JPH0725627A - 光学素子成形用型の製作方法 - Google Patents
光学素子成形用型の製作方法Info
- Publication number
- JPH0725627A JPH0725627A JP5352196A JP35219693A JPH0725627A JP H0725627 A JPH0725627 A JP H0725627A JP 5352196 A JP5352196 A JP 5352196A JP 35219693 A JP35219693 A JP 35219693A JP H0725627 A JPH0725627 A JP H0725627A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- mold
- thin film
- plane
- optical element
- film
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Withdrawn
Links
Classifications
-
- C—CHEMISTRY; METALLURGY
- C03—GLASS; MINERAL OR SLAG WOOL
- C03B—MANUFACTURE, SHAPING, OR SUPPLEMENTARY PROCESSES
- C03B11/00—Pressing molten glass or performed glass reheated to equivalent low viscosity without blowing
- C03B11/06—Construction of plunger or mould
- C03B11/08—Construction of plunger or mould for making solid articles, e.g. lenses
-
- C—CHEMISTRY; METALLURGY
- C03—GLASS; MINERAL OR SLAG WOOL
- C03B—MANUFACTURE, SHAPING, OR SUPPLEMENTARY PROCESSES
- C03B11/00—Pressing molten glass or performed glass reheated to equivalent low viscosity without blowing
- C03B11/06—Construction of plunger or mould
- C03B11/08—Construction of plunger or mould for making solid articles, e.g. lenses
- C03B11/082—Construction of plunger or mould for making solid articles, e.g. lenses having profiled, patterned or microstructured surfaces
-
- C—CHEMISTRY; METALLURGY
- C03—GLASS; MINERAL OR SLAG WOOL
- C03B—MANUFACTURE, SHAPING, OR SUPPLEMENTARY PROCESSES
- C03B2215/00—Press-moulding glass
- C03B2215/40—Product characteristics
- C03B2215/41—Profiled surfaces
- C03B2215/412—Profiled surfaces fine structured, e.g. fresnel lenses, prismatic reflectors, other sharp-edged surface profiles
-
- C—CHEMISTRY; METALLURGY
- C03—GLASS; MINERAL OR SLAG WOOL
- C03B—MANUFACTURE, SHAPING, OR SUPPLEMENTARY PROCESSES
- C03B2215/00—Press-moulding glass
- C03B2215/40—Product characteristics
- C03B2215/46—Lenses, e.g. bi-convex
- C03B2215/49—Complex forms not covered by groups C03B2215/47 or C03B2215/48
-
- C—CHEMISTRY; METALLURGY
- C03—GLASS; MINERAL OR SLAG WOOL
- C03B—MANUFACTURE, SHAPING, OR SUPPLEMENTARY PROCESSES
- C03B2215/00—Press-moulding glass
- C03B2215/60—Aligning press die axes
Landscapes
