JP2562147Y2 - 板状処理物保持装置 - Google Patents
板状処理物保持装置Info
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Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本考案は、例えばイオン注入、エ
ッチング、スパッタリング、或いは薄膜形成等を行う装
置に用いられ、ウエハ等の板状処理物を保持する板状処
理物保持装置に関するものである。
ッチング、スパッタリング、或いは薄膜形成等を行う装
置に用いられ、ウエハ等の板状処理物を保持する板状処
理物保持装置に関するものである。
【０００２】
【従来の技術】例えば、イオン注入装置では、真空のタ
ーゲットチャンバ内でウエハ等の板状処理物に対してイ
オン注入処理を行うようになっており、上記ターゲット
チャンバ内には、板状処理物を保持する板状処理物保持
装置が設けられている。
ーゲットチャンバ内でウエハ等の板状処理物に対してイ
オン注入処理を行うようになっており、上記ターゲット
チャンバ内には、板状処理物を保持する板状処理物保持
装置が設けられている。
【０００３】この板状処理物保持装置は、図４に示すよ
うに、板状処理物５１が載置される載置面を有するプラ
テンベース５２と、板状処理物５１の周縁部を押さえて
プラテンベース５２との間に板状処理物５１を挟持する
クランパ５３とを有している。
うに、板状処理物５１が載置される載置面を有するプラ
テンベース５２と、板状処理物５１の周縁部を押さえて
プラテンベース５２との間に板状処理物５１を挟持する
クランパ５３とを有している。
【０００４】上記クランパ５３は、上記プラテンベース
５２の下方に設けられたクランパ駆動機構５４によって
駆動され、クランパガイド５７・５７に案内されて上下
するようになっている。上記クランパ駆動機構５４は、
例えばエアシリンダによって上方向に駆動される可動板
５５を備えており、この可動板５５には、上記２本のク
ランパガイド５７・５７が取り付けられている。上記２
本のクランパガイド５７・５７は、プラテンベース５２
に形成されたガイド溝５２ａを通って、その先端部が上
記クランパ５３に取り付けられており、可動板５５に連
動してプラテンベース５２が上下方向に移動するように
なっている。
５２の下方に設けられたクランパ駆動機構５４によって
駆動され、クランパガイド５７・５７に案内されて上下
するようになっている。上記クランパ駆動機構５４は、
例えばエアシリンダによって上方向に駆動される可動板
５５を備えており、この可動板５５には、上記２本のク
ランパガイド５７・５７が取り付けられている。上記２
本のクランパガイド５７・５７は、プラテンベース５２
に形成されたガイド溝５２ａを通って、その先端部が上
記クランパ５３に取り付けられており、可動板５５に連
動してプラテンベース５２が上下方向に移動するように
なっている。
【０００５】上記可動板５５とプラテンベース５２との
間には、クランプバネ５６・５６が介在されており、上
記可動板５５に対する上方向の駆動力を解除すれば、上
記クランプバネ５６・５６の弾性力（バネ圧）により上
記可動板５５が下方向へ変位し、これに連動してクラン
パ５３が下方向に駆動されるようになっている。
間には、クランプバネ５６・５６が介在されており、上
記可動板５５に対する上方向の駆動力を解除すれば、上
記クランプバネ５６・５６の弾性力（バネ圧）により上
記可動板５５が下方向へ変位し、これに連動してクラン
パ５３が下方向に駆動されるようになっている。
【０００６】即ち、上記従来の板状処理物保持装置で
は、エアシリンダにより可動板５５を上方向へ駆動して
クランパ５３を上方へ変位させた状態でプラテンベース
５２の載置面に板状処理物５１を載置した後、エアシリ
ンダの上方向の駆動力を解除してクランプバネ５６の弾
性力によりクランパ５３を下方向に変位させ、板状処理
物５１の周縁部をプラテンベース５２側に押圧すること
によって板状処理物５１を保持するようになっている。
は、エアシリンダにより可動板５５を上方向へ駆動して
クランパ５３を上方へ変位させた状態でプラテンベース
５２の載置面に板状処理物５１を載置した後、エアシリ
ンダの上方向の駆動力を解除してクランプバネ５６の弾
性力によりクランパ５３を下方向に変位させ、板状処理
物５１の周縁部をプラテンベース５２側に押圧すること
によって板状処理物５１を保持するようになっている。
【０００７】このように、上記従来の板状処理物保持装
置では、クランパ５３の板状処理物５１に対する押圧力
は、上記クランプバネ５６の弾性力によって得られるよ
