JPH07287169A - 顕微鏡対物レンズ - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 【目的】 比較的簡単な構成で、像面の平坦性に優れ、
高ＮＡ、アポクロマート設計の４０×〜６０×程度の倍
率を持つ顕微鏡対物レンズ。 【構成】 像側に凸面を向けたメニスカスレンズと接合
面が負の屈折力を持つ接合レンズとを含む正屈折力の第
１レンズ群Ｇ₁ と、正屈折力の第２レンズ群Ｇ₂と、像
側に凹面を向けた３枚接合のメニスカスレンズと物体側
に凹面を向けた接合レンズとを含む負屈折力の第３レン
ズ群Ｇ₃ とを備え、ｒ₂ を最も物体側のメニスカスレン
ズの凸面の曲率半径、Ｄをこのメニスカスレンズの肉厚
とする時、 （１） ｜ｒ₂ ｜＜１．５Ｄ を満足する。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【産業上の利用分野】本発明は、顕微鏡対物レンズに関
し、特に、像面の平坦性に優れ、色収差がよく除去され
た、高開口数（ＮＡ）のアポクロマート設計の顕微鏡対
物レンズに関するものである。

【０００２】

【従来の技術】従来から、像面の平坦性を良くするため
に、ガウスタイプを用いることが知られている。高ＮＡ
でガウスタイプを用いているレンズタイプは数多くあ
り、特開昭５９−２９２１６号、特公平３−５８４９３
号がその一例である。

【０００３】また、色収差を除去し、アポクロマート設
計にするためには、接合レンズの配置、特に３枚接合レ
ンズの配置は重要になってくる。３枚接合レンズを巧み
に配置し、色収差を除去している例として、特開平４−
４０４０９号、特公平４−２６４４６号、特開平５−１
１９２６３号があげられる。

【０００４】また、特公平３−５８４９２号、特公平４
−２６４４５号では、ガウスタイプに凸凹凸の３枚接合
レンズを組み合わせて長作動距離化を実現している。

【０００５】

【発明が解決しようとする課題】顕微鏡対物レンズが４
０×〜６０×の倍率範囲内で高解像を求められた場合、
１００倍以上の高倍率の対物レンズと同等のＮＡが必要
となるため、対物レンズを射出する光線高が高くなり、
構成するレンズが肥大化する。このため、対物レンズを
構成するレンズ枚数、厚さが制限され、色収差を除去し
たり、像面の平坦性を良くすることが難しくなる。

【０００６】従来の特開昭５９−２９２１６号のものは
アポクロマート性がなく、しかも、倍率は１００倍程度
のものであり、特公平３−５８４９３号のものもアポク
ロマート性がなく、倍率が６０倍程度のものはＮＡが小
さい。アポクロマート性のある特開平４−４０４０９号
や特公平４−２６４４６号のものは１００倍以上の高倍
率である。

【０００７】特開平５−１１９２６３号のものは、４０
倍で高ＮＡ、アポクロマート性、優れた像面の平坦性を
持つ対物レンズを開示しているが、カバーガラス厚によ
る収差変動を補正しているために、レンズ構成が複雑に
なっている。

【０００８】特公平３−５８４９２号、特公平４−２６
４４５号のものは、比較的大きなＮＡで長作動距離の対
物レンズであるが、色収差が十分に補正されていない。

【０００９】本発明はこのような従来技術に鑑みてなさ
れたものであり、その目的は、比較的簡単な構成で、像
面の平坦性に優れ、高ＮＡ、アポクロマート設計の４０
×〜６０×程度の倍率を持つ顕微鏡対物レンズを提供す
ることである。

【００１０】

【課題を解決するために手段】本発明の第１の顕微鏡対
物レンズは、物体側から順に、像側に凸面を向けたメニ
スカスレンズと接合面が負の屈折力を持つ接合レンズと
を含む正屈折力の第１レンズ群Ｇ₁ と、正屈折力の第２
レンズ群Ｇ₂ と、像側に凹面を向けた３枚接合のメニス
カスレンズと物体側に凹面を向けた接合レンズとを含む
負屈折力の第３レンズ群Ｇ₃ と、を備えたものである。

【００１１】本発明の第２の顕微鏡対物レンズは、物体
側から順に、像側に凸面を向けたメニスカスレンズと接
合面が負の屈折力を持つ接合レンズとを含む正屈折力の
第Ｉレンズ群Ｇ_I と、像側に凹面を向けた負レンズ、正
レンズ、負レンズの３枚接合のメニスカスレンズと物体
側に凹面を向けた接合レンズとを含む負屈折力の第ＩＩ
レンズ群Ｇ_IIと、を備えたものである。

【００１２】本発明の第３の顕微鏡対物レンズは、物体
側から順に、像側に凸面を向けたメニスカスレンズと接
合面が負の屈折力を持つ接合レンズとを含む正屈折力の
第Ｉレンズ群Ｇ_I と、像側に凹面を向けた３枚接合のメ
ニスカスレンズと物体側に凹面を向けた接合レンズとを
含む負屈折力の第ＩＩレンズ群Ｇ_IIと、を備え、以下の
条件を満足するものである。 （１） ｜ｒ₂ ｜＜１．５Ｄ ただし、ｒ₂ は最も物体側のメニスカスレンズの凸面の
曲率半径、Ｄは該メニスカスレンズの肉厚である。

【００１３】

【作用】以下、本発明において上記構成を採用する理由
と作用について説明する。第１発明の顕微鏡対物レンズ
は、物体側から順に、像側に凸面を向けたメニスカスレ
ンズと接合面が負の屈折力を持つ接合レンズとを含む正
屈折力の第１レンズ群Ｇ₁ と、正屈折力の第２レンズ群
Ｇ₂ と、像側に凹面を向けた３枚接合のメニスカスレン
ズと物体側に凹面を向けた接合レンズとを含む負屈折力
の第３レンズ群Ｇ₃ と、を備えたことを特徴とするもの
である。

【００１４】この第１の発明の顕微鏡対物レンズにおい
て、第１レンズ群Ｇ₁ は、物体側から順に、像側に凸面
を向けたメニスカスレンズと接合面が負の屈折力を持つ
接合レンズとを含み、正屈折力を持ち、光線の発散を小
さくし、第２レンズ群Ｇ₂ へ光線を導く。

【００１５】上記の像側に凸面を向けたメニスカスレン
ズの物体側の凹面は、正の像面湾曲を発生させ、対物レ
ンズ全体で発生する負の像面湾曲を小さくしている。像
側の凸面は、不遊条件を満足し、球面収差の発生を抑え
るようにしている。また、第１レンズ群Ｇ₁ の負の屈折
力を持つ接合面は、正の球面収差を発生させ、第１レン
ズ群Ｇ₁ で発生する負の球面収差を補正している。