- Engineering & Computer Science (AREA)
- Chemical & Material Sciences (AREA)
- Manufacturing & Machinery (AREA)
- Materials Engineering (AREA)
- Organic Chemistry (AREA)
Abstract
(57)【要約】
【目的】 簡単な製造工程で高精度な光学機能面間の相
対角度を得る。 【構成】 ４ヶに分割された分割型の底面の一部にはそ
れぞれ薄膜が成膜されている。これを一旦組合わせて固
定し、光学機能面５〜８となる上端面を平面の鏡面研磨
加工を施した後、薄膜を除去した。これらの分割型１〜
４を再度固定して光学素子成形用型を得る。
対角度を得る。 【構成】 ４ヶに分割された分割型の底面の一部にはそ
れぞれ薄膜が成膜されている。これを一旦組合わせて固
定し、光学機能面５〜８となる上端面を平面の鏡面研磨
加工を施した後、薄膜を除去した。これらの分割型１〜
４を再度固定して光学素子成形用型を得る。
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明は、光学的ローパスフィル
ターの光学素子成形用型に関し、複数の分割されたプリ
ズム面を有する光学素子を成形する成形型の製作方法に
関する。
ターの光学素子成形用型に関し、複数の分割されたプリ
ズム面を有する光学素子を成形する成形型の製作方法に
関する。
【０００２】
【従来の技術】従来、複数の分割されたプリズム面を有
する光学素子をプレス成形により得る成形用型として
は、例えば特開平３−８８７３３号公報記載の発明があ
る。上記発明は、成形型が不連続な個々の成形面の境界
から分割された型要素から成るもので、これを耐熱性無
機接着剤等により互いに固定連結して組合わせたもので
あり、分割された型要素は機械加工により形成されてい
る。
する光学素子をプレス成形により得る成形用型として
は、例えば特開平３−８８７３３号公報記載の発明があ
る。上記発明は、成形型が不連続な個々の成形面の境界
から分割された型要素から成るもので、これを耐熱性無
機接着剤等により互いに固定連結して組合わせたもので
あり、分割された型要素は機械加工により形成されてい
る。
【０００３】
【発明が解決しようとする課題】しかるに、前記従来技
術においては、分割された成形型の型要素をそれぞれ別
々に機械加工により製作するので、それぞれの分割され
た型要素を成形型に組合わせた時、それぞれの光学機能
面の相対角度を保証することは非常に困難である。
術においては、分割された成形型の型要素をそれぞれ別
々に機械加工により製作するので、それぞれの分割され
た型要素を成形型に組合わせた時、それぞれの光学機能
面の相対角度を保証することは非常に困難である。
【０００４】また、それぞれの光学機能面の相対的な角
度を機械加工で精度を出したとしても、分割された成形
型を組合わせて固定する手段として耐熱性無機接着剤等
により互いに固定連結するため、接着剤の厚さの分布に
より固定連結した時に角度にズレを生じてしまう等の欠
点があった。
度を機械加工で精度を出したとしても、分割された成形
型を組合わせて固定する手段として耐熱性無機接着剤等
により互いに固定連結するため、接着剤の厚さの分布に
より固定連結した時に角度にズレを生じてしまう等の欠
点があった。
【０００５】因って、本発明は前記従来技術における欠
点に鑑みて開発されたもので、同一成形面内に複数の平
面な光学機能面を有し、各々の光学機能面の間で相対的
な角度を有した光学素子成形用型において、その角度を
高精度に保証できる光学素子成形用型の製作方法を提供
することを目的とする。
点に鑑みて開発されたもので、同一成形面内に複数の平
面な光学機能面を有し、各々の光学機能面の間で相対的
な角度を有した光学素子成形用型において、その角度を
高精度に保証できる光学素子成形用型の製作方法を提供
することを目的とする。
【０００６】
【課題を解決するための手段】本発明は、同一成形面内
に複数の光学機能面を有し、それらの光学機能面が平面
で各々の境界線から分割された分割型から成り、それぞ
れの分割型の底面を平面に境界研磨し、その一部に薄膜
を成膜する。薄膜の成膜はその膜厚をｔとすると、ｔ＝
ａｔａｎαである。ここで、ａは成膜されていない面の
最長の長さであり、αは型の軸方向に垂直な平面に対す
る分割型の光学機能面の傾きで、傾きの方向は成膜され
ていない底面の最長の長さ方向である。
に複数の光学機能面を有し、それらの光学機能面が平面
で各々の境界線から分割された分割型から成り、それぞ
れの分割型の底面を平面に境界研磨し、その一部に薄膜
を成膜する。薄膜の成膜はその膜厚をｔとすると、ｔ＝
ａｔａｎαである。ここで、ａは成膜されていない面の
最長の長さであり、αは型の軸方向に垂直な平面に対す
る分割型の光学機能面の傾きで、傾きの方向は成膜され
ていない底面の最長の長さ方向である。
【０００７】この後、平面に鏡面研磨された面上へ分割