うになっている。
置では、クランパ５３の板状処理物５１に対する押圧力
は、上記クランプバネ５６の弾性力によって得られるよ
うになっている。
【０００８】
【考案が解決しようとする課題】しかしながら、上記従
来の構成では、上記クランプバネ５６の弾性力は、２本
のクランパガイド５７・５７によりクランパ５３に伝達
されるので、クランパ５３における２本のクランパガイ
ド５７・５７が接続された部位付近に、板状処理物５１
に対する押圧力が集中的に作用することになる。この結
果、クランプ中に板状処理物５１に傷が入ったり、板状
処理物５１が割れる等の不都合を招来することになる。
来の構成では、上記クランプバネ５６の弾性力は、２本
のクランパガイド５７・５７によりクランパ５３に伝達
されるので、クランパ５３における２本のクランパガイ
ド５７・５７が接続された部位付近に、板状処理物５１
に対する押圧力が集中的に作用することになる。この結
果、クランプ中に板状処理物５１に傷が入ったり、板状
処理物５１が割れる等の不都合を招来することになる。
【０００９】また、上記従来の構成では、上方へ変位し
ていたクランパ５３を下げてプラテンベース５２の載置
面に載置された板状処理物５１をクランプするクランパ
５３のスイング時、クランパ５３およびクランパ５３と
結合している部材（即ち、クランパガイド５７および可
動板５５）を合わせた質量に比例した大きな力が板状処
理物５１に働き、板状処理物５１が破損するという不都
合を招来することになる。
ていたクランパ５３を下げてプラテンベース５２の載置
面に載置された板状処理物５１をクランプするクランパ
５３のスイング時、クランパ５３およびクランパ５３と
結合している部材（即ち、クランパガイド５７および可
動板５５）を合わせた質量に比例した大きな力が板状処
理物５１に働き、板状処理物５１が破損するという不都
合を招来することになる。
【００１０】本考案は、上記に鑑みなされたものであ
り、その目的は、板状処理物の破損を低減することがで
きる板状処理物保持装置を提供することにある。
り、その目的は、板状処理物の破損を低減することがで
きる板状処理物保持装置を提供することにある。
【００１１】
【課題を解決するための手段】本考案の板状処理物保持
装置は、板状処理物を載置する載置面を有するプラテン
ベースと、上記載置面に載置された板状処理物の周縁部
を載置面方向に押圧することによりプラテンベースとの
間に板状処理物を挟持するクランパと、上記クランパを
プラテンベースから離れる方向およびプラテンベースへ
向かう方向に駆動するクランパ駆動手段とを備えている
板状処理物保持装置であって、以下の手段を講じたこと
を特徴とするものである。
装置は、板状処理物を載置する載置面を有するプラテン
ベースと、上記載置面に載置された板状処理物の周縁部
を載置面方向に押圧することによりプラテンベースとの
間に板状処理物を挟持するクランパと、上記クランパを
プラテンベースから離れる方向およびプラテンベースへ
向かう方向に駆動するクランパ駆動手段とを備えている
板状処理物保持装置であって、以下の手段を講じたこと
を特徴とするものである。
【００１２】即ち、上記クランパは、板状処理物の周縁
部に当接して板状処理物を載置面方向に押圧する内側ク
ランパと、この内側クランパを囲むようにして配された
外側クランパとに分割されており、上記内側クランパ
は、略等間隔に放射状に配置された複数の板バネ部材に
よって、上記外側クランパに取り付けられていると共
に、上記クランパ駆動手段は上記外側クランパを駆動す
る。
部に当接して板状処理物を載置面方向に押圧する内側ク
ランパと、この内側クランパを囲むようにして配された
外側クランパとに分割されており、上記内側クランパ
は、略等間隔に放射状に配置された複数の板バネ部材に
よって、上記外側クランパに取り付けられていると共
に、上記クランパ駆動手段は上記外側クランパを駆動す
る。
【００１３】
【作用】上記の構成によれば、クランパが内側クランパ
とこの内側クランパを囲むようにして配された外側クラ
ンパとに２分割されている。上記内側クランパは、略等
間隔に放射状に配置された複数の板バネ部材によって、
上記外側クランパに取り付けられており、外側クランパ
に対して可動である。そして、上記２分割構造のクラン
パは、外側クランパがクランパ駆動手段によって駆動さ
れることにより、プラテンベースから離れる方向および
プラテンベースへ向かう方向に変位するようになってい
る。
とこの内側クランパを囲むようにして配された外側クラ
ンパとに２分割されている。上記内側クランパは、略等
間隔に放射状に配置された複数の板バネ部材によって、
