JPH07267738A - 耐摩耗性窒化珪素質焼結体及びその製造方法 - Google Patents

耐摩耗性窒化珪素質焼結体及びその製造方法

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JPH07267738A
JPH07267738A JP6085663A JP8566394A JPH07267738A JP H07267738 A JPH07267738 A JP H07267738A JP 6085663 A JP6085663 A JP 6085663A JP 8566394 A JP8566394 A JP 8566394A JP H07267738 A JPH07267738 A JP H07267738A
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Abstract

(57)【要約】 【目的】 極めて少量の焼結助剤によって、十分に緻密
化し、耐摩耗性等の切削特性に優れた窒化珪素質焼結体
を得る。また、焼成雰囲気中にMgOガス等を存在さ
せ、且つCOガス量を制御し焼成することにより、上記
優れた性能の焼結体を得る。 【構成】 Si3 4 粉末98.8重量%とMgO、Z
rO2 及びCeO2 粉末各0.4重量%との配合粉末
を、2ton/cm2 の圧力で金型プレスして成形体を
得、その後、サヤ中に成形体に対して1重量%のMgO
焼結体を入れ、MgOガス等と0.05体積%のCOガ
スとを含む窒素ガス雰囲気中、1気圧、1850℃で2
時間一時焼成し、次いで、同様のガス雰囲気中、100
気圧、1850℃で2時間二次焼成して耐摩耗性窒化珪
素質焼結体を得る。

Description

【発明の詳細な説明】
【0001】
【産業上の利用分野】本発明は、粒界相量が非常に少な
いにもかかわらず、相対密度が高く、且つ耐摩耗性に優
れた窒化珪素質焼結体(以下、焼結体ということもあ
る。)及びその製造方法に関する。本発明の焼結体は、
切削工具、耐摩耗工具、耐摩耗部品、摺動部品等に利用
できる。
【0002】
【従来の技術】窒化珪素質焼結体は耐熱性及び耐摩耗性
等に優れることから、従来より各種の切削工具用材料な
どとして使用されている。しかし、窒化珪素は難焼結性
のため通常は焼結助剤を使用し焼成されており、この助
剤量が多い場合は焼結体の性能が低下するため、焼成が
可能な範囲で助剤量は少ない方が好ましい。このため、
助剤の種類、使用量の低減等種々観点から性能向上が図
られている。例えば、 特開平2−74564号公報及び特開平4−1546
69号公報には、Mg、Zr、Ceの酸化物等の助剤を
従来に比べ少量用いて製造される強度、靱性等の機械的
特性或いは耐摩耗性に優れた切削工具用焼結体が開示さ
れている。
【0003】焼結助剤を使用せず、ガラス封入により
HIP焼結し焼結体を得る方法も知られている。更に、
焼成雰囲気に関する技術として、 特開平5−155662号公報には、微量のAl化合
物を添加することにより、焼結性が向上し、他の助剤成
分の添加量を減らすことができ、しかも耐摩耗性に優れ
た焼結体が記載されている。また、特開昭62−275
068号公報には、CO2 とCOの混合ガスを含む雰囲
気中で焼成することにより、雰囲気中の酸素分圧を高
め、ガラス相として有効に作用するSiO2 の蒸発等を
防止する技術が開示されている。
【0004】
【発明が解決しようとする課題】しかし、上記では耐
摩耗性等は未だ十分ではなく、助剤量の更なる低減が必
要であり、は製造コストが高いため工具材料用焼結体
の製造方法としては採用されておらず、また、では焼
結性を向上させるためAl2 3 等のAl化合物が使用
されているが、これでは焼結体の熱伝導性が低下し、切
