JPH07281023A - 高屈折率膜、その形成用組成物及びその形成方法並びに白熱電球 - Google Patents

高屈折率膜、その形成用組成物及びその形成方法並びに白熱電球

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JPH07281023A
JPH07281023A JP6067014A JP6701494A JPH07281023A JP H07281023 A JPH07281023 A JP H07281023A JP 6067014 A JP6067014 A JP 6067014A JP 6701494 A JP6701494 A JP 6701494A JP H07281023 A JPH07281023 A JP H07281023A
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refractive index
index film
film
high refractive
forming
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JP6067014A
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Nobuyuki Soyama
信幸 曽山
Tsutomu Atsugi
勉 厚木
Katsumi Ogi
勝実 小木
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Mitsubishi Materials Corp
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Abstract

(57)【要約】 【目的】 著しく高い屈折率を有する高屈折率膜、及び
このような高屈折率膜を形成することにより発光効率を
高めた白熱電球を提供する。 【構成】 Ti−Bi複合酸化物よりなり、Ti/(T
i+Bi)(モル比)=0.4〜0.99の高屈折率
膜。Ti,Biの金属有機化合物、無機酸塩をTi/
(Ti+Bi)=0.4〜0.99で含む高屈折率膜形
成用組成物。この組成物を基板に塗布して300〜80
0℃で焼成する。ガラスバルブの表面に低屈折率膜とT
i−Bi複合酸化物の高屈折率膜との交互積層膜を形成
した白熱電球。 【効果】 Ti−Bi−O膜であれば、TiO2 やBi
23 のみのものよりも著しく高い屈折率が得られる。
少ない膜積層数により、高い反射率を得ることができ、
従って、膜剥離やクラック等の欠陥を引き起こすことな
く、発光効率の高い白熱電球を低コストに提供すること
ができる。

Description

【発明の詳細な説明】
【0001】
【産業上の利用分野】本発明は、各種光学フィルターの
多層膜を構成する高屈折率膜として好適な屈折率が著し
く高い高屈折率膜、この高屈折率膜を形成するための組
成物及びこの高屈折率膜の形成方法、並びに、このよう
な高屈折率膜を形成することにより発光効率を高めた白
熱電球に関する。
【0002】
【従来の技術】従来、バルブ保護及び赤外線反射による
発光効率の向上を目的として、ガラスバルブの表面に低
屈折率膜と高屈折率膜との交互積層膜を形成した白熱電
球が提案されている(特公平5−26299号公報)。
【0003】ところで、高屈折率膜と低屈折率膜との交
互積層膜で特定波長の光の選択的反射を行う場合、反射
光の波長は膜の屈折率と膜厚の積をパラメータとして求
められ、反射率は各膜の界面での反射の和で表されるの
で、個々の膜の界面での反射率とその界面の数で求めら
れる。界面の反射率は、一般に、{(nH −nL )/
(nH +nL )}2 で表されるので(nH 、nL はそれ
ぞれ高屈折率膜、低屈折率膜の屈折率)、高屈折率膜と
低屈折率膜との屈折率の差が大きいほど、また、界面の
数が多いほど、積層膜の反射率は大きいものとなる。
【0004】しかし、一般に、界面の数を多くするこ
と、即ち、高屈折率膜と低屈折率膜との交互積層数を多
くすることは、高屈折率膜と低屈折率膜との熱膨張率等
の差により膜剥離やクラック発生等の問題を引き起こす
ことから、実用的には、高屈折率膜と低屈折率膜との屈