上記外側クランパに取り付けられており、外側クランパ
に対して可動である。そして、上記２分割構造のクラン
パは、外側クランパがクランパ駆動手段によって駆動さ
れることにより、プラテンベースから離れる方向および
プラテンベースへ向かう方向に変位するようになってい
る。
【００１４】上記プラテンベースの載置面に載置された
板状処理物をクランプする場合、駆動手段によって外側
クランパがプラテンベースへ向かう方向に駆動されるこ
とになる。そして、外側クランパがプラテンベースに当
接したとき、内側クランパが板状処理物の周縁部に当接
し、板バネが撓む。この板バネの弾性力によって板状処
理物がプラテンベースに押圧され、板状処理物がクラン
プされることになる。
板状処理物をクランプする場合、駆動手段によって外側
クランパがプラテンベースへ向かう方向に駆動されるこ
とになる。そして、外側クランパがプラテンベースに当
接したとき、内側クランパが板状処理物の周縁部に当接
し、板バネが撓む。この板バネの弾性力によって板状処
理物がプラテンベースに押圧され、板状処理物がクラン
プされることになる。
【００１５】このように、内側クランパが板状処理物を
押圧する押圧力（即ち、クランプ力）は、外側クランパ
がプラテンベースを押圧する力（即ち、駆動手段が外側
クランパをプラテンベース方向に駆動する力）に左右さ
れることなく、複数の板バネの弾性力によって得られる
ようになっている。そして、上記板バネは、略等間隔で
放射状に配置されているので、板状処理物の周縁には、
どの部分にも略均等に押圧力が作用し、ある部分に力が
集中することはない。また、板状処理物に対するクラン
プ力は、上記板バネの枚数やバネ特性を変化させること
により調整することができるので、板状処理物に対して
最適なクランプ力で板状処理物をクランプすることが可
能である。したがって、上記板状処理物保持装置では、
クランプ中における板状処理物の破損を従来よりも低減
することができる。
押圧する押圧力（即ち、クランプ力）は、外側クランパ
がプラテンベースを押圧する力（即ち、駆動手段が外側
クランパをプラテンベース方向に駆動する力）に左右さ
れることなく、複数の板バネの弾性力によって得られる
ようになっている。そして、上記板バネは、略等間隔で
放射状に配置されているので、板状処理物の周縁には、
どの部分にも略均等に押圧力が作用し、ある部分に力が
集中することはない。また、板状処理物に対するクラン
プ力は、上記板バネの枚数やバネ特性を変化させること
により調整することができるので、板状処理物に対して
最適なクランプ力で板状処理物をクランプすることが可
能である。したがって、上記板状処理物保持装置では、
クランプ中における板状処理物の破損を従来よりも低減
することができる。
【００１６】また、駆動手段によるクランパのプラテン
ベース方向への駆動時（クランパのプラテンベース方向
のスイング時）、内側クランパが板状処理物に当接した
際に板状処理物に作用する応力は、上記複数の板バネに
よって吸収されるため、従来の一体構造のクランパを用
いた場合に比べて非常に小さくなる。したがって、上記
板状処理物保持装置では、クランパのスイング時の板状
処理物の破損を従来よりも低減することができる。
ベース方向への駆動時（クランパのプラテンベース方向
のスイング時）、内側クランパが板状処理物に当接した
際に板状処理物に作用する応力は、上記複数の板バネに
よって吸収されるため、従来の一体構造のクランパを用
いた場合に比べて非常に小さくなる。したがって、上記
板状処理物保持装置では、クランパのスイング時の板状
処理物の破損を従来よりも低減することができる。
【００１７】
【実施例】本考案の一実施例について図１ないし図３に
基づいて説明すれば、以下の通りである。
基づいて説明すれば、以下の通りである。
【００１８】本実施例に係る板状処理物保持装置は、図
１に示すように、ウエハ等の円盤形の板状処理物１が載
置される載置面を有するプラテンベース２と、板状処理
物１の周縁部を押さえてプラテンベース２との間に板状
処理物１を挟持するクランパ３とを有している。上記プ
ラテンベース２は、プラテン保持アームにより保持され
ている。
１に示すように、ウエハ等の円盤形の板状処理物１が載
置される載置面を有するプラテンベース２と、板状処理
物１の周縁部を押さえてプラテンベース２との間に板状
処理物１を挟持するクランパ３とを有している。上記プ
ラテンベース２は、プラテン保持アームにより保持され
ている。
【００１９】上記クランパ３は、図１ないし図３に示す
ように、内周部４ａが板状処理物１の周縁部に当接して