削加工時に工具がより高温となり耐摩耗性が不十分とな
る。以上のように種々の技術開発がなされているもの
の、切削工具、耐摩耗部品等においては、その工具或い
は部品の寿命と密接に関連する耐摩耗性のより一層の向
上が要求されている。本発明は、上記問題点を解決する
ものであり、特定の元素を酸化物換算で極めて少量含む
耐摩耗性に優れた切削工具用窒化珪素質焼結体、及びそ
の焼結体を特定のガス雰囲気中で焼成して製造する方法
を提供することを目的とする。
【0005】
【課題を解決するための手段】本発明者らは、耐摩耗性
を向上させるには粒界ガラス相量を低減することが有効
であることに着目し、低助剤量の窒化珪素質焼結体原料
を焼結させる方法を検討した結果、Mg、Zr、Ce、
O、N元素を粒界成分とするガラス相或いは結晶相から
なる焼結体において、焼成雰囲気中にMgOガス等を含
ませること及びCOガスをある特定の範囲以下に制御す
ることで、低助剤量で焼成でき、且つ耐摩耗性等に優れ
た焼結体を得ることができることを見出し、本発明を完
成するに至った。
【0006】即ち、本第1発明の切削工具用窒化珪素質
焼結体は、Si3 4 を主体とする粒子からなる相と、
該粒子の粒界に形成される粒界相とからなる焼結体にお
いて、上記焼結体を100重量%とした場合に、上記S
3 4 は98.0〜99.9重量%であり、上記粒界
相は、MgO、ZrO2 及びCeO2 換算でそれぞれ
0.05重量%以上〜0.5重量%未満、且つ、合計量
が1.5重量%未満であるMg、Zr並びにCeを含む
ガラス相又は結晶相であることを特徴とする。また、第
2発明は、上記粒界相は、In、Ta及びTiのうち少
なくとも1種を、In2 3 、Ta2 3 並びにTi2
3 換算で、上記焼結体を100重量%とした場合に、
その合計量で0.5重量%以下含むことを特徴とする。
【0007】更に、第3発明は、上記焼結体の相対密度
が98%以上、上記焼結体中のカーボン量が0.2重量
%以下であり、特定の測定方法による逃げ面摩耗量VB
が1.3mm以下、及び耐欠損性が10枚以上のうちの
どちらかを具備していることを特徴とし、第4発明は、
上記焼結体の熱伝導率が25W/mK以上、上記焼結体
中のカーボン量が0.15重量%以下であり、第3発明
と同じ測定方法による逃げ面摩耗量VB が1.2mm以
下、及び耐欠損性が9枚以上のうちのどちらかを具備し
ていることを特徴とする。
【0008】上記「Si3 4 」相を形成するための原
料粉末としては、不純物としての酸素量が1〜3%程度
であり、その他の不純物は極く少なく、また、α−Si
3 4 の割合の大きい、一般に原料粉末として好ましい
とされているものを特に制限されることなく使用でき
る。「Mg」、「Zr」、「Ce」成分の原料粉末は、
比表面積4m2 /g以上のものが好ましく、酸化物又は
焼成過程で酸化物に変化し得るもの、例えば炭酸塩など
の塩或いは水酸化物などが用いられる。上記「粒界相」
はMg、Zr、Ce、O、N等の元素を含むガラス相又
は結晶相からなり、Mg、Zr及びCeそれぞれの量が
MgO、ZrO2 、CeO2 換算で0.05〜0.5重
量%である。この量が0.05未満では焼結性が不十分
であり、0.5重量%を越える場合は耐摩耗性が低下す
る。また、その合計量は1.5重量%未満であり、合計
量がこれを越える場合は耐摩耗性が低下する。
【0009】第5発明の耐摩耗性窒化珪素質焼結体の製
造方法は、焼結体全体を100重量%とした場合に、9
8.0〜99.9重量%の窒化珪素と、MgO、ZrO
2 及びCeO2 換算でそれぞれ0.05〜0.5重量
%、且つその合計量が1.5重量%未満であるMg、Z
r並びにCeを含むガラス相又は結晶相である粒界相と
からなる焼結体を製造するに際し、MgOガス及び/又
