JPH0726057B2 - シリコーンポリイミド - Google Patents

シリコーンポリイミド

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JPH0726057B2
JPH0726057B2 JP63042411A JP4241188A JPH0726057B2 JP H0726057 B2 JPH0726057 B2 JP H0726057B2 JP 63042411 A JP63042411 A JP 63042411A JP 4241188 A JP4241188 A JP 4241188A JP H0726057 B2 JPH0726057 B2 JP H0726057B2
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Description

【発明の詳細な説明】 発明の背景 本発明以前に、バーガー(Berger)の米国特許第4,395,
527号明細書(U.S.Patent 4,395,527)及びリー(Lee)
の米国特許第4,586,997号明細書(U.S.Patent 4,586,99
7)に示されている様に、シリコーンポリイミドは半導
体及びその他の電子装置用の保護コーティングとして有
用であることが一般に認識されていた。リー及びバーガ
ーによって検討されている様に、シリコーンポリイミド
は通常の有機溶媒の多くに不溶である。しかし、特殊な
シロキサンイミド共重合体が例えばダイグライム等のグ
リコールメチルエーテル、あるいは共沸溶媒として働き
得るダイグライムと例えばキシレン等の有機溶媒との混
合物に可溶であることが見い出されている。
リー及びバーガーの教示に従って製造されるシリコーン
ポリイミドは種々の半導体用の保護コーティングとして
有用であることが見い出されているが、ダイグライム混
合物中で製造されるシリコーンポリイミドの8000g/モル
に及ぶ分子量の幅が、しばしば特定の超小型電子用途に
おいて要求される熱安定性を提供し得ないことになる。
シリコーンポリイミドは、しばしば少なくとも30,000g/
モルあるいはそれ以上の高い分子量を必要とされる。
高い熱安定性を与えるためシリコーンポリイミドの分子
量を高める1つの方法は、シリコーンポリイミドを例え
ばオルトジクロロベンゼン等の塩素化芳香族炭化水素溶
媒中で、例えばp−N,N−ジメチルアミノピリジン等の
イミド化触媒の存在下で生成せしめることである。しか
し、得られるシリコーンポリイミドが改良された熱安定
性を有していても、高い分子量の結果として溶液粘度が
かなり高められる可能性がある。例えば、30,000g/モル
のシリコーンポリイミドのダイグライム/キシレン中で
の30%固体での溶液粘度は、8000センチポアズ程度に高
くなり、スピン注型可能な混合物として有用性の低いも
のとなる。加えて、高分子量のシリコーンポリイミドは
その重合に必要なイミド化触媒の残余の量を保有し、そ
れが更に超小型電子用途におけるコーティング材料とし
ての有用性を減らすことがある。幾分改良された粘度
が、シリコーンポリイミドを例えばオルトジクロロベン
ゼン等の塩素化炭化水素溶媒中で重合せしめ且つ使用す
ることによって達成されるが、上記混合物の有用性は環
境的配慮及び化学的に結合したハロゲンが存在すること
に困る腐食の可能性に原因してかなり減少する。
本発明は、超小型電子用途におけるコーティング材料と
して有用なある種のシリコーンポリイミドが、以下にo
−、p−又はm−メチルアニソールを意味し、好ましく
はp−メチルアニソールであるメチルアニソールの存在
下で、特定の芳香族二無水物と、炭素数6乃至14のアリ
ールジアミン又はこれとアミノアルキル末端停止ポリジ
オルガノシロキサンとの混合物との反内を行なうことに
よって製造され得るという知見に基いている。例えば2,
2−ビス(4−3,4−ジカルボキシフェノキシ)フエニル