【００１６】第２レンズ群Ｇ₂ は、正屈折力を持ち、光
線を収束させて第３レンズ群Ｇ₃ へ導く。

【００１７】第３レンズ群Ｇ₃ は、像側に凹面を向けた
３枚接合のメニスカスレンズと物体側に凹面を向けた接
合レンズとを含み、負の屈折力を持つことによって、第
１レンズ群Ｇ₁ と第２レンズ群₂ で発生した負の像面湾
曲を補正している。言い換えれば、上記の２つの接合レ
ンズの凹面で正の像面湾曲を発生させ、対物レンズ全体
としての像面湾曲を補正している。

【００１８】また、第３レンズ群Ｇ₃ は、上記の２つの
接合レンズによって倍率色収差を補正している。特に、
像側に凹面を向けた３枚接合レンズのメニスカスレンズ
は、倍率色収差のみならず、軸上色収差も補正してい
る。

【００１９】上記の第１の発明の顕微鏡対物レンズにお
いて、以下の条件を満たすことによってさらに良好に収
差補正することができる。 （２） １．３＜ｆ₁ ／ｆ＜ ２．７ （３） ３＜ｆ₂ ／ｆ＜１０ （４） ２．５＜｜ｆ₃ ｜／ｆ＜６．５ ただし、ｆは全系の焦点距離、ｆ₁ 、ｆ₂ 、ｆ₃ はそれ
ぞれ第１レンズ群Ｇ₁、第２レンズ群Ｇ₂ 、第３レンズ
群Ｇ₃ の焦点距離である。

【００２０】上記条件（２）の下限の１．３を越える
と、第１レンズ群Ｇ₁ の屈折力が強くなり、負の球面収
差の発生が大になり、全系の収差補正が困難になる。条
件（２）の上限の２．７を越えると、第１レンズ群Ｇ₁
の屈折力が弱くなり、光線の発散を抑え切れなくなる。
このため、第２レンズ群Ｇ₂ への入射光線高が高くな
り、第２レンズ群Ｇ₂ の屈折力が強くなりすぎるため、
第２レンズ群Ｇ₂ で発生する負の球面収差、色収差が大
きくなり、全系の収差補正が難しくなる。

【００２１】条件（３）の下限の３を越えると、第２レ
ンズ群Ｇ₂ の正の屈折力が強くなり、前述したように、
全系の収差補正が難しくなる。条件（３）の上限の１０
を越えると、第２レンズ群Ｇ₂ の正屈折力が弱くなり、
第３レンズ群Ｇ₃ に入射する光線高が高くなる。そのた
め、第３レンズ群Ｇ₃ の負の屈折力が弱くなり、正の像
面湾曲の発生が小さくなり、全系で発生する負の像面湾
曲の補正が難しくなるか、又は、第３レンズ群Ｇ₃ を構
成している個々のレンズ面の屈折力が強くなり、個々の
レンズ面で発生する収差が大きくなるため、球面収差、
コマ収差の発生を抑えることが困難になる。

【００２２】条件（４）の下限の２．５を越えると、第
３レンズ群Ｇ₃ を構成する負の屈折力の面の屈折力が大
きくなるため、球面収差、コマ収差の発生を抑えること
が難しくなる。条件（４）の上限の６．５を越えると、
第３レンズ群Ｇ₃ の負の屈折力が弱くなるため、第３レ
ンズ群Ｇ₃ で発生する正の像面湾曲が小さくなり、全系
としての負の像面湾曲の補正が困難になる。

【００２３】次に、本発明の第２の発明の顕微鏡対物レ
ンズは、物体側から順に、像側に凸面を向けたメニスカ
スレンズと接合面が負の屈折力を持つ接合レンズとを含
む正屈折力の第Ｉレンズ群Ｇ_I と、像側に凹面を向けた
負レンズ、正レンズ、負レンズの３枚接合のメニスカス
レンズと物体側に凹面を向けた接合レンズとを含む負屈
折力の第ＩＩレンズ群Ｇ_IIと、を備えたことを特徴とす
るものである。

【００２４】第２の発明の顕微鏡対物レンズにおいて、
第Ｉレンズ群Ｇ_I を構成するレンズは、第１の発明の第
１レンズ群Ｇ₁ と同一の役割をすると共に、発散光を収
束光として第ＩＩレンズ群Ｇ_IIに導く。第ＩＩレンズ群
Ｇ_IIは、像側に凹面を向けた負レンズ、正レンズ、負レ
ンズの３枚接合のメニスカスレンズと物体側に凹面を向
けた接合レンズとを含み、負屈折力を持つことによっ
て、正の像面湾曲を発生させ、第Ｉレンズ群Ｇ_I で発生
する負の像面湾曲を補正している。また、接合レンズと
することによって軸上色収差、倍率色収差を補正してい
る。

【００２５】第ＩＩレンズ群Ｇ_IIでは、最も光線が収束
方向に強い勾配で進行している位置に、負レンズ、正レ
ンズ、負レンズの３枚接合レンズを配置しているが、そ
の理由を説明する。一般に、顕微鏡対物レンズは、高倍
になる程強い正の屈折力を持つために、負の像面湾曲が
大きくなる。この負の像面湾曲をなくすためには、凸面
の光線高を高くして、凹面の光線高を低くする必要があ
る。これを簡単に説明する。

【００２６】像面湾曲を表す全系のペッツバール和Ｐ
は、対物レンズ各面の屈折力をψ_i （ｉは、物体側から
ｉ番目のレンズ面番号）とすると、簡易的に、 となる。Ｐ＝０であれば、像面湾曲がない。一方、レン
ズ全系の屈折力ψは、各面の光線高ｈ_i とすると、簡易
的に、 となる。高倍の対物レンズの場合、ψが大きな値となる
ため、各面のｈ_i があまり変わらないと、式（５）、
（６）から、Ｐ＝０にはできず、Ｐも大きな値を持ち、
像面湾曲が大きくなる。式（６）から、凸面のｈ_i が大
きく、凹面のｈ_i が小さければ、凸面のψ_i が小さく、
凹面のψ_i が大きなレンズでも、ψ＞０になることが分
かる。この時、式（５）から、Ｐは０に近付けることが
できる。つまり、凸面での光線高を高くし、凹面での光
線高を低くすることによって、像面湾曲を補正すること
ができる。

