JPH07260527A - センサ回路 - Google Patents

センサ回路

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Publication number
JPH07260527A
JPH07260527A JP7994694A JP7994694A JPH07260527A JP H07260527 A JPH07260527 A JP H07260527A JP 7994694 A JP7994694 A JP 7994694A JP 7994694 A JP7994694 A JP 7994694A JP H07260527 A JPH07260527 A JP H07260527A
Authority
JP
Japan
Prior art keywords
piezoelectric
temperature
sensor
same
vibrators
Prior art date
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Pending
Application number
JP7994694A
Other languages
English (en)
Inventor
Yasuo Koyaizu
泰夫 小柳津
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Kyocera Crystal Device Corp
Original Assignee
Kyocera Crystal Device Corp
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Filing date
Publication date
Application filed by Kyocera Crystal Device Corp filed Critical Kyocera Crystal Device Corp
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Abstract

(57)【要約】 【目的】 本発明の目的は、温度特性のよいセンサ回路
を得ることである。 【構成】 センサ用圧電振動子とクロック用圧電振動子
の圧電振動子の長手方向を直列に配置することで、両圧
電振動子にほぼ万遍なく気体の流れが当たり、圧電振動
子の配置による影響を無くすることで目的が達成され
た。

Description

【発明の詳細な説明】
【0001】
【産業上の利用分野】本発明は、センサ回路のセンサ用
圧電振動子とセンサ信号処理回路のクロック用圧電振動
子の配置に関する。
【0002】
【従来の技術】従来から図3に示す様に、センサ用圧電
振動子とセンサ信号処理回路のクロック用圧電振動子
は、基板上の面の有効的利用を考慮して圧電振動子の側
面を向き合わせにした占有面が四角になる様に配置され
るのが、一般的であった。
【0003】
【発明が解決しようとする課題】しかし、この様な側面
を向き合わせた構造では、お互いに気体の流れを阻害し
合い、センサとしての機能に支障が生じたり両圧電振動
子の間に温度差が生じて温度特性のずれによる、誤差が
拡大したりするという課題があった。
【0004】
【課題を解決するための手段】センサ用圧電振動子とク
ロック用圧電振動子の圧電振動子の長手方向を直列に配
置することで、両圧電振動子にほぼ万遍なく気体の流れ
が当たり、圧電振動子の配置による影響を無くすること
で課題が解決された。
【0005】
【実施例】図1にセンサの圧電振動子の配置を示す。図
2(a)は、長手方向からの気流3の流れの場合で、気
流はセンサ用圧電振動子1の圧電振動板に沿って流れ、
次のクロック用圧電振動子2のキャップに沿って流れ
る。この様な気体の流れは、センサ用圧電振動子1もク
ロック用圧電振動子2においても、万遍なく気体は行き
当たり、センサ用圧電振動子1には、気流3が反応物質
を含んでいる場合は反応物質が充分行き渡り反応が促進
される。また温度についてはセンサ用圧電振動子1につ
いても、クロック用圧電振動子2についても充分供給さ
れているため、両圧電振動子はほぼ同じ温度に保たれ、
温度特性が同じならば温度についての変化は両圧電振動
子について同じかまたは同じ割合になるので、温度補償
が行い易くなる。
【0006】図2(b)は、圧電振動子の長手方向に真
横から気流が流れている場合で、両圧電振動子は真横か
ら気流をうけていて、反応物質も温度も充分供給され、
結果は図2(a)と同じである。
【0007】図2(c)は、圧電振動子の長手方向に斜
めから気流が流れている場合で、この場合も陰が出来る
ことなく、斜めからの気流をうけていて、反応物質も温
度も充分供給され、結果は図2(a)と同じである。
【0008】なお、センサ用圧電振動子とクロック用圧
電振動子が同一圧電振動板に形成されている場合は、セ
ンサ用圧電振動子とクロック用圧電振動子は自動的に直
線上に配列されており、理想的な配置である。
【0009】
【発明の効果】本発明により、気流が均一に両圧電振動
子にかかるため、センサ用圧電振動子の温度特性を排除
できるので、センサとしての精度を向上させることが実
現できた。
【図面の簡単な説明】
【図1】図1は、本発明のセンサ用圧電振動子とクロッ
ク用圧電振動子が直線上に配列さた一例の上面図と側面
図である。
【図2】図2(a)は、図1の場合の気流が直線配置に
沿って流ている様子を示す図である。図2(b)は、図
1の場合の気流が直線横配置の真横から流ている様子を
示す図である。図2(c)は、図1の場合の気流が直線
配置に対して、斜めから流ている様子を示す図である。
【図3】は、図3に従来技術の配列を示す一例を示す配
置図である。
【符号の説明】
1 センサ用圧電振動子 2 クロック用圧電振動子 3 気流 4 実装基板

Claims (1)

    【特許請求の範囲】
  1. 【請求項1】 センサ用圧電振動子とクロック用圧電振
    動子を有するセンサ回路おいて、該センサ用圧電振動子
    と該クロック用圧電振動子を長手方向を直列に配置する
    ことを特徴とするセンサ回路。
JP7994694A 1994-03-26 1994-03-26 センサ回路 Pending JPH07260527A (ja)

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JP7994694A JPH07260527A (ja) 1994-03-26 1994-03-26 センサ回路

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JP7994694A JPH07260527A (ja) 1994-03-26 1994-03-26 センサ回路

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Cited By (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2010271285A (ja) * 2009-05-25 2010-12-02 Shimizu Corp ガスモニタリング装置およびガスモニタリング方法
JP2013145249A (ja) * 2013-04-25 2013-07-25 Shimizu Corp ガスモニタリング装置

Cited By (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2010271285A (ja) * 2009-05-25 2010-12-02 Shimizu Corp ガスモニタリング装置およびガスモニタリング方法
JP2013145249A (ja) * 2013-04-25 2013-07-25 Shimizu Corp ガスモニタリング装置

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