第２の
    凹部に対応する部分に開口部を有し、前記開口部が前記
    磁気ヘッド集合体の前記表面の面内でのみ開口する大き
    さ及び位置決めがなされており、 第３の工程は、第２の工程後、前記開口部を通して、前
    記磁気ヘッド集合体の表面に、前記第１の凹部及び前記
    第２の凹部のためのドライエッチングを施す工程であ
    り、 第４の工程は、第３の工程後、前記第１の凹部及び第２
    の凹部を形成するための部分を残し、磁気ヘッドに必要
    な加工を施す工程を含む磁気ヘッドの製造方法。
  8. 【請求項８】 前記第１の工程は、複数の磁気ヘッド集
    合体を、平行に配置する工程を含み、 前記第２の工程は、前記複数の磁気ヘッド集合体に対
    し、共通のマスクを配置する工程を含む請求項７に記載
    の磁気ヘッドの製造方法。
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