折率の差を大きくし、少ない交互積層数にて反射率の高
い積層膜を得ることが望まれる。
【0005】従来、高屈折率膜及び低屈折率膜の交互積
層膜を構成する低屈折率膜としてはSiO2 よりなるも
のが、また、高屈折率膜としては、TiO2 ,Ta2
3 よりなるものが用いられている。
【0006】即ち、従来において、低屈折率膜材質とし
てSiO2 よりも低屈折率のものは殆ど知られていな
い。一方、TiO2 ,Ta25 の屈折率は約2.1で
あり、他の物質と比べて比較的高屈折率であるとされて
いる。
【0007】
【発明が解決しようとする課題】従来の高屈折率膜に用
いられているTiO2 ,Ta25 では、最も屈折率を
高めた場合でも高々2.2〜2.3程度である。更に屈
折率を上げるべく、高屈折率膜形成時の焼成温度を上げ
ると、結晶粒の成長が起こり、高屈折率膜の透明性が失
われる。また、使用時の高温度条件により失透して白濁
することもある。このため、実質的に透明高屈折率膜と
しては、屈折率2.2〜2.3程度が限度であり、赤外
線反射率を高めるための高屈折率膜と低屈折率膜との屈
折率の差の拡大にも限界があった。
【0008】このようなことから、従来において、赤外
線反射膜として十分な赤外線反射率を得るためには、高
屈折率膜及び低屈折率膜の交互積層膜の積層数を増し、
13〜15層もの積層数とする必要があるが、このよう
に高屈折率膜及び低屈折率膜の積層数を増し、厚い積層
膜を形成することは、製造コストが高騰するという問題
のみならず、前述の如く、熱膨張差に起因する膜剥離や
クラック等の欠陥を引き起こすことから好ましいことで
はない。
【0009】本発明は上記従来の問題点を解決し、著し
く高い屈折率を有する高屈折率膜、この高屈折率膜の形
成用組成物及びこの高屈折率膜の形成方法、並びに、こ
のような高屈折率膜を形成することにより発光効率を高
めた白熱電球を提供することを目的とする。
【0010】
【課題を解決するための手段】請求項1の高屈折率膜
は、チタン及びビスマスの複合酸化物からなり、該複合
酸化物中のチタン及びビスマスの割合がモル比表示でT
i/(Ti+Bi)=0.4〜0.99であることを特
徴とする。
【0011】請求項2の高屈折率膜は、請求項1の高屈
折率膜において、該複合酸化物中のチタン及びビスマス
の割合がモル比表示でTi/(Ti+Bi)=0.6〜
0.96であることを特徴とする。
【0012】請求項3の高屈折率膜形成用組成物は、チ
タン化合物とビスマス化合物とを、チタン及びビスマス
の割合がモル比表示でTi/(Ti+Bi)=0.4〜
0.99となるように有機溶媒に混合してなることを特
徴とする。
【0013】請求項4の高屈折率膜の形成方法は、請求
項3の高屈折率膜形成用組成物を基板に塗布した後、3
00〜800℃で焼成することを特徴とする。
【0014】請求項5の白熱電球は、ガラスバルブの表
面に、低屈折率膜と高屈折率膜との交互積層膜を形成し
てなる白熱電球において、該高屈折率膜がチタン及びビ
スマスの複合酸化物よりなることを特徴とする。
【0015】請求項6の白熱電球は、請求項5に記載の
白熱電球において、該低屈折率膜が酸化珪素よりなるこ
とを特徴とする。
【0016】以下に本発明を詳細に説明する。
【0017】本発明の高屈折率膜は、チタン(Ti)及
びビスマス(Bi)の複合酸化物(以下「Ti−Bi−
O」と称する場合がある。)よりなるものであり、その
Ti,Bi含有割合がTi/(Ti+Bi)のモル比率
で0.4〜0.99、好ましくは0.6〜0.96のも
のである。この割合が0.99を超えると、Biの割合
が少な過ぎて、TiにBiを複合させることによる屈折
率の向上効果が十分に得られない。逆に0.4未満で
は、Biの割合が多過ぎて屈折率が低下する。
【0018】このような本発明の高屈折率膜はCVD法
やスパッタ法等で形成することも可能であるが、本発明
の高屈折率膜形成用組成物を用い、本発明の高屈折率膜
の形成方法に従って、基板に該組成物を塗布した後、3
00〜800℃で焼成する方法が低コストで良好な高屈
折率膜を形成できることから好ましい。
【0019】本発明の高屈折率膜形成用組成物は、Ti
化合物と、Bi化合物とをTi/(Ti+Bi)=0.
