JPH072462U - 基板保持装置 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 【目的】 クランパーのクランプ動作を滑らかにして、
基板の周縁部に傷が付くのを防止することができるよう
にした基板保持装置を提供する。 【構成】 ３本のガイド軸１２の内の１本（１２ａ）と
それを支えるリニア軸受１４ａとの間および当該リニア
軸受１４ａと連結板１０の穴１１ａとの間の嵌め合い
を、共に中間ばめとした。一方、残りのガイド軸１２と
それを支えるリニア軸受１４との間および当該リニア軸
受１４と連結板１０の穴１１との間の嵌め合いを、それ
ぞれすきまばめとした。かつ、上記中間ばめとしたリニ
ア軸受１４ａのガイド軸１２ａと接する部分の長さを、
他のリニア軸受１４のそれよりも長くした。

Description

【考案の詳細な説明】

【０００１】

【産業上の利用分野】

この考案は、例えばイオン注入装置、イオンビームエッチング装置、電子ビー ム照射装置等のように、真空中またはそれに近い雰囲気中で基板にイオンビーム 、電子ビーム、プラズマ等のエネルギーを有する粒子を入射させる場合に用いら れる基板保持装置に関し、特に基板のクランプ部に傷が付くのを防止する手段に 関する。

【０００２】

【従来の技術】

図３は、従来の基板保持装置の一例を示す概略図である。図４は、図３および 後述する図１の平面図である。

【０００３】 この基板保持装置は、基板（例えばウェーハ）２を支持するベース４と、基板 ２の周縁部をベース４に向けて押さえ付ける環状のクランパー６を備えており、 このベース４とクランパー６との間に基板２を挟んで保持（クランプ）する構造 をしている。

【０００４】 ベース４には、クランパー６をベース４に対して矢印Ａのように上下させるた めの複数本の（この例では図４に示すように１８０度対向する位置に２本の）ク ランパー軸８が上下動自在に貫通しており、それらの頭部に図示しない固定ボル トによってクランパー６が固定されており、下端部にこれらのクランパー軸８同 士を連結するこの例では環状の連結板１０が取り付けられている。

【０００５】 また、ベース４の下側には、３本以上の（この例では図４に示すように１２０ 度間隔で３本の）ガイド軸１２が図示しない固定ボルトによって固定されている 。また、連結板１０の各ガイド軸１２に対応する位置に穴１１が設けられていて そこにリニア軸受１４がそれぞれ嵌入固定されている。各リニア軸受１４は、そ こを貫通するガイド軸１２をそれぞれ直動自在に支え、それによってクランパー ６の矢印Ａに示すような上下動をガイドとする。

【０００６】 ベース４と連結板１０との間であって各ガイド軸１２の周りには、連結板１０ およびクランパー軸８を介してクランパー６をベース４に向けて弾性的に押し下 げるばね（例えば圧縮コイルばね）１６がそれぞれ設けられている。

【０００７】 このような基板保持装置においては、連結板１０を押し上げることによってク ランパー６を押し上げて基板２のクランプを解除することができ、基板２の搬出 入等を行うことができる。連結板１０の押し上げを中止すると、ばね１６の弾性 力によってクランパー６が押し下げられ、それとベース４との間に基板２をクラ ンプすることができる。そして、このようにクランプされた基板２に、クランパ ー６の開口部を通して例えばイオンビームを照射する等して基板２にイオン注入 等の処理を施すことができる。

【０００８】

【考案が解決しようとする課題】

上記のような従来の基板保持装置においては、各リニア軸受１４は連結板１０ に設けられた各穴１１に全てきつく、より具体的には中間ばめ（ＪＩＳ Ｂ ０ ４０１参照）で嵌合されているため、各ガイド軸１２とリニア軸受１４との拘束 性に裕度がなく、そのため、クランパー６がベース４に対して平行に密着されな い場合や、クランパー６が滑らかに上下せず、クランプ時に振動を伴ったり急激 にクランプしたりする場合が生じる。その結果、基板２の周縁部のクランプ部に 急激な圧力や偏荷重が作用し、基板２の周縁部に傷が付いたり、表面をレジスト 処理された基板の場合はその周縁部においてレジスト膜が剥がれる等の不具合が 生じる。

