JPH07283264A - ワイヤボンデイング装置 - Google Patents

ワイヤボンデイング装置

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JPH07283264A JP6093792A JP9379294A JPH07283264A JP H07283264 A JPH07283264 A JP H07283264A JP 6093792 A JP6093792 A JP 6093792A JP 9379294 A JP9379294 A JP 9379294A JP H07283264 A JPH07283264 A JP H07283264A
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Abstract

(57)【要約】 【目的】気体流れが安定化してワイヤの振れが小さくな
り、また気体ガイド板の汚れが一目で判ると共に掃除が
非常に容易であり、かつ製作コストの低減を図る。 【構成】ワイヤ１４が巻回されたスプール１５とキャピ
ラリとの間に配設されてワイヤ１４にテンションを付与
するテンション付与手段２０は、気体を噴出するノズル
２１と、ノズル２１より噴出された気体の流れ方向に沿
って設けられた１枚の気体ガイド板２４とからなる。

Description

【発明の詳細な説明】
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明は、ワイヤボンデイング装
置に係り、特にワイヤに一定のテンションを与えるテン
ション付与手段の改良に関する。
【０００２】
【従来の技術】従来、ワイヤボンデイング装置のテンシ
ョン付与手段として、例えば特公昭５３−９９４９号公
報（以下、公知例１という）、特公昭５３−１０４２５
号公報（以下、公知例２という）及び実公昭６１−４１
２３１号公報（以下、公知例３という）に示すものが知
られている。図５は公知例１、図６は公知例２、図７は
公知例３をそれぞれ示す。公知例１乃至３は、いずれも
気体を噴出するノズル孔１ａを有するノズル１と、この
ノズル１より噴出された気体の流れ方向に沿って設けた
２枚の気体ガイド板２、３とからなっている。また公知
例１は、２枚の気体ガイド板２、３の気体ガイド面４に
ダクト５が形成されている。このダクト５の断面は、ノ
ズル１に近い方が広く、これより遠ざかるに従って狭く
なっている。
【０００３】
【発明が解決しようとする課題】公知例２及び３は、２
枚の気体ガイド板２、３に挟まれた形で気体が流れるの
で、図８に示すように、気体６が気体ガイド板２、３の
幅方向（ノズル１の中心方向と直角方向）にも押し出さ
れて安定化しなく、ワイヤ７が気体ガイド板２、３の幅
方向に激しく揺れる。このため、ワイヤ７にストレスを
与えるという問題があった。また幅方向に激しく揺れる
ためにスプールからのワイヤ繰り出しがスムーズに行え
ないという問題があった。
【０００４】また公知例１乃至３は、２枚の気体ガイド
板２、３よりなるので、気体による気体ガイド板２、３
の内側の汚れが良く見えないと共に、気体ガイド板２、
３を掃除する時には、手前側の気体ガイド板を取り外さ
ないと掃除ができないという問題点を有する。また２枚
の気体ガイド板２、３よりなるので、部品点数が多くコ
スト高になる。特に公知例１は、気体ガイド板２、３に
ノズル１に近い方が広く、これより遠ざかるに従って狭
くなった特殊形状のダクト５を設けるので、一層コスト
高になる。
【０００５】本発明の目的は、気体流れが安定化してワ
イヤの振れが小さくなり、また気体ガイド板の汚れが一
目で判ると共に掃除が非常に容易であり、かつ製作コス
トの低減が図れるワイヤボンデイング装置を提供するこ
とにある。
【０００６】
【課題を解決するための手段】上記目的を達成するため
の本発明の第１の手段は、気体を噴出するノズルと、こ
のノズルより噴出された気体の流れ方向に沿って設けら
れた気体ガイド板とからなり、ワイヤが巻回されたスプ
ールとキャピラリとの間に配設されてワイヤにテンショ
ンを付与するテンション付与手段を有するワイヤボンデ
イング装置において、前記気体ガイド板は１枚よりなる
ことを特徴とする。
【０００７】上記目的を達成するための本発明の第２の
手段は、前記第１の手段の他に、前記スプールより繰り
出されたワイヤが前記気体ガイド板の気体ガイド面に沿
って動くように気体ガイド板の上方に配置され、かつノ
ズルの中心の両側に一定間隔を保って前記気体ガイド板
の気体ガイド面の平面と平行に配置された一対のワイヤ
ガイドピンと、前記気体ガイド板の下方に配置され、気
体ガイド板の気体ガイド面の平面と平行で側面部が気体
ガイド板の気体ガイド面と同一平面に配置されたワイヤ
ガイド部材とを備えたことを特徴とする。
【０００８】
【作用】上記第１の手段によれば、ノズルより噴出され
た気体は、気体ガイド板に沿って流れ、対峙するワイヤ
にテンションが与えられる。このノズルより噴出する気
体は、気体ガイド板が１枚であるため、気体ガイド板の
気体ガイド面に沿って安定した流れを形成する。即ち、
従来のように気体が２枚のガイド板に挟まれた形で流れ
ないので、ワイヤは気体ガイド面の幅方向に押し出され
なく、ワイヤの振れが小さくなる。また気体ガイド板は
１枚であるので、汚れの状態も一目で分かり、掃除も即
座に行えメンテナンスの点で優れていると共に、ワイヤ
通し作業も必要としなく、作業の大幅の軽減が図れる。
更に気体ガイド板が１枚で部品点数が少なくなり、製作
コストが低減する。
【０００９】上記第２の手段によれば、上記第１の手段
の気体ガイド板の気体ガイド面の上方に一対のワイヤガ
イドピンを、気体ガイド面の下方にワイヤガイド部材を
有するので、ワイヤは、スプール又はワイヤガイドピン
とワイヤガイド部材の少なくとも２点に接することによ
り、常に安定した状態を保持することができる。
【００１０】
【実施例】以下、本発明の一実施例を図１乃至図４によ
り説明する。図示しないワイヤボンデイング装置のボン
デイングヘッドに固定されたボックス１０には、スプー
ル用モータ１１が固定され、スプール用モータ１１には
スプール軸１２が固定されている。スプール軸１２には
スプールホルダー１３が固定され、スプールホルダー１
３にはワイヤ１４を巻回したスプール１５が着脱自在に
取付けられている。またボックス１０には、スプール軸
１２の下方部分にブロック１６を介してプレート１７が
固定され、プレート１７にはワイヤ１４にテンションを