実際に板状処理物１を押さえる内側クランパ４と、この
内側クランパ４を囲むようにして配された外側クランパ
５とに２分割された構造になっている。上記内側クラン
パ４の外周部４ｂおよび外側クランパ５の内周部５ａ
は、縦断面鉤形に形成されており、外側クランパ５に対
して内側クランパ４が可動となるように、内側クランパ
４の外周部４ｂと外側クランパ５の内周部５ａとが係合
している。
ように、内周部４ａが板状処理物１の周縁部に当接して
実際に板状処理物１を押さえる内側クランパ４と、この
内側クランパ４を囲むようにして配された外側クランパ
５とに２分割された構造になっている。上記内側クラン
パ４の外周部４ｂおよび外側クランパ５の内周部５ａ
は、縦断面鉤形に形成されており、外側クランパ５に対
して内側クランパ４が可動となるように、内側クランパ
４の外周部４ｂと外側クランパ５の内周部５ａとが係合
している。
【００２０】上記外側クランパ５の内周側下面５ｂ（プ
ラテンベース２と対向する面）は、外側クランパ５の内
縁に向かうほど、内周側下面５ｂとプラテンベース２の
載置面との距離が狭くなるようなテーパー状に形成され
ている。この外側クランパ５の内周側下面５ｂには、図
２に示すように、略等間隔で１２枚の板バネ（板バネ部
材）６…の一端が、螺子１１・１１により取り付けられ
ている。上記１２枚の板バネ６…の他端は、プラテンベ
ース５２の載置面の中心側に向かって延びており、図３
に示すように、上記内側クランパ４の内周部４ａに形成
されたバネ取り付け凹部４ｃにおいて係止されている。
ラテンベース２と対向する面）は、外側クランパ５の内
縁に向かうほど、内周側下面５ｂとプラテンベース２の
載置面との距離が狭くなるようなテーパー状に形成され
ている。この外側クランパ５の内周側下面５ｂには、図
２に示すように、略等間隔で１２枚の板バネ（板バネ部
材）６…の一端が、螺子１１・１１により取り付けられ
ている。上記１２枚の板バネ６…の他端は、プラテンベ
ース５２の載置面の中心側に向かって延びており、図３
に示すように、上記内側クランパ４の内周部４ａに形成
されたバネ取り付け凹部４ｃにおいて係止されている。
【００２１】また、図２および図３に示すように、上記
内側クランパ４および外側クランパ５の上面には、螺子
１２…によってクランパ支え板７・７が取り付けられて
いる。このクランパ支え板７・７は、外力が作用すれば
比較的容易に変形する、例えば、アルミニウム合金製で
あり、外側クランパ５に対して内側クランパ４が可動な
状態は保持されている。尚、上記クランパ支え板７・７
は、内側クランパ４を上記板バネ６…だけで外側クラン
パ５に取り付けた場合に内側クランパ４の動きが大きく
なるため、内側クランパ４の動きを最低限にとどめるた
めのものであり、クランパ支え板７・７を用いない構造
であってもよい。
内側クランパ４および外側クランパ５の上面には、螺子
１２…によってクランパ支え板７・７が取り付けられて
いる。このクランパ支え板７・７は、外力が作用すれば
比較的容易に変形する、例えば、アルミニウム合金製で
あり、外側クランパ５に対して内側クランパ４が可動な
状態は保持されている。尚、上記クランパ支え板７・７
は、内側クランパ４を上記板バネ６…だけで外側クラン
パ５に取り付けた場合に内側クランパ４の動きが大きく
なるため、内側クランパ４の動きを最低限にとどめるた
めのものであり、クランパ支え板７・７を用いない構造
であってもよい。
【００２２】図１に示すように、上記プラテンベース２
の図中下方には、上記クランパ３を上下駆動する（即
ち、プラテンベース２から離れる方向およびプラテンベ
ース２方向に駆動する）クランパ駆動手段としてのクラ
ンパ駆動機構２０が具備されている。このクランパ駆動
機構２０は、例えばエアシリンダによって、同図中、上
方向に移動する可動板２１を備えており、この可動板２
１には、２本のクランパガイド２２・２２が立設されて
いる。上記２本のクランパガイド２２・２２は、上記プ
ラテンベース２の外周部に形成されたガイド溝２ａを通
ってその先端部がボルト１３により上記クランパ３の外
側クランパ５に取り付けられている。即ち、上記クラン
パ３は、クランパガイド２２によって可動板２１と接続
されており、可動板２１の動きに連動するようになって
いる。
の図中下方には、上記クランパ３を上下駆動する（即
ち、プラテンベース２から離れる方向およびプラテンベ
ース２方向に駆動する）クランパ駆動手段としてのクラ
ンパ駆動機構２０が具備されている。このクランパ駆動
機構２０は、例えばエアシリンダによって、同図中、上
方向に移動する可動板２１を備えており、この可動板２