型の底面を下にして組合わせた状態で固定し、複数の光
学機能面から成る成形面をまとめて型の軸方向に垂直な
平面に鏡面研磨加工を施す。次に、一度分割型にそれぞ
れ分割し、エッチングあるいは分割型基材の切削等によ
り底面に被膜された薄膜を除去する。その後、上記の分
割型を組合わせて再度上端面が型の軸方向に垂直な平面
で鏡面研磨加工が施された型基材平面上に載置し、組合
わせた分割型の側面をリング等で拘束し、分割型に設け
られた段部を上から押さえつけて固定する。
型の底面を下にして組合わせた状態で固定し、複数の光
学機能面から成る成形面をまとめて型の軸方向に垂直な
平面に鏡面研磨加工を施す。次に、一度分割型にそれぞ
れ分割し、エッチングあるいは分割型基材の切削等によ
り底面に被膜された薄膜を除去する。その後、上記の分
割型を組合わせて再度上端面が型の軸方向に垂直な平面
で鏡面研磨加工が施された型基材平面上に載置し、組合
わせた分割型の側面をリング等で拘束し、分割型に設け
られた段部を上から押さえつけて固定する。
【０００８】
【作用】本発明では、分割型の底面に成膜した薄膜によ
り、平面上に該底面を下にして載置した場合、膜厚ｔと
薄膜が成膜されていない部分の最長の長さａとにより次
式の角度αの傾きを生じる。 α＝ｔａｎ-1ｔ／ａ この傾きαだけ傾けて平面上に分割型を組合わせて固定
し、成形面をまとめて平面研磨し、分割型の底面の薄膜
を除去してから平面上に再び固定する。固定により、そ
れぞれの分割型の光学機能面は先に平面研磨加工した成
形面の平面から角度αだけ傾くこととなり、それぞれの
光学機能面の間の相対角度も保証される。
り、平面上に該底面を下にして載置した場合、膜厚ｔと
薄膜が成膜されていない部分の最長の長さａとにより次
式の角度αの傾きを生じる。 α＝ｔａｎ-1ｔ／ａ この傾きαだけ傾けて平面上に分割型を組合わせて固定
し、成形面をまとめて平面研磨し、分割型の底面の薄膜
を除去してから平面上に再び固定する。固定により、そ
れぞれの分割型の光学機能面は先に平面研磨加工した成
形面の平面から角度αだけ傾くこととなり、それぞれの
光学機能面の間の相対角度も保証される。
【０００９】また、薄膜は予め成膜速度の条件出しをし
てわかっていれば、膜厚はねらい通りのものとなり、角
度αを高精度に設定できる。さらに薄膜が成膜されてい
ない面の最長の長さａを長くすればする程、ａの誤差の
角度αへの影響は小さくなる。
てわかっていれば、膜厚はねらい通りのものとなり、角
度αを高精度に設定できる。さらに薄膜が成膜されてい
ない面の最長の長さａを長くすればする程、ａの誤差の
角度αへの影響は小さくなる。
【００１０】
【実施例１】図１〜図５は本実施例を示し、図１および
図２は分割型を組合わせた完成型の斜視図および断面
図、図３ａおよびｂは分割型の側面図および底面図、図
４は除去加工された分割型の側面図、図５は光学素子の
斜視図である。
図２は分割型を組合わせた完成型の斜視図および断面
図、図３ａおよびｂは分割型の側面図および底面図、図
４は除去加工された分割型の側面図、図５は光学素子の
斜視図である。
【００１１】図１に示す様に、各分割型１〜４の光学機
能面５〜８は平面で成形型の軸Ｚに垂直な平面に対して
角度αだけ傾いている。また、各分割型１〜４にはそれ
ぞれ段部９〜１２が設けられており、図２に示す様に、
各分割型１〜４は段部９〜１２が押さえリング１３で押
さえつけられるとともに、リング１４で外周が拘束され
て固定されている。さらに、各分割型１〜４の底面は平
面に鏡面研磨加工されており、上端面が平面に鏡面研磨
加工された型１５上に載置され、押さえリング１３，リ
ング１４および型１５にて固定されている。
能面５〜８は平面で成形型の軸Ｚに垂直な平面に対して
角度αだけ傾いている。また、各分割型１〜４にはそれ
ぞれ段部９〜１２が設けられており、図２に示す様に、
各分割型１〜４は段部９〜１２が押さえリング１３で押
さえつけられるとともに、リング１４で外周が拘束され
て固定されている。さらに、各分割型１〜４の底面は平
面に鏡面研磨加工されており、上端面が平面に鏡面研磨
加工された型１５上に載置され、押さえリング１３，リ
ング１４および型１５にて固定されている。
【００１２】次に、図３ａ，ｂおよび図４を用いて分割
型１の加工方法を説明する。まず、分割型１の底面１６
を平面に鏡面研磨加工する。該底面１６と垂直に側面１
７を平面に鏡面研磨加工を施し、さらに底面１６および
側面１７に対して垂直に側面１８を平面に鏡面研磨加工
を施す。次に、底面１６へ側面１８に沿って（図３ｂに
示す斜線部）薄膜１９を成膜する。この時、膜厚をｔと
し、薄膜１９が成膜されている線と垂直な方向で成膜さ
れていない底面１６の最長の長さをａとし、角度αがα
＝ｔａｎ-1ｔ／ａとなる様な関係に薄膜１９を成膜す
る。
型１の加工方法を説明する。まず、分割型１の底面１６
を平面に鏡面研磨加工する。該底面１６と垂直に側面１
７を平面に鏡面研磨加工を施し、さらに底面１６および
側面１７に対して垂直に側面１８を平面に鏡面研磨加工