付与するテンション付与手段２０が固定されている。
【００１１】テンション付与手段２０は、気体を吹き付
けるノズル２１がプレート１７に固定されたノズルホル
ダ２２に斜め上方に傾斜して固定されている。ノズル２
１の反対側は気体を供給するためのパイプ２３が接続さ
れ、このパイプ２３には、エア又は不活性ガス等の気体
を供給するコンプレッサー（図示せず）等の気体供給源
に連結されている。またノズル２１には、該ノズル２１
より噴出された気体の流れ方向に沿って設けられた１枚
の気体ガイド板２４が固定されている。
【００１２】プレート１７の上方部にはホルダ３０が固
定され、ホルダ３０には一対のワイヤガイドピン３１、
３２が固定されている。一対のワイヤガイドピン３１、
３２は、前記気体ガイド板２４の気体ガイド面２４ａ側
方向に伸び、ノズルホルダ２２に固定されたノズル２１
の中心線の両側に一定間隔を保って気体ガイド面２４ａ
の平面と平行な平面内に配置され、かつ下端はワイヤ１
４の挿入を容易にするためにＶ字状に開いている。また
プレート１７には、気体ガイド板２４の両側にノズル２
１に対峙するようにワイヤストッパ３３、３４が垂直に
固定されている。
【００１３】更にプレート１７の下端にはブロック３５
が固定され、ブロック３５には、気体ガイド板２４の気
体ガイド面２４ａの平面と平行にワイヤガイド棒３６が
固定され、ワイヤガイド棒３６の側面部３６ａはワイヤ
ガイドピン３１の側面部３１ａと同一平面でかつ気体ガ
イド面２４ａと平行面となっている。なお、ワイヤガイ
ド棒３６は、棒材に限られるものではなく、例えば針
金、板金等の部材でもよい。前記ホルダ３０及びプレー
ト１７にはファイバセンサ等よりなるワイヤセンサ３
７、３８が固定されている。ここで、ワイヤセンサ３７
は、スプール１５から繰り出されたワイヤ１４が常に安
定して後記するキャピラリ４４方向へ送られているか否
かを検出するものであり、ワイヤセンサ３８は、スプー
ル１５にワイヤ１４が無くなった場合又はスプール１５
内のワイヤ１４が絡んで送り出されなかった場合等を検
出するものである。
【００１４】前記ワイヤガイド棒３６の下方には、ワイ
ヤガイド４０、４１、ワイヤ１４にバックテンションを
与えるバックテンション手段４２、ワイヤボンデイング
動作時に必要時閉動作してワイヤ１４をクランプ保持し
てボンデイング点の付け根よりワイヤ１４をカットする
ワイヤクランパ４３、キャピラリ４４を一端に保持した
トランスデューサー４５が配設され、これらワイヤガイ
ド４０、４１、バックテンション手段４２、ワイヤクラ
ンパ４３、トランスデューサー４５は図示しないボンデ
イングヘッドに設けられている。
【００１５】そこで、スプール１５より繰り出されたワ
イヤ１４は、一対のワイヤガイドピン３１、３２の間を
通り、ノズル２１に対峙するように気体ガイド板２４の
気体ガイド面２４ａを通り、ワイヤガイド棒３６のガイ
ド側面３６ａに接し、前方に引き出される。この前方に
引き出されたワイヤ１４は、ワイヤガイド４０、４１を
通し、バックテンション手段４２を貫通してワイヤクラ
ンパ４３を通ってキャピラリ４４に挿通されている。
【００１６】次に作用について説明する。ワイヤガイド
４０、４１、バックテンション手段４２、ワイヤクラン
パ４３及びキャピラリ４４の作用は従来と同じであるの
でその説明は省略する。またワイヤセンサ３７、３８の
作用は、本発明の要旨と直接関係ないので簡単に説明す
る。図１において、ノズル２１より気体が噴出されてい
る状態で、ワイヤ１４がワイヤセンサ３７から外れて左
側（ノズル２１側）に移動した場合は、ワイヤ１４の繰
り出しが足らないので、モータ１１を回転させてワイヤ
１４の繰り出しをする。またスプール１５にワイヤ１４
が無くなった場合又はスプール１５内のワイヤ１４が絡
んで繰り出されなかった場合等の時には、ワイヤ１４は
突っ張って図１の実線の状態より２点鎖線の状態とな
る。この場合は、ワイヤセンサ３７がワイヤ１４を検出
しなく、またワイヤ１４がワイヤセンサ３８を通過する
ので、この条件によってワイヤボンデイング動作を停止
させる信号を出力する。
【００１７】ノズル２１より噴出された気体は、気体ガ
イド板２４に沿って流れ、対峙するワイヤ１４にテンシ
ョンが与えられる。このノズル２１より噴出する気体
は、気体ガイド板２４が１枚であるため、気体ガイド板
２４の気体ガイド面２４ａに沿って安定した流れを形成
する。即ち、ワイヤ１４は気体ガイド面２４ａの幅方向
（ノズル２１の中心方向と直角方向）に押し出されな
く、ワイヤ１４の振れが小さくなる。このようにワイヤ
１４の振れが小さくなり、ワイヤ１４にストレスを与え
ないと共に、スプール１５からのワイヤ繰り出しがスム
ーズに行える。またこの時、ワイヤ１４は、スプール１
５又はワイヤガイドピン３１、３２とワイヤガイド棒３
６の少なくとも２点に接することにより、常に安定した
状態を保持することができる。
【００１８】また気体ガイド板２４は１枚であるので、
汚れ５０の状態も一目で分かり、掃除も即座に行えるの
で、メンテナンスの点で優れていると共に、従来ワイヤ
ガイドが２枚である時に行ったワイヤ通し作業も必要と
しなく、作業の大幅の軽減が図れる。更に気体ガイド板
２４が１枚で部品点数が少なくなり、製作コストが低減
する。
【００１９】
【発明の効果】本発明によれば、気体ガイド板は１枚よ
りなるので、気体流れが安定化してワイヤの振れが小さ
くなり、また気体ガイド板の汚れが一目で判ると共に掃
除が非常に容易であり、かつ製作コストの低減が図れ
る。また気体ガイド板の気体ガイド面の上方に一対のワ
イヤガイドピンを、気体ガイド面の下方にワイヤガイド
棒を設けると、ワイヤをより一層安定した状態を保持す
ることができる。
【図面の簡単な説明】
【図１】本発明になるワイヤボンデイング装置に用いる
テンション付与手段部分の一実施例を示す要部正面図で
ある。
【図２】図１の側面図である。
【図３】本発明になるワイヤボンデイング装置の一実施
例の概略構成を示す斜視図である。
【図４】図１のＡーＡ線断面図である。
【図５】従来のテンション付与手段の第１例を示す斜視
図である。
【図６】従来のテンション付与手段の第２例を示す斜視
図である。
【図７】従来のテンション付与手段の第３例を示す斜視
図である。
【図８】前記第２例及び第３例の不具合の説明図であ
る。
【符号の説明】
１４ ワイヤ １５ スプール ２０ テンション付与手段 ２１ ノズル ２４ 気体ガイド板 ２４ａ 気体ガイド面 ３１、３２ ワイヤガイドピン ３６ ワイヤガイド棒 ４４ キャピラリ

