JPS61229776A - 細線の送給装置 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 〔産業上の利用分野〕　　　・ この発明は細線を送給するＴコめの送給装置の改良に関
するものである。

〔従来の技術〕

例えば半導体製造工程において、ＩＣチ・Ｉブ上の電極
と、リードフレーム間とに金属細線を張るワイヤボンダ
に係り、その金属細線を送給する送給装置を例にとって
説明する。

第８図は従来のワイヤボンダのヘッド部分に設けられ１
こ送給装置の側面図、第４図は第８図の矢印Ａ方向から
見た細線送給部の詳細図である。

図において、（１）はワイヤボンダのへ・リド轟部分に
配設され、水平面内の運動をするＸ−Ｙテーブル、（２
）はこのＸ−Ｙテーブル（１）上に装着され、Ｘ−Ｙテ
ーブル（１）の移動とともに水平移動をするヘッド本体
、（３）は後述する金線をガイドするキャピラリー、（
４）はこのキャピラリー（３）を先端部に固定し上下に
揺動自在なホーン、（５）は後述する工Ｃチー・ブとリ
ードフレームとの間に金属配線を張るための金線、（６
）はクランパ板、（７）はこのクランパ板（６）を固定
するための固定板である。　（８）はばね板、（９）は
このばね板（８）に固定されたクランパ板で、上記クラ
ンパ板（６）と対向し配設されている。そしてばね板（
８）へ外部から力を加えることによって、ばね力が作用
しクランパ板（６）とクランパ板（９）との間に開閉動
作をすることによって、上記金線（５）をクランプする
とともに、上下動の機能を有し、これらクランパ板（６
バ９）、固定板（７）、ばね板（８）とによって第１の
クランパＱ（Ｉが形成されている。■はクランパ板、（
２）はこのクランパ板側を固定するための固定板である
。Ｑ３はばね板、α◆はこのばね板（至）に固定された
クランパ板で、上記クランパ板（ロ）と対向し配設され
ている。そしてばね板（２）へ外部から力を加えること
によってばね力が作用し、クランパ板αηとクランパ板
α尋との間に開閉動作をすることによって、上記金線（
５）をクランプする。これらクランパ板（６）αも固定
板（２）、ばね板（至）とによって第２のクランパ（２
）が形成されている。ａｅは金線（５）が巻回された金
線スプールで、モータ（図示せず）によって回転可能に
支持されている７そして金線スプール（至）より供給さ
れた金線（５）が送給されやすいようにキャピラリー（
３）、第１のクランパＱＧ。

第２のクランパ（２）が真直になるよう構成されている
２０ηは金線スプールα・より供給された金線（５）が
一定量以上にたるまないようたるみ量を検出するターチ
センサ、（至）はノズルで、上記夕９チセンサ（ロ）と
対向するよう配設され、このノズル（至）から空気が吹
き出され金線（５）に吹き付けることによって、上記り
ηチセンサ（ロ）の検出精度が向上するよう構成されて
いる。（至）は金線（５）の供給状況を監視するワーク
認識用のカメラである、そしてキャピラリー（３）、第
１のクランパ（ト）、金線スプール（２）、夕９チセン
サー（ロ）、エアーノズル（至）とによって送給装置が
形成されている。この送給装置によって送給された金線
（５）をＩＣチリブとリードフレームとの間に張られる
動作を第５図によって説明する。