を施す。次に、底面１６へ側面１８に沿って（図３ｂに
示す斜線部）薄膜１９を成膜する。この時、膜厚をｔと
し、薄膜１９が成膜されている線と垂直な方向で成膜さ
れていない底面１６の最長の長さをａとし、角度αがα
＝ｔａｎ-1ｔ／ａとなる様な関係に薄膜１９を成膜す
る。
【００１３】この様に加工した分割型１を同様の加工を
施した分割型２〜４と一旦組合わせて固定し、光学機能
面５〜８となる上端面をまとめてＸ−Ｙ平面に平行とな
る様に平面の鏡面研磨加工を施した。その後、図４に示
す様に、分割型１〜４の底面に成膜した薄膜を除去すべ
く、分割型１〜４を分割してそれぞれ切削部２０を形成
した。この様にして得られた分割型１〜４を、図１に示
す様に組合わせると、薄膜の膜厚により傾いていた角度
αだけ薄膜に垂直な方向に光学機能面５〜８がＸ−Ｙ平
面に対して傾いた光学素子成形用型を得ることができ
た。
施した分割型２〜４と一旦組合わせて固定し、光学機能
面５〜８となる上端面をまとめてＸ−Ｙ平面に平行とな
る様に平面の鏡面研磨加工を施した。その後、図４に示
す様に、分割型１〜４の底面に成膜した薄膜を除去すべ
く、分割型１〜４を分割してそれぞれ切削部２０を形成
した。この様にして得られた分割型１〜４を、図１に示
す様に組合わせると、薄膜の膜厚により傾いていた角度
αだけ薄膜に垂直な方向に光学機能面５〜８がＸ−Ｙ平
面に対して傾いた光学素子成形用型を得ることができ
た。
【００１４】実際に、傾き角αを２′とし、公差を１
０″とした場合の分割型の製造を行った。図３に示す様
なパターンで、型の材質をＷＣとし、薄膜をＣｒ−Ｎ膜
として成膜した。図３に示す寸法ａは５．０ｍｍで公差
を±０．０５ｍｍとした場合、傾き角２′±１０″を保
証するためには膜厚ｔが２．９１±０．２０μｍとな
る。そこで、ＰＶＤ法でＣｒ−Ｎ膜を成膜する際、分割
型１〜４を同時に成膜した。成膜速度は１００Å／ｍｉ
ｎ（０．０１μｍ／分）でまず２７０分成膜した。
０″とした場合の分割型の製造を行った。図３に示す様
なパターンで、型の材質をＷＣとし、薄膜をＣｒ−Ｎ膜
として成膜した。図３に示す寸法ａは５．０ｍｍで公差
を±０．０５ｍｍとした場合、傾き角２′±１０″を保
証するためには膜厚ｔが２．９１±０．２０μｍとな
る。そこで、ＰＶＤ法でＣｒ−Ｎ膜を成膜する際、分割
型１〜４を同時に成膜した。成膜速度は１００Å／ｍｉ
ｎ（０．０１μｍ／分）でまず２７０分成膜した。
【００１５】成膜後、膜厚を測定したところ２．６９μ
ｍであったので、再度重ねて２２分成膜したところ膜厚
は２．９０８μｍであった。これを前記の加工工程に従
い、組合わせて光学機能面に平面の鏡面研磨加工を施
し、その後図４に示す様に分割型の薄膜の部分の除去加
工を行い、分割型の成形面および側面に均一にＰＶＤ法
でＣｒ−Ｎ膜を成膜し、再度組合わせて図１に示す様な
光学素子成形用型を得た。この状態で測定したところ、
型の成形面の外径がφ８．２ｍｍであり、最外周の段差
は４ヶ所中最大が２．４７μｍ、最小が２．３５μｍで
あった。これは、規格が２．１９μｍ〜２．５８μｍで
あり、十分規格内に入っていることになる。
ｍであったので、再度重ねて２２分成膜したところ膜厚
は２．９０８μｍであった。これを前記の加工工程に従
い、組合わせて光学機能面に平面の鏡面研磨加工を施
し、その後図４に示す様に分割型の薄膜の部分の除去加
工を行い、分割型の成形面および側面に均一にＰＶＤ法
でＣｒ−Ｎ膜を成膜し、再度組合わせて図１に示す様な
光学素子成形用型を得た。この状態で測定したところ、
型の成形面の外径がφ８．２ｍｍであり、最外周の段差
は４ヶ所中最大が２．４７μｍ、最小が２．３５μｍで
あった。これは、規格が２．１９μｍ〜２．５８μｍで
あり、十分規格内に入っていることになる。
【００１６】この様にして得られた図１に示す光学素子
成形用型を下型とし、該光学素子成形用型の成形面と等
しい径の平面の成形面を有する光学素子成形用型を上型
とし、硝材にＢＫ７を用いてプレス成形を行い、図５に
示す様な光学素子２１を得た。光学素子２１の外径はφ
８．０ｍｍで各光学機能面２２〜２５の面精度はニュー
トン縞の本数で０．２本以内であった。また、最外周の
段差を測定したところ最大で２．４１μｍ、最小で２．
３０μｍであり、規格が２．１４μｍ〜２．５２μｍな
ので十分規格内であった。
成形用型を下型とし、該光学素子成形用型の成形面と等
しい径の平面の成形面を有する光学素子成形用型を上型
とし、硝材にＢＫ７を用いてプレス成形を行い、図５に
示す様な光学素子２１を得た。光学素子２１の外径はφ
８．０ｍｍで各光学機能面２２〜２５の面精度はニュー
トン縞の本数で０．２本以内であった。また、最外周の
段差を測定したところ最大で２．４１μｍ、最小で２．
３０μｍであり、規格が２．１４μｍ〜２．５２μｍな
ので十分規格内であった。
【００１７】本実施例によれば、薄膜の膜厚をコントロ
ールすることにより、角度αが小さく規格の小さい場合
でも、精度良く光学機能面のＸ−Ｙ平面からの傾きを得
ることができる。
