JPH07106903A - 圧電振動子 - Google Patents

圧電振動子

Info

Publication number
JPH07106903A
JPH07106903A JP26783293A JP26783293A JPH07106903A JP H07106903 A JPH07106903 A JP H07106903A JP 26783293 A JP26783293 A JP 26783293A JP 26783293 A JP26783293 A JP 26783293A JP H07106903 A JPH07106903 A JP H07106903A
Authority
JP
Japan
Prior art keywords
temperature
piezoelectric
piezoelectric vibrator
vibrator plate
plate
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Pending
Application number
JP26783293A
Other languages
English (en)
Inventor
Hitoyuki Ogawa
仁行 小川
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Kyocera Crystal Device Corp
Original Assignee
Kyocera Crystal Device Corp
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Kyocera Crystal Device Corp filed Critical Kyocera Crystal Device Corp
Priority to JP26783293A priority Critical patent/JPH07106903A/ja
Publication of JPH07106903A publication Critical patent/JPH07106903A/ja
Pending legal-status Critical Current

Links

Landscapes

  • Piezo-Electric Or Mechanical Vibrators, Or Delay Or Filter Circuits (AREA)

Abstract

(57)【要約】 【目的】 本発明の目的は、温度情報により、温度や周
波数を制御する回路を有する圧電振発器において、圧電
振動板と温度検出センサの位置を極力近づけることで、
圧電発振器の性能を向上させることである。 【構成】 従来の方法では、圧電振動板に温度センサを
いかに近づけても、圧電振動板そのものの温度を検知す
ることは出来ないために、圧電振動板の近傍の温度を検
知して、圧電振動板の温度を推察する方法が採られてい
たが、近傍の検知温度と圧電振動板の温度との間にずれ
が生じ温度情報による制御回路の動作に不具合があっの
で、圧電振動板そのもの表面に温度センサを形成するこ
とで、圧電振動板自体の温度を検知することにして、圧
電発振器の性能を向上させ問題を解決した。

Description

【発明の詳細な説明】
【0001】
【産業上の利用分野】温度情報によるコントロール装置
を有する発振回路に適合する圧電振動子の構造に関す
る。
【0002】
【従来の技術】従来から、温度情報により温度や周波数
を制御する回路を有する圧電発振器において、温度セン
サの位置は重要である。発振周波数を決定しているのは
圧電振動子であり、この圧電振動子は温度特性を持って
いるから圧電振動子の温度を正確に知ることは大切であ
る。このことから、センサの位置を圧電振動子に出来る
だけ近付ける努力がなされて来た。その結果、実公開昭
57−160225に示される様に、圧電振動子と同一
のケースの中に温度センサを封じ込むものまで有る。
【0003】
【発明が解決しようとする課題】従来の方法では、圧電
振動板に温度センサをいかに近づけても、圧電振動板そ
のものの温度を検知することは出来ないために、圧電振
動板の近傍の温度を検知して、圧電振動板の温度を推察
する方法が採られていたが、近傍の検知温度と圧電振動
板の温度との間にずれが生じ温度情報による制御回路の
動作に不具合を生ずるという課題があった。
【0004】
【課題を解決するための手段】圧電振動板そのもの表面
に温度センサを形成することで、圧電振動板自体の温度
を検知することで、課題を解決した。
【0005】
【実施例】図1に実施例を示す。圧電振動板に水晶板等
が用いられる。圧電振動板の一部に圧電振動子としての
電極を形成する。電極には通常の電極材料のAl、A
g、Au、等を用いる。圧電振動板の振動に出来るだけ
支障を及ぼさない場所に、温度センサの電極を形成す
る。材料としては、一般的に使用されているPtを使用
した例である。圧電振動子の発振電極に発振回路を接続
して発振させ、温度検出センサ電極に温度情報によるコ
ントローラ回路を接続して温度または周波数を制御す
る。
【0006】圧電振動板及び電極の形状は例に挙げた角
形だけとは限らない、円形でも楕円形でもまた他の形状
でもかまわない。また、センサの配置は、片面だけとは
限らない、両面に配置されても良し、センサまたは電極
の材料は、例に挙げた材料だけとは限らない、他の材料
でも良い。
【0008】
【発明の効果】情報を基に、温度または周波数を制御す
る圧電発振器において、温度情報の検出を従来は、圧電
振動板の近傍の温度情報を用いていたので、制御に限界
があつたが、本発明では温度情報が圧電振動板そのもの
の温度情報を得ているので、制御の精度が向上し、温度
情報により温度または周波数を制御する圧電発振器の精
度が従来より向上し、圧電発振器の製造が容易になつ
た。
【図面の簡単な説明】
【図1】本発明の圧電振動子の構造の例を示す正面図で
ある。
【符号の説明】
1 圧電振動板 2 温度検出センサ 3 発振用電極

Claims (1)

    【特許請求の範囲】
  1. 【請求項1】 温度情報により、温度または周波数を制
    御する圧電発振器に使用する圧電振動子において、圧電
    振動子用の電極と同一平板上に温度検出センサを圧電振
    動板上に形成することを特徴とする圧電振動子。
JP26783293A 1993-09-30 1993-09-30 圧電振動子 Pending JPH07106903A (ja)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP26783293A JPH07106903A (ja) 1993-09-30 1993-09-30 圧電振動子

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP26783293A JPH07106903A (ja) 1993-09-30 1993-09-30 圧電振動子

Publications (1)

Publication Number Publication Date
JPH07106903A true JPH07106903A (ja) 1995-04-21

Family

ID=17450244

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
JP26783293A Pending JPH07106903A (ja) 1993-09-30 1993-09-30 圧電振動子

Country Status (1)

Country Link
JP (1) JPH07106903A (ja)

Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US8749123B2 (en) 2010-03-29 2014-06-10 Kyocera Kinseki Corporation Piezoelectric device

Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US8749123B2 (en) 2010-03-29 2014-06-10 Kyocera Kinseki Corporation Piezoelectric device

Similar Documents

Publication Publication Date Title
JP3141645B2 (ja) 圧力センサ
WO1998041822B1 (en) Dust sensor apparatus
EP0829703A4 (en) GYROSCOPIC OSCILLATION SENSOR, COMPOSITE SENSOR AND METHOD FOR PRODUCING A GYROSCOPIC SENSOR
US20110100125A1 (en) Acceleration sensor
MX2008002651A (es) Sensor piezoelectrico de fuerza de viga vibratoria.
US5315874A (en) Monolithic quartz resonator accelerometer
JPH0643179A (ja) 加速度センサ及び該センサの製造方法
US5265473A (en) Oscillator type accelerometer
EP1030164B1 (en) Vibratory gyroscopes and method for manufacturing the same
US7533568B2 (en) Angular rate sensor for correcting a false distortion
JPH07106903A (ja) 圧電振動子
JP2003166828A5 (ja)
JPH08334332A (ja) 振動ジャイロ
JP3148940B2 (ja) 加速度センサ
JP2000002733A (ja) 電位センサ
JPH032569A (ja) 加速度センサ
JPH06160421A (ja) 振動型加速度センサ
JP2671020B2 (ja) 振動ジャイロ
JPH07951Y2 (ja) 電位センサ
JP2770488B2 (ja) 半導体圧力計
JPS633240A (ja) 粘度センサ
JP2003149261A (ja) 加速度センサとこれを用いた自動車
JP2008082842A (ja) ガスセンサ素子
JPS62250309A (ja) 角速度センサの製造方法
JPH0431728A (ja) 半導体圧力計