4〜0.99(モル比)、好ましくは0.6〜0.96
となるように有機溶媒に混合してなるものである。
【0020】ここで、Ti化合物としては、テトラメト
キシチタン、テトラエトキシチタン、テトライソプロポ
キシチタン、テトラブトキシチタン等のチタンのアルコ
キシド、アセチルアセトナトチタニル等の有機Ti化合
物、或いは無機酸のTi塩を用いることができる。
【0021】また、Bi化合物としては、オキシ酢酸ビ
スマス、オクチル酸ビスマス等の有機Bi化合物、或い
は、硝酸ビスマス等の無機酸のBi塩を用いることがで
きる。
【0022】これらを混合する有機溶媒としては、酢
酸、エタノール、イソプロパノール、2−メトキシエタ
ノール等を用いることができる。
【0023】本発明の高屈折率膜形成用組成物は、基板
への塗布性能、膜形成効率の面から、Bi化合物及びT
i化合物をBi23 換算値及びTiO2 換算値の合計
で1〜20重量%程度の溶液であることが好ましい。
【0024】このような高屈折率膜形成用組成物を用い
て、本発明の方法に従って、高屈折率膜を形成するに
は、ガラス、Siウェハ等の基板に高屈折率膜形成用組
成物をディッピング、スピンコート、スプレーコート等
の方法により塗布し、その後300〜800℃で焼成す
る。
【0025】形成される高屈折率膜の屈折率は、高屈折
率膜形成用組成物のTi/(Ti+Bi)モル比やこの
焼成条件を調整することにより自由に制御することがで
き、Ti/(Ti+Bi)については、一般には、後掲
の図1に示す如く、Ti/(Ti+Bi)=0.85〜
0.96程度の範囲に屈折率の極大値が得られるが、焼
成条件については、焼成温度が高い程屈折率が高い傾向
がある。しかしながら、焼成温度が過度に高いと、前述
の如く、結晶粒成長による失透を引き起こすため、通常
の場合、焼成温度は特に500〜700℃程度とするの
が好ましい。
【0026】なお、焼成時間は通常の場合5〜20分程
度とされる。
【0027】一方、本発明の白熱電球は、ガラスバルブ
表面に、Ti−Bi−O高屈折率膜と低屈折率膜との交
互積層膜を形成したものであるが、特に、高屈折率膜と
しては、本発明の高屈折率膜、即ち、Ti/(Ti+B
i)=0.40〜0.99(モル比)、とりわけ0.6
〜0.96のものを採用するのが好ましい。また、低屈
折率膜としては、屈折率が極めて低いことからSiO2
を用いるのが好ましい。
【0028】このような本発明の白熱電球は、例えば本
発明の高屈折率膜形成用組成物を用い、本発明方法に従
ってガラスバルブ上に高屈折率膜を形成した後、低屈折
率膜を形成し、同様に、高屈折率膜及び低屈折率膜を交
互に形成して交互積層膜を形成することにより容易に製
造することができる。
【0029】なお、低屈折率膜としてSiO2 膜を形成
する場合には、テトラエトキシシラン、テトラメトキシ
シラン等のSi化合物をイソプロピルアルコール、エチ
ルアルコール、ブチルアルコール等の有機溶媒に溶解し
たものを用いることができる。
【0030】また、高屈折率膜と低屈折率膜との交互積
層膜の一層当りの光学膜厚(屈折率と膜厚の積)は、ど
の波長の反射率を高めるかによって変わってくるが、目
的とする波長の1/4に制御するのが好ましい。また、
積層数についても、どの程度の反射率を必要とするかに
よって任意に選定できる。
【0031】
【作用】Ti−Bi−O高屈折率膜の構造は、Bi2
27 ,Bi4 Ti312,TiO2 ,Bi23
の単体、混合物或いは非晶質状態と考えられ、いずれの
因子が屈折率の向上に寄与しているかは不明であるが、
本発明に係るTi−Bi−Oであれば、Tiの酸化物、
即ちTiO2 やTa25 、或いはBiの酸化物、即ち
Bi23 の屈折率よりも著しく高い屈折率の高屈折率
膜が提供される。
【0032】Ti−Bi−O高屈折率膜は、そのTi/