【００２７】したがって、像面湾曲を補正するために
は、高い光線高の凸面で光線を曲げ収束させて、低い光
線高の凹面で光線を発散方向に曲げるメニスカスレンズ
が必要になる。このメニスカスレンズの肉厚が薄いと、
像面湾曲を補正するためには、凸面、凹面の屈折力が強
くなりすぎ、球面収差、コマ収差が大きく発生し、全系
の収差補正が難しくなるため、メニスカスレンズの肉厚
は厚くなければならない。対物レンズの全長が限られ、
構成するレンズ枚数も限られることから、色収差、球面
収差を補正するためには、前記のメニスカスレンズも接
合レンズにする必要がある。３枚接合にすることによっ
て、より良好に諸収差の補正ができる。３枚接合の場
合、負レンズ、正レンズ、負レンズの組み合わせと、正
レンズ、負レンズ、正レンズの組み合わせが考えられる
が、負レンズ、正レンズ、負レンズの組み合わせは、収
束光の中にレンズとして構成されている場合、第Ｉレン
ズの負レンズの肉厚を薄くできるため、第１の接合面を
正レンズ、負レンズ、正レンズの組み合わせよりも光線
高の高いところに配置できるため、その面で発生する球
面収差、色収差も大きくなり、全系の収差補正に有効で
ある。また、３枚接合のメニスカスレンズの像面に向い
た凹面の屈折力が強いことから、像側レンズを正レンズ
にするより、負レンズにすることが、色収差の補正に有
効である。

【００２８】本発明の第３の発明の顕微鏡対物レンズ
は、物体側から順に、像側に凸面を向けたメニスカスレ
ンズと接合面が負の屈折力を持つ接合レンズとを含む正
屈折力の第Ｉレンズ群Ｇ_I と、像側に凹面を向けた３枚
接合のメニスカスレンズと物体側に凹面を向けた接合レ
ンズとを含む負屈折力の第ＩＩレンズ群Ｇ_IIと、を備
え、以下の条件を満足することを特徴とするものであ
る。 （１） ｜ｒ₂ ｜＜１．５Ｄ ただし、ｒ₂ は最も物体側のメニスカスレンズの凸面の
曲率半径、Ｄは該メニスカスレンズの肉厚である。

【００２９】第３の発明の顕微鏡対物レンズにおいて、
第Ｉレンズ群Ｇ_I 、第ＩＩレンズ群Ｇ_IIの役割は、第２
の発明の顕微鏡対物レンズのそれぞれ第Ｉレンズ群
Ｇ_I 、第ＩＩレンズ群Ｇ_IIと同じである。そして、下記
の条件によって諸収差が良好に補正される。

【００３０】（１） ｜ｒ₂ ｜＜１．５Ｄ 条件（１）の上限の１．５Ｄを越えると、ｒ₂ が不遊条
件を満足するためには、作動距離が長くなければならな
い。高ＮＡ対物レンズの場合、作動距離が長くなると、
レンズに入射する光線高が非常に高くなり、球面収差だ
けでなく色収差の補正が難しくなる。前記した第１、第
２の発明の顕微鏡対物レンズにおいても、この条件
（１）を満たすことによって、さらに良好に諸収差を補
正することができる。

【００３１】第２、第３の発明の顕微鏡対物レンズにお
いて、以下の条件を満たすことにより、諸収差を良好に
補正することができる。 （７） １．２＜ｆ_I ／ｆ＜２．５ （4'） ２．５＜｜ｆ_II｜／ｆ＜６．５ ただし、ｆは全系の焦点距離、ｆ_I 、ｆ_IIはそれぞれ第
Ｉレンズ群Ｇ_I 、第ＩＩレンズ群Ｇ_IIの焦点距離であ
る。

【００３２】条件（７）の下限の１．２を越えると、第
Ｉレンズ群Ｇ_I の屈折力が強くなり、負の球面収差の発
生が大になり、全系の収差補正が困難になる。条件
（７）の上限の２．５を越えると、第Ｉレンズ群Ｇ_I の
屈折力が弱くなり、光線が収束し難くなる。このため、
第ＩＩレンズ群Ｇ_IIへ入射する光線高が高くなりすぎ、
第ＩＩレンズ群Ｇ_IIで発生する諸収差が大きくなり、全
系の収差のバランスをとることが難しくなる。

【００３３】条件（4'）については、第２、第３の発明
の第ＩＩレンズ群Ｇ_IIが第１の発明の第３レンズ群Ｇ₃
と同じため、条件（４）と全く等価であり、説明を省略
する。

【００３４】第１、第２、第３の発明の顕微鏡対物レン
ズにおいて、以下の条件を満たすことによって、さらに
良好に諸収差を補正できる。 （８） ２．３＜｜ｆ_T ｜／ｆ＜１４ （９） ν_N ＜５０ ただし、ｆ_T は像側に凹面を向けた３枚接合のメニスカ
スレンズの焦点距離、ν_N はこの３枚接合レンズ中の少
なくとも１枚の負レンズのアッベ数である。

【００３５】条件（８）の下限の２．３を越えると、３
枚接合メニスカスレンズの負の屈折力が強くなり、球面
収差、コマ収差の発生が大きくなり、全系としての諸収
差を補正することが難しくなる。条件（８）の上限の１
４を越えると、３枚接合メニスカスレンズの負の屈折力
が弱くなり、正の像面湾曲量が小さくなり、全系として
の像面湾曲を補正することが困難になる。

【００３６】条件（９）の上限の５０を越えた場合、Ｆ
線、ｇ線の正の球面収差の発生が小さくなるため、上記
の３枚接合レンズより物体側のレンズ群で発生するＦ
線、ｇ線の負の球面収差の補正が難しくなってくる。

【００３７】

【実施例】次に、本発明の顕微鏡対物レンズの実施例１
〜７について説明する。これらのレンズ断面図をそれぞ
れ図１〜図７に示すが、上記の第１の発明と第３の発明
の実施例は、実施例１〜７の全てであり、第２の発明の
実施例は、実施例４を除く全てである。

【００３８】レンズ配置については、実施例１は、図１
に示すように、第１レンズ群Ｇ₁ は、像側に凸面を向け
たメニスカスレンズと、像側に凸面を向けた正メニスカ
スレンズと、正レンズ、負レンズ、正レンズの３枚接合
レンズとからなり、第２レンズ群Ｇ₂ は、正レンズと像
側に凸面を向けた負メニスカスレンズの２枚接合レンズ
からなり、第３レンズ群Ｇ₃ は、物体側に凸面を向けた
負メニスカスレンズ、正レンズ、両凹負レンズからなる
像側に凹面を向けた３枚接合メニスカスレンズと、両凹
負レンズと両凸正レンズの物体側に凹面を向けた２枚接
合レンズメニスカスとからなる。