ールすることにより、角度αが小さく規格の小さい場合
でも、精度良く光学機能面のＸ−Ｙ平面からの傾きを得
ることができる。
【００１８】
【実施例２】図６および図７ａ，ｂは本実施例を示し、
図６は成形された光学素子の斜視図、図７ａおよびｂは
分割型の側面図および底面図である。本実施例では、図
６に示す様な一方の成形面が凸形状で４つの分割された
平面の光学機能面２７，２８，２９，３０から成る光学
素子２６を成形した。本実施例は、前記実施例１と同様
な４つの分割型から構成されている。
図６は成形された光学素子の斜視図、図７ａおよびｂは
分割型の側面図および底面図である。本実施例では、図
６に示す様な一方の成形面が凸形状で４つの分割された
平面の光学機能面２７，２８，２９，３０から成る光学
素子２６を成形した。本実施例は、前記実施例１と同様
な４つの分割型から構成されている。
【００１９】図７ａ，ｂに示す様な分割型３１の底面３
２および側面を前記実施例１と同様に加工し、その底面
３２に図７ｂに示す様な三角形の薄膜３３を形成した。
薄膜３３は、底面３２の半径Ｒの弧の中心Ｏと辺ＯＣお
よびＯＤの中点Ａ，Ｂとを結ぶ直角二等辺三角形の部分
にＴｉＮ膜を厚さｔで成膜した。成膜されていない面の
薄膜３３の直線部分における法線方向に最も長い距離は
点ＡＢを結ぶ中点と弧ＣＤの中点とになり、その距離を
ａとすると数１のようになる。
２および側面を前記実施例１と同様に加工し、その底面
３２に図７ｂに示す様な三角形の薄膜３３を形成した。
薄膜３３は、底面３２の半径Ｒの弧の中心Ｏと辺ＯＣお
よびＯＤの中点Ａ，Ｂとを結ぶ直角二等辺三角形の部分
にＴｉＮ膜を厚さｔで成膜した。成膜されていない面の
薄膜３３の直線部分における法線方向に最も長い距離は
点ＡＢを結ぶ中点と弧ＣＤの中点とになり、その距離を
ａとすると数１のようになる。
【００２０】
【数１】
【００２１】また、図６に示す角度αとａおよび膜厚ｔ
との関係が次式となる様な膜厚に成膜した。 ｔ＝ａｔａｎα ここで、αを１′±５″とし、Ｒ＝８．２０±００５ｍ
ｍとし、ａのばらつきを±０．０１ｍｍ以内にした時、
膜厚ｔは１．５４±０．１２μｍとなる。実際に、４ヶ
の分割型を一度に成膜して測定したところ、膜厚ｔは
１．５２μｍであり、十分規格内であった。
との関係が次式となる様な膜厚に成膜した。 ｔ＝ａｔａｎα ここで、αを１′±５″とし、Ｒ＝８．２０±００５ｍ
ｍとし、ａのばらつきを±０．０１ｍｍ以内にした時、
膜厚ｔは１．５４±０．１２μｍとなる。実際に、４ヶ
の分割型を一度に成膜して測定したところ、膜厚ｔは
１．５２μｍであり、十分規格内であった。
【００２２】これら４ヶの分割型を前記実施例１と同様
に加工し、図１と同様に組合せて光学素子成形用型を得
た。この光学素子成形用型と同一の径をもった平面に鏡
面研磨加工を施した成形面を有する光学素子成形用型と
により、ＳＦ１１の硝材を用いてプレス成形し、図６に
示す様な光学素子２６を得た。光学素子２６の外径はφ
８．０ｍｍで最外周と頂点との高さの差を測定したとこ
ろ１．４８μｍであり、計算通りの光学素子成形用型を
得ることができた。
に加工し、図１と同様に組合せて光学素子成形用型を得
た。この光学素子成形用型と同一の径をもった平面に鏡
面研磨加工を施した成形面を有する光学素子成形用型と
により、ＳＦ１１の硝材を用いてプレス成形し、図６に
示す様な光学素子２６を得た。光学素子２６の外径はφ
８．０ｍｍで最外周と頂点との高さの差を測定したとこ
ろ１．４８μｍであり、計算通りの光学素子成形用型を
得ることができた。
【００２３】本実施例によれば、ピラミッド型の成形面
を有する光学素子成形用型を簡単な製造工程により、高
い精度の角度を有する成形面を得ることができた。
を有する光学素子成形用型を簡単な製造工程により、高
い精度の角度を有する成形面を得ることができた。
【００２４】
【実施例３】図８〜図１２は本実施例を示し、図８およ
び図９は分割型を組合わせた完成型の斜視図および断面
図、図１０ａおよびｂは分割型の側面図および底面図、
図１１は除去加工された分割型の側面図、図１２は光学
素子の斜視図である。
び図９は分割型を組合わせた完成型の斜視図および断面
図、図１０ａおよびｂは分割型の側面図および底面図、
図１１は除去加工された分割型の側面図、図１２は光学
素子の斜視図である。
【００２５】図８に示す様に、各分割型１〜４の光学機
能面５〜８は平面で成形型の軸Ｚに垂直な平面に対して
角度αだけ傾いている。また、各分割型１〜４にはそれ
ぞれ段部９〜１２が設けられており、図９に示す様に、
各分割型１〜４は段部９〜１２が押さえリング１３で押
さえつけられるとともに、リング１４で外周が拘束され
て固定されている。さらに、各分割型１〜４の底面は平
面に鏡面研磨加工されており、上端面が平面に鏡面研磨
加工された型１５上に載置され、押さえリング１３，リ
ング１４および型１５にて固定されている。
能面５〜８は平面で成形型の軸Ｚに垂直な平面に対して
角度αだけ傾いている。また、各分割型１〜４にはそれ
ぞれ段部９〜１２が設けられており、図９に示す様に、