(Ti+Bi)モル比が0.4〜0.99、好ましくは
0.6〜0.96のときに、著しく高い屈折率が得られ
る。
【0033】このようなTi−Bi−O高屈折率膜は、
Ti化合物と、Bi化合物とを所定割合で有機溶媒に混
合してなる高屈折率膜形成用組成物を基板に塗布した
後、300〜800℃で焼成することにより容易かつ低
コストに形成することができる。
【0034】また、このように著しく高い屈折率を有す
るTi−Bi−O高屈折率膜を、ガラスバルブ表面に形
成する高屈折率膜と低屈折率膜との交互積層膜の高屈折
率膜として用いた白熱電球であれば、少ない膜積層数に
より、高い赤外線反射率を得ることができ、従って、膜
剥離やクラック等の欠陥を引き起こすことなく、発光効
率の高い白熱電球を低コストに提供することができる。
【0035】交互積層膜としては、特にTi−Bi−O
高屈折率膜とSiO2 低屈折率膜とを用いることによ
り、高屈折率膜と低屈折率膜との屈折率の差を著しく大
きくすることができ、このため高い発光効率を確実に得
ることができる。
【0036】
【実施例】以下に実施例及び比較例を挙げて本発明をよ
り具体的に説明する。
【0037】なお、実施例及び比較例において「%」は
いずれも「重量%」を示す。
【0038】実施例1 オキシ酢酸ビスマス[BiO(CH3 COO)]2.9
6gを酢酸40.16gと混合し、更にBiの3モル倍
に相当する過酸化水素水(30%H22 )5.44g
を加えて120℃で3時間還流し、酸化物換算で5重量
%Bi23 溶液を得た。これとは別に、酢酸34.8
3gにアセチルアセトン6.27gとテトライソプロポ
キシチタン[Ti(O−i−C374 ]8.90g
を加えて酸化物換算で5重量%TiO2 溶液を得た。こ
れら2種の溶液を表1に示す組成比となるよう混合し、
各種Ti−Bi溶液を調製した(ただし、No.1はB
iのみ、No.10はTiのみ)。
【0039】これらTi−Bi溶液を使用してスピンコ
ート法によってバイコールガラス基板上に成膜を行い、
600℃で15分焼成を行った。形成された膜の屈折率
をエリプソメーターによって測定し、結果を図1に示し
た。
【0040】
【表1】
【0041】図1より、Ti/(Ti+Bi)=0.4
〜0.99(モル比)、特に0.6〜0.96(モル
比)であれば、著しく屈折率の高い高屈折率膜が形成さ
れることが明らかである。
【0042】実施例2 テトラエトキシシラン[Si(OC254 ]12.
5gをイソプロピルアルコール105.3gに加え、
0.3%のHCl水溶液を2.2g加えて低屈折率膜形
成用ディップ溶液を調製した。これとは別に、オキシ酢
酸ビスマス[BiO(CH3 COO)]3.0gを酢酸
40.2gに加え、更に30%過酸化水素水5.4gを
加えて120℃で1時間還流し、更にテトライソプロポ
キシチタン[Ti(O−i−C374 ]0.3gを
加えて高屈折率膜形成用ディップ溶液を調製した(Ti
/(Ti+Bi)=0.96(モル比))。これらの溶
液は600℃で10分間焼成することにより、それぞれ
1.45、2.7の屈折率の膜が得られる。
【0043】これらの溶液を使い、白熱電球のガラスバ
ルブ上に高屈折率膜、低屈折率膜、高屈折率膜、低屈折
率膜・・・高屈折率膜の順に各々の光学膜厚が92nm
となるように表2に示す積層数で積層して(ただし、N
o.11では膜形成行わず。)、黄色電球を作製した。
得られた電球を点灯し、その発光色の色度を測定し、結
果を表2及び図2に示した。
【0044】なお、色度のx,yは、下記に示す透過に
よる物体色の三刺激値より求めた下記の色度座標の値で
ある。
【0045】
【数1】
【0046】
【表2】
【0047】実施例3 実施例2と同様にして白熱電球上に各々の光学膜厚が2
50nmとなるように表3に示す積層数で膜を積層し、
赤外線反射膜付き白熱電球を作製した(ただし、No.