【００３９】実施例２は、図２に示すように、第１レン
ズ群Ｇ₁ は、像側に凸面を向けたメニスカスレンズと、
両凹負レンズと正レンズの２枚接合レンズと、正レン
ズ、負レンズ、正レンズの３枚接合レンズとからなり、
第２レンズ群Ｇ₂ は、物体側に凸面を向けた正メニスカ
スレンズからなり、第３レンズ群Ｇ₃ は、物体側に凸面
を向けた負メニスカスレンズ、正レンズ、両凹負レンズ
からなる像側に凹面を向けた３枚接合メニスカスレンズ
と、像側に凸面を向けた負メニスカスレンズと像側に凸
面を向けた正メニスカスレンズの物体側に凹面を向けた
２枚接合メニスカスレンズとからなる。

【００４０】実施例３は、図３に示すように、第１レン
ズ群Ｇ₁ は、像側に凸面を向けたメニスカスレンズと、
物体側に凸面を向けた負メニスカスレンズと正レンズの
２枚接合レンズと、正レンズ、負レンズ、正レンズの３
枚接合レンズとからなり、第２レンズ群Ｇ₂ は、両凸正
レンズからなり、第３レンズ群Ｇ₃ は、物体側に凸面を
向けた負メニスカスレンズ、正レンズ、物体側に凸面を
向けた負メニスカスレンズからなる像側に凹面を向けた
３枚接合メニスカスレンズと、両凹負レンズと両凸正レ
ンズの物体側に凹面を向けた２枚接合メニスカスレンズ
とからなる。

【００４１】実施例４は、図４に示すように、第１レン
ズ群Ｇ₁ は、像側に凸面を向けたメニスカスレンズと、
像側に凸面を向けた正メニスカスレンズと、正レンズ、
負レンズ、正レンズの３枚接合レンズとからなり、第２
レンズ群Ｇ₂ は、正レンズと像側に凸面を向けた負メニ
スカスレンズの２枚接合レンズからなり、第３レンズ群
Ｇ₃ は、両凸正レンズ、両凹負レンズ、像側に凹面を向
けた正メニスカスレンズの像側に凹面を向けた３枚接合
メニスカスレンズと、両凹負レンズと両凸正レンズの物
体側に凹面を向けた２枚接合メニスカスレンズとからな
る。

【００４２】実施例５は、図５に示すように、第１レン
ズ群Ｇ₁ は、像側に凸面を向けたメニスカスレンズと、
像側に凸面を向けた正メニスカスレンズと、正レンズ、
負レンズ、正レンズの３枚接合レンズとからなり、第２
レンズ群Ｇ₂ は、両凸正レンズからなり、第３レンズ群
Ｇ₃ は、物体側に凸面を向けた負メニスカスレンズ、正
レンズ、平凹負レンズの像側に凹面を向けた３枚接合メ
ニスカスレンズと、両凹負レンズと両凸正レンズの物体
側に凹面を向けた２枚接合メニスカスレンズとからな
る。

【００４３】実施例６は、図６に示すように、第１レン
ズ群Ｇ₁ は、像側に凸面を向けたメニスカスレンズと、
像側に凸面を向けた正メニスカスレンズと、正レンズ、
負レンズ、正レンズの３枚接合レンズとからなり、第２
レンズ群Ｇ₂ は、両凸正レンズからなり、第３レンズ群
Ｇ₃ は、物体側に凸面を向けた負メニスカスレンズ、正
レンズ、両凹負レンズからなる像側に凹面を向けた３枚
接合メニスカスレンズと、像側に凸面を向けた負メニス
カスレンズと像側に凸面を向けた正メニスカスレンズの
物体側に凹面を向けた２枚接合メニスカスレンズとから
なる。

【００４４】実施例７は、図７に示すように、第１レン
ズ群Ｇ₁ は、像側に凸面を向けたメニスカスレンズと、
像側に凸面を向けた正メニスカスレンズと、正レンズ、
負レンズ、正レンズの３枚接合レンズとからなり、第２
レンズ群Ｇ₂ は、両凸正レンズからなり、第３レンズ群
Ｇ₃ は、物体側に凸面を向けた負メニスカスレンズ、正
レンズ、両凹負レンズからなる像側に凹面を向けた３枚
接合メニスカスレンズと、両凹負レンズと両凸正レンズ
の物体側に凹面を向けた２枚接合メニスカスレンズとか
らなる。

【００４５】なお、以上の何れの実施例においても、第
１レンズ群Ｇ₁ と第２レンズ群Ｇ₂が第Ｉレンズ群Ｇ_I
を、第３レンズ群Ｇ₃ が第ＩＩレンズ群Ｇ_IIを構成して
いる。

【００４６】以上の各実施例の数値データは後記する
が、実施例１〜５の全系の焦点距離ｆ＝３．６ｍｍ、倍
率β＝５０×、実施例６、７の全系の焦点距離ｆ＝３ｍ
ｍ、倍率６０×である。開口数ＮＡは、実施例１〜３が
ＮＡ＝０．９５、実施例４〜７がＮＡ＝０．９である。

【００４７】以下に各実施例の数値データを示すが、記
号は、上記の他、ｒ₁ 、ｒ₂ …は物体側から順に示した
各レンズ面の曲率半径、ｄ₁ 、ｄ₂ …は物体側から順に
示した各レンズ面間の間隔、ｎ_d1、ｎ_d2…は物体側から
順に示した各レンズのｄ線の屈折率、ν_d1、ν_d2…は物
体側から順に示した各レンズのアッベ数である。また、
作動距離をＷＤで示す。