曽はＩＣチ９ブ、（２）はリードフレームで、金線スプ
ールα・より金線（６）が供給され、この供給された金
線（５）が途中たるまないようター・チセンサ０によっ
てたるみ量を検出する。そして第２のクランパ（至）の
直上で、第２のクランパ（２）、第１のクランパ（至）
および本ヤビラリ−（３）に金線（５）が送給されやす
いようガイド（図示せず）によって案内され送給される
８第２のクランパ（至）、第１のクランパＱＱの位置に
送給された金線（５）は真直に下降し、キャピラリー（
３）に挿入される。このときキャピラリー（３）と第１
のクランパ（至）は金線（５）がキャピラリー（３）に
挿入しやすいよう微動の上下動をするとともに、第１の
クランパαＧはキャピラリー（３）の先端にテール（２
）を作るために開閉運動を行なう、そしてこのテール（
イ）に放電または水素トーチよりの水素炎を照射して金
ボール（至）が作られる、キャピラリー（３）がＩＣチ
リブ（イ）面上に下降し、（第５図、ａで示す）ＩＣチ
ップ翰の表面を破壊しないよう着地寸前で減速する７こ
のときキャピラリー（３）の先端部の金ボール（至）が
慣性によってキャピラリー（３）より先にとび出さない
ように第２のクランパ（至）が閉じて金線（５）にパ９
クテンレ■ンを加える。加熱されていた１０チ内ブ（ホ
）の電極上にキャピラリー（３）の先端部の金ボール（
２）をキャビラ！Ｊ−（３）によって一定時間圧着し、
金線（５）がＩＣチー・ブ翰面上に接続される、すると
第５図すで示すごとく、へ−１ド本体（２）がＸ−Ｙテ
ーブル（１）上を水平移動し、リードフレーム（財）の
所定位置上に移動する、このとき第１のクランパαＱと
第２のクランパ（至）とは關かれており、キャピラリー
（３）が微動振動をして金線（５）が送給される。そし
てキャピラリー（３）がリードフレーム（２）の所定位
置上に動作すると、第５図Ｃで示すごとくキャピラリー
（３）が下降し加熱されていたリードフレーム（２）に
キャピラリー（３）を一定時間圧着し金線（５）がリー
ドフレーム（至）に接着さ・れる。このとき第１のクラ
ンパ叫、第２のクランパ（至）は開かれている。リード
フレーム（２）に金線（５）が接続されると、第１のケ
ランパａＯ１第２のクランパ（至）とは開かれた状態で
、第５図ｄに示すごとくキャピラリー（３）が上昇して
本ヤビラリ−（３）の先端部とリードフレーム（ハ）の
表面との間にテール長さｌを形成する２そして千−ル長
さｌが形成されると、第１のクランパＱＧは金線（５）
がＴこるまないようクランプする、テール長さｌが形成
されると第５図ｅで示すごとく第１のクランパ（ＩＧが
金線（５）をクランプした状態で上昇する、するとリー
ドフレーム（至）とキャピラリー（３）との間で金線（
５）がｊｌｌのクランパ←Ｑの引張り力によって金線（
５）が切断される。このとき第２のクランパ（至）は開
放状態にある７このようにして、工Ｃチー・ブ（イ）と
リードフレーム（２）とに金線（５）が張られる作業工
程が終了し順次繰り返される、 以上の工程中、金線（５）が接続、配線などによって消
費されると、ター・チセンサ（財）の信号を受けて金線
スプールαｅが回転して金線（５）が供給送給される。

〔発明が解決しようとする問題点〕

上記のような従来の送給装置では、金線（５）自身が細
く柔らかいために、金線（５）自身に腰がなく、したが
って送給するのに方向性が定まらず第２のクランパ（至
）、第１のクランパＱＯ，キャピラリー（３）に順次金
線（５）を送給するのに円滑な送給ができず、送給作業
にかなりの時間がかかるといった問題があつ１こ、また
方向性が定まらない１こめに金線（５）が折れ曲りたり
、傷がつくなどの問題があった。金線（５）を硬くシ１
こり、太くシタりすることも考えられるが、硬くしたり
、太くシタりすれば送給しやすくなるが、金線（５）自
体の材料価格が高くなり経済的でなくなつ１こり、ＩＣ
チ噌ブ（１）、リードフレーム・（ロ）などへの接続作
業の作業性が悪化するといった問題がある。

この発明は、かかる問題点を解決する１こめになされた
もので、金線を硬くしたり太くシタりしないで、円滑な
送給ができる送給装置を得ることを目的とする。

〔問題点を解決するための手段〕

この発明に係る送給装置は、細線が送給される経路に配
設され、この細線が挿通するとともに流体物が流通する
貫通路、及びこの貫通路に外部と連通する流通路が設け
られたバーｌクテンシ冒ナ一本体と、このバー！クテン
シ冒ナ一本体の貫通路の一方に連通直結された細管とを
設けたものである。

〔作用〕

この発明においては、バックテンシ四す一本体の貫通路
内の細線に、流通路より流体物を送給まＴこは排出して
、流体物とともに細線が真通路内を流通するとともに貫
通路に連通直結された管に送給される。

〔実施例〕

第１図はこの発明の一実施例を示す送給装置の構成図、
第２図はバ・・・クテンシ覆ナ一本体の断面図である。

　（１）〜αＧ、αゆ〜（至）は上記従来装置と全く同
一の６のである、鏝は金線（５）が送給される経路に配
設すれ１こバー’Ｊり子ンショナ一本体、（ハ）はこの
バ・ツクテンシ目ナ一本俸（ハ）に設けられた貫通路で
ある７このｊｔ連通路至）には外部より流体物である空
気を送給するための流通路（１）が設けられている。

そしてこの流通路（至）に−は空気を送給しやすくする
１こめ入口部には、ノズル■が設けられている。Ｉ＠は
上記貫通路（至）内の空気を排出するための流通路であ
る。さらに貫通路（２）の一端部は、金線（５）が挿入
しやすい様に広く開口している。貫通路（２）の他端部
には、ツー・ソ樹脂材など軟質材よりなり遊動自在に作
用する細管−が連通直結されている。そし　　　　“て
このバづクテンシ曹ナ一本体（財）に直結された細管−
は第１のクランパαＯの直上に配設されて、細管四の出
口、第１のクランパαＱ、キャピラリー（３）とが真直
上になるよう形成される。