[プロパン二無水物](BPADA)又は例えばビス(無水
フタル酸)テトラメチルジシロキサン(PADS)等の無水
フタル酸末端停止ポリジオルガノシロキサンなどの芳香
族ビス(エーテル無水物)が使用され得る。これらの芳
香族二無水物は、例えばトルエンジアミン(TDA)等の
炭素数6乃至14のアリールジアミン又は例えば末端α−
アミノプロピルジメチルシロキシ単位を有するテトラメ
チルジシロキサン(DGAP)もしくはメチルシロキサンブ
ロックが8個の化学的に結合したジメチルシロキシ単位
を有するもの(D8 GAP)等の末端α−アミノアルキルジ
オルガノシロキシ単位を有するポリジオルガノシロキサ
ンと反応し得る。
予期しなかったことに、メチルアニソールの存在下で製
造されるこれらのシリコーンポリイミドは、オルトジク
ロロベンゼン中でイミド化触媒の存在下で同一の成分及
び割合により製造されるシリコーンポリイミドにより示
される熱安定性と実質的に同等の熱安定性を発揮する。
更に、メチルアニソール中で製造されるシリコーンポリ
イミドは、オルトジクロロベンゼン又はダイグライム媒
体中での同一のシリコーンポリイミドと比較して、固相
が30%あるいはそれ以上の濃度で使用された場合にかな
り低い溶液粘度を与えられる。
発明の陳術 本発明によって、重量基準で (A) メチルアニソール100部及び (B)(I) 実質的に等モル量の芳香族ビス(エーテ
ル無水物)と、炭素数6乃至14のアリールジアミン、ア
ミノアルキル末端停止ポリジオルガノシロキサン及びこ
れらの混合物から成る群から選ばれる有機ジアミンとの
間の反応の相互縮合生成物及び (II) 無水フタル酸末端停止ポリジオルガノシロキサ
ン又は無水フタル酸末端停止ポリジオルガノシロキサン
と有機二無水物との混合物と、炭素数6乃至14のアリー
ルジアミンとの間の反応の相互縮合生成物 から選ばれるシリコーンポリイミド2乃至150部 を含むシリコーンポリイミドコーティング組成物が提供
される。
本発明の実施に際して使用され得る二無水物の中には、
式(I): [式中、Rは 及び一般式: 〔式中、Xは式: −CyH2y−、 及び −S−の2価の基から成る群から選ばれる一員であり、
mは0又は1であり、そしてyは1乃至5の整数であ
る〕 の2価の有機基から選ばれる炭素数6乃至14の2価の芳
香族基である] の芳香族ビス(エーテル無水物)が包含される。
前記芳香族ビス(エーテル無水物)に加えて、本発明の
実施に際して使用され得るその他の二無水物は、式(I
I): (式中、R1は炭素数1乃至14の1価の炭化水素基又は炭
素数1乃至14の置換された1価の炭化水素基であり、R2
は炭素数6乃至14の3価の有機基でありそして好ましく
はフタル酸基又はノルボルニル基であり、そしてnは1
乃至30の整数である) のシロキサン二無水物である。好ましくは、式(II)の
シロキサン二無水物は、以下においてPADSとして言及さ
れる、nが1であるビス−無水フタル酸テトラメチルジ
シロキサンである。式(II)のシロキサン二無水物は、
ジェー・アール・ブラットら、ジャーナル・オブ・オー
ガニック・ケミストリー、38巻、No.25(1973)、4271
〜4274頁〔J.R.Pratt et al.,Journal of Organic Chem
istry,Vol.38,No.25(1973)pages 4271−4274]に示さ
れている方法によって製造され得る。このほか、PADSに
関しては本願と同一の譲受人に譲渡された、1987年2月
5日付提出の米国特許出願第011,185号及び1985年8月1
3日付提出の米国特許出願第765,089号各明細書が参照さ
れる。
本発明の実施に際して使用される好適な芳香族ビス(エ
ーテル無水物)は、2,2−ビス(3,4−ジカルボキシフェ
ニル)プロパン二無水物(BPADA)である。使用され得
るその他の有機二無水物は、例えばリャン(Ryang)の