１には、２本のクランパガイド２２・２２が立設されて
いる。上記２本のクランパガイド２２・２２は、上記プ
ラテンベース２の外周部に形成されたガイド溝２ａを通
ってその先端部がボルト１３により上記クランパ３の外
側クランパ５に取り付けられている。即ち、上記クラン
パ３は、クランパガイド２２によって可動板２１と接続
されており、可動板２１の動きに連動するようになって
いる。
【００２３】上記可動板２１とプラテンベース２との間
には、可動板２１に対してプラテンベースから離れる方
向に力を作用させるコイルバネ２３・２３が介在されて
いる。したがって、上記可動板２１に対する図中上方向
の駆動力を解除すれば、上記コイルバネ２３・２３の弾
性力（バネ圧）により上記可動板２１が下方向へ変位
し、これに連動してクランパ３がプラテンベース２方向
に駆動されるようになっている。
には、可動板２１に対してプラテンベースから離れる方
向に力を作用させるコイルバネ２３・２３が介在されて
いる。したがって、上記可動板２１に対する図中上方向
の駆動力を解除すれば、上記コイルバネ２３・２３の弾
性力（バネ圧）により上記可動板２１が下方向へ変位
し、これに連動してクランパ３がプラテンベース２方向
に駆動されるようになっている。
【００２４】また、上記可動板２１には、板状処理物１
をプラテンベース２から持ち上げるための持上ピン２４
が取り付けられており、可動板２１が上方向へ駆動され
た場合、上記持上ピン２４がプラテンベース２に穿設さ
れた貫通孔２ｂを貫通し、プラテンベース２上に載置さ
れた板状処理物１を載置面から持ち上げるようになって
いる。
をプラテンベース２から持ち上げるための持上ピン２４
が取り付けられており、可動板２１が上方向へ駆動され
た場合、上記持上ピン２４がプラテンベース２に穿設さ
れた貫通孔２ｂを貫通し、プラテンベース２上に載置さ
れた板状処理物１を載置面から持ち上げるようになって
いる。
【００２５】上記の構成において、板状処理物保持装置
の動作を以下に説明する。
の動作を以下に説明する。
【００２６】先ず、可動板２１が上方向に駆動されるこ
とにより、可動板２１の移動に連動してクランパ３がプ
ラテンベース２から離れる。この状態で、プラテンベー
ス２の載置面から突出した持上ピン２４上に板状処理物
１をのせた後、可動板２１の上方向の駆動力を解除す
る。これにより、コイルバネ２３・２３の弾性力により
上記可動板２１が下方向へ変位し、これに連動してクラ
ンパ３がプラテンベース２方向に変位する。
とにより、可動板２１の移動に連動してクランパ３がプ
ラテンベース２から離れる。この状態で、プラテンベー
ス２の載置面から突出した持上ピン２４上に板状処理物
１をのせた後、可動板２１の上方向の駆動力を解除す
る。これにより、コイルバネ２３・２３の弾性力により
上記可動板２１が下方向へ変位し、これに連動してクラ
ンパ３がプラテンベース２方向に変位する。
【００２７】このクランパ３がプラテンベース２方向に
変位する過程で、先ず、持上ピン２４の先端がプラテン
ベース２の載置面よりも下がることで載置面上に板状処
理物１が載置される。この後、外側クランパ５がプラテ
ンベース２に当接する直前まで下がったとき、内側クラ
ンパ４の内周部４ａが板状処理物１の周縁部に当接す
る。そして、外側クランパ５がプラテンベース２に当接
したとき、板バネ６…が撓み、この板バネ６…の弾性力
によって板状処理物１がプラテンベース２に押圧され、
板状処理物１がクランプされる。
変位する過程で、先ず、持上ピン２４の先端がプラテン
ベース２の載置面よりも下がることで載置面上に板状処
理物１が載置される。この後、外側クランパ５がプラテ
ンベース２に当接する直前まで下がったとき、内側クラ
ンパ４の内周部４ａが板状処理物１の周縁部に当接す
る。そして、外側クランパ５がプラテンベース２に当接
したとき、板バネ６…が撓み、この板バネ６…の弾性力
によって板状処理物１がプラテンベース２に押圧され、
板状処理物１がクランプされる。
【００２８】板状処理物１をクランプした状態では、外
側クランパ５がプラテンベース２を押圧する押圧力Ｆ1
は、上記コイルバネ２３・２３の弾性力によって得られ
るようになっている。一方、内側クランパ４が板状処理
物１を押圧する押圧力Ｆ2 （クランプ力）は、上記板バ
ネ６…の弾性力によって得られるようになっている。上
記板バネ６…は、図２に示すように、略等間隔で放射状
に配置されているので、板状処理物１の周縁には、どの
部分にも略均等に押圧力Ｆ2 が作用する。
側クランパ５がプラテンベース２を押圧する押圧力Ｆ1
は、上記コイルバネ２３・２３の弾性力によって得られ