上記のように構成された送給装置においては、金線スプ
ールα０より供給された金線（５）は、バー・クテンシ
璽ナ一本体ｃ１４ノ貫通路（至）に挿入される。そして
ボンディング動作中においては、ノズル■より空気が流
通路（ホ）を経て貫通路（ハ）に送給され、貫通路（至
）の金線（５）挿入口より外部へ抜ける。このとき貫通
路（至）内において、金線（５）に空気の摩擦力が作用
して金線（５）にバ・Ｉクテンシッンが作用する、金線
（５）にパーＩクテンシ曽ンが作用することによりて、
従来装置の第２のクランパ（２）の作用をすることとな
る、すなわち、Ｉ（３チリブ（１）に金線（５）を接続
するときキャピラリー（３）が工ＣチーＩブ（ホ）に着
地寸前においてキャビラ！Ｊ　−（３）の先端部の金ボ
ール（２）が慣性によりて飛び出さないようにすること
ができる。

一方金線（５）を送給する場合、ノズル勿より流通路（
１）を経て貫通路（至）に空気が送給され、この貫通路
（至）内の空気の流れにのって金線（５）が細管−内に
送給される。そして貫通路（２）に送給された空気は、
流通路（至）かちパ噌りテンシ冒ナ一本体（２）の外部
へ吐き出される。細管−内に送給された金線（５）は、
パークテンシ璽ナ一本体（財）の貫通路（２）内で、空
気との流体摩擦によって第１のクランパ（２）を経てキ
ャピラリー（３）の真上まで送給され、さらにキャピラ
リー（３）に挿通されボンディング動作に移る。

なお、バ咋りテンシ曹ナ一本体（財）によって金線（５
）にパ咋りテンシ１ンが作用することができるので、第
２のクランパ（２）を設ける必要がなく、シたかって第
１のクランパＱＯ，キャピラリー（３）の金線（５）の
経路を真直とするのみであり、従来のように第２のクラ
ンパ（至）、第１のクランパαＧ、キャビラＱ　−（３
）を真直にするための調整作業と比べ調整作業が容易と
なる。

また上記実施例ではワイヤホンダに用いちれる金線の送
給装置について説明し１こが、金属細線や糸等を送給す
る送給装置であってもよく、流体摩擦による送給、パ・
・クテンシロン付加に同様の効果を奏する。

〔発明の効果〕

以上のように、この発明によれば細線が送給される経路
に配設され、この細線が挿通するとともに流体物が流通
する貫通路、及びこの貫通路に外部と連通ずる流通路が
設けられたパ９クテンシ曹す一本体と、このパヴクテン
シ冒す一本体の貫通路の一方に連通直結された細管とを
設け、上記バ１．クテンシ、ナ一本体の貫通路に外部よ
り流体物を送給したり排出したりすることにより細線が
順方向または逆方向に移動するとともに細管に送給され
るよう構成したので、流体物による流体摩擦によって細
線に腰をつけることがでキ、シたがって送給の方向性が
定まり、円滑な送給作業ができるといった効果がある。

【図面の簡単な説明】

第１図はこの発明の一実施例を示す送給装置の構成図、
第２図はパ・・クテンシ冒す一本体と細管とが直結され
た詳細を示す断面図、第３図は従来の送給装置の構成図
、第４図は第３図矢印ムより見た状態を示す金線送給部
の詳細図、第５図はＩＣチーＩブ、リードフレームに金
線が張られる状態を説明する動作図である。 図において、（３）はキャピラリー、（５）は金線、α
Ｇは第１のクランパ、（至）はバ９クテンショナ一本体
、（ハ）は貫通路、（至）翰は流通路、（２）はノズル
、四は細管である。 なお、各図中同一符号は同一または相当部分を示す、

Claims (5)

【特許請求の範囲】
1. （１）細線が送給される経路に配設され、この細線が挿
   通されるとともに流体物が流通する貫通路、及びこの貫
   通路と連通し外部より上記貫通路に流体物を送給、また
   は貫通路内の流体物を排出する流通路が設けられたバッ
   クテンショナー本体と、このバックテンショナー本体の
   貫通路の一方に連通直結され、上記細線が流通し細線を
   案内する細管とを備え、上記流体物を上記流通路を通じ
   て、貫通路に流通させることにより、上記細線がこの流
   体物によって順方向または逆方向に移動するよう形成し
   てなることを特徴とする細線の送給装置。
2. （２）細管はフッ素樹脂であることを特徴とする特許請
   求の範囲第１項記載の細線の送給装置。
3. （３）細線はＡｕよりなる金属細線であることを特徴と
   する特許請求の範囲第１項または第２項記載の細線の送
   給装置。
4. （４）流体物は空気であることを特徴とする特許請求の
   範囲第１項または第２項または第３項記載の細線の送給
   装置。
5. （５）細線は糸であることを特徴とする特許請求の範囲
   第１項または第２項記載または第４項記載の細線の送給
   装置。