米国特許第4,381,396号明細書(U.S.Patent 4,381,39
6)に示されている5,5′−(1,1,3,3−テトラメチル−
1,3−ジシロキサン)ビスノルボルナン−2,3−ジカルボ
ン酸無水物(DiSiAN)、オキシ−ビス(4−(無水フタ
ル酸)(ODAN)である。以下で使用されるとき、「有機
二無水物」という用語には等モル量までの量でPADSと組
合せて使用され得る。BPADA、DiSiAN、ODAN又はこれら
の混合物が包含される。加えて、有機二無水物にはこの
ほか無水物の総モルを基準として10モル%までの量のピ
ロメリト酸無水物(PMDA)、ベンゾフェノン二無水物
(BPDA)及び3,3′,4,4′−ビフェニルテトラカルボン
酸無水物が包含され得る。
本発明に係る好適なシリコーンポリイミドとは、BPAD
A、PADS又はPADSと有機二無水物との混合物と、更に有
機ジアミンと組合せて使用され得るアミノオルガノ末端
停止シロキサンとの縮合によって製造され得る。本発明
の実施に際して使用され得るアミノオルガノ末端停止シ
ロキサンのいくつかは、リー(Lee)の米国特許第4,58
6,997号明細書(U.S.Patent 4,586,997)に示されてい
る。好ましくは、式(III): (式中、pは0乃至8の値を有する) のアミノ末端停止シロキサンが使用され、その中にはp
が1であるDGAP及びpが8であるD8GAPが包含される。
式(III)のアミノ末端停止シロキサンに加えて、本発
明の実施には前記した様な種々の有機ジアミン又はこれ
らの混合物の単独あるいはこれらと式(III)のアミノ
末端停止シロキサンとの組合せを使用することが含まれ
る。式(III)のアミノ末端停止シロキサンに加えて、
0乃至約8個の化学的に結合したジメチルシロキシ単位
を有し、そして炭素−ケイ素結合によってケイ素原子と
結合した末端アミノフェニル単位を有するポリジメチル
シロキサンも使用され得る。
以下の実施例は、限定するためではなく例証のために示
されている。全ての部は、重量基準による。
実施例1 1,3−ビス(3−アミノ−N−プロピル)−1,1,3,3−テ
トラメチルジシロキサン(GAP)43グラム(0.172モル)
とオクタメチルシクロテトラシロキサン116.1グラム
(0.387モル)とテトラメチルアンモニウムヒドロキシ
ド0.80グラムの溶液(メタノール中20重量%)との混合
物が、窒素を反応混合物中に散布せしめながら75℃で12
時間加熱された。揮発せしめられたメタノールが、枝付
き冷却器内に採取された。反応温度が153℃に高めら
れ、そして4時間保持され、冷却され、そして濾過され
た。調製及び滴定法に基いて末端3−アミノ−N−プロ
ピル基と共に平均して8.4個のジメチルシロキシ単位を
有するポリジメチルシロキサン(D8GAP)が得られた。
BPADA 88.483グラム(0.170モル)、D8GAP42.92グラム
(0.051モル)、2,4−トルエンジアミン14.538グラム
(0.119モル)及びp−メチルアニソール360mlの混合物
が、水の共沸蒸留と共に約40%の固相濃度となるまで10
時間かくはん下で還流された。この混合物が室温まで冷
却され、そしてこの均質反応溶液の一部がメタノール中
に沈殿せしめられた。繊維状のオフホワイトの固体が得
られ、これが真空中、88℃で一晩乾燥せしめられた。調
製法及び二度の沈殿の生成物のゲル浸透クロマトグラフ
ィー分析に基いて、これは23,000グラム/モルの▲
▼、85,000グラム/モルの▲▼及びクロロホルム中
で0.44dl/gの固有粘度を有するシリコーンポリイミドで
あった。
下記のとおりに、重合が重合触媒としてp−ジメチルア
ミノピリジン(DMAP)を用いオルトクロロベンゼン中で
行なわれた以外は、前記方法が繰返された。
BPADA 40.890グラム(0.0786モル)、D8GAP20.886グラ
ム(0.0239モル)、TDA 6.588グラム(0.0546モル)、