各分割型１〜４は段部９〜１２が押さえリング１３で押
さえつけられるとともに、リング１４で外周が拘束され
て固定されている。さらに、各分割型１〜４の底面は平
面に鏡面研磨加工されており、上端面が平面に鏡面研磨
加工された型１５上に載置され、押さえリング１３，リ
ング１４および型１５にて固定されている。
【００２６】次に、図１０ａ，ｂおよび図１１を用いて
分割型１の加工方法を説明する。まず、分割型１の底面
１６を平面に鏡面研磨加工する。該底面１６と垂直に側
面１７を平面に鏡面研磨加工を施し、さらに底面１６お
よび側面１７に対して垂直に側面１８を平面に鏡面研磨
加工を施す。次に、底面１６へ側面１８と平行方向に
（図１０ｂに示す斜線部）薄膜１９を成膜する。この
時、膜厚をｔとし、薄膜１９が成膜されている線と垂直
な方向で成膜されていない底面１６の最長の長さをａと
し、角度αがα＝ｔａｎ-1ｔ／ａとなる様な関係に薄膜
１９を成膜する。
分割型１の加工方法を説明する。まず、分割型１の底面
１６を平面に鏡面研磨加工する。該底面１６と垂直に側
面１７を平面に鏡面研磨加工を施し、さらに底面１６お
よび側面１７に対して垂直に側面１８を平面に鏡面研磨
加工を施す。次に、底面１６へ側面１８と平行方向に
（図１０ｂに示す斜線部）薄膜１９を成膜する。この
時、膜厚をｔとし、薄膜１９が成膜されている線と垂直
な方向で成膜されていない底面１６の最長の長さをａと
し、角度αがα＝ｔａｎ-1ｔ／ａとなる様な関係に薄膜
１９を成膜する。
【００２７】この様に加工した分割型１を同様の加工を
施した分割型２〜４と一旦組合わせて固定し、光学機能
面５〜８となる上端面をまとめてＸ−Ｙ平面に平行とな
る様に平面の鏡面研磨加工を施した。その後、図１１に
示す様に、分割型１〜４の底面に成膜した薄膜を除去す
べく、分割型１〜４を分割してそれぞれ切削部２０を形
成した。この様にして得られた分割型１〜４を、図８に
示す様に組合わせると、薄膜の膜厚により傾いていた角
度αだけ薄膜に垂直な方向に光学機能面５〜８がＸ−Ｙ
平面に対して傾いた光学素子成形用型を得ることができ
た。
施した分割型２〜４と一旦組合わせて固定し、光学機能
面５〜８となる上端面をまとめてＸ−Ｙ平面に平行とな
る様に平面の鏡面研磨加工を施した。その後、図１１に
示す様に、分割型１〜４の底面に成膜した薄膜を除去す
べく、分割型１〜４を分割してそれぞれ切削部２０を形
成した。この様にして得られた分割型１〜４を、図８に
示す様に組合わせると、薄膜の膜厚により傾いていた角
度αだけ薄膜に垂直な方向に光学機能面５〜８がＸ−Ｙ
平面に対して傾いた光学素子成形用型を得ることができ
た。
【００２８】実際に、傾き角αを２′とし、公差を１
０″とした場合の分割型の製造を行った。図１０に示す
様なパターンで、型の材質をＷＣとし、薄膜をＣｒ−Ｎ
膜として成膜した。図１０に示す寸法ａは５．０ｍｍで
公差を±０．０５ｍｍとした場合、傾き角２′±１０″
を保証するためには膜厚ｔが２．９１±０．２０μｍと
なる。 そこで、ＰＶＤ法でＣｒ−Ｎ膜を成膜する際、
分割型１〜４を同時に成膜した。成膜速度は１００Å／
ｍｉｎ（０．０１μｍ／分）でまず２７０分成膜した。
０″とした場合の分割型の製造を行った。図１０に示す
様なパターンで、型の材質をＷＣとし、薄膜をＣｒ−Ｎ
膜として成膜した。図１０に示す寸法ａは５．０ｍｍで
公差を±０．０５ｍｍとした場合、傾き角２′±１０″
を保証するためには膜厚ｔが２．９１±０．２０μｍと
なる。 そこで、ＰＶＤ法でＣｒ−Ｎ膜を成膜する際、
分割型１〜４を同時に成膜した。成膜速度は１００Å／
ｍｉｎ（０．０１μｍ／分）でまず２７０分成膜した。
【００２９】成膜後、膜厚を測定したところ２．６９μ
ｍであったので、再度重ねて２２分成膜したところ膜厚
は２．９０８μｍであった。これを前記の加工工程に従
い、組合わせて光学機能面に平面の鏡面研磨加工を施
し、その後図１１に示す様に分割型の薄膜の部分の除去
加工を行い、分割型の成形面および側面に均一にＰＶＤ
法でＣｒ−Ｎ膜を成膜し、再度組合わせて図８に示す様
な光学素子成形用型を得た。この状態で測定したとこ
ろ、型の成形面の外径がφ８．２ｍｍであり、最外周の
段差は４ヶ所中最大が２．４７μｍ、最小が２．３５μ
ｍであった。これは、規格が２．１９μｍ〜２．５８μ
ｍであり、十分規格内に入っていることになる。
ｍであったので、再度重ねて２２分成膜したところ膜厚
は２．９０８μｍであった。これを前記の加工工程に従
い、組合わせて光学機能面に平面の鏡面研磨加工を施
し、その後図１１に示す様に分割型の薄膜の部分の除去
加工を行い、分割型の成形面および側面に均一にＰＶＤ
法でＣｒ−Ｎ膜を成膜し、再度組合わせて図８に示す様
な光学素子成形用型を得た。この状態で測定したとこ
ろ、型の成形面の外径がφ８．２ｍｍであり、最外周の
段差は４ヶ所中最大が２．４７μｍ、最小が２．３５μ
ｍであった。これは、規格が２．１９μｍ〜２．５８μ
ｍであり、十分規格内に入っていることになる。