るようになっている。一方、内側クランパ４が板状処理
物１を押圧する押圧力Ｆ2 （クランプ力）は、上記板バ
ネ６…の弾性力によって得られるようになっている。上
記板バネ６…は、図２に示すように、略等間隔で放射状
に配置されているので、板状処理物１の周縁には、どの
部分にも略均等に押圧力Ｆ2 が作用する。
【００２９】また、内側クランパ４が板状処理物１を押
圧する押圧力Ｆ2 は、コイルバネ２３・２３の弾性力
（クランパ３をプラテンベース２方向に駆動する力）に
左右されることなく、板バネ６の枚数や板バネ６のバネ
特性を変化させることにより調整することができる。こ
のため、板状処理物１に対して最適な押圧力Ｆ2 で板状
処理物１をクランプすることが可能である。
圧する押圧力Ｆ2 は、コイルバネ２３・２３の弾性力
（クランパ３をプラテンベース２方向に駆動する力）に
左右されることなく、板バネ６の枚数や板バネ６のバネ
特性を変化させることにより調整することができる。こ
のため、板状処理物１に対して最適な押圧力Ｆ2 で板状
処理物１をクランプすることが可能である。
【００３０】また、本実施例の板状処理物保持装置で
は、クランパ３が内側クランパ４と外側クランパ５とに
分割されているので、コイルバネ２３・２３の弾性力に
よって上方に変位していたクランパ３が下げられ、クラ
ンパ３の内側クランパ４が板状処理物１に当接したとき
に作用する応力は、従来の一体構造のクランパに比べて
非常に小さい。これは、従来の一体構造のクランパで
は、クランパ構成部品（即ち、クランパ、クランパガイ
ド、可動板）の全質量に応じた応力が、クランパの下方
へのスイング時に板状処理物にかかっていたのに対し、
本実施例のクランパ３では、内側クランパ４が可動式で
あり、内側クランパ４が板状処理物１に当接したとき、
板状処理物１に加わる応力が板バネ６…によって吸収さ
れるためである。
は、クランパ３が内側クランパ４と外側クランパ５とに
分割されているので、コイルバネ２３・２３の弾性力に
よって上方に変位していたクランパ３が下げられ、クラ
ンパ３の内側クランパ４が板状処理物１に当接したとき
に作用する応力は、従来の一体構造のクランパに比べて
非常に小さい。これは、従来の一体構造のクランパで
は、クランパ構成部品（即ち、クランパ、クランパガイ
ド、可動板）の全質量に応じた応力が、クランパの下方
へのスイング時に板状処理物にかかっていたのに対し、
本実施例のクランパ３では、内側クランパ４が可動式で
あり、内側クランパ４が板状処理物１に当接したとき、
板状処理物１に加わる応力が板バネ６…によって吸収さ
れるためである。
【００３１】上記のように、本実施例の板状処理物保持
装置は、板状処理物１の周縁部に当接して板状処理物１
をプラテンベース２方向に押圧する内側クランパ４と、
この内側クランパ４を囲むようにして配された外側クラ
ンパ５とに２分割されたクランパ３を備えており、上記
内側クランパ４は、略等間隔に放射状に配置された複数
の板バネ６…によって、上記外側クランパ５に取り付け
られていると共に、上記外側クランパ５が、クランパ駆
動機構２０によってプラテンベース２から離れる方向お
よびプラテンベース２へ向かう方向に駆動されるように
なっている。
装置は、板状処理物１の周縁部に当接して板状処理物１
をプラテンベース２方向に押圧する内側クランパ４と、
この内側クランパ４を囲むようにして配された外側クラ
ンパ５とに２分割されたクランパ３を備えており、上記
内側クランパ４は、略等間隔に放射状に配置された複数
の板バネ６…によって、上記外側クランパ５に取り付け
られていると共に、上記外側クランパ５が、クランパ駆
動機構２０によってプラテンベース２から離れる方向お
よびプラテンベース２へ向かう方向に駆動されるように
なっている。
【００３２】このため、内側クランパ４が板状処理物１
を押圧する押圧力Ｆ2 は、略等間隔で放射状に配置され
た板バネ６…の弾性力によって得られることになり、板
状処理物１の周縁には、どの部分にも略均等に押圧力Ｆ
2 が作用する。そして、板バネ６の枚数やバネ特性を板
状処理物１に応じて適当に選択することにより、板状処
理物１に対して最適な押圧力Ｆ2 で板状処理物１をクラ
ンプすることができる。したがって、本実施例の板状処
理物保持装置では、従来の一体構造のクランパを用いた
板状処理物保持装置のように、クランプ中に板状処理物
に傷が入ったり、板状処理物が割れる等の不都合を招来
することは殆どない。
を押圧する押圧力Ｆ2 は、略等間隔で放射状に配置され
た板バネ６…の弾性力によって得られることになり、板
状処理物１の周縁には、どの部分にも略均等に押圧力Ｆ
2 が作用する。そして、板バネ６の枚数やバネ特性を板
