JP2010271285A - ガスモニタリング装置およびガスモニタリング方法 - Google Patents
ガスモニタリング装置およびガスモニタリング方法 Download PDFInfo
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Abstract
【解決手段】モニタリング対象となる空気あるいは清浄な空気が導入される空気導入部21を一端部に設け、導入された空気が排出される空気排出部22を他端部に設けたケーシング2と、ケーシング2の内部に装填された水晶振動子3とを備えたガスモニタリング装置1において、モニタリング対象となる空気と清浄な空気とが交互に空気導入部22に供給されるようにしたので、水晶振動子3の表面に残存した物質の残存吸着量を継続して求めれば、当該物質の吸着強度を評価することができる。また、モニタリング対象となる空気が水晶振動子3の表面全体に行き渡るので、モニタリング対象となる物質を水晶振動子3に効率的に吸着させることができる。
【選択図】図1
Description
まず、図1〜図3に基づいて、本発明の実施の形態1であるガスモニタリング装置について説明する。なお、図1は、本発明の実施の形態1であるガスモニタリング装置を示す模式図であり、図2は、吸着強度が大きな物質Aのモニタリング結果を示す図、図3は、吸着強度が小さな物質Bのモニタリング結果を示す図である。
つぎに、図4に基づいて、本発明の実施の形態2であるガスモニタリング装置を説明する。なお、図4は、本発明の実施の形態2であるガスモニタリング装置を示す模式図である。また、実施の形態1であるガスモニタリング装置と共通する構成については説明を省略する。
つぎに、図5に基づいて、本発明の実施の形態3であるガスモニタリング装置を説明する。なお、図5は、本発明の実施の形態3であるガスモニタリング装置を示す模式図である。また、実施の形態1であるガスモニタリング装置と共通する構成については説明を省略する。
2 ケーシング
21 空気導入部
22 空気排出部
3 水晶振動子
31 水晶片
32 電極
33 シリコンウエハ
4 バルブ(選択供給手段)
41 バルブ切換コントローラ(切換制御手段)
51 共振回路
52 電源
53 周波数カウンタ
54 データ処理装置
101 ガスモニタリング装置
102 ケーシング
103 水晶振動子
121 空気導入部
121a 第一導入部
121b 第二導入部
122 空気排出部
201 ガスモニタリング装置
202 ケーシング
203 水晶振動子
221 空気導入部
222 空気排出部
Claims (5)
- モニタリング対象となる空気あるいは清浄な空気が導入される空気導入部を一端部に設け、導入された空気が排出される空気排出部を他端部に設けたケーシングと、該ケーシングの内部に装填された水晶振動子とを備えたガスモニタリング装置であって、
モニタリング対象となる空気あるいは清浄な空気を選択し、前記空気導入部に選択された空気を供給する選択供給手段と、
該選択供給手段を制御し、予め設定された時間ごとに選択された空気を一方から他方に切り換える切換制御手段と
を備えたことを特徴とするガスモニタリング装置。 - 清浄な空気からモニタリング対象となる空気への切換直前において水晶振動子に吸着された物質の残存吸着量を求める吸着量導出手段と、
継続して求めた物質の残存吸着量から物質の吸着強度を求める吸着強度導出手段と
を備えたことを特徴とする請求項1に記載のガスモニタリング装置。 - 水晶振動子が吸着した物質の吸着量を求めることにより、モニタリング対象となる空気に含まれる物質の濃度をモニタするガスモニタリング方法であって、
モニタリング対象となる空気と清浄な空気とを予め設定された時間ごとに切り換えて前記水晶振動子に供給するとともに、
清浄な空気からモニタリング対象となる空気への切換直前において前記水晶振動子に吸着された物質の残存吸着量を継続して求め、継続して求めた残存吸着量によって物質の吸着強度を求めることを特徴とするガスモニタリング方法。 - モニタリング対象となる空気が導入される空気導入部と、導入された空気が排出される空気排出部を設けたケーシングと、該ケーシングの内部に装填された水晶振動子とを備えたガスモニタリング装置であって、
前記空気導入部は、
モニタリング対象となる空気が水晶振動子の一方の面に斜めに当たり、その後、一方の面に沿って流れるように、ケーシングの側部に設けた第一導入部と、
モニタリング対象となる空気が水晶振動子の他方の面に斜めに当たり、その後、他方の面に沿って流れるように、ケーシングの側部に設けた第二導入部と
を有することを特徴とするガスモニタリング装置。 - モニタリング対象となる空気が導入される空気導入部を一端部に設け、導入された空気が排出される空気排出部を他端に設けたケーシングと、該ケーシングの内部に装填された水晶振動子とを備えたガスモニタリング装置であって、
モニタリング対象となる空気が水晶振動子の表面全体に行き渡るように、水晶振動子を回転させる駆動手段を設けたことを特徴とするガスモニタリング装置。
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