はMgガス含み、且つ0.1体積%未満のCOガスを含
む焼成雰囲気中で焼成することを特徴とする。
【0010】上記「MgOガス及び/又はMgガス含
む」焼成雰囲気とするためには、例えばサヤ中に窒化珪
素成形体とともにMgO焼結体を入れ加熱すればよい。
これによりその時のCO濃度、温度等の条件により、両
ガスがそれぞれ単独で或いは共存の形で雰囲気中に存在
することになる。使用するMgO焼結体の量は窒化珪素
成形体との重量比で0.5%以上が好ましい。これ未満
の量では窒化珪素成形体からのMgOの揮散を十分抑え
ることができず、粒界相を形成するためのMg成分が下
限量未満となって焼結性が損なわれることがある。ま
た、本発明の方法では、同時に「焼成雰囲気中のCOガ
スの量を0.1体積%未満」とすることにより実施され
るが、COガスがこれ以上の量である場合は、窒化珪素
成形体中のSiO2 の還元反応による揮散量が増加し、
粒界相形成に有効な作用をするSiO2 の減少により焼
結性が大きく低下する。
【0011】本発明の方法では、MgOガス等を含む焼
成雰囲気とし、且つ雰囲気中のCOガスの量は0.1体
積%未満に制御されるが、これにより焼結性はより一層
向上し、得られる焼結体の耐摩耗性等の性能も更に向上
する。また、COガスを制御することにより炭素の生成
が抑えられ、得られる焼結体中の炭素含有量は0.2重
量%以下と低く抑えられ、これによっても耐摩耗性等が
向上するため好ましい。焼成は、常圧焼成或いは常圧焼
成を行った後、二次焼成として雰囲気加圧焼成を行い実
施することができる。焼成温度は常圧焼成、雰囲気加圧
焼成ともに1500〜2000℃の範囲とし、二次焼成
は10気圧以上の窒素分圧を有する加圧雰囲気中で行
う。雰囲気加圧焼成は熱間静水圧プレス焼結(HI
P)、ガス圧焼結(GPS)等いずれの方法であっても
よい。
【0012】
【作用】切削中の工具の刃先温度は被切削材や切削条件
によって異なるが、通常800℃を越える高温である。
このため耐摩耗性を向上させるためには耐熱性及び耐食
性等に優れていなければならず、窒化珪素に比べてこれ
ら特性が劣る粒界相の量を、焼結性が損なわれない範囲
で低減する必要がある。本発明では、焼結助剤としてM
g、Zr及びCeの化合物を極く少量使用し、これら3
元素とSi、N、Oからなる粒界相とすることにより、
上記耐摩耗性と焼結性とを両立させたものである。ま
た、Mg、Zr、Ce、N及びO元素を粒界相として含
む焼結体は、焼成雰囲気中のMgOガス等及びCOガス
量によって焼結性が著しく変化するが、本発明の方法で
は、焼成時の雰囲気を最適化したことにより、極く微量
の焼結助剤で焼結が可能となったものである。
【0013】
【実施例】以下、実施例及び比較例により本発明を具体
的に説明する。下記の各原料粉末を使用し、表1(実験
例1〜17)及び表2(比較実験例18〜28)に示す
割合で配合し焼結体を得た。 Si3 4 粉末:平均粒径;0.7μm、α率;98
%、比表面積;10m2 /g MgO粉末:比表面積;4m2 /g ZrO2 粉末:比表面積;14m2 /g CeO2 粉末:比表面積;8m2 /g Ta2 5 粉末:比表面積;8m2 /g Cr2 3 粉末:比表面積;8m2 /g In2 3 粉末:比表面積;同9m2 /g
【0014】
【表1】
【0015】
【表2】
【0016】尚、表1中の実験No.13〜17の、そ
の他の添加物は不純物として存在しても影響がないもの
の例であり、熱伝導率を低下させるAl2 3 との比較
として使用したものである。但し、In、Ta、Tiの
酸化物は、焼結性を向上させる効果があるため選択した
ものである。また、表1及び表2中のサヤ中のMgO焼
結体の量は、窒化珪素成形体を焼成する際に成形体とと