状処理物１に応じて適当に選択することにより、板状処
理物１に対して最適な押圧力Ｆ2 で板状処理物１をクラ
ンプすることができる。したがって、本実施例の板状処
理物保持装置では、従来の一体構造のクランパを用いた
板状処理物保持装置のように、クランプ中に板状処理物
に傷が入ったり、板状処理物が割れる等の不都合を招来
することは殆どない。
【００３３】また、クランパ３のプラテンベース２方向
のスイング時に板状処理物１に加わる応力は、板バネ６
…によって吸収されるので、従来の一体構造のクランパ
を用いた板状処理物保持装置のように、クランパのスイ
ング時に板状処理物が破損するという不都合を招来する
ことはない。
のスイング時に板状処理物１に加わる応力は、板バネ６
…によって吸収されるので、従来の一体構造のクランパ
を用いた板状処理物保持装置のように、クランパのスイ
ング時に板状処理物が破損するという不都合を招来する
ことはない。
【００３４】
【考案の効果】本考案の板状処理物保持装置は、以上の
ように、板状処理物の周縁部に当接して板状処理物を載
置面方向に押圧する内側クランパと、この内側クランパ
を囲むようにして配された外側クランパとに分割された
クランパを備えており、上記内側クランパは、略等間隔
に放射状に配置された複数の板バネ部材によって、上記
外側クランパに取り付けられていると共に、クランパを
プラテンベースから離れる方向およびプラテンベースへ
向かう方向に駆動するクランパ駆動手段は上記外側クラ
ンパを駆動する構成である。
ように、板状処理物の周縁部に当接して板状処理物を載
置面方向に押圧する内側クランパと、この内側クランパ
を囲むようにして配された外側クランパとに分割された
クランパを備えており、上記内側クランパは、略等間隔
に放射状に配置された複数の板バネ部材によって、上記
外側クランパに取り付けられていると共に、クランパを
プラテンベースから離れる方向およびプラテンベースへ
向かう方向に駆動するクランパ駆動手段は上記外側クラ
ンパを駆動する構成である。
【００３５】それゆえ、内側クランパが板状処理物を押
圧する押圧力（クランプ力）は、外側クランパがプラテ
ンベースを押圧する力（駆動手段が外側クランパをプラ
テンベース方向に駆動する力）に左右されることなく、
複数の板バネの弾性力によって得られる。そして、上記
板バネは、略等間隔で放射状に配置されているので、板
状処理物の周縁には、どの部分にも略均等に押圧力が作
用し、特定部分に力が集中することはない。また、板状
処理物に対するクランプ力は、上記板バネの枚数やバネ
特性を変化させることにより調整することができるの
で、板状処理物に対して最適なクランプ力で板状処理物
をクランプすることが可能である。したがって、上記板
状処理物保持装置は、クランプ中における板状処理物の
破損を、従来の一体構造のクランパを用いた板状処理物
保持装置よりも低減することができるという効果を奏す
る。
圧する押圧力（クランプ力）は、外側クランパがプラテ
ンベースを押圧する力（駆動手段が外側クランパをプラ
テンベース方向に駆動する力）に左右されることなく、
複数の板バネの弾性力によって得られる。そして、上記
板バネは、略等間隔で放射状に配置されているので、板
状処理物の周縁には、どの部分にも略均等に押圧力が作
用し、特定部分に力が集中することはない。また、板状
処理物に対するクランプ力は、上記板バネの枚数やバネ
特性を変化させることにより調整することができるの
で、板状処理物に対して最適なクランプ力で板状処理物
をクランプすることが可能である。したがって、上記板
状処理物保持装置は、クランプ中における板状処理物の
破損を、従来の一体構造のクランパを用いた板状処理物
保持装置よりも低減することができるという効果を奏す
る。
【００３６】また、駆動手段によるクランパのプラテン
ベース方向への駆動時（クランパのプラテンベース方向
のスイング時）、内側クランパが板状処理物に当接した
際に板状処理物に作用する応力は、上記複数の板バネに
よって吸収される。したがって、上記板状処理物保持装
置は、クランパのスイング時の板状処理物の破損を、従
来の一体構造のクランパを用いた板状処理物保持装置よ
りも低減することができるという効果を奏する。
ベース方向への駆動時（クランパのプラテンベース方向
のスイング時）、内側クランパが板状処理物に当接した
際に板状処理物に作用する応力は、上記複数の板バネに
よって吸収される。したがって、上記板状処理物保持装
置は、クランパのスイング時の板状処理物の破損を、従
来の一体構造のクランパを用いた板状処理物保持装置よ
りも低減することができるという効果を奏する。