【００４８】実施例１ ｒ₁ = -2.5808 ｄ₁ = 4.8079 ｎ_d1 =1.72916 ν_d1 =54.68 ｒ₂ = -3.8184 ｄ₂ = 0.0705 ｒ₃ = -73.4140 ｄ₃ = 2.3043 ｎ_d2 =1.43389 ν_d2 =95.15 ｒ₄ = -10.2429 ｄ₄ = 0.1001 ｒ₅ = 9.6615 ｄ₅ = 4.8511 ｎ_d3 =1.43389 ν_d3 =95.15 ｒ₆ = -14.5467 ｄ₆ = 2.2530 ｎ_d4 =1.78650 ν_d4 =50.00 ｒ₇ = 10.3322 ｄ₇ = 5.8765 ｎ_d5 =1.49700 ν_d5 =81.61 ｒ₈ = -11.2736 ｄ₈ = 0.1000 ｒ₉ = 13.5712 ｄ₉ = 5.5000 ｎ_d6 =1.49700 ν_d6 =81.61 ｒ₁₀= -8.2918 ｄ₁₀= 1.0000 ｎ_d7 =1.78650 ν_d7 =50.00 ｒ₁₁= -17.0105 ｄ₁₁= 0.1001 ｒ₁₂= 9.5195 ｄ₁₂= 1.2500 ｎ_d8 =1.67650 ν_d8 =37.54 ｒ₁₃= 4.6264 ｄ₁₃= 5.0128 ｎ_d9 =1.43389 ν_d9 =95.15 ｒ₁₄= -14.6129 ｄ₁₄= 5.4019 ｎ_d10=1.72916 ν_d10=54.68 ｒ₁₅= 7.9394 ｄ₁₅= 1.2001 ｒ₁₆= -5.9495 ｄ₁₆= 4.2460 ｎ_d11=1.67790 ν_d11=55.33 ｒ₁₇= 48.6444 ｄ₁₇= 3.4675 ｎ_d12=1.76182 ν_d12=26.52 ｒ₁₈= -12.4245 ｆ₁ ＝ 6.307 ｆ₁ ／ｆ＝1.75 ｆ₂ ＝ 21.619 ｆ₂ ／ｆ＝6.01 ｆ₃ ＝-13.795 ＝ｆ_II ｜ｆ₃ ｜／ｆ＝3.83＝｜ｆ_II｜／ｆ ｆ ＝ 3.6 ｜ｒ₂ ｜＝ 3.8184 １．５Ｄ＝ 7.21 ｆ_I ＝ 6.359 ｆ_I ／ｆ＝1.77 ｆ_T ＝-13.291 ｜ｆ_T ｜／ｆ＝3.69 ν_N ＝ 37.54 ＷＤ＝ 0.6253 。

【００４９】実施例２ ｒ₁ = -3.0530 ｄ₁ = 3.9700 ｎ_d1 =1.72916 ν_d1 =54.68 ｒ₂ = -3.3948 ｄ₂ = 0.0705 ｒ₃ = -51.4282 ｄ₃ = 1.1334 ｎ_d2 =1.72916 ν_d2 =54.68 ｒ₄ = 13.6406 ｄ₄ = 5.8000 ｎ_d3 =1.49700 ν_d3 =81.61 ｒ₅ = -6.9759 ｄ₅ = 0.1001 ｒ₆ = 11.5748 ｄ₆ = 6.1900 ｎ_d4 =1.43389 ν_d4 =95.15 ｒ₇ = -7.6500 ｄ₇ = 1.4800 ｎ_d5 =1.77250 ν_d5 =49.66 ｒ₈ = 32.0048 ｄ₈ = 5.5800 ｎ_d6 =1.49700 ν_d6 =81.61 ｒ₉ = -9.7945 ｄ₉ = 0.1000 ｒ₁₀= 13.0540 ｄ₁₀= 2.1000 ｎ_d7 =1.49700 ν_d7 =81.61 ｒ₁₁= 87.9722 ｄ₁₁= 0.1001 ｒ₁₂= 10.8423 ｄ₁₂= 1.2500 ｎ_d8 =1.67650 ν_d8 =37.54 ｒ₁₃= 6.0427 ｄ₁₃= 5.6000 ｎ_d9 =1.43389 ν_d9 =95.15 ｒ₁₄= -6.0052 ｄ₁₄= 5.7090 ｎ_d10=1.72916 ν_d10=54.68 ｒ₁₅= 8.5649 ｄ₁₅= 1.2001 ｒ₁₆= -6.1877 ｄ₁₆= 4.3714 ｎ_d11=1.69680 ν_d11=56.49 ｒ₁₇= -100.0000 ｄ₁₇= 3.0000 ｎ_d12=1.80518 ν_d12=25.43 ｒ₁₈= -12.1772 ｆ₁ ＝ 6.629 ｆ₁ ／ｆ＝1.84 ｆ₂ ＝ 30.558 ｆ₂ ／ｆ＝8.49 ｆ₃ ＝-11.58 ＝ｆ_II ｜ｆ₃ ｜／ｆ＝｜ｆ_II｜／ｆ＝3.22 ｆ ＝ 3.6 ｜ｒ₂ ｜＝ 3.3948 １．５Ｄ＝ 5.955 ｆ_I ＝ 7.003 ｆ_I ／ｆ＝1.95 ｆ_T ＝-10.374 ｜ｆ_T ｜／ｆ＝2.88 ν_N ＝ 37.54 ＷＤ＝ 0.5685 。

【００５０】実施例３ ｒ₁ = -2.7943 ｄ₁ = 4.7377 ｎ_d1 =1.78650 ν_d1 =50.00 ｒ₂ = -3.8299 ｄ₂ = 0.1500 ｒ₃ = 75.2793 ｄ₃ = 1.0000 ｎ_d2 =1.72916 ν_d2 =54.68 ｒ₄ = 14.1021 ｄ₄ = 3.7500 ｎ_d3 =1.43389 ν_d3 =95.15 ｒ₅ = -11.7029 ｄ₅ = 0.2000 ｒ₆ = 9.8007 ｄ₆ = 5.2581 ｎ_d4 =1.49700 ν_d4 =81.61 ｒ₇ = -27.5395 ｄ₇ = 1.3000 ｎ_d5 =1.78650 ν_d5 =50.00 ｒ₈ = 8.0000 ｄ₈ = 7.5162 ｎ_d6 =1.43389 ν_d6 =95.15 ｒ₉ = -11.6522 ｄ₉ = 0.2001 ｒ₁₀= 15.0408 ｄ₁₀= 3.5322 ｎ_d7 =1.56907 ν_d7 =71.30 ｒ₁₁= -69.1227 ｄ₁₁= 0.2001 ｒ₁₂= 11.2461 ｄ₁₂= 1.5000 ｎ_d8 =1.74000 ν_d8 =31.71 ｒ₁₃= 5.2000 ｄ₁₃= 6.9917 ｎ_d9 =1.43389 ν_d9 =95.15 ｒ₁₄= 79.5661 ｄ₁₄= 3.5743 ｎ_d10=1.69680 ν_d10=56.49 ｒ₁₅= 8.3980 ｄ₁₅= 1.4000 ｒ₁₆= -7.2196 ｄ₁₆= 4.0624 ｎ_d11=1.72916 ν_d11=54.68 ｒ₁₇= 15.2833 ｄ₁₇= 2.0000 ｎ_d12=1.76182 ν_d12=26.52 ｒ₁₈= -15.1472 ｆ₁ ＝ 6.736 ｆ₁ ／ｆ＝1.87 ｆ₂ ＝ 22.043 ｆ₂ ／ｆ＝6.12 ｆ₃ ＝-12.998 ＝ｆ_II ｜ｆ₃ ｜／ｆ＝｜ｆ_II｜／ｆ＝3.61 ｆ ＝ 3.6 ｜ｒ₂ ｜＝ 3.8299 １．５Ｄ＝ 7.11 ｆ_I ＝ 7.153 ｆ_I ／ｆ＝1.99 ｆ_T ＝-17.072 ｜ｆ_T ｜／ｆ＝4.74 ν_N ＝ 31.71 ＷＤ＝ 0.6272 。