もにサヤ中に入れたMgO焼結体の窒化珪素成形体に対
する重量百分率を表す。
【0017】焼結体は、先ず乾燥した配合粉末を2to
n/cm2 の圧力で金型プレス成形し、その後、MgO
ガス等を含む窒素ガス雰囲気中、1気圧、1600〜1
900℃で2時間一次焼成を行い、次いで、一時焼成と
同様のガス雰囲気中、100気圧、1800〜2000
℃で2時間二次焼成を行って製造した。尚、一時及び二
次焼成ともに、サヤ中に窒化珪素成形体とともにMgO
焼結体を入れることにより上記特定のガス雰囲気とする
ことができる。得られた焼結体について、切削工具とし
ての耐摩耗性及び耐欠損性を測定した結果を表3に示
す。
【0018】
【表3】
【0019】以下に各特性の測定方法を示す。 1)相対密度:アルキメデス法により焼結体密度を測定
し、以下の式より相対密度を算出した。 相対密度(%)=(焼結体密度/同組成の完全緻密焼結
体密度)×100 2)熱伝導率:焼結体の800℃における熱伝導度をレー
ザーフラッシュ法により測定した。試片の大きさは直
径)mm、厚さ1mmの円板形状とした。 3)カーボン量:焼結体のカーボン量は燃焼法により測定
した。
【0020】4)耐摩耗性 SNGN432、チャンファー0.15のチップを用
い、被削材としてFC23、240mmφ×100mm
Lを選び、切削速度300m/min、切込み1.5m
m、送り速度0.3mm/rev及び切削長さ400m
mの条件でフランク摩耗量を測定し、逃げ面摩耗量VB
とした。 5)耐欠損性 SNGN432、チャンファー0.07のチップを用
い、被削材としてFC23を選び、切削速度150m/
min、切込み2.0mm、送り速度0.8mm/re
vの条件で、外形200mm、厚さ11mmの円板の外
側面を軸方向に切削し、欠損が生じるまでの円板の枚数
を測定した。
【0021】表3の結果から、各実験例の焼結体は耐摩
耗性VB が1.3mm以下、又は欠損が生じるまでの円
板枚数が10枚以上のうちのどちらかの性能を有してお
り、切削特性に優れたものであることが分かる。これに
対して比較実験例18は助剤成分の合計が2重量%であ
るため、十分緻密化しているにもかかわらず(相対密度
=100%)、耐摩耗性、耐欠損性ともにやや低い数値
となっており、切削特性が劣っている。比較実験例21
は助剤量が比較的少量であるうえに、焼成雰囲気中のC
Oガス量が上限を越えているため、一次焼成後の密度が
低く緻密化できず、相対密度が89%未満と低い。
【0022】また、焼結助剤としてIn、Ti、Taの
各成分を併用した実験例13〜17においても、十分な
性能の焼結体が得られているが、同様に併用した比較実
験例22〜25では耐欠損性は優れるものの耐摩耗性が
劣っている。更に、Al2 3 を添加した比較実験例2
6では、熱伝導率が低下したことにより耐摩耗性が低下
している。これらの結果により、本発明の窒化珪素質焼
結体は従来の焼結体に比較し優れた耐摩耗性と耐欠損性
とを併せ持つものであることが分かる。尚、本発明にお
いては、前記具体的実施例に示すものに限られず、目
的、用途に応じて本発明の範囲内で種々変更した実施例
とすることができる。
【0023】
【発明の効果】第1発明の窒化珪素質焼結体は、粒界相
が特定の極く少量の成分からなっており、それにもかか
わらず焼結性に優れ、相対密度が実質的に100%の極
めて緻密な焼結体であり、第2発明によれば、粒界相中
にMg、Zr及びCe成分以外に、少量のIn、Ta並
びにTiのうち少なくとも1種を含んでいても、第1発
明とまったく同様に焼結性及び耐摩耗性に優れた焼結体
が得られる。また、第3発明及び第4発明の焼結体は、
相対密度並びに逃げ面摩耗量VB 、耐欠損性のうちの少
なくともいずれかが非常に優れたものであり、また、結