【図１】本考案の一実施例を示すものであり、板状処理
物保持装置の概略の縦断面図である。
物保持装置の概略の縦断面図である。
【図２】上記板状処理物保持装置の平面図である。
【図３】上記板状処理物保持装置のクランパおよびプラ
テンベースの要部を示す概略の縦断面図である。
テンベースの要部を示す概略の縦断面図である。
【図４】従来例を示すものであり、板状処理物保持装置
の概略の縦断面図である。
の概略の縦断面図である。
１ 板状処理物 ２ プラテンベース ３ クランパ ４ 内側クランパ ５ 外側クランパ ６ 板バネ（板バネ部材） ７ クランパ支え板 ２０ クランパ駆動機構（クランパ駆動手段） ２１ 可動板 ２２ クランパガイド ２３ コイルバネ
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (51)Int.Cl.6 識別記号 庁内整理番号 ＦＩ 技術表示箇所 Ｈ０１Ｌ 21/3065 Ｈ０１Ｌ 21/302 Ｂ
Claims (1)
- 【請求項１】板状処理物を載置する載置面を有するプラ
テンベースと、上記載置面に載置された板状処理物の周
縁部を載置面方向に押圧することによりプラテンベース
との間に板状処理物を挟持するクランパと、上記クラン
パをプラテンベースから離れる方向およびプラテンベー
スへ向かう方向に駆動するクランパ駆動手段とを備えて
いる板状処理物保持装置において、 上記クランパは、板状処理物の周縁部に当接して板状処
理物を載置面方向に押圧する内側クランパと、この内側
クランパを囲むようにして配された外側クランパとに分
割されており、上記内側クランパは、略等間隔に放射状
に配置された複数の板バネ部材によって、上記外側クラ
ンパに取り付けられていると共に、上記クランパ駆動手
段は上記外側クランパを駆動することを特徴とする板状
処理物保持装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP7528592U JP2562147Y2 (ja) | 1992-10-29 | 1992-10-29 | 板状処理物保持装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP7528592U JP2562147Y2 (ja) | 1992-10-29 | 1992-10-29 | 板状処理物保持装置 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH0641142U JPH0641142U (ja) | 1994-05-31 |
| JP2562147Y2 true JP2562147Y2 (ja) | 1998-02-10 |
Family
ID=13571806
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP7528592U Expired - Fee Related JP2562147Y2 (ja) | 1992-10-29 | 1992-10-29 | 板状処理物保持装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP2562147Y2 (ja) |
Families Citing this family (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US6287385B1 (en) * | 1999-10-29 | 2001-09-11 | The Boc Group, Inc. | Spring clip for sensitive substrates |
| CN116408845B (zh) * | 2023-04-18 | 2023-09-12 | 永林电子股份有限公司 | 一种三极管模切定位板 |
-
1992
- 1992-10-29 JP JP7528592U patent/JP2562147Y2/ja not_active Expired - Fee Related
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPH0641142U (ja) | 1994-05-31 |
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Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| LAPS | Cancellation because of no payment of annual fees |