【００５１】実施例４ ｒ₁ = -2.4929 ｄ₁ = 4.5622 ｎ_d1 =1.78650 ν_d1 =50.00 ｒ₂ = -4.1395 ｄ₂ = 0.0705 ｒ₃ = -9.7385 ｄ₃ = 2.3136 ｎ_d2 =1.56907 ν_d2 =71.30 ｒ₄ = -5.6557 ｄ₄ = 0.1001 ｒ₅ = 7.9676 ｄ₅ = 4.4083 ｎ_d3 =1.43389 ν_d3 =95.15 ｒ₆ = -18.6348 ｄ₆ = 1.2012 ｎ_d4 =1.78650 ν_d4 =50.00 ｒ₇ = 7.4390 ｄ₇ = 5.2000 ｎ_d5 =1.43389 ν_d5 =95.15 ｒ₈ = -13.2662 ｄ₈ = 0.1000 ｒ₉ = 12.2278 ｄ₉ = 5.5000 ｎ_d6 =1.49700 ν_d6 =81.61 ｒ₁₀= -7.5431 ｄ₁₀= 1.0000 ｎ_d7 =1.78650 ν_d7 =50.00 ｒ₁₁= -13.1342 ｄ₁₁= 0.1001 ｒ₁₂= 8.5064 ｄ₁₂= 5.0000 ｎ_d8 =1.49700 ν_d8 =81.61 ｒ₁₃= -22.8670 ｄ₁₃= 1.2600 ｎ_d9 =1.74000 ν_d9 =31.71 ｒ₁₄= 3.2470 ｄ₁₄= 2.0000 ｎ_d10=1.47069 ν_d10=67.39 ｒ₁₅= 7.5982 ｄ₁₅= 1.4000 ｒ₁₆= -4.7193 ｄ₁₆= 2.7894 ｎ_d11=1.69680 ν_d11=56.49 ｒ₁₇= 19.4984 ｄ₁₇= 2.5009 ｎ_d12=1.80518 ν_d12=25.43 ｒ₁₈= -9.7799 ｆ₁ ＝ 6.153 ｆ₁ ／ｆ＝1.71 ｆ₂ ＝ 17.045 ｆ₂ ／ｆ＝4.73 ｆ₃ ＝-15.123 ＝ｆ_II ｜ｆ₃ ｜／ｆ＝｜ｆ_II｜／ｆ＝4.2 ｆ ＝ 3.6 ｜ｒ₂ ｜＝ 4.1395 １．５Ｄ＝ 6.84 ｆ_I ＝ 5.662 ｆ_I ／ｆ＝1.57 ｆ_T ＝-15.955 ｜ｆ_T ｜／ｆ＝4.43 ν_N ＝ 31.71 ＷＤ＝ 0.5347 。

【００５２】実施例５ ｒ₁ = -2.5784 ｄ₁ = 4.4332 ｎ_d1 =1.72916 ν_d1 =54.68 ｒ₂ = -3.4238 ｄ₂ = 0.1500 ｒ₃ = -16.6206 ｄ₃ = 2.2000 ｎ_d2 =1.43389 ν_d2 =95.15 ｒ₄ = -8.1184 ｄ₄ = 0.2500 ｒ₅ = 7.3990 ｄ₅ = 4.8511 ｎ_d3 =1.43389 ν_d3 =95.15 ｒ₆ = -15.8241 ｄ₆ = 1.3436 ｎ_d4 =1.78650 ν_d4 =50.00 ｒ₇ = 6.4171 ｄ₇ = 6.2000 ｎ_d5 =1.43389 ν_d5 =95.15 ｒ₈ = -15.4294 ｄ₈ = 0.5000 ｒ₉ = 20.3860 ｄ₉ = 3.5000 ｎ_d6 =1.56907 ν_d6 =71.30 ｒ₁₀= -16.3780 ｄ₁₀= 0.5000 ｒ₁₁= 12.8028 ｄ₁₁= 2.0000 ｎ_d7 =1.74000 ν_d7 =31.71 ｒ₁₂= 5.9728 ｄ₁₂= 7.7481 ｎ_d8 =1.43389 ν_d8 =95.15 ｒ₁₃= ∞ ｄ₁₃= 6.0000 ｎ_d9 =1.67790 ν_d9 =55.33 ｒ₁₄= 15.4038 ｄ₁₄= 2.0000 ｒ₁₅= -8.6963 ｄ₁₅= 2.4239 ｎ_d10=1.78650 ν_d10=50.00 ｒ₁₆= 14.3609 ｄ₁₆= 2.5000 ｎ_d11=1.76182 ν_d11=26.52 ｒ₁₇= -15.0912 ｆ₁ ＝ 6.072 ｆ₁ ／ｆ＝1.69 ｆ₂ ＝ 16.53 ｆ₂ ／ｆ＝4.59 ｆ₃ ＝-20.172 ＝ｆ_II ｜ｆ₃ ｜／ｆ＝｜ｆ_II｜／ｆ＝5.6 ｆ ＝ 3.6 ｜ｒ₂ ｜＝ 3.4238 １．５Ｄ＝ 6.65 ｆ_I ＝ 6.808 ｆ_I ／ｆ＝ 1.89 ｆ_T ＝-36.768 ｜ｆ_T ｜／ｆ＝10.21 ν_N ＝ 31.71 ＷＤ＝ 0.4000 。