18では膜形成行わず。)。得られた電球を点灯し、発
光色の色度から色温度を求め、フィラメント温度を推定
し、結果を表3に示した。
【0048】なお、このフィラメント温度は、フィラメ
ントの発光をある温度での黒体放射と仮定し、色度から
図4に示す黒体放射軌跡と等色温度線のグラフから、そ
れに対応する黒体放射の温度を推定したものである。
【0049】
【表3】
【0050】比較例1 テトライソプロポキシチタン[Ti(O−i−C3
74 ]10.7gをイソプロピルアルコール89.3
gに加えて高屈折率膜形成用ディップ溶液を調製した。
この溶液からは600℃で10分焼成することにより、
2.2の屈折率を有する膜が得られる。また、低屈折率
膜形成用ディップ溶液は実施例2と同様にして調製し
た。これらの溶液を使用して、実施例2と同様の評価を
行い、結果を表4及び図3に示した。
【0051】
【表4】
【0052】比較例2 比較例1で用いたものと同様溶液を使用して、実施例3
と同様の評価を行い、結果を表5に示した。
【0053】
【表5】
【0054】表2〜5より、本発明によれば、高屈折率
膜及び低屈折率膜の少ない積層数にて効率的に色度及び
色温度を高めることができ、発光効率の高い白熱電球が
得られることが明らかである。
【0055】特に、図2と図3との比較から、Ti−B
i膜を使用したランプ(表2)の方が、Ti膜を使用し
たランプ(表4)よりも少ない積層数で淡黄色領域(J
ISにより決められているイエローランプの色度範囲)
に到達していることがわかる。
【0056】
【発明の効果】以上詳述した通り、請求項1の高屈折率
膜によれば、屈折率が著しく高い高屈折率膜が提供され
る。
【0057】請求項2の高屈折率膜によれば、より一層
高い屈折率が得られる。
【0058】請求項3の高屈折率膜形成用組成物及び請
求項4の高屈折率膜の形成方法によれば、このように著
しく高い屈折率を有する高屈折率膜を容易かつ低コスト
に形成することができる。
【0059】請求項5の白熱電球によれば、高屈折率膜
の屈折率が著しく高いために、少ない膜積層数により、
高い赤外線反射率を得ることができ、従って、膜剥離や
クラック等の欠陥を引き起こすことなく、発光効率の高
い白熱電球を低コストに提供することができる。
【0060】請求項6の白熱電球によれば、高屈折率膜
と低屈折率膜との屈折率の差が大きく、このため、著し
く大きな赤外線反射率が得られることから、発光効率が
極めて高い白熱電球が提供される。
【図面の簡単な説明】
【図1】実施例1の結果を示すグラフである。
【図2】実施例2で求めた積層数(カッコ内は積層数)
と発光色の色度変化との関係を示すグラフである。
【図3】比較例1で求めた積層数(カッコ内は積層数)
と発光色の色度変化との関係を示すグラフである。
【図4】x−y座標における黒体放射軌跡と等色温度線
を示すグラフである。

Claims (6)

    【特許請求の範囲】
  1. 【請求項1】 チタン及びビスマスの複合酸化物からな
    り、該複合酸化物中のチタン及びビスマスの割合がモル
    比表示でTi/(Ti+Bi)=0.4〜0.99であ
    ることを特徴とする高屈折率膜。
  2. 【請求項2】 請求項1の高屈折率膜において、該複合
    酸化物中のチタン及びビスマスの割合がモル比表示でT
    i/(Ti+Bi)=0.6〜0.96であることを特
    徴とする高屈折率膜。
  3. 【請求項3】 チタン化合物とビスマス化合物とを、チ
    タン及びビスマスの割合がモル比表示でTi/(Ti+
    Bi)=0.4〜0.99となるように有機溶媒に混合
    してなる高屈折率膜形成用組成物。
  4. 【請求項4】 請求項3の高屈折率膜形成用組成物を基
    板に塗布した後、300〜800℃で焼成することを特
    徴とする高屈折率膜の形成方法。
  5. 【請求項5】 ガラスバルブの表面に、低屈折率膜と高
    屈折率膜との交互積層膜を形成してなる白熱電球におい
    て、該高屈折率膜がチタン及びビスマスの複合酸化物よ
    りなることを特徴とする白熱電球。
  6. 【請求項6】 請求項5に記載の白熱電球において、該
    低屈折率膜が酸化珪素よりなることを特徴とする白熱電
    球。
JP6067014A 1994-04-05 1994-04-05 高屈折率膜、その形成用組成物及びその形成方法並びに白熱電球 Withdrawn JPH07281023A (ja)

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