o−ジクロロベンゼン(ODCB)400ml及びp−メチルア
ミノピリジン100mgの混合物が、窒素パージを用いて12
時間かくはんされ、還流された。反応混合物が還流下で
もう4時間加熱され、そして室温に冷却された。得られ
た混合物が、次いでクロロホルムで希釈され、そしてメ
タノール中に沈殿せしめられた。生成物が単離され、そ
して真空オーブン中、60℃で一晩乾燥せしめられた。生
成物を2度メタノールから沈殿せしめた後、39,000グラ
ム/モルの▲▼、87,000グラム/モルの▲▼及
びクロロホルム中で0.52dl/gの固有粘度を有するシリコ
ーンポリイミドが得られた。
以上の結果は、メチルアニソールを用いて本発明の実施
により製造されるシリコーンポリイミドが、o−ジクロ
ロベンゼン中でイミド化触媒を使用して製造されるシリ
コーンポリイミドと実質的に同様であることを示してい
る。
ダイグライム716グラムとキシレン144グラムの混合物に
溶解せしめられた2,4−ジアミノトルエン210グラムが、
BPADA1313グラム、ダイグライム2,865グラム及びキシレ
ン575グラムに加えられ、窒素ブランケット下で160℃で
還流され、そして125℃に冷却された。得られた混合物
が還流のため158℃に加熱され、そして反応生成水がト
ラップ内に採集された。窒素掃引を用いた緩和な10時間
の還流の後、45分かけてD8GAP 0.807モルが加えられ
た。混合物の加熱がもう8時間続けられ、そして次いで
混合物が冷却せしめられた。8,000グラム/モルの▲
▼及び26,000グラム/モルMwを有するシリコーンポリ
イミドが得られた。
ダイグライム溶媒、オルトジクロロベンゼン溶媒及びp
−メチルアニソール溶媒を用いて、3個の等価なシリコ
ーンポリイミド溶液が30wt%の濃度で調製された。シリ
コーンポリイミドは、前記の様な縮合触媒としてアミノ
ピリジンを用いてo−ジクロロベンゼン中で調製された
BPADA、TDA(70モル%)及びD8GAP(30モル%)の共重
合体であった。種々の溶媒中で沈殿せしめられたシリコ
ーンポリイミドの室温での溶液粘度は、次の様に示され
る。
(粘度(センチポアズ) ダイグライム 8000 o−ジクロロベンゼン 7500 p−メチルアニソール 3500 上記結果は、シリコーンポリイミドの粘度が、ダイグラ
イム及びo−ジクロロベンゼンによって与えられる粘度
よりも優れたスピンコーティング混合物を与えることを
示している。
実施例2 P−メチルアニソールを重合触媒として使用し、そして
BPADA、TDA及びD8GAPをシリコーンポリイミド共重合体
製造用の成分として使用して、実施例1に従ってシリコ
ーンポリイミド共重合体が調製された。シリコーンポリ
イミド共重合体がダイグライム中で調製された以外は、
同一の方法が繰返された。シリコーンポリイミドの膜体
としての熱安定性が、350℃での等温重量分析を用いて
比較された。p−メチルアニソール中で調製されたシリ
コーンポリイミドの損失量がダイグライム/キシレン媒
体中で調製されたシリコーンポリイミドの損失量の1/10
であることが見い出された。
前記実施例は本発明のシリコーンポリイミド共重合体の
製造に使用され得る大変数多くの変形例のうちほんの僅
かに係わっているに過ぎないが、本発明がこれらの実施
例より以前に記載されている様なもっと幅広く多様な材
料の使用に係わっていることが理解されるべきである。
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (72)発明者 ジョナサン・デビッド・リッチ アメリカ合衆国、ニューヨーク州、レック スフォード、フェアウェイ・レーン、11番 (56)参考文献 特開 昭57−67653(JP,A) 特開 昭63−234031(JP,A) 特表 昭63−500802(JP,A) 米国特許4181641(US,A)

Claims (6)