【００３０】この様にして得られた図８に示す光学素子
成形用型を下型とし、該光学素子成形用型の成形面と等
しい径の平面の成形面を有する光学素子成形用型を上型
とし、硝材にＢＫ７を用いてプレス成形を行い、図１２
に示す様な光学素子２１を得た。光学素子２１の外径は
φ８．０ｍｍで各光学機能面２２〜２５の面精度はニュ
ートン縞の本数で０．２本以内であった。また、最外周
の段差を測定したところ最大で２．４１μｍ、最小で
２．３０μｍであり、規格が２．１４μｍ〜２．５２μ
ｍなので十分規格内であった。
成形用型を下型とし、該光学素子成形用型の成形面と等
しい径の平面の成形面を有する光学素子成形用型を上型
とし、硝材にＢＫ７を用いてプレス成形を行い、図１２
に示す様な光学素子２１を得た。光学素子２１の外径は
φ８．０ｍｍで各光学機能面２２〜２５の面精度はニュ
ートン縞の本数で０．２本以内であった。また、最外周
の段差を測定したところ最大で２．４１μｍ、最小で
２．３０μｍであり、規格が２．１４μｍ〜２．５２μ
ｍなので十分規格内であった。
【００３１】本実施例によれば、薄膜の膜厚をコントロ
ールすることにより、角度αが小さく規格の小さい場合
でも、精度良く光学機能面のＸ−Ｙ平面からの傾きを得
ることができる。
ールすることにより、角度αが小さく規格の小さい場合
でも、精度良く光学機能面のＸ−Ｙ平面からの傾きを得
ることができる。
【００３２】
【発明の効果】以上説明した様に、本発明に係る光学素
子成形用型の製作方法によれば、光学機能面の傾きを分
割型の底面の一部に成膜する薄膜の膜厚により決めるこ
とができるため、簡単な製造工程で高精度な光学機能面
間の相対角度を得ることができる。
子成形用型の製作方法によれば、光学機能面の傾きを分
割型の底面の一部に成膜する薄膜の膜厚により決めるこ
とができるため、簡単な製造工程で高精度な光学機能面
間の相対角度を得ることができる。
【図１】実施例１を示す斜視図である。
【図２】実施例１を示す断面図である。
【図３】ａおよびｂは実施例１を示す側面図および底面
図である。
図である。
【図４】実施例１を示す側面図である。
【図５】実施例１を示す斜視図である。
【図６】実施例２を示す斜視図である。
【図７】ａおよびｂは実施例２を示す側面図および底面
図である。
図である。
【図８】実施例３を示す斜視図である。
【図９】実施例３を示す断面図である。
【図１０】ａおよびｂは実施例１を示す側面図および底
面図である。
面図である。
【図１１】実施例３を示す側面図である。
【図１２】実施例３を示す斜視図である。
１，２，３，４ 分割型 ５，６，７，８ 光学機能面 ９，１０，１１，１２ 段部 １３ 押さえリング １４ リング １５ 型 １６ 底面 １７，１８ 側面 １９ 薄膜 ２０ 切削部 ２１ 光学素子 ２２，２３，２４，２５ 光学機能面
Claims (1)
- 【請求項１】 複数の光学機能面を有し、それぞれの光
学機能面が平面でかつ同一平面から小さい角度で傾いて
いる成形面を有する光学素子成形用型において、それぞ
れの光学機能面の境界から分割された分割型の底面を平
面に鏡面研磨加工する工程と、該底面の一部に薄膜を成
膜してその段差部を直線とし、該直線の法線方向に成膜
されていない部分の最も長い長さをａとし、薄膜の膜厚
をｔとし、光学機能面の前記同一平面からの傾きをαと
し、これらの関係がα＝ｔａｎ-1ｔ／ａとなるように成
膜する工程と、前記分割型を平面上に組合わせて固定し
た状態で光学機能面を同一平面に鏡面研磨加工する工程
と、分割型の底面に成膜した薄膜を除去する工程と、分
割型を組合わせて固定する工程とからなることを特徴と
する光学素子成形用型の製作方法。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP5352196A JPH0725627A (ja) | 1993-05-14 | 1993-12-30 | 光学素子成形用型の製作方法 |
Applications Claiming Priority (3)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP13644693 | 1993-05-14 | ||
| JP5-136446 | 1993-05-14 | ||
| JP5352196A JPH0725627A (ja) | 1993-05-14 | 1993-12-30 | 光学素子成形用型の製作方法 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH0725627A true JPH0725627A (ja) | 1995-01-27 |
Family
ID=26470019