Claims (2)

    【特許請求の範囲】
  1. 【請求項１】 気体を噴出するノズルと、このノズルよ
    り噴出された気体の流れ方向に沿って設けられた気体ガ
    イド板とからなり、ワイヤが巻回されたスプールとキャ
    ピラリとの間に配設されてワイヤにテンションを付与す
    るテンション付与手段を有するワイヤボンデイング装置
    において、前記気体ガイド板は１枚よりなることを特徴
    とするワイヤボンデイング装置。
  2. 【請求項２】 気体を噴出するノズルと、このノズルよ
    り噴出された気体の流れ方向に沿って設けられた気体ガ
    イド板とからなり、ワイヤが巻回されたスプールとキャ
    ピラリとの間に配設されてワイヤにテンションを付与す
    るテンション付与手段を有するワイヤボンデイング装置
    において、前記気体ガイド板は１枚よりなり、前記スプ
    ールより繰り出されたワイヤが前記気体ガイド板の気体
    ガイド面に沿って動くように気体ガイド板の上方に配置
    され、かつノズルの中心の両側に一定間隔を保って前記
    気体ガイド板の気体ガイド面の平面と平行に配置された
    一対のワイヤガイドピンと、前記気体ガイド板の下方に
    配置され、気体ガイド板の気体ガイド面の平面と平行で
    側面部が気体ガイド板の気体ガイド面と同一平面に配置
    されたワイヤガイド部材とを備えたことを特徴とするワ
    イヤボンデイング装置。
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