【０００９】 そこでこの考案は、クランパーのクランプ動作を滑らかにして、基板の周縁部 に傷が付くのを防止することができるようにした基板保持装置を提供することを 主たる目的とする。

【００１０】

【課題を解決するための手段】

上記目的を達成するため、この考案の基板保持装置は、前述したようなガイド 軸の内の１本とそれを支えるリニア軸受との間および当該リニア軸受と連結板の 穴との間の嵌め合いを共に中間ばめとし、残りのガイド軸とそれを支えるリニア 軸受との間および当該リニア軸受と連結板の穴との間の嵌め合いをそれぞれすき まばめとし、かつ中間ばめとしたリニア軸受のガイド軸と接する部分の長さを他 のリニア軸受のそれよりも長くしたことを特徴とする。

【００１１】

【作用】

上記構成によれば、中間ばめとしたリニア軸受の部分の１個所において、ガイ ド軸を正確にかつ直進性良くガイドすることができる。これは、当該リニア軸受 とガイドおよび連結板の穴との間の嵌め合いを共に中間ばめとしてきっちり嵌合 させると共に、当該リニア軸受のガイドと接する部分の長さを長くしているから である。

【００１２】 これに対して、残りのリニア軸受の部分においては、ガイド軸を幾分緩くガイ ドすることができる。これは、当該リニア軸受とガイド軸および連結板の穴との 間の嵌め合いを共にすきまばめとして幾分緩く嵌合させているからである。

【００１３】 上記のようにすると、ガイド軸の直進運動を規定する個所を１個所に集中させ ることができるので、従来のように規定個所を複数個所に分散させている場合の ような規定個所同士間のぶつかり合いが無くなり、クランパーのクランプ動作を 滑らかにすることができる。その結果、基板の周縁部にクランパーから急激な圧 力や偏荷重が加えられるのを防止することができるので、基板の周縁部に傷が付 くのを防止することができる。

【００１４】

【実施例】

図１は、この考案の一実施例に係る基板保持装置を示す概略図である。図３の 従来例と同一または相当する部分には同一符号を付し、以下においては当該従来 例との相違点を主に説明する。また、平面図は図４と同じであるのでそれを参照 するものとする。

【００１５】 この実施例においては、前述した３本のガイド軸１２の内の１本（これを特に 符号１２ａで示す）とそれを支えるリニア軸受１４（これを特に符号１４ａで示 す）との間および当該リニア軸受１４ａと連結板１０の穴１１（これを特に符号 １１ａで示す）との間の嵌め合いを、共に中間ばめ（ＪＩＳ Ｂ ０４０１参照 ）としている。

【００１６】 一方、残りのガイド軸１２とそれを支えるリニア軸受１４との間および当該リ ニア軸受１０と連結板１０の穴１１との間の嵌め合いを、それぞれすきまばめ（ ＪＩＳ Ｂ ０４０１参照）としている。

【００１７】 しかも、前記中間ばめとしたリニア軸受１４ａのガイド軸１２ａと接する部分 の長さを、他のリニア軸受１４のガイド軸１２と接する部分の長さよりも長くし ている。

【００１８】 なお、上記のように中間ばめとするリニア軸受１４ａの位置は、即ち複数ある リニア軸受の内のどの一つを中間ばめとするかは、特定の個所に限定されるもの ではなく任意である。図１および図４では図示の都合上、左側のリニア軸受１４ を中間ばめとしているが、実際の実施例の装置においては、図４中の真上のリニ ア軸受１４を中間ばめとしている。

【００１９】 上記構成によれば、中間ばめとしたリニア軸受１４ａの部分の１個所において 、ガイド軸１２ａを正確にかつ直進性良くガイドすることができる。これは、当 該リニア軸受１４ａとガイド軸１２ａおよび連結板１０の穴１１ａとの間の嵌め 合いを共に中間ばめとしてきっちり嵌合させると共に、当該リニア軸受１４ａの ガイド軸１２ａと接する部分の長さを長くしているからである。