【００５３】実施例６ ｒ₁ = -2.7193 ｄ₁ = 3.6163 ｎ_d1 =1.72916 ν_d1 =54.68 ｒ₂ = -3.0883 ｄ₂ = 0.2118 ｒ₃ = -9.8716 ｄ₃ = 2.6978 ｎ_d2 =1.43875 ν_d2 =94.97 ｒ₄ = -6.4070 ｄ₄ = 0.2138 ｒ₅ = 7.9790 ｄ₅ = 3.6760 ｎ_d3 =1.43875 ν_d3 =94.97 ｒ₆ = -25.7698 ｄ₆ = 1.6159 ｎ_d4 =1.78650 ν_d4 =50.00 ｒ₇ = 6.8727 ｄ₇ = 5.6278 ｎ_d5 =1.43875 ν_d5 =94.97 ｒ₈ = -9.7295 ｄ₈ = 0.2048 ｒ₉ = 27.8696 ｄ₉ = 2.4022 ｎ_d6 =1.49700 ν_d6 =81.61 ｒ₁₀= -19.6416 ｄ₁₀= 0.1914 ｒ₁₁= 11.2483 ｄ₁₁= 1.4794 ｎ_d7 =1.61340 ν_d7 =43.84 ｒ₁₂= 6.1370 ｄ₁₂= 5.6864 ｎ_d8 =1.43875 ν_d8 =94.97 ｒ₁₃= -9.7798 ｄ₁₃=10.8332 ｎ_d9 =1.64450 ν_d9 =40.82 ｒ₁₄= 6.2782 ｄ₁₄= 1.4986 ｒ₁₅= -4.6141 ｄ₁₅= 1.6155 ｎ_d10=1.78650 ν_d10=50.00 ｒ₁₆= -22.8967 ｄ₁₆= 1.4684 ｎ_d11=1.76182 ν_d11=26.52 ｒ₁₇= -6.0053 ｆ₁ ＝ 5.957 ｆ₁ ／ｆ＝1.99 ｆ₂ ＝ 23.578 ｆ₂ ／ｆ＝7.86 ｆ₃ ＝-17.008 ＝ｆ_II ｜ｆ₃ ｜／ｆ＝｜ｆ_II｜／ｆ＝5.67 ｆ ＝ 3 ｜ｒ₂ ｜＝ 3.0883 １．５Ｄ＝ 4.63 ｆ_I ＝ 6.13 ｆ_I ／ｆ＝2.04 ｆ_T ＝-14.297 ｜ｆ_T ｜／ｆ＝4.77 ν_N ＝ 43.84 ＷＤ＝ 0.6300 。

【００５４】実施例７ ｒ₁ = -2.1482 ｄ₁ = 3.7989 ｎ_d1 =1.72916 ν_d1 =54.68 ｒ₂ = -3.5206 ｄ₂ = 0.1500 ｒ₃ = -13.4778 ｄ₃ = 2.2000 ｎ_d2 =1.43875 ν_d2 =94.97 ｒ₄ = -5.1875 ｄ₄ = 0.2500 ｒ₅ = 8.2571 ｄ₅ = 4.8511 ｎ_d3 =1.43875 ν_d3 =94.97 ｒ₆ = -19.1705 ｄ₆ = 1.3436 ｎ_d4 =1.78650 ν_d4 =50.00 ｒ₇ = 7.1318 ｄ₇ = 6.2000 ｎ_d5 =1.43875 ν_d5 =94.97 ｒ₈ = -10.9749 ｄ₈ = 0.5000 ｒ₉ = 20.9382 ｄ₉ = 3.5000 ｎ_d6 =1.49700 ν_d6 =81.61 ｒ₁₀= -22.1147 ｄ₁₀= 0.5000 ｒ₁₁= 12.0495 ｄ₁₁= 2.0000 ｎ_d7 =1.74000 ν_d7 =31.71 ｒ₁₂= 6.0819 ｄ₁₂= 8.1524 ｎ_d8 =1.43875 ν_d8 =94.97 ｒ₁₃= -11.8114 ｄ₁₃= 6.0000 ｎ_d9 =1.67790 ν_d9 =55.33 ｒ₁₄= 11.1389 ｄ₁₄= 2.0000 ｒ₁₅= -54.2498 ｄ₁₅= 2.4239 ｎ_d10=1.78650 ν_d10=50.00 ｒ₁₆= 6.0667 ｄ₁₆= 2.5000 ｎ_d11=1.76182 ν_d11=26.52 ｒ₁₇= -82.1693 ｆ₁ ＝ 6.307 ｆ₁ ／ｆ＝2.1 ｆ₂ ＝ 22.24 ｆ₂ ／ｆ＝7.41 ｆ₃ ＝-16.457 ＝ｆ_II ｜ｆ₃ ｜／ｆ＝｜ｆ_II｜／ｆ＝5.49 ｆ ＝ 3 ｜ｒ₂ ｜＝ 3.5206 １．５Ｄ＝ 5.7 ｆ_I ＝ 6.291 ｆ_I ／ｆ＝2.1 ｆ_T ＝-18.761 ｜ｆ_T ｜／ｆ＝6.25 ν_N ＝ 31.71 ＷＤ＝ 0.6300 。

【００５５】上記各実施例の対物レンズは、例えば以下
に示すレンズデータを有し、図８にレンズ断面を示す結
像レンズと組み合わせて用いられる。ただし、データ
中、ｒ₁'、ｒ₂'…は物体側から順に示した各レンズ面の
曲率半径、ｄ₁'、ｄ₂'…は物体側から順に示した各レン
ズ面間の間隔、ｎ_d1' 、ｎ_d2' …は物体側から順に示し
た各レンズのｄ線の屈折率、ν_d1' 、ν_d2' …は物体側
から順に示した各レンズのアッベ数である。

【００５６】 ｒ₁'= 68.7541 ｄ₁'= 7.7321 ｎ_d1'=1.48749 ν_d1'=70.20 ｒ₂'= -37.5679 ｄ₂'= 3.4742 ｎ_d2'=1.80610 ν_d2'=40.95 ｒ₃'= -102.8477 ｄ₃'= 0.6973 ｒ₄'= 84.3099 ｄ₄'= 6.0238 ｎ_d3'=1.83400 ν_d3'=37.16 ｒ₅'= -50.7100 ｄ₅'= 3.0298 ｎ_d4'=1.64450 ν_d4'=40.82 ｒ₆'= 40.6619 。

【００５７】図８の結像レンズと組み合わた場合の実施
例１〜７の球面収差、非点収差、ＯＳＣ’（倍率色収差
を表すコンラディのＯＳＣ’）、コマ収差を表す収差図
をそれぞれ図９〜図１５に示す。なお、これらの実施例
の対物レンズと図８の結像レンズの間の間隔はほぼ５０
ｍｍ〜２００ｍｍの間の何れの位置でもよく、その間の
何れの位置においても、図９〜図１５とほぼ同様の収差
状況を示す。

【００５８】以上に説明した本発明の顕微鏡対物レンズ
をまとめると、次のようになる。

【００５９】〔１〕物体側から順に、像側に凸面を向け
たメニスカスレンズと接合面が負の屈折力を持つ接合レ
ンズとを含む正屈折力の第１レンズ群Ｇ₁ と、正屈折力
の第２レンズ群Ｇ₂ と、像側に凹面を向けた３枚接合の
メニスカスレンズと物体側に凹面を向けた接合レンズと
を含む負屈折力の第３レンズ群Ｇ₃ と、を備えた顕微鏡
対物レンズ。