    【特許請求の範囲】
  1. 【請求項1】重量基準で、 (A)メチルアニソール100部及び (B)(I)実質的に等モル量の (i)芳香族ビス(エーテル無水物)と (ii)アミノアルキル末端停止ポリジオルガノシロキサ
    ン及びアミノアルキル末端停止ポリジオルガノシロキサ
    ンと炭素数6乃至14のアリールジアミンとの混合物から
    成る群から選ばれる有機ジアミンと の間の反応の相互縮合生成物及び (II)(iii)無水フタル酸末端停止ポリジオルガノシ
    ロキサン又は無水フタル酸末端停止ポリジオルガノシロ
    キサンと有機二無水物との混合物と (iv)炭素数6乃至14のアリールジアミンと の間の反応の相互縮合生成物 から選ばれるポリイミドシロキサン2乃至150部 を含むシリコーンポリイミドコーティング組成物。
  2. 【請求項2】重量基準で、 (A)メチルアニソール100部及び (B)(I)実質的に等モル量の (i)2,2−ビス(4−3,4−ジカルボキシフェノキシ)
    フエニル[プロパン二無水物]と (ii)8個の化学的に結合したオルガノシロキシ単位及
    び末端α−アミノプロピルシロキシ単位を有するポリジ
    メチルシロキサン及び該ポリジメチルシロキサンとトル
    エンジアミンとの混合物から成る群から選ばれる有機ジ
    アミンと の間の反応の相互縮合生成物及び (II)(iii)ビス(無水フタル酸)テトラメチルジシ
    ロキサン又はビス(無水フタル酸)テトラメチルジシロ
    キサンと有機二無水物との混合物と、 (iv)オキシジアニリン、メタフェニレンジアミン、メ
    チレンジアニリン、トルエンジアミン及びこれらの混合
    物から成る群から選ばれる有機ジアミンと の間の反応の相互縮合生成物 から選ばれるポリイミドシロキサン2乃至150部 を含むシリコーンポリイミドコーティング組成物。
  3. 【請求項3】シリコーンポリイミドが2,2−ビス(4−
    3,4−ジカルボキシフェノキシ)フエニル[プロパン二
    無水物]と、トルエンジアミンと8個の化学的に結合し
    たジメチルシロキシ単位及び末端α−アミノプロピルシ
    ロキシ単位を有するポリジメチルシロキサンとの混合物
    との間の反応の相互縮合生成物である特許請求の範囲第
    2項記載のシリコーンポリイミドコーティング組成物。
  4. 【請求項4】ポリイミドシロキサンがビス(無水フタル
    酸)テトラメチルジシロキサンとオキシジアニリンとの
    間の反応の相互縮合生成物である特許請求の範囲第2項
    記載のシリコーンポリイミドコーティング組成物。
  5. 【請求項5】ポリイミドシロキサンがビス(無水フタル
    酸)テトラメチルジシロキサンと2,2−ビス(4−3,4−
    ジカルボキシフェノキシ)フエニル[プロパン二無水
    物]とオキシジアニリンとの間の反応の相互縮合生成物
    である特許請求の範囲第2項記載のシリコーンポリイミ
    ドコーティング組成物。
  6. 【請求項6】ポリイミドシロキサンがビス(無水フタル
    酸)テトラメチルジシロキサンと5,5′−(1,1,3,3−テ
    トラメチル−1,3−ジシロキサン)ビスノルボルナン−
    2,3−ジカルボン酸無水物とオキシジアニリンとの間の
    反応の相互縮合生成物である特許請求の範囲第2項記載
    のシリコーンポリイミドコーティング組成物。
JP63042411A 1987-02-27 1988-02-26 シリコーンポリイミド Expired - Lifetime JPH0726057B2 (ja)

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US20,263 1987-02-27

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