【００２０】 これに対して、残りのリニア軸受１４の部分においては、ガイド軸１２を幾分 緩くガイドすることができる。これは、当該リニア軸受１４とガイド軸１２およ び連結板１０の穴１１との間の嵌め合いを共にすきまばめとして幾分緩く嵌合さ せているからである。

【００２１】 上記のようにすると、クランパー軸の直進運動を規定する個所を１個所に集中 させることができるので、従来のように規定個所を複数個所に分散させている場 合のような規定個所同士間のぶつかり合いが無くなり、クランパー６のクランプ 動作を滑らかにすることができる。

【００２２】 その結果、基板２の周縁部にクランパー６から急激な圧力や偏荷重が加えられ るのを防止することができるので、基板２の周縁部に傷が付くのを防止すること ができる。また、基板２の表面をレジスト処理している場合はその周縁部におい てレジスト膜が剥がれるのを防止することができる。

【００２３】 なお、上記のような構成に加えて更に、図２に示すように、クランパー６の基 板２と接する領域７に、例えばフッ素樹脂、シリコーンゴム等の樹脂をコーティ ングしておいても良く、そのようにすれば、クランプ時にクランパー６から基板 ２へ加えられる衝撃をこの樹脂によって緩和することができるので、基板２の周 縁部の傷付きやレジスト剥がれをより確実に防止することができる。

【００２４】

【考案の効果】

以上のようにこの考案によれば、クランパー軸の直進運動を規定する個所を１ 個所に集中させることができるので、従来のように規定個所を複数個所に分散さ せている場合のような規定個所同士間のぶつかり合いが無くなり、クランパーの クランプ動作を滑らかにすることができる。その結果、基板の周縁部にクランパ ーから急激な圧力や偏荷重が加えられるのを防止することができるので、基板の 周縁部に傷が付くのを防止することができる。また、基板の表面をレジスト処理 している場合はその周縁部においてレジスト膜が剥がれるのを防止することがで きる。

【図面の簡単な説明】

【図１】この考案の一実施例に係る基板保持装置を示す
概略図である。

【図２】基板をクランプする部分の他の例を拡大して示
す図である。

【図３】従来の基板保持装置の一例を示す概略図であ
る。

【図４】図１および図３の基板保持装置の平面図であ
る。

【符号の説明】

２ 基板 ４ ベース ６ クランパー ８ クランパー軸 １０ 連結板 １１，１１ａ 穴 １２，１２ａ ガイド軸 １４，１４ａ リニア軸受 １６ ばね

フロントページの続き (51)Int.Cl.⁶ 識別記号 庁内整理番号 ＦＩ 技術表示箇所 Ｈ０１Ｌ 21/68 Ｎ

Claims (1)

【実用新案登録請求の範囲】
1. 【請求項１】 基板を支持するベースと、基板の周縁部
   をベースに向けて押さえ付ける環状のクランパーと、こ
   のクランパーに頭部が接続されていてクランパーをベー
   スに対して上下させるための複数本のクランパー軸と、
   このクランパー軸同士を連結する連結板と、ベースに頭
   部がそれぞれ接続された３本以上のガイド軸と、連結板
   の穴を貫通するように取り付けられていて各ガイド軸を
   それぞれ直動自在に支えるリニア軸受と、各ガイド軸の
   周りにそれぞれ設けられていて連結板およびそれに取り
   付けられた物を弾性的に押し下げるばねとを備える基板
   保持装置において、前記ガイド軸の内の１本とそれを支
   えるリニア軸受との間および当該リニア軸受と連結板の
   穴との間の嵌め合いを共に中間ばめとし、残りのガイド
   軸とそれを支えるリニア軸受との間および当該リニア軸
   受と連結板の穴との間の嵌め合いをそれぞれすきまばめ
   とし、かつ中間ばめとしたリニア軸受のガイド軸と接す
   る部分の長さを他のリニア軸受のそれよりも長くしたこ
   とを特徴とする基板保持装置。