【００６０】〔２〕物体側から順に、像側に凸面を向け
たメニスカスレンズと接合面が負の屈折力を持つ接合レ
ンズとを含む正屈折力の第Ｉレンズ群Ｇ_I と、像側に凹
面を向けた負レンズ、正レンズ、負レンズの３枚接合の
メニスカスレンズと物体側に凹面を向けた接合レンズと
を含む負屈折力の第ＩＩレンズ群Ｇ_IIと、を備えた顕微
鏡対物レンズ。

【００６１】〔３〕物体側から順に、像側に凸面を向け
たメニスカスレンズと接合面が負の屈折力を持つ接合レ
ンズとを含む正屈折力の第Ｉレンズ群Ｇ_I と、像側に凹
面を向けた３枚接合のメニスカスレンズと物体側に凹面
を向けた接合レンズとを含む負屈折力の第ＩＩレンズ群
Ｇ_IIと、を備え、以下の条件を満足する顕微鏡対物レン
ズ。

【００６２】（１） ｜ｒ₂ ｜＜１．５Ｄ ただし、ｒ₂ は最も物体側のメニスカスレンズの凸面の
曲率半径、Ｄは該メニスカスレンズの肉厚である。

【００６３】〔４〕上記〔１〕において、以下の条件を
満足する顕微鏡対物レンズ。

【００６４】（２） １．３＜ｆ₁ ／ｆ＜ ２．７ （３） ３＜ｆ₂ ／ｆ＜１０ （４） ２．５＜｜ｆ₃ ｜／ｆ＜６．５ ただし、ｆは全系の焦点距離、ｆ₁ 、ｆ₂ 、ｆ₃ はそれ
ぞれ第１レンズ群Ｇ₁、第２レンズ群Ｇ₂ 、第３レンズ
群Ｇ₃ の焦点距離である。

【００６５】〔５〕上記〔１〕又は〔２〕において、以
下の条件を満足する顕微鏡対物レンズ。

【００６６】（１） ｜ｒ₂ ｜＜１．５Ｄ ただし、ｒ₂ は最も物体側のメニスカスレンズの凸面の
曲率半径、Ｄは該メニスカスレンズの肉厚である。

【００６７】〔６〕上記〔２〕又は〔３〕において、以
下の条件を満足する顕微鏡対物レンズ。

【００６８】（７） １．２＜ｆ_I ／ｆ＜２．５ （4'） ２．５＜｜ｆ_II｜／ｆ＜６．５ ただし、ｆは全系の焦点距離、ｆ_I 、ｆ_IIはそれぞれ第
Ｉレンズ群Ｇ_I 、第ＩＩレンズ群Ｇ_IIの焦点距離であ
る。

【００６９】〔７〕上記〔１〕、〔２〕又は〔３〕にお
いて、以下の条件を満足する顕微鏡対物レンズ。

【００７０】（８） ２．３＜｜ｆ_T ｜／ｆ＜１４ （９） ν_N ＜５０ ただし、ｆ_T は像側に凹面を向けた３枚接合のメニスカ
スレンズの焦点距離、ν_N はこの３枚接合レンズ中の少
なくとも１枚の負レンズのアッベ数である。

【００７１】

【発明の効果】以上の説明から明らかなように、本発明
によって、像面の平坦性に優れ、色収差がよく除去され
た高ＮＡの顕微鏡対物レンズを提供することができる。

【図面の簡単な説明】

【図１】本発明の実施例１の顕微鏡対物レンズのレンズ
断面図である。

【図２】実施例２の顕微鏡対物レンズのレンズ断面図で
ある。

【図３】実施例３の顕微鏡対物レンズのレンズ断面図で
ある。

【図４】実施例４の顕微鏡対物レンズのレンズ断面図で
ある。

【図５】実施例５の顕微鏡対物レンズのレンズ断面図で
ある。

【図６】実施例６の顕微鏡対物レンズのレンズ断面図で
ある。

【図７】実施例７の顕微鏡対物レンズのレンズ断面図で
ある。

【図８】各実施例の対物レンズと共に用いる結像レンズ
のレンズ断面図である。

【図９】実施例１の球面収差、非点収差、ＯＳＣ’、コ
マ収差を表す収差図である。

【図１０】実施例２の球面収差、非点収差、ＯＳＣ’、
コマ収差を表す収差図である。

【図１１】実施例３の球面収差、非点収差、ＯＳＣ’、
コマ収差を表す収差図である。

【図１２】実施例４の球面収差、非点収差、ＯＳＣ’、
コマ収差を表す収差図である。

【図１３】実施例５の球面収差、非点収差、ＯＳＣ’、
コマ収差を表す収差図である。

【図１４】実施例６の球面収差、非点収差、ＯＳＣ’、
コマ収差を表す収差図である。

【図１５】実施例７の球面収差、非点収差、ＯＳＣ’、
コマ収差を表す収差図である。

【符号の説明】

Ｇ₁ …第１レンズ群 Ｇ₂ …第２レンズ群 Ｇ₃ …第３レンズ群 Ｇ_I …第Ｉレンズ群 Ｇ_II…第ＩＩレンズ群

Claims (3)

【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】 物体側から順に、像側に凸面を向けたメ
   ニスカスレンズと接合面が負の屈折力を持つ接合レンズ
   とを含む正屈折力の第１レンズ群Ｇ₁ と、 正屈折力の第２レンズ群Ｇ₂ と、 像側に凹面を向けた３枚接合のメニスカスレンズと物体
   側に凹面を向けた接合レンズとを含む負屈折力の第３レ
   ンズ群Ｇ₃ と、を備えた顕微鏡対物レンズ。
2. 【請求項２】 物体側から順に、像側に凸面を向けたメ
   ニスカスレンズと接合面が負の屈折力を持つ接合レンズ
   とを含む正屈折力の第Ｉレンズ群Ｇ_I と、 像側に凹面を向けた負レンズ、正レンズ、負レンズの３
   枚接合のメニスカスレンズと物体側に凹面を向けた接合
   レンズとを含む負屈折力の第ＩＩレンズ群Ｇ_IIと、を備
   えた顕微鏡対物レンズ。
3. 【請求項３】 物体側から順に、像側に凸面を向けたメ
   ニスカスレンズと接合面が負の屈折力を持つ接合レンズ
   とを含む正屈折力の第Ｉレンズ群Ｇ_I と、 像側に凹面を向けた３枚接合のメニスカスレンズと物体
   側に凹面を向けた接合レンズとを含む負屈折力の第ＩＩ
   レンズ群Ｇ_IIと、を備え、 以下の条件を満足する顕微鏡対物レンズ。 （１） ｜ｒ₂ ｜＜１．５Ｄ ただし、ｒ₂ は最も物体側のメニスカスレンズの凸面の
   曲率半径、Ｄは該メニスカスレンズの肉厚である。