体中のカーボン量が第3発明では0.2重量%以下、第
4発明では0.15重量%以下であって、この点も耐摩
耗性の向上に寄与するものである。更に、第5発明の方
法によれば、焼成雰囲気中にMgOガス等を存在させ、
且つCOガスの量を特定することにより、複雑な装置、
手順等を要することなく、耐摩耗性、耐欠損性等の切削
特性に優れた焼結体を得ることができる。
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (51)Int.Cl.6 識別記号 庁内整理番号 FI 技術表示箇所 // B23B 27/14 B C04B 35/64 A

Claims (5)

    【特許請求の範囲】
  1. 【請求項1】 Si3 4 を主体とする粒子からなる相
    と、該粒子の粒界に形成される粒界相とからなる焼結体
    において、 上記焼結体を100重量%とした場合に、上記Si3
    4 は98.0〜99.9重量%であり、上記粒界相は、
    MgO、ZrO2 及びCeO2 換算でそれぞれ0.05
    〜0.5重量%、且つその合計量が1.5重量%未満で
    あるMg、Zr並びにCeを含むガラス相又は結晶相
    (但しAlは含まない。)であることを特徴とする耐摩
    耗性窒化珪素質焼結体。
  2. 【請求項2】 上記粒界相は、In、Ta及びTiのう
    ち少なくとも1種を、In2 3 、Ta2 3 並びにT
    2 3 換算で、上記焼結体を100重量%とした場合
    に、その合計量で0.5重量%以下含む請求項1記載の
    耐摩耗性窒化珪素質焼結体・
  3. 【請求項3】 上記焼結体の相対密度が98%以上、上
    記焼結体中のカーボン量が0.2重量%以下であり、下
    記の測定方法による逃げ面摩耗量VB が1.3mm以
    下、及び耐欠損性が10枚以上のうちのどちらかを具備
    している請求項1又は2記載の耐摩耗性窒化珪素質焼結
    体。逃げ面摩耗量VB :SNGN432、チャンファー
    0.15のチップを使用、被削材;FC23、240m
    mφ×100mmL、切削速度;300m/min、切
    込み;1.5mm、送り速度;0.3mm/rev、切
    削長さ;400mm耐欠損性:SNGN432、チャン
    ファー0.07のチップを使用、被削材;FC23、切
    削速度;150m/min、切込み;2.0mm、送り
    速度;0.8mm/revの条件で、外形200mm、
    厚さ11mmの円板の外側面を軸方向に切削した場合の
    欠損が生じるまでの円板の枚数
  4. 【請求項4】 上記焼結体の熱伝導率が25W/mK以
    上、上記焼結体中のカーボン量が0.15重量%以下で
    あり、請求項3記載の測定方法による逃げ面摩耗量VB
    が1.2mm以下、及び耐欠損性が9枚以上のうちのど
    ちらかを具備している請求項1、2又は3記載の耐摩耗
    性窒化珪素質焼結体。
  5. 【請求項5】 焼結体全体を100重量%とした場合
    に、98.0〜99.9重量%の窒化珪素と、MgO、
    ZrO2 及びCeO2 換算でそれぞれ0.05〜0.5
    重量%、且つその合計量が1.5重量%未満であるM
    g、Zr並びにCeを含むガラス相又は結晶相である粒
    界相とからなる耐摩耗性窒化珪素焼結体を製造するに際
    し、MgOガス及び/又はMgガスを含み、且つ0.1
    体積%未満のCOガスを含む焼成雰囲気中で焼成するこ
    とを特徴とする耐摩耗性窒化珪素質焼結体の製造方法。
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