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP5352196A Withdrawn JPH0725627A (ja) | 1993-05-14 | 1993-12-30 | 光学素子成形用型の製作方法 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH0725627A (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US7880519B2 (en) | 2007-12-05 | 2011-02-01 | Sony Corporation | Clock signal generating circuit, display panel module, imaging device, and electronic equipment |
-
1993
- 1993-12-30 JP JP5352196A patent/JPH0725627A/ja not_active Withdrawn
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US7880519B2 (en) | 2007-12-05 | 2011-02-01 | Sony Corporation | Clock signal generating circuit, display panel module, imaging device, and electronic equipment |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| US5405652A (en) | Method of manufacturing a die for use in molding glass optical elements having a fine pattern of concavities and convexities | |
| JP2001235611A (ja) | ホログラフィック・グレーティング | |
| KR20080013748A (ko) | 고정밀 에지 프로파일을 갖는 반도체 웨이퍼 및 반도체웨이퍼의 제작 방법 | |
| JPH1148258A (ja) | 光学レンズに回折面をモールディングするための工具及びその製造方法 | |
| JP2004359481A (ja) | レンズ成形用レプリカ型の製造方法 | |
| JPH0725627A (ja) | 光学素子成形用型の製作方法 | |
| JP2005132679A (ja) | 無反射構造を有する光学素子の製造方法、及び当該方法により製造された無反射構造を有する光学素子 | |
| KR20110055630A (ko) | 구조화 물체의 제조하기 위한 방법 및 장치, 그리고 구조화 물체 | |
| JPH11221774A (ja) | 非球面状の非平坦表面の精密研磨方法 | |
| JP2001507811A (ja) | 金属の微小複製 | |
| US6721097B2 (en) | Optical element, its manufacturing method and optical element manufacturing metal die | |
| JP3519860B2 (ja) | ホログラム板の製造方法 | |
| JPH054232A (ja) | 金型製造法 | |
| JPH07146405A (ja) | レプリカ回折格子 | |
| JP2001108810A (ja) | 回析光学素子及びその製造方法 | |
| JP4099887B2 (ja) | 光学素子の製造方法、並びに光学素子製造用金型 | |
| JPH11502327A (ja) | 顕微分光計用の回析格子を製作する方法 | |
| JP2005037868A (ja) | 反射防止面の形成方法、反射防止部材形成用金型の製造方法、金型、反射防止部材、金型製造用のマスター部材の製造方法 | |
| JP2008040322A (ja) | 反射防止構造体の製造方法 | |
| JP4554835B2 (ja) | ガラス用成形型及びガラス成形製品の製造方法 | |
| JP2004218002A (ja) | ベース材からの剥離面を利用した精密金属部品の製造方法 | |
| JP2973534B2 (ja) | ガラス成形用金型の製作方法 | |
| US6070315A (en) | Method of producing a microspectrometer reflection grating | |
| JP3519861B2 (ja) | ホログラム素子の製造方法 | |
| JP4398081B2 (ja) | 回折格子製造方法、回折格子成型金型及び光学素子 |
Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| A300 | Withdrawal of application because of no request for examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A300 Effective date: 20010306 |