JPH07260526A - センサ用圧電振動子 - Google Patents
センサ用圧電振動子Info
- Publication number
- JPH07260526A JPH07260526A JP7994594A JP7994594A JPH07260526A JP H07260526 A JPH07260526 A JP H07260526A JP 7994594 A JP7994594 A JP 7994594A JP 7994594 A JP7994594 A JP 7994594A JP H07260526 A JPH07260526 A JP H07260526A
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- JP
- Japan
- Prior art keywords
- sensor
- piezoelectric vibrator
- clock
- piezoelectric
- same
- Prior art date
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- Pending
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- Testing Or Calibration Of Command Recording Devices (AREA)
- Piezo-Electric Or Mechanical Vibrators, Or Delay Or Filter Circuits (AREA)
Abstract
(57)【要約】
【目的】 本発明の目的は、温度特性のよいセンサ回路
に用いられる圧電振動子を得ることである。 【構成】 センサ用圧電振動子とクロック用圧電振動子
を同一圧電振動板に形成することで、両圧電振動子の温
度特性を同一にすることにより、温度特性をキャンセル
させることにより、温度特性を排除して、目的が達成さ
れた。
に用いられる圧電振動子を得ることである。 【構成】 センサ用圧電振動子とクロック用圧電振動子
を同一圧電振動板に形成することで、両圧電振動子の温
度特性を同一にすることにより、温度特性をキャンセル
させることにより、温度特性を排除して、目的が達成さ
れた。
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明は、センサ回路に用いられ
るセンサ用圧電振動子に関する。
るセンサ用圧電振動子に関する。
【０００２】
【従来の技術】従来から図２に示す様に、センサ用圧電
振動子とセンサ信号処理回路のクロック用圧電振動子
は、別個に圧電振動子を用意するのが、一般的であっ
た。
振動子とセンサ信号処理回路のクロック用圧電振動子
は、別個に圧電振動子を用意するのが、一般的であっ
た。
【０００３】
【発明が解決しようとする課題】しかし、センサ用途の
一例としてＨＣｌセンサの例の場合、センサの精度を高
めようとすると、センサとしての信号の変化分の精度も
高めなければならない。とりわけ、圧電振動子は温度特
性を有し、温度により周波数が変化する、センサとして
の信号の変化分が温度による変化分より小さいと、温度
による変化分の埋もれて判別不可能に成るという課題が
あった。
一例としてＨＣｌセンサの例の場合、センサの精度を高
めようとすると、センサとしての信号の変化分の精度も
高めなければならない。とりわけ、圧電振動子は温度特
性を有し、温度により周波数が変化する、センサとして
の信号の変化分が温度による変化分より小さいと、温度
による変化分の埋もれて判別不可能に成るという課題が
あった。
【０００４】
【課題を解決するための手段】一般的に圧電振動子の温
度特性は、圧電振動板のカットアングルに依存する。前
記課題を解決するために、センサ用圧電振動子と信号処
理クロック用圧電振動子を同一圧電振動板に形成し、両
圧電振動子の温度特性を揃えることにより、温度特性を
キャンセルして温度特性の影響を無くすることで課題が
解決された。
度特性は、圧電振動板のカットアングルに依存する。前
記課題を解決するために、センサ用圧電振動子と信号処
理クロック用圧電振動子を同一圧電振動板に形成し、両
圧電振動子の温度特性を揃えることにより、温度特性を
キャンセルして温度特性の影響を無くすることで課題が
解決された。
【０００５】
【実施例】図１にセンサの構成を示す。センサ用圧電振
動子２を発振回路４で発振させてその出力をカウンタへ
供給する。他方クロック用圧電振動子３を発振回路４で
発振させてその出力を分周してタイムベースとして使用
する。センサ用圧電振動子２とクロック用圧電振動子３
を同一の圧電振動板１に形成することにより、同じ発振
周波数、同じ温度特性、同じ環境温度分布が得られる。
動子２を発振回路４で発振させてその出力をカウンタへ
供給する。他方クロック用圧電振動子３を発振回路４で
発振させてその出力を分周してタイムベースとして使用
する。センサ用圧電振動子２とクロック用圧電振動子３
を同一の圧電振動板１に形成することにより、同じ発振
周波数、同じ温度特性、同じ環境温度分布が得られる。
【０００６】具体的に、説明する。一例として、センサ
用圧電振動子２とクロック用圧電振振動子３を２６２１
４４０Ｈｚとする。クロックパルスを０．１ｓｅｃとす
れば、クロック用圧電振振動子３の出力２６２１４４０
Ｈｚを、分周回路５に供給し２18分周すると得られる。
これをカウンタ６のゲートパルスとして使用する。セン
サ用圧電振動子も同じ２６２１４４０Ｈｚを使用する。
全て正常ならば、カウンタ出力は２６２１４４である。
いま温度が変化して、１％周波数が下降したと仮定す
る。カウンタの出力２５９５２２となるはずであるが、
カウンタのゲートパルスはパルス幅が１％広くなるの
で、そのパルス幅の中に入るパルスの数はやはり２６２
１４４と温度の変化する前と同じである。この様にし
て、センサ出力として取り出されるカウンタ出力には、
温度による変化は排除されている。
用圧電振動子２とクロック用圧電振振動子３を２６２１
４４０Ｈｚとする。クロックパルスを０．１ｓｅｃとす
れば、クロック用圧電振振動子３の出力２６２１４４０
Ｈｚを、分周回路５に供給し２18分周すると得られる。
これをカウンタ６のゲートパルスとして使用する。セン
サ用圧電振動子も同じ２６２１４４０Ｈｚを使用する。
全て正常ならば、カウンタ出力は２６２１４４である。
いま温度が変化して、１％周波数が下降したと仮定す
る。カウンタの出力２５９５２２となるはずであるが、
カウンタのゲートパルスはパルス幅が１％広くなるの
で、そのパルス幅の中に入るパルスの数はやはり２６２
１４４と温度の変化する前と同じである。この様にし
て、センサ出力として取り出されるカウンタ出力には、
温度による変化は排除されている。
【０００７】実施例をセンサ用圧電振動子がセンサとし
て動作して発振周波数が１％低下した場合は、クロック
用圧電振動子３の発振周波数は変化しないので、センサ
用圧電振動子２の発振周波数は、２５９５２２６Ｈｚと
なり、カウンタの出力は２５９５２２となり確実に変化
するので、検出が可能である。
て動作して発振周波数が１％低下した場合は、クロック
用圧電振動子３の発振周波数は変化しないので、センサ
用圧電振動子２の発振周波数は、２５９５２２６Ｈｚと
なり、カウンタの出力は２５９５２２となり確実に変化
するので、検出が可能である。
【０００８】なお、センサ圧電振動子２の周波数とクロ
ック用圧電振動子３の周波数は、温度による変化の割合
が同じならば、同じ周波数でなくてもよい。
ック用圧電振動子３の周波数は、温度による変化の割合
が同じならば、同じ周波数でなくてもよい。
【０００９】図３に圧電振動板１にセンサ圧電振動子２
とクロック用圧電振動子３を形成した平面図を示す。ま
た図４にクロック用圧電振動子を気密封止した例を示
す。温度変化はセンサ圧電振動子２とクロック用圧電振
動子３は同一に受けてよいのだが、クロック用圧電振動
子は雰囲気の影響は受けない方がよいし、経年変化も少
ない方がよいので、ケース７等を被せ気密封止を施す。
とクロック用圧電振動子３を形成した平面図を示す。ま
た図４にクロック用圧電振動子を気密封止した例を示
す。温度変化はセンサ圧電振動子２とクロック用圧電振
動子３は同一に受けてよいのだが、クロック用圧電振動
子は雰囲気の影響は受けない方がよいし、経年変化も少
ない方がよいので、ケース７等を被せ気密封止を施す。
【００１０】
【発明の効果】本発明により、センサ用圧電振動子の温
度特性を排除できるので、センサとしての精度を向上さ
せることが実現できた。
度特性を排除できるので、センサとしての精度を向上さ
せることが実現できた。
【図１】本発明の一例を示すブロック図である。
【図２】従来技術を示すブロック図である。
【図３】本発明の同一圧電振動板にセンサ圧電振動子と
クロック用圧電振動子を形成した一例の平面図を示す。
クロック用圧電振動子を形成した一例の平面図を示す。
【図４】本発明の同一圧電振動板にセンサ圧電振動子と
クロック用圧電振動子を形成しクロック圧電振動子の
み、気密封止を施した一例の平面図を示す。
クロック用圧電振動子を形成しクロック圧電振動子の
み、気密封止を施した一例の平面図を示す。
１ 圧電振動板 ２ センサ用圧電振動子 ３ クロック用圧電振動子 ４ 発振回路 ５ 分周回路 ６ カウンタ
Claims (2)
- 【請求項１】 センサ用圧電振動子を発振させてその出
力をカウンタに供給し、クロック用圧電振動子を発振回
路で発振させ、該発振回路の出力を分周回路に供給し、
該分周回路の出力をカウンタのゲートに供給するセンサ
回路に用いられるセンサ用圧電振動子において、同一の
圧電振動板にセンサ用圧電振動子とクロック用圧電振動
子を形成したことを特徴とするセンサ用圧電振動子。 - 【請求項２】 前記の同一圧電振動板に形成されたセン
サ用圧電振動子とクロック用圧電振動子の内、クロック
用圧電振動子のみ気密封止したことを特徴とする特許請
求の範囲第１項記載のセンサ用圧電振動子。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP7994594A JPH07260526A (ja) | 1994-03-26 | 1994-03-26 | センサ用圧電振動子 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP7994594A JPH07260526A (ja) | 1994-03-26 | 1994-03-26 | センサ用圧電振動子 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH07260526A true JPH07260526A (ja) | 1995-10-13 |
Family
ID=13704452
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP7994594A Pending JPH07260526A (ja) | 1994-03-26 | 1994-03-26 | センサ用圧電振動子 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH07260526A (ja) |
Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2009229353A (ja) * | 2008-03-25 | 2009-10-08 | Seiko Epson Corp | 気体センサデバイス及び気体センサシステム |
| JP2011047796A (ja) * | 2009-08-27 | 2011-03-10 | Seiko Epson Corp | 電気回路、同電気回路を備えたセンサーシステム、及び同電気回路を備えたセンサーデバイス |
| JP2011080910A (ja) * | 2009-10-08 | 2011-04-21 | Seiko Epson Corp | 信号生成回路、同信号生成回路を含む周波数測定装置、及び信号生成方法 |
-
1994
- 1994-03-26 JP JP7994594A patent/JPH07260526A/ja active Pending
Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2009229353A (ja) * | 2008-03-25 | 2009-10-08 | Seiko Epson Corp | 気体センサデバイス及び気体センサシステム |
| JP2011047796A (ja) * | 2009-08-27 | 2011-03-10 | Seiko Epson Corp | 電気回路、同電気回路を備えたセンサーシステム、及び同電気回路を備えたセンサーデバイス |
| JP2011080910A (ja) * | 2009-10-08 | 2011-04-21 | Seiko Epson Corp | 信号生成回路、同信号生成回路を含む周波数測定装置、及